JP3492298B2 - 超音波振動接合用ツールとそれを支持する支持装置 - Google Patents
超音波振動接合用ツールとそれを支持する支持装置Info
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- JP3492298B2 JP3492298B2 JP2000227813A JP2000227813A JP3492298B2 JP 3492298 B2 JP3492298 B2 JP 3492298B2 JP 2000227813 A JP2000227813 A JP 2000227813A JP 2000227813 A JP2000227813 A JP 2000227813A JP 3492298 B2 JP3492298 B2 JP 3492298B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の重ね合され
た接合対象部材を超音波振動で接合するためのツールに
関する。
た接合対象部材を超音波振動で接合するためのツールに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図９は特開平１１−３０７５８３号公報
で開示された共振器の支持装置の外観を示す。図９にお
いて、ツール１０１の最小振動振幅点より外側に突出さ
れた支持部１０２がツール１０１の接合作用面１０３と
平行な平坦面１０４を備え、加圧機構の可動端に装着さ
れたホルダ１０５が支持部１０２の平坦面１０４と平行
な平坦面１０６を備え、支持部１０２の平坦面１０４と
ホルダ１０５の平坦面１０６とが互いに上下で接触され
て固定されるようになっている。
で開示された共振器の支持装置の外観を示す。図９にお
いて、ツール１０１の最小振動振幅点より外側に突出さ
れた支持部１０２がツール１０１の接合作用面１０３と
平行な平坦面１０４を備え、加圧機構の可動端に装着さ
れたホルダ１０５が支持部１０２の平坦面１０４と平行
な平坦面１０６を備え、支持部１０２の平坦面１０４と
ホルダ１０５の平坦面１０６とが互いに上下で接触され
て固定されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来例
は、平坦面１０４と平坦面１０６とが互いに固定される
構造であるので、ホルダ１０５にツール１０１を取付け
る場合、平坦面１０４と平坦面１０６との左右横方向の
位置出しが正確に取れず、ホルダ１０５を昇降駆動する
加圧機構に対するツール１０１の位置がずれて、適切な
接合ができなくなる。
は、平坦面１０４と平坦面１０６とが互いに固定される
構造であるので、ホルダ１０５にツール１０１を取付け
る場合、平坦面１０４と平坦面１０６との左右横方向の
位置出しが正確に取れず、ホルダ１０５を昇降駆動する
加圧機構に対するツール１０１の位置がずれて、適切な
接合ができなくなる。
【０００４】そこで、本発明は、位置出しが正確にでき
る超音波振動接合用ツールを提供するものである。
る超音波振動接合用ツールを提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る１つの超音
波振動接合用ツールは、複数の重ね合された接合対象部
材を超音波振動で接合するための超音波振動接合用ツー
ルであって、ホーン本体と、ホーン本体の１つの最大振
動振幅点でホーン本体の上面または下面に設けられた接
合作用部と、接合作用部より超音波振動の振動方向の両
側に離れた２つの最小振動振幅点でホーン本体の前後面
に突出して設けられた支持部と、支持部の上下面に取付
面として形成された斜面とを備え、支持部の上面におけ
る接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた
２つの最小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方
の支持部の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動
振幅点を通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら
斜面の接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る
垂線と成す角度が同じである一方、支持部の下面におけ
る接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた
２つの最小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方
の支持部の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動
振幅点を通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら
斜面の接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る
垂線と成す角度が同じであることによって、または、本
発明に係るもう１つの超音波振動接合用ツールは、複数
の重ね合された接合対象部材を超音波振動で接合するた
めの超音波振動接合用ツールであって、ホーン本体と、
ホーン本体の１つの最大振動振幅点でホーン本体の上面
または下面に設けられた接合作用部と、接合作用部より
超音波振動の振動方向の両側に離れた２つの最小振動振
幅点でホーン本体の前後面に突出して設けられた支持部
と、支持部の下面に取付面としてホーン本体の接合作用
面と平行に形成された平坦面と、支持部の上面に取付面
として形成された斜面とを備え、接合作用部より超音波
振動の振動方向の両側に離れた２つの最小振動振幅点の
