JP5491081B2 - 超音波振動金属接合用共振器 - Google Patents

超音波振動金属接合用共振器 Download PDF

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    • H01L2224/75Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors

Description

本発明は、接合対象部材が接合対象部材を有する物品の奥まった位置に存在する場合でも、接合対象部材を接合することができる超音波振動金属接合用共振器に関する。
図9は、特許文献1で開示された超音波振動金属接合用共振器41の用いられた超音波振動金属接合装置45を示す。超音波振動金属接合用共振器41は、超音波振動を利用して金属同士を接合する際に用いられる共振器41のことであり、以下、超音波振動金属接合用共振器41を、単に、共振器41と称する。図9において、共振器41は、超音波ホーン42の一端部に接合ツール43を結合した構造である。超音波ホーン42の他端部には振動子44が取り付けられる。
次に、共振器41の用いられた超音波振動金属接合装置45による金属同士を接合する動作について説明する。例えば、超音波ホーン42が超音波振動金属接合装置45のブロック46に装着され、接合ツール43よりも下方の受台47には、複数の金属の重ね合わされた接合対象部材48が搭載される。その後、超音波振動金属接合装置45が受台47に対し相対的に移動して接合対象部材48が接合ツール43と受台47との両者から加圧された状態において、接合ツール43の下端部の横方向の超音波振動が接合対象部材48に伝達され、接合対象部材48における複数の金属の重ね合わされた接触面同士が接合される。
しかしながら、図9における接合ツール43は、接合対象部材48の側のツールヘッド49の横方向の外形が超音波ホーン42の側の上部よりも小さくなっている。そのため、図10に示す物品50への接合には次のような不都合がある。物品50は、接合対象部材48よりも上方に突出部51が配置され、接合対象部材48と突出部51との間の隙間H1が接合ツール43の下面と超音波ホーン42の上面との間の寸法H2よりも小さい場合、つまり、H1<H2の場合、換言するならば、接合対象部材48を奥まった位置に有する物品50の場合、共振器41が接合対象部材48と突出部51との間の隙間H1に入ることができず、接合対象部材48を接合することができないという欠点があった。
特開2009−113083号公報
発明が解決しようとする問題点は、接合対象部材が接合対象部材を有する物品の奥まった位置に存在する場合、接合対象部材を接合することができないという点である。
本発明、振動子から伝達された超音波振動の共振周波数の少なくとも半波長の長さを有する超音波ホーンと、超音波ホーンの最大振動振幅点の位置で超音波ホーンの振動伝達方向と直交する方向に突出するように超音波ホーンに設けられる接合ツールとを備えた超音波振動金属接合用共振器において、接合ツールの先端部の横幅が接合ツールの上部の横幅よりも細くなっており、この細くなった接合ツールの先端部には直線的な棒状のツールヘッドが接合ツールの先端部から接合ツールの突出する方向に直交する横方向に突出して設けられ、ツールヘッドには接合作用部が接合ツールの先端部から接合ツールの最大幅よりも横方向に突出して設けられたことを特徴とする。本発明にあっては、ツールヘッドには接合時の接合対象部材への逃げとしての凹部が接合作用部からツールヘッドの内部に窪みかつ下方及び横方向に開放された形状に設けられるか、又は、ツールヘッドには良好な振動を得るためのスリットが下方及び横方向に開放された形状に設けられることもある。
本発明に係る超音波振動金属接合用共振器は、ツールヘッドが接合ツールの先端部から横方向に突出しているので、接合対象部材が接合対象部材を有する物品の奥まった位置に存在する場合でも、ツールヘッドが接合対象部材とその上方の突出部との間の隙間に入ることによって、接合対象部材を適切に接合できるという効果がある。
本発明に係る超音波振動金属接合用共振器において、接合ツールの先端部の横幅が先端部よりも上部の横幅よりも細くなっていれば、接合ツールの先端部の横幅を超音波ホーンの振動の方向に一致させることによって、接合ツールの先端部の横幅が先端部よりも上部の横幅よりも細くなっていない場合よりも、接合ツールの先端部の振れが良くなり、接合が良好になる。