一方の支持部の斜面と前記他方の支持部の斜面とが接合
作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る垂線上の或
る１つの一点で交差し、これら斜面の接合作用部に対す
る１つの最大振動振幅点を通る垂線と成す角度が同じで
あることによって、超音波振動接合用ツールの支持装置
ヘの取付位置が正確となり、接合対象部材を適切に接合
することができる。本発明に係るさらなるもう１つの超
音波振動接合用ツールは、斜面が支持部の下面に取付面
として形成され、平坦面が支持部の上面の取付面として
形成されたことによって、接合時の加重が斜めの分力を
生じることなく支持部に垂直方向に加わり、支持部が振
動方向に移動するような外力を受けることはない。本発
明に係る１つの支持装置は、上下方向より支持可能に分
割された上下クランパ及び弾性体を備え、上クランパは
超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応して下方
に突出する把持部と超音波振動接合用ツールにおける支
持部の上面に取付面として形成された斜面に接触する把
持部の下面たる斜面を備えた単一ボディとして形成さ
れ、下クランパは前後に分割されており、下クランパの
それぞれは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対
応して上方に突出する把持部と超音波振動接合用ツール
における支持部の下面に取付面として形成された斜面と
接触する把持部の上面たる斜面とを備え、弾性体が上下
クランパを互いに近づく方向に付勢するばね力を上下ク
ランパに付与することによって、または、本発明に係る
もう１つの支持装置は、上下方向より支持可能に分割さ
れた上下クランパ及び弾性体を備え、上クランパは超音
波振動接合用ツールにおける支持部に対応して下方に突
出する把持部と超音波振動接合用ツールにおける支持部
の上面に取付面として形成された斜面に接触する把持部
の下面たる斜面を備えた単一ボディとして形成され、下
クランパは前後に分割されており、下クランパのそれぞ
れは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応して
上方に突出する把持部と超音波振動接合用ツールにおけ
る支持部の下面に取付面として形成された平坦面と接触
する把持部の上面たる平坦面とを備え、弾性体が上下ク
ランパを互いに近づく方向に付勢するばね力を上下クラ
ンパに付与することによって、弾性体による弾性作用下
で、しかも、支持部の上下面たる斜面と上下クランパの
斜面とが互いに接触した状態で、上下クランパが超音波
振動接合用ツールの支持部を上下方向より把持した形態
となるため、互いに接触し合った斜面の楔作用により、
上下クランパに対する超音波振動接合用ツールの位置出
しが正確にでき、接合対象部材を適切に接合することが
できる。本発明に係るさらなるもう１つの支持装置は、
上下方向より支持可 能に分割された上下クランパ及び弾
性体を備え、上クランパは超音波振動接合用ツールにお
ける支持部に対応して下方に突出する把持部と超音波振
動接合用ツールにおける支持部の上面に取付面として形
成された平坦面に接触する把持部の下面たる平坦面を備
えた単一ボディとして形成され、下クランパは前後に分
割されており、下クランパのそれぞれは超音波振動接合
用ツールにおける支持部に対応して上方に突出する把持
部と超音波振動接合用ツールにおける支持部の下面に取
付面として形成された斜面と接触する把持部の上面たる
斜面とを備え、弾性体が上下クランパを互いに近づく方
向に付勢するばね力を上下クランパに付与することによ
って、接合時の上クランパからの加重が斜めの分力を生
じることなく超音波振動接合用ツールの支持部に垂直方
向に加わり、支持部が振動方向に移動するような斜めの
外力を受けることがなく、接合時における接合加重の制
御がやりやくなる。
波振動接合用ツールは、複数の重ね合された接合対象部
材を超音波振動で接合するための超音波振動接合用ツー
ルであって、ホーン本体と、ホーン本体の１つの最大振
動振幅点でホーン本体の上面または下面に設けられた接
合作用部と、接合作用部より超音波振動の振動方向の両
側に離れた２つの最小振動振幅点でホーン本体の前後面
に突出して設けられた支持部と、支持部の上下面に取付
面として形成された斜面とを備え、支持部の上面におけ
る接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた
２つの最小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方
の支持部の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動
振幅点を通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら
斜面の接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る
垂線と成す角度が同じである一方、支持部の下面におけ
る接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた
２つの最小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方
の支持部の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動
振幅点を通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら
斜面の接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る