本発明に係る超音波振動金属接合用共振器において、ツールヘッドに凹部が設けられれば、接合対象部材との干渉を防ぐ逃げとして機能することができる。
本発明に係る超音波振動金属接合用共振器において、接合ツールの少なくともツールヘッドにスリットが設けられれば、スリットの深さ及び横幅を調整して、接合ツールに良好な振動を得ることができる。
本発明に係る超音波振動金属接合用共振器において、ツールヘッドが接合ツールの先端部に接合剤で接合されれば、接合剤を溶かすことによって、ツールヘッドが交換可能になる。
実施の形態1の共振器を示す分解図。 実施の形態1の共振器の用いられた超音波振動金属接合装置を示す斜視図。 実施の形態1のツールヘッドが接合対象部材と突出部との間の隙間に入れられた態様を示す側面図的な模式図。 実施の形態2の接合ツールの先端部を示す側面図。 A図は実施の形態3の接合ツールの先端部を示す斜視図、B図はA図を矢印B方向より見た下面図。 A図及びB図は実施の形態4の接合ツールの先端部を示す側面図。 実施の形態5の接合ツールの先端部を示す側面図。 実施の形態5の共振器を示す側面図的な模式図。 従来の共振器の用いられた超音波振動金属接合装置を示す模式図。 課題の補足説明に供する物品を示す模式図。
「実施の形態1」
本明細書における「前」、「後」、「左」、「右」、「上」、「下」の方向は、図2の状態に超音波振動金属接合装置25を置いて矢印Sで示す前側から見た場合に特定される方向である。
図1を参照し、実施の形態1に係る超音波振動金属接合用共振器である共振器1の構造について説明する。共振器1は、超音波ホーン2と接合ツール3とを備える。超音波ホーン2の一端から他端までの長さL1は、振動子4から伝達された超音波振動の共振周波数の少なくとも半波長の長さを有すればよいが、1波長の長さになっている。超音波ホーン2は、アルミニウム又はチタンのような合金又は焼入れされた鉄等のような音響特性の良い素材からなる直線的な棒状である。超音波ホーン2の長さ方向の両端部及び中央部には、最大振動振幅点が位置する。超音波ホーン2の長さ方向の中央部おける最大振動振幅点の位置には、ツール連結部6が雌螺子の形成された螺子孔として設けられる。
超音波ホーン2の長さ方向の両端部には、部品連結部7が雌螺子の形成された螺子孔として設けられる。超音波ホーン2の長さ方向の中央部と両端部との間における最小振動振幅点の位置には、支持部8が超音波ホーン2の外面から外側に突出して設けられる。最小振動振幅点は、ノーダルポイントとも称される。超音波ホーン2は、丸棒状であってもよいが、角棒状になっているので、工具嵌合部は設けてもよいが設けられていない。
超音波ホーン2が丸棒状の場合、支持部8は超音波ホーン2を円周方向に囲む態様であってもよい。支持部8が超音波ホーン2を円周方向に囲む態様は、特許第2911394号公報の図4または図8を参照すれば、明確になる。超音波ホーン2は、構造は複雑になるが、ツール連結部6を有する中央部と支持部8を有する両端部とを無頭螺子のような固定具で同軸状に連結した構造でもよい。つまり、超音波ホーン2は図1に示す構造に限定されるものではない。
接合ツール3は、アルミニウム又はチタンのような合金又は焼入れされた鉄等のような音響特性の良い素材からなる直線的な棒状である。接合ツール3の基部には、ホーン連結部10が雌螺子の形成された螺子孔として設けられる。接合ツール3の基部は、接合ツール3が超音波ホーン2に取り付けられた場合の接合ツール3の上部に相当する部分である。
接合ツール3の先端部11は、接合ツール3が超音波ホーン2に取り付けられた場合における接合ツール3の下部に相当する部分であって、細くなっていなくてもよいが、横幅T1が先端部11よりも上部の横幅T2よりも小さくなっている(T1<T2)。横幅T1;T2は、ツールヘッド12の突出する方向に直交する方向である。つまり、接合ツール3の先端部11の横幅T1が先端部11よりも上部の横幅T2よりも細くなっているので、接合ツール3の先端部11の横幅T1を超音波ホーン2の矢印Xで示す振動の方向に一致させることによって、接合ツール3の先端部11の横幅が細くなっていない場合よりも、接合ツールの先端部の振れが良くなり、接合が良好になる。