垂線と成す角度が同じであることによって、または、本
発明に係るもう１つの超音波振動接合用ツールは、複数
の重ね合された接合対象部材を超音波振動で接合するた
めの超音波振動接合用ツールであって、ホーン本体と、
ホーン本体の１つの最大振動振幅点でホーン本体の上面
または下面に設けられた接合作用部と、接合作用部より
超音波振動の振動方向の両側に離れた２つの最小振動振
幅点でホーン本体の前後面に突出して設けられた支持部
と、支持部の下面に取付面としてホーン本体の接合作用
面と平行に形成された平坦面と、支持部の上面に取付面
として形成された斜面とを備え、接合作用部より超音波
振動の振動方向の両側に離れた２つの最小振動振幅点の
一方の支持部の斜面と前記他方の支持部の斜面とが接合
作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る垂線上の或
る１つの一点で交差し、これら斜面の接合作用部に対す
る１つの最大振動振幅点を通る垂線と成す角度が同じで
あることによって、超音波振動接合用ツールの支持装置
ヘの取付位置が正確となり、接合対象部材を適切に接合
することができる。本発明に係るさらなるもう１つの超
音波振動接合用ツールは、斜面が支持部の下面に取付面
として形成され、平坦面が支持部の上面の取付面として
形成されたことによって、接合時の加重が斜めの分力を
生じることなく支持部に垂直方向に加わり、支持部が振
動方向に移動するような外力を受けることはない。本発
明に係る１つの支持装置は、上下方向より支持可能に分
割された上下クランパ及び弾性体を備え、上クランパは
超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応して下方
に突出する把持部と超音波振動接合用ツールにおける支
持部の上面に取付面として形成された斜面に接触する把
持部の下面たる斜面を備えた単一ボディとして形成さ
れ、下クランパは前後に分割されており、下クランパの
それぞれは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対
応して上方に突出する把持部と超音波振動接合用ツール
における支持部の下面に取付面として形成された斜面と
接触する把持部の上面たる斜面とを備え、弾性体が上下
クランパを互いに近づく方向に付勢するばね力を上下ク
ランパに付与することによって、または、本発明に係る
もう１つの支持装置は、上下方向より支持可能に分割さ
れた上下クランパ及び弾性体を備え、上クランパは超音
波振動接合用ツールにおける支持部に対応して下方に突
出する把持部と超音波振動接合用ツールにおける支持部
の上面に取付面として形成された斜面に接触する把持部
の下面たる斜面を備えた単一ボディとして形成され、下
クランパは前後に分割されており、下クランパのそれぞ
れは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応して
上方に突出する把持部と超音波振動接合用ツールにおけ
る支持部の下面に取付面として形成された平坦面と接触
する把持部の上面たる平坦面とを備え、弾性体が上下ク
ランパを互いに近づく方向に付勢するばね力を上下クラ
ンパに付与することによって、弾性体による弾性作用下
で、しかも、支持部の上下面たる斜面と上下クランパの
斜面とが互いに接触した状態で、上下クランパが超音波
振動接合用ツールの支持部を上下方向より把持した形態
となるため、互いに接触し合った斜面の楔作用により、
上下クランパに対する超音波振動接合用ツールの位置出
しが正確にでき、接合対象部材を適切に接合することが
できる。本発明に係るさらなるもう１つの支持装置は、
上下方向より支持可 能に分割された上下クランパ及び弾
性体を備え、上クランパは超音波振動接合用ツールにお
ける支持部に対応して下方に突出する把持部と超音波振
動接合用ツールにおける支持部の上面に取付面として形
成された平坦面に接触する把持部の下面たる平坦面を備
えた単一ボディとして形成され、下クランパは前後に分
割されており、下クランパのそれぞれは超音波振動接合
用ツールにおける支持部に対応して上方に突出する把持
部と超音波振動接合用ツールにおける支持部の下面に取
付面として形成された斜面と接触する把持部の上面たる
斜面とを備え、弾性体が上下クランパを互いに近づく方
向に付勢するばね力を上下クランパに付与することによ
って、接合時の上クランパからの加重が斜めの分力を生
じることなく超音波振動接合用ツールの支持部に垂直方
向に加わり、支持部が振動方向に移動するような斜めの
外力を受けることがなく、接合時における接合加重の制
御がやりやくなる。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１〜図６は本発明の第１実施形
態であって、図１はツール１及び支持装置２０を分解し
た外観を示し、図２はツール１の上面を示し、図３はツ
ール１の正面を示し、図４はツール１が支持装置２０で
支持された正面を示し、図５はツール１が支持装置２０
で支持された右側面を示し、図６は超音波接合装置４１
の正面を示す。
態であって、図１はツール１及び支持装置２０を分解し
た外観を示し、図２はツール１の上面を示し、図３はツ
ール１の正面を示し、図４はツール１が支持装置２０で
支持された正面を示し、図５はツール１が支持装置２０
で支持された右側面を示し、図６は超音波接合装置４１
の正面を示す。
【０００７】図１を参照し、ツール１及びそれの支持装
置について説明する。第１実施形態では、ツール１は、
ホーン本体２、接合作用面３、支持部４、斜面５、連結
部６、根元部７、先端部８、中間部９、結合部１０を備
えた、アルミニウム又はチタンのような合金又は焼入れ
された鉄等のような音響特性の良い素材からなる単一ボ
ディとして形成される。ツール１は振動子３５から伝達
された超音波振動の共振周波数の１波長の長さ（最大振
動振幅点ｆｌから最大振動振幅点ｆ５までの長さ）を有
する棒状である。結合部１０にはツール１に振動子３５
又は図外のブースタを無頭ねじ３６により同軸状に取付
けるためのねじ孔であって、ホーン本体２の左右端面の
中央部に形成される。振動子３５は図外の超音波発振器
から受ける電気的なエネルギーにより所定周波数を有す
る縦波の超音波振動を発生して出力するものである。ツ
ール１で振動振幅を増幅するために根元部７の間に位置
するホーン本体２の中間部にはくびれ部１１を形成した
が、くびれ部１１は設けられないこともある。
置について説明する。第１実施形態では、ツール１は、
ホーン本体２、接合作用面３、支持部４、斜面５、連結
部６、根元部７、先端部８、中間部９、結合部１０を備
えた、アルミニウム又はチタンのような合金又は焼入れ
された鉄等のような音響特性の良い素材からなる単一ボ
ディとして形成される。ツール１は振動子３５から伝達
された超音波振動の共振周波数の１波長の長さ（最大振
動振幅点ｆｌから最大振動振幅点ｆ５までの長さ）を有
する棒状である。結合部１０にはツール１に振動子３５
又は図外のブースタを無頭ねじ３６により同軸状に取付
けるためのねじ孔であって、ホーン本体２の左右端面の
中央部に形成される。振動子３５は図外の超音波発振器
から受ける電気的なエネルギーにより所定周波数を有す
る縦波の超音波振動を発生して出力するものである。ツ
ール１で振動振幅を増幅するために根元部７の間に位置
するホーン本体２の中間部にはくびれ部１１を形成した
が、くびれ部１１は設けられないこともある。
【０００８】支持装置２０は上下クランパ２１；２２及
び弾性体３３により形成される。上下クランパ２１；２
２は支持部４を上下方向より支持可能に分割された形態
である。上クランパ２１は、把持部２４、斜面２５、結
合部２６を備えた、鉄系の素材からなる単一ボディとし
て形成される。把持部２４は支持部４と位置が対応する
ように上クランパ２１の四隅部より下方に突出する。把
持部２４の下面は支持部４の上側の斜面５と接触するよ
うに平坦な斜面２５に形成される。結合部２６は図６に
示す超音波振動接合装置４１の加圧機構であるエアシリ
ンダ４４のピストンロッド４５に上クランパ２１を取付
けるためのねじ孔であって、上クランパ２１の中央部に
形成される。
び弾性体３３により形成される。上下クランパ２１；２
２は支持部４を上下方向より支持可能に分割された形態
である。上クランパ２１は、把持部２４、斜面２５、結
合部２６を備えた、鉄系の素材からなる単一ボディとし
て形成される。把持部２４は支持部４と位置が対応する
ように上クランパ２１の四隅部より下方に突出する。把
持部２４の下面は支持部４の上側の斜面５と接触するよ
うに平坦な斜面２５に形成される。結合部２６は図６に
示す超音波振動接合装置４１の加圧機構であるエアシリ
ンダ４４のピストンロッド４５に上クランパ２１を取付
けるためのねじ孔であって、上クランパ２１の中央部に
形成される。
【０００９】下クランパ２２は前後に分割されており、
下クランパ２２のそれぞれは把持部２８、斜面２９を備
えた、鉄系の素材からなる単一ボディとして形成され
る。各下クランパ２２の把持部２８は支持部４と位置が
対応するように各下クランパ２２の左右端部より上方に
突出する。把持部２８の上面は支持部４の下側の斜面５
と接触するように平坦な斜面２９に形成される。
下クランパ２２のそれぞれは把持部２８、斜面２９を備
えた、鉄系の素材からなる単一ボディとして形成され
る。各下クランパ２２の把持部２８は支持部４と位置が
対応するように各下クランパ２２の左右端部より上方に
突出する。把持部２８の上面は支持部４の下側の斜面５
と接触するように平坦な斜面２９に形成される。
【００１０】上下クランパ２１；２２には弾性体３３を
係留するばね掛部３１；３２が装着される。弾性体３３
は上下クランパ２１；２２を互いに近づく方向に付勢す
るものであって、コイルばねにより形成される。弾性体
３３の上端が上クランパ２１のばね掛部３１に掛け止め
られ、弾性体３３の下端が下クランパ２２のばね掛部３
２に掛け止められることにより、弾性体３３が上クラン
パ２１と下クランパ２２とを連結する。
係留するばね掛部３１；３２が装着される。弾性体３３
は上下クランパ２１；２２を互いに近づく方向に付勢す
るものであって、コイルばねにより形成される。弾性体
３３の上端が上クランパ２１のばね掛部３１に掛け止め
られ、弾性体３３の下端が下クランパ２２のばね掛部３
２に掛け止められることにより、弾性体３３が上クラン
パ２１と下クランパ２２とを連結する。
【００１１】図２及び図３を参照し、ツール１の詳細に
ついて説明する。接合作用面３はホーン本体２における
中央の最大振動振幅点ｆ３の位置でホーン本体２の外側
面に配置され、支持部４は最大振動振幅点ｆ３より左右
両側に等距離の最小振動振幅点ｆ２；ｆ４の位置でホー
ン本体２の外側面に配置される。接合作用面３がホーン
本体２の上下面に設けられ、支持部４がホーン本体２の
前後面に設けられるというように、接合作用面３と支持
部４とは互いに直交するようにホーン本体２に設けられ
る。接合作用面３は、上下面と同一面であっても上下面
より窪んでいても良いが、図示のようにホーン本体２の
上下面より突出していれば、厚さの薄い態合対象品を接
合する場合に、接合作用面３が接合対象品と接触し、ホ
ーン本体２の接合作用面３周りの面が接合対象品と接触
しないので、最適である。仮想線Ｌｌは振動振幅の変位
を示す波形である。
ついて説明する。接合作用面３はホーン本体２における
中央の最大振動振幅点ｆ３の位置でホーン本体２の外側
面に配置され、支持部４は最大振動振幅点ｆ３より左右
両側に等距離の最小振動振幅点ｆ２；ｆ４の位置でホー