接合ツール3の先端部11には、ツールヘッド12が接合ツール3の先端部11から横方向に突出して設けられる。例えば、図1に実線で示した構造は、先端部11の横幅T1が左右方向に向けられた態様において、ツールヘッド12が前後方向に突出した態様である。図1に点線で示した構造は、先端部11の横幅T1が左右方向に向けられた態様において、ツールヘッド12が左右方向に突出した態様である。図1に仮想線で示した構造は、先端部11の横幅T1が前後方向に向けられた態様において、ツールヘッド12が左右方向に突出した態様である。図1に一点鎖線で示した構造は、先端部11の横幅T1が前後方向に向けられた態様において、ツールヘッド12が前後方向に突出した態様である。ツールヘッド12の突出する方向は、これらに限定されるものではなく、ツールヘッド12が先端部11から接合ツール3の上下方向に延びる中心線に直交する横方向に突出すればよい。
ツールヘッド12には、凹部13がツールヘッド12の下方及び横方向に開放された形状に設けられる。凹部13の開放される横方向は、ツールヘッド12が突出する方向に交差する方向であればよい。凹部13は、金属同士を接合する場合の接合対象部材48(図3参照)との干渉を防ぐ逃げとして機能する。図1に戻り、ツールヘッド12の凹部13よりも少なくとも一方に突出する部分は、接合対象部材48を接合する場合の接合作用部14として機能する部分である。接合作用部14の下面15は、接合対象部材48と接触する面であって、凹凸が形成された形状になっている。
ツールヘッド12の凹部13よりも他方に突出する部分は、接合ツール3としての振動のバランスを取るための部分としての機能を担うだけでもよいが、一方に突出する部分と同様に、金属同士を接合する接合作用部16としての機能を担う部分として構成してもよい。他方に突出する部分が接合作用部16として機能する部分として構成される場合には、接合作用部16の下面17が金属同士を接合する場合の接合対象部材48と接触する面として凹凸が形成された形状になっていれば、接合作用部14の下面15が金属同士の接合の繰り返された結果として消耗された場合、接合作用部14が後方に向けられ、接合作用部16が前方に向けられるように、接合作用部14と接合作用部16との位置が互いに入れ替えられて、接合ツール3が超音波ホーン2に取り付けられることによって、接合作用部14に代えて、接合作用部16が適切に使用できる。
接合ツール3の基部から先端部11までの部分は、角棒状であってもよいが、丸棒状になっているので、接合ツール3の外面には工具嵌合部18が一対の平行面として設けられる。つまり、接合ツール3が超音波ホーン2に取り付けられる場合、スパナのような工具が工具嵌合部18に嵌め込まれて、当該工具の回転操作によって、接合ツール3を超音波ホーン2に適切に固定できる。接合ツール3の基部から先端部11までの部分が角棒状である場合は、工具嵌合部18は設けられなくてもよい。
接合ツール3の上面と下面1;17との間の長さL2は、超音波ホーン2の振動に共振する振動周波数の少なくとも半波長の長さを有すればよいが、2波長の長さになっている。接合ツール3が超音波ホーン2の振動に共振した場合、接合ツール3の基部と接合作用部とには最大振動振幅点が位置する。つまり、接合ツール3が超音波ホーン2の振動に共振した場合、接合作用部は、横方向に最大の振動振幅で振動する。
振動子4の出力端部には、部品連結部20が雌螺子の形成された螺子孔として設けられる。
超音波ホーン2と接合ツール3とが互いに結合されるには、固定具としての無頭螺子22の一端部が超音波ホーン2のツール連結部6に装着され、無頭螺子22の他端部が接合ツール3のホーン連結部10に装着され、接合ツール3の基部が超音波ホーン2に接触される。これによって、共振器1が図2に示すように構成される。図1に戻り、接合ツール3が超音波ホーン2に結合される場合、ツールヘッド12が実線又は一点鎖線で示すように前後方向に向くようにする場合と、ツールヘッド12が点線又は仮想線で示すように左右方向に向くようにする場合とがある。両方の場合でも、ツールヘッド12の振動の方向は、矢印X方向である。
無頭螺子22に代えて、超音波ホーン2のツール連結部6又は接合ツール3のホーン連結部10に雄螺子を設け、その雄螺子を接合ツール3のホーン連結部10又は超音波ホーン2のツール連結部6に装着することによって、超音波ホーン2と接合ツール3とを互いに結合させてもよい。また、無頭螺子22に代えて、ボルトのような有頭螺子で超音波ホーン2と接合ツール3とを互いに結合させてもよいが、その場合には、超音波ホーン2のツール連結部6が例えば上下方向に貫通する貫通孔として形成され、有頭螺子が超音波ホーン2の上方からツール連結部6を経由して接合ツール3のホーン連結部10に装着されることによって、超音波ホーン2と接合ツール3とが互いに結合される。また、無頭螺子22や有頭螺子を使用することなく、超音波ホーン2に接合ツール3をろう材のような接合剤で結合させてもよい。