ン本体２の外側面に配置される。接合作用面３がホーン
本体２の上下面に設けられ、支持部４がホーン本体２の
前後面に設けられるというように、接合作用面３と支持
部４とは互いに直交するようにホーン本体２に設けられ
る。接合作用面３は、上下面と同一面であっても上下面
より窪んでいても良いが、図示のようにホーン本体２の
上下面より突出していれば、厚さの薄い態合対象品を接
合する場合に、接合作用面３が接合対象品と接触し、ホ
ーン本体２の接合作用面３周りの面が接合対象品と接触
しないので、最適である。仮想線Ｌｌは振動振幅の変位
を示す波形である。
【００１２】 支持部４はホーン本体２にツール１の振
動方向Ｘと平行な線対称軸Ｌ２を軸として対称に設けら
れる。つまり、支持部４はホーン本体２の前後左右に配
置された対称形であって、支持部４の上下面は取付面と
して接合作用面３に対して傾斜する平坦な斜面５に形成
される。連結部６はホーン本体２と支持部４とを非接触
に連結するものであって、根元部７と先端部８と中間部
９とよりなるクランク形状である。接合作用面３は振動
方向Ｘに平行する平坦な平坦面である。上側に位置する
左右の斜面５は最大振動振幅点ｆ３を通る垂線Ｌ３上の
或る１つの一点Ｐ１で交差し、これら上側左右の斜面５
の垂線Ｌ３と成す角度θ１は同じである。下側に位置す
る左右の斜面５は垂線Ｌ３上のもう１つの一点Ｐ２で交
差し、これら下側左右の斜面５の垂線Ｌ３と成す角度θ
２は同じである。垂線Ｌ３は線対称軸Ｌ２と直交する。
動方向Ｘと平行な線対称軸Ｌ２を軸として対称に設けら
れる。つまり、支持部４はホーン本体２の前後左右に配
置された対称形であって、支持部４の上下面は取付面と
して接合作用面３に対して傾斜する平坦な斜面５に形成
される。連結部６はホーン本体２と支持部４とを非接触
に連結するものであって、根元部７と先端部８と中間部
９とよりなるクランク形状である。接合作用面３は振動
方向Ｘに平行する平坦な平坦面である。上側に位置する
左右の斜面５は最大振動振幅点ｆ３を通る垂線Ｌ３上の
或る１つの一点Ｐ１で交差し、これら上側左右の斜面５
の垂線Ｌ３と成す角度θ１は同じである。下側に位置す
る左右の斜面５は垂線Ｌ３上のもう１つの一点Ｐ２で交
差し、これら下側左右の斜面５の垂線Ｌ３と成す角度θ
２は同じである。垂線Ｌ３は線対称軸Ｌ２と直交する。
【００１３】連結部６のクランク形状は前後左右対象形
状であるが、左右同じ向きでも良い。根元部７は接合作
用面３より左右両側に等距離の最小振動振幅点ｆ２；ｆ
４の位置でホーン本体２より外側に振動方向Ｘと直交す
るようにまっすぐ突出する厚肉な板状である。先端部８
は支持部４の一端より振動方向Ｘと直交するようにまっ
すぐ突出する厚肉な板状である。中間部９は根元部７と
先端部８とを繋ぐものであって、振動方向Ｘと平行する
方向の薄肉な板状である。
状であるが、左右同じ向きでも良い。根元部７は接合作
用面３より左右両側に等距離の最小振動振幅点ｆ２；ｆ
４の位置でホーン本体２より外側に振動方向Ｘと直交す
るようにまっすぐ突出する厚肉な板状である。先端部８
は支持部４の一端より振動方向Ｘと直交するようにまっ
すぐ突出する厚肉な板状である。中間部９は根元部７と
先端部８とを繋ぐものであって、振動方向Ｘと平行する
方向の薄肉な板状である。
【００１４】上下クランパ２１；２２にツール１を組付
ける場合について説明すると、先ず、上クランパ２１が
図１の状態より裏返されて図外の作業台に載せられる。
つまり、作業台に載せられた上クランパ２１は４個所の
把持部２４が上方に向けられた格好である。その状態に
おいて、ツール１が図１の状態より裏返され、４個所の
支持部４における斜面５が上クランパ２１における４個
所の把持部２４の斜面２５に載せられる。このように４
個所の支持部４が４個所の把持知２４に載せられた状態
においては、ツール１の接合作用面３や連結部６は上ク
ランパ２１と非接触である。
ける場合について説明すると、先ず、上クランパ２１が
図１の状態より裏返されて図外の作業台に載せられる。
つまり、作業台に載せられた上クランパ２１は４個所の
把持部２４が上方に向けられた格好である。その状態に
おいて、ツール１が図１の状態より裏返され、４個所の
支持部４における斜面５が上クランパ２１における４個
所の把持部２４の斜面２５に載せられる。このように４
個所の支持部４が４個所の把持知２４に載せられた状態
においては、ツール１の接合作用面３や連結部６は上ク
ランパ２１と非接触である。
【００１５】次に、２個の下クランパ２２が図１の状態
より裏返され、２個の下クランパ２２における合計２個
所の把持部２８における斜面２９がツール１における４
個所の支持部４の斜面５に載せられる。このように４個
所の把持部２８が４個所の支持部４に載せられた状態に
おいては、ツール１の接合作用面３や連結部６は下クラ
ンパ２２と非接触である。
より裏返され、２個の下クランパ２２における合計２個
所の把持部２８における斜面２９がツール１における４
個所の支持部４の斜面５に載せられる。このように４個
所の把持部２８が４個所の支持部４に載せられた状態に
おいては、ツール１の接合作用面３や連結部６は下クラ
ンパ２２と非接触である。
【００１６】更に、上クランパ２１の把持部２４にはツ
ール１の支持部４が載り、ツール１の支持部４には下ク
ランパ２２の把持部２８が載せられ、上クランパ２１の
斜面２５とツール１の斜面５とが接触し、下クランパ２
２の斜面２９とツール１の斜面５とが接触した状態にお
いて、４本の弾性体３３が上下クランパ２１；２２のば
ね掛部３１；３２に掛け止められる。
ール１の支持部４が載り、ツール１の支持部４には下ク
ランパ２２の把持部２８が載せられ、上クランパ２１の
斜面２５とツール１の斜面５とが接触し、下クランパ２
２の斜面２９とツール１の斜面５とが接触した状態にお