超音波ホーン2の一端部には、振動子4又は図外のブースターが取り付けられる。超音波ホーン2の一端部に振動子4が取り付けられる場合は、無頭螺子23の一端部が超音波ホーン2の部品連結部7に装着され、無頭螺子23の他端部が振動子4の部品連結部20に装着される。これによって、超音波ホーン2と振動子4とが図2に示すように同軸状に結合される。
超音波ホーン2の一端部に図外のブースターが取り付けられる場合は、無頭螺子23に相当する図外の無頭螺子の一端部が超音波ホーン2の部品連結部7に装着され、その無頭螺子の他端部がブースターに雌螺子の形成された螺子孔として設けられた図外の部品取付部に装着され、無頭螺子23の一端部がブースターの上記部品取付部に相当する図外の部品取付部に装着され、無頭螺子23の他端部が振動子4の部品連結部20に装着される。これによって、超音波ホーン2とブースターと振動子4とが同軸状に結合される。
図2を参照し、共振器1を用いた超音波振動金属接合装置25の構造について説明する。超音波振動金属接合装置25の装置躯体26には、作業空間部27が設けられる。装置躯体26の作業空間部27よりも上部には、加圧機構28が設けられる。加圧機構28の出力部材29は、装置躯体26の上部から作業空間部27に配置される。出力部材29の作業空間部27に配置された下部は、加圧機構28の駆動によって、作業空間部27内を直線的に昇降する。出力部材29の作業空間部27に配置された下部には、支持具30が設けられる。装置躯体26の作業空間部27よりも下部には、受台31が設けられる。受台31の前上部には、接合作用受部32が設けられる。接合作用受部32の上面33は、金属同士を接合する場合の接合対象部材48と接触する面であって、凹凸が形成された形状になっている。
支持具30の左右に貫通する内部空間34には、超音波ホーン2の長さ方向が矢印Xで示す左右方向に向けられて、超音波ホーン2の支持部8以外の部分が支持具30に接触しないように、超音波ホーン2が配置され、支持部8が支持具30の支持部材35に支持される。このように超音波ホーン2が支持具30に装着された場合、接合ツール3よりも両側に存在する最小振動振幅点に位置するように設けられた支持部8が支持具30に支持されているので、超音波ホーン2が支持部8を介して支持具30に両支持に取付けられ、振動子4及び図外のブースターも支持具30には接触しないようになっている。
また、超音波ホーン2が支持具30に装着され、出力部材29が上昇位置に停止した場合、接合ツール3の接合作用部14の下面15と接合作用受部32の上面33とが、少なくとも複数の金属が重ね合わされた接合対象部材48の挿入可能な空間を残して上下方向で対峙するようになっている。
超音波振動金属接合装置25による金属同士を接合する動作について説明すると、先ず、接合作用部14と接合作用受部32とが対向した状態において、受台31の接合作用受部32の上面33には、複数の金属が重ね合わされた接合対象部材48が搭載される。次に、加圧機構28が駆動し、出力部材29が下降するのに伴って、共振器1及び振動子4又は図外のブースターが下降する。
そして、例えば、接合対象部材48が接合ツール3と受台32とで挟まれた後、振動子4が超音波振動を発生し、超音波ホーン2が振動子4から伝達された超音波振動に共振し、接合ツール3が超音波ホーン2から伝達された振動に共振する。これによって、接合ツールの最大振動振幅点である接合作用部14の横方向の振動が接合対象部材48に伝達され、接合対象部材48における複数の金属の重ね合わされた接触面同士が摩擦を受けて拡散接合される。
図3に示すように、超音波振動金属接合装置25に用いられる共振器1は、ツールヘッド12が接合ツール3の先端部11から横方向に突出し、ツールヘッド12の横方向に突出した部分の下部には接合作用部14が設けられている。よって、接合対象部材48が物品50の奥まった位置に存在する場合でも、ツールヘッド12の横方向に突出した部分及び接合作用部14が接合対象部材48とその上方の突出部51との間の隙間H1に入れるので、接合作用部14が接合対象部材48を適切に接合することができる。