いて、４本の弾性体３３が上下クランパ２１；２２のば
ね掛部３１；３２に掛け止められる。
【００１７】このように４本の弾性体３３が４個所のば
ね掛部３１；３２に係留された状態においては、弾性体
３３はツール１や上下クランパ２１；２２より離隔され
ており、弾性体３３は縮む方向のばね力を発生してお
り、係るばね力が上下クランパ２１；２２を互いに近づ
く方向に付勢する。これによって、図４及び図５に示す
ように、上下クランパ２１；２２がツール１を弾性作用
下で挟み付けるように支持する。図４において、ツール
１の下側の接合作用面３は下クランパ２２の下面よりも
下方に突出している。
ね掛部３１；３２に係留された状態においては、弾性体
３３はツール１や上下クランパ２１；２２より離隔され
ており、弾性体３３は縮む方向のばね力を発生してお
り、係るばね力が上下クランパ２１；２２を互いに近づ
く方向に付勢する。これによって、図４及び図５に示す
ように、上下クランパ２１；２２がツール１を弾性作用
下で挟み付けるように支持する。図４において、ツール
１の下側の接合作用面３は下クランパ２２の下面よりも
下方に突出している。
【００１８】図６を参照し、図４及び図５に示したツー
ル１を弾性体３３による弾性作用下で支持した上下クラ
ンパ２１；２２を使用する超音波振動接合装置４１につ
いて説明する。超音波振動接合装置４１の装置本体４２
はその前側下部に前方及び左右に開放された作業空間４
３を有し、作業空間４３の上部を区画した装置本体４２
の上部分の内部には加圧機構としてのエアシリンダ４４
を有する。エアシリンダ４４の下方に突出するピストン
ロッド４５の下端は作業空間４３に配置される。
ル１を弾性体３３による弾性作用下で支持した上下クラ
ンパ２１；２２を使用する超音波振動接合装置４１につ
いて説明する。超音波振動接合装置４１の装置本体４２
はその前側下部に前方及び左右に開放された作業空間４
３を有し、作業空間４３の上部を区画した装置本体４２
の上部分の内部には加圧機構としてのエアシリンダ４４
を有する。エアシリンダ４４の下方に突出するピストン
ロッド４５の下端は作業空間４３に配置される。
【００１９】作業空間４３に配置されたピストンロッド
４５の下端には図４のツール１を弾性体３３による弾性
作用下で支持した上下クランパ２１；２２が取付けられ
る。作業空間４３の背部を区画した装置本体４２の下部
分は超音波振動接合装置４１を製造ライン等に組付ける
ためのベースを構成する定盤４６の上に設置される。作
業空間４３の下部分を区画した定盤４６の上面には受台
４７が設置される。
４５の下端には図４のツール１を弾性体３３による弾性
作用下で支持した上下クランパ２１；２２が取付けられ
る。作業空間４３の背部を区画した装置本体４２の下部
分は超音波振動接合装置４１を製造ライン等に組付ける
ためのベースを構成する定盤４６の上に設置される。作
業空間４３の下部分を区画した定盤４６の上面には受台
４７が設置される。
【００２０】超音波振動接合装置４１を用いた、超音波
振動接合のやり方について説明する。ツール１の組付け
られた支持装置２０がピストンロッド４５の下端に取付
けられ、ツール１と振動子３５とが無頭ねじ３６により
結合される。この結合はツール１の一端と振動子３５の
出力端とが接触した形態である。又、受台４７の上には
金属よりなる複数の接合対象部材５１；５２が互いに重
ね合されて搭載される。
振動接合のやり方について説明する。ツール１の組付け
られた支持装置２０がピストンロッド４５の下端に取付
けられ、ツール１と振動子３５とが無頭ねじ３６により
結合される。この結合はツール１の一端と振動子３５の
出力端とが接触した形態である。又、受台４７の上には
金属よりなる複数の接合対象部材５１；５２が互いに重
ね合されて搭載される。
【００２１】その状態において、支持装置２０がエアー
シリンダ４４の動作により図４の矢印Ｙ方向に下降し、
接合作用面３と受台４７とが接合対象部材５１；５２を
加圧保持すると共に、振動子３５から出力された超音波
振動がツール１に伝達し、接合作用面３が矢印Ｘ方向に
振動し、この振動が接合作用面３から接合対象部材５
１；５２に伝達し、接合対象部材５１；５２の合せ面が
接合作用面３と受台４７とで加圧されたまま横方向に互
い違いに振動して活性化されつつ接合される。
シリンダ４４の動作により図４の矢印Ｙ方向に下降し、
接合作用面３と受台４７とが接合対象部材５１；５２を
加圧保持すると共に、振動子３５から出力された超音波
振動がツール１に伝達し、接合作用面３が矢印Ｘ方向に
振動し、この振動が接合作用面３から接合対象部材５
１；５２に伝達し、接合対象部材５１；５２の合せ面が
接合作用面３と受台４７とで加圧されたまま横方向に互
い違いに振動して活性化されつつ接合される。
【００２２】第１実施形態の構造によれば、弾性体３３
による弾性作用下で、しかも、斜面５と斜面２５とが互
いに接触し、斜面５と斜面２９とが互いに接触した状態
で、上下クランパ２１；２２がツール１の支持部４を上
下方向より把持した形態である。このため、互いに接触
し合った斜面５；２５；２９の楔作用により、上下クラ
ンパ２１；２２に対するツール１０１の位置出しが正確
にでき、接合対象部材５１；５２を適切に接合すること
ができる。
による弾性作用下で、しかも、斜面５と斜面２５とが互
いに接触し、斜面５と斜面２９とが互いに接触した状態
で、上下クランパ２１；２２がツール１の支持部４を上
下方向より把持した形態である。このため、互いに接触
し合った斜面５；２５；２９の楔作用により、上下クラ
ンパ２１；２２に対するツール１０１の位置出しが正確
にでき、接合対象部材５１；５２を適切に接合すること
ができる。
【００２３】接合時において、上クランパ２１からツー
ル１に加重がかかることによって、根元部７に対するツ
ール１の最小振動振幅点ｆ２；ｆ４の位置が理論上の位
置よりずれて、根元部7が振動した場合であっても、中
間部９が根元部７から先端部８側への振動を吸収する。
よって、振動子３５で発生した超音波振動がツール１か
ら接合作用面３に効率良く適切に伝達でき、ツール１は
もとより上下クランパ２１；２２や弾性体３３及びピス
トンロッド４５ががたつくことはない。
ル１に加重がかかることによって、根元部７に対するツ
ール１の最小振動振幅点ｆ２；ｆ４の位置が理論上の位
置よりずれて、根元部7が振動した場合であっても、中
間部９が根元部７から先端部８側への振動を吸収する。
よって、振動子３５で発生した超音波振動がツール１か
ら接合作用面３に効率良く適切に伝達でき、ツール１は
もとより上下クランパ２１；２２や弾性体３３及びピス
トンロッド４５ががたつくことはない。
【００２４】ツール１が支持装置２０に両支持形態で取
付けられた場合において、一方の根元部７からもう一方
の根元部７までの支持間距離が共振周波数の１波長以内
に設定でき、ツール１が小形で軽量となる。例えば、接
合対象部材５１；５２が半導体チップと回路基板であっ
て、半導体チップを回路基板に超音波振動接合により面
実装したところ、半導体チップのバンプ数が少ないこと
から、接合加重が低加重の場合でも、接合時における接
合加重の制御がやりやすかった。半導体チップのバンプ
数が多く、接合加重が高加重の場合でも、支持間距離が
共振周波数の１波長以内に設定されたことにより、半導
体チップの回路基板への面実装に悪影響を及ぼすような
撓みがツール１に発生せず、半導体チップの全部のバン
プと回路基板の全部のパッドとが適切に接合していた。
付けられた場合において、一方の根元部７からもう一方
の根元部７までの支持間距離が共振周波数の１波長以内
に設定でき、ツール１が小形で軽量となる。例えば、接
合対象部材５１；５２が半導体チップと回路基板であっ
て、半導体チップを回路基板に超音波振動接合により面
実装したところ、半導体チップのバンプ数が少ないこと
から、接合加重が低加重の場合でも、接合時における接
合加重の制御がやりやすかった。半導体チップのバンプ
数が多く、接合加重が高加重の場合でも、支持間距離が
共振周波数の１波長以内に設定されたことにより、半導
体チップの回路基板への面実装に悪影響を及ぼすような
撓みがツール１に発生せず、半導体チップの全部のバン
プと回路基板の全部のパッドとが適切に接合していた。
【００２５】図７は本発明の第２実施形態を示す。図７
に示すように、第２実施形態では、上クランパ２１には
腕部５５が下方に向けて延設され、腕部５５には下クラ
ンパ２２が図外のガイドを介して上下方向に移動可能に
装着され、腕部５５より内側に向けて突設されたばね受
部５６と下クランパ２２との隙間には弾性体５７が縮ん
だ状態で配置され、弾性体５７の下端が受部５６に接触
し、弾性体５７の上端が下クランパ２２と接触する。
に示すように、第２実施形態では、上クランパ２１には
腕部５５が下方に向けて延設され、腕部５５には下クラ
ンパ２２が図外のガイドを介して上下方向に移動可能に
装着され、腕部５５より内側に向けて突設されたばね受
部５６と下クランパ２２との隙間には弾性体５７が縮ん
だ状態で配置され、弾性体５７の下端が受部５６に接触
し、弾性体５７の上端が下クランパ２２と接触する。
【００２６】その状態において、弾性体５７が伸び方向
のばね力を発生しており、係るばね力が上下クランパ２
１；２２を互いに近づく方向に付勢する。これによっ
て、斜面５と斜面２５とが接触し、斜面５と斜面５と斜
面２９とが接触し、上下クランパ２１；２２がツール１
を弾性作用下で挟み付けるように支持し、ツール１の下
側の接合作用面３は受部５６の下面よりも下方に突出し
ており、第１実施形態と同様に互いに接触し合った斜面
５；２５；２９の楔作用により、上下クランパ２１；２
２に対するツール１の位置出しが正確にでき、接合対象
部材５１；５２を適切に接合することができる。
のばね力を発生しており、係るばね力が上下クランパ２
１；２２を互いに近づく方向に付勢する。これによっ
て、斜面５と斜面２５とが接触し、斜面５と斜面５と斜
面２９とが接触し、上下クランパ２１；２２がツール１
を弾性作用下で挟み付けるように支持し、ツール１の下
側の接合作用面３は受部５６の下面よりも下方に突出し
ており、第１実施形態と同様に互いに接触し合った斜面
５；２５；２９の楔作用により、上下クランパ２１；２
２に対するツール１の位置出しが正確にでき、接合対象
部材５１；５２を適切に接合することができる。
【００２７】各実施形態ではツール１を共振周波数の１
波長の長さとしたが、その整数倍でも良い。
波長の長さとしたが、その整数倍でも良い。
【００２８】各実施形態ではツール１の一端に振動子３
５を直接的に結合したが、ツール１に共振周波数の１／
２波長又は１／２波長の整数倍の長さを有する図外のブ
ースタを介在させて振動子３５を取付けても良い。この
場合、ツール１とブースタとが図１の無頭ねじ３６に相
当する無頭ねじで同軸状に結合される。又、ツール１が
接合作用面３を超音波ホーンと支持部４を有するブース
タとにより構成される構造でも同様に適用できる。この
場合、超音波ホーンとブースタとが無頭ねじ３６に相当
する無頭ねじにより同軸状に結合される。
５を直接的に結合したが、ツール１に共振周波数の１／
２波長又は１／２波長の整数倍の長さを有する図外のブ
ースタを介在させて振動子３５を取付けても良い。この
場合、ツール１とブースタとが図１の無頭ねじ３６に相
当する無頭ねじで同軸状に結合される。又、ツール１が
接合作用面３を超音波ホーンと支持部４を有するブース
タとにより構成される構造でも同様に適用できる。この
場合、超音波ホーンとブースタとが無頭ねじ３６に相当
する無頭ねじにより同軸状に結合される。
【００２９】中間部９にスロットや穴又はスリットを形