「実施の形態2」
図4を参照し、実施の形態2に係る接合ツール3の構造について説明する。接合ツール3にスリット37が設けられたことが、図1の接合ツール3と相違する。スリット37は、ツールヘッド12の凹部13の下方及び横方向に開放された形状に設けられる。スリット37の開放された横方向は、先端部11の横幅T1(図1参照)の方向である。スリット37の深さ及び横幅を調整して、接合ツール3に良好な振動を得ることができる。スリット37の横幅はツールヘッド12の突出する方向の幅である。
「実施の形態3」
図5を参照し、実施の形態3に係る接合ツール3の構造について説明する。接合ツール3の接合作用部14及び接合作用部16が先端部11の横幅T1よりも大きく形成されたことが図1の接合ツール3と相違する。
「実施の形態4」
図6を参照し、実施の形態4に係る接合ツール3の構造について説明する。A図は、接合作用部14;16がツールヘッド12にろう材のような接合剤38で接合された構造を示す。B図は、ツールヘッド12が接合ツール3の先端部11に接合剤38で接合された構造を示す。A図及びB図において、接合剤38を溶かすことによって、接合作用部14;16又はツールヘッド12の交換可能なことが、図1の接合ツール3と相違する。
「実施の形態5」
図7を参照し、実施の形態4に係る接合ツール3の構造について説明する。ツールヘッド12には、凹部13が設けられていないことが、図1の接合ツール3と相違する。
「実施の形態6」
図8を参照し、実施の形態5に係る共振器1の構造について説明する。接合ツール3が超音波ホーン2の一端部に設けられたことが図1の共振器1と相違する。図8の超音波ホーン2の他端部には振動子4が結合される。そして、超音波ホーン2が振動子4から伝達された超音波振動に共振した場合、超音波ホーン2の両端部には最大振動振幅点が配置され、それらの最大振動振幅点の間には少なくも1つの最小振動振幅点が配置され、その1つの最小振動振幅点の位置で超音波ホーン2には支持部8が超音波ホーン2の外面から外側に突出して設けられる。よって、図8に示す共振器1は、図2の超音波振動金属接合装置25の出力部材29に設けられた図外の支持具に片支持に取り付けられる形態となる。
1は共振器、2は超音波ホーン、3は接合ツール、4は振動子、5は欠番、6はツール連結部、7は部品連結部、8は支持部、9は欠番、10は連結部分、11は先端部、12はツールヘッド、13は凹部、14は接合作用部、15は下面、16は接合作用部、17は下面、18は工具嵌合部、19は欠番、20は部品連結部、21は欠番、22は無頭螺子、23は無頭螺子、24は欠番、25は超音波振動金属接合装置、26は装置躯体、27は作業空間部、28は加圧機構、29は出力部材、30は支持具、31は受台、32は接合作用受部、33は上面、34は内部空間、35は支持部材、36は欠番、37はスリット、38は接合剤、39;40は欠番、41は共振器、42は超音波ホーン、43は接合ツール、44は振動子、45は超音波振動金属接合装置、46はブロック、47は受台、48は接合対象部材、49はツールヘッド、50は物品、51は突出部。

Claims (3)

  1. 振動子から伝達された超音波振動の共振周波数の少なくとも半波長の長さを有する超音波ホーンと、超音波ホーンの最大振動振幅点の位置で超音波ホーンの振動伝達方向と直交する方向に突出するように超音波ホーンに設けられる接合ツールとを備えた超音波振動金属接合用共振器において、接合ツールの先端部の横幅が接合ツールの上部の横幅よりも細くなっており、この細くなった接合ツールの先端部には直線的な棒状のツールヘッドが接合ツールの先端部から接合ツールの突出する方向に直交する横方向に突出して設けられ、ツールヘッドには接合作用部が接合ツールの先端部から接合ツールの最大幅よりも横方向に突出して設けられたことを特徴とする超音波振動金属接合用共振器。
  2. ツールヘッドには接合時の接合対象部材への逃げとしての凹部が接合作用部からツールヘッドの内部に窪みかつ下方及び横方向に開放された形状に設けられたことを特徴とする請求項1記載の超音波振動金属接合用共振器。
  3. ツールヘッドには良好な振動を得るためのスリットが下方及び横方向に開放された形状に設けられたことを特徴とする請求項1記載の超音波振動金属接合用共振器。
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