成して振動のバランスを調整することも可能である。
成して振動のバランスを調整することも可能である。
【００３０】ホーン本体２と接合作用面３と支持部４及
び連結部６等を単一ボディとしたが、ホーン本体２と接
合作用面３と支持部４及び連結部６等を別体に形成し、
ホーン本体２に接合作用面３と支持部４及び連結部６を
ねじ固定しても良い。
び連結部６等を単一ボディとしたが、ホーン本体２と接
合作用面３と支持部４及び連結部６等を別体に形成し、
ホーン本体２に接合作用面３と支持部４及び連結部６を
ねじ固定しても良い。
【００３１】複数の接合対象部材を受台４７に搭載した
後に接合作用面３と受台４７とで加圧するようにした
が、接合作用面３に吸引孔を形成して、吸引手段による
吸引動作で接合作用面３に図６の一方の接合対象部材５
１を吸着し、図６の他方の接合対象部材５２を受台４７
の上に載せておき、エアーシリンダ４４の下降動作によ
るツール１の下降により、接合対象部材５１を接合対象
部材５２に重ね合せつつ加圧する構造も適用できる。
後に接合作用面３と受台４７とで加圧するようにした
が、接合作用面３に吸引孔を形成して、吸引手段による
吸引動作で接合作用面３に図６の一方の接合対象部材５
１を吸着し、図６の他方の接合対象部材５２を受台４７
の上に載せておき、エアーシリンダ４４の下降動作によ
るツール１の下降により、接合対象部材５１を接合対象
部材５２に重ね合せつつ加圧する構造も適用できる。
【００３２】この場合、ツール１の接合作用面３以外の
外側面には吸引手段のホースが接続されるホース接続部
が設けられ、ツール１の内部には吸引孔とホース接続部
とに連なる吸引通路が形成される。又、接合作用面３に
吸着される接合対象部材５１が半導体チップのように小
形の場合には、接合作用面３に小径の吸引孔を有する接
合チップをろう付け等により接合しても良い。又、図２
の最小振動振幅点ｆ２；ｆ４（図１参照）の位置でツー
ル１の上面よりツール１の内部に連なるヒータ用孔を設
け、ヒータ用孔に挿入装着した電熱ヒータでツール１を
加熱することにより、超音波振動による接合エネルギー
と電熱ヒータによる接合エネルギーとの双方で複数の接
合対象部材を接合することも可能である。
外側面には吸引手段のホースが接続されるホース接続部
が設けられ、ツール１の内部には吸引孔とホース接続部
とに連なる吸引通路が形成される。又、接合作用面３に
吸着される接合対象部材５１が半導体チップのように小
形の場合には、接合作用面３に小径の吸引孔を有する接
合チップをろう付け等により接合しても良い。又、図２
の最小振動振幅点ｆ２；ｆ４（図１参照）の位置でツー
ル１の上面よりツール１の内部に連なるヒータ用孔を設
け、ヒータ用孔に挿入装着した電熱ヒータでツール１を
加熱することにより、超音波振動による接合エネルギー
と電熱ヒータによる接合エネルギーとの双方で複数の接
合対象部材を接合することも可能である。
【００３３】斜面５は支持部４の上面又は下面の何れか
に設け、支持部４の斜面５に対応する斜面を上下クラン
パ２１；２２のどちらかに設けても同様に適用できる。
例えば、支持部４の上面を斜面５に形成し、支持部４の
下面を接合作用面３と平行する平坦な平坦面に形成した
場合は、上クランパ２１に斜面２５を形成し、下クラン
パ２２の把持部２８の上面は支持部４の平坦面と対応す
る平坦面に形成する。
に設け、支持部４の斜面５に対応する斜面を上下クラン
パ２１；２２のどちらかに設けても同様に適用できる。
例えば、支持部４の上面を斜面５に形成し、支持部４の
下面を接合作用面３と平行する平坦な平坦面に形成した
場合は、上クランパ２１に斜面２５を形成し、下クラン
パ２２の把持部２８の上面は支持部４の平坦面と対応す
る平坦面に形成する。
【００３４】又、図８に示すように、支持部４の上面を
接合作用面３と平行する平坦な平坦面６１に形成し、支
持部４の下面を斜面５に形成した場合は、上クランパ２
１の把持部２４の下面は支持部４の平坦面６１と対応す
る平坦面６２に形成し、下クランパ２２に斜面２９を形
成する。この図８の場合には、上クランパ２１からの加
重が斜めの分力を生じることなくツール１の支持部４に
垂直方向に加わり、支持部４が振動方向Ｘに移動するよ
うな斜めの外力を受けることがなく、接合時における接
合加重の制御が最善にやりやすかった。
接合作用面３と平行する平坦な平坦面６１に形成し、支
持部４の下面を斜面５に形成した場合は、上クランパ２
１の把持部２４の下面は支持部４の平坦面６１と対応す
る平坦面６２に形成し、下クランパ２２に斜面２９を形
成する。この図８の場合には、上クランパ２１からの加
重が斜めの分力を生じることなくツール１の支持部４に
垂直方向に加わり、支持部４が振動方向Ｘに移動するよ
うな斜めの外力を受けることがなく、接合時における接
合加重の制御が最善にやりやすかった。
【００３５】斜面５の傾斜はツール１の中央側から両端
側に行くに従って支持部４の上下幅が徐々に大きくなる
ように、図１の傾斜と逆向きでも良い。この場合、逆向
きの斜面５と接触する斜面２５；２９の傾斜も図１と逆
向きとなる。
側に行くに従って支持部４の上下幅が徐々に大きくなる
ように、図１の傾斜と逆向きでも良い。この場合、逆向
きの斜面５と接触する斜面２５；２９の傾斜も図１と逆
向きとなる。
【図１】 本発明の第１実施形態を示す分解斜視図。
【図２】 同第１実施形態の共振器を示す上面図。
【図３】 同第１実施形態の共振器を示す正面図。
【図４】 同第１実施形態の組立正面図。
【図５】 同第１実施形態の組立右側面図。
【図６】 同第１実施形態の超音波接合装置を示す正面
図。
図。
【図７】 本発明の第２実施形態の組立右側面図。
【図８】 本発明の第３実施形態の組立正面図。
【図９】 従来の共振器支持装置を示す斜視図。
１ ツール
２ ホーン本体
４ 支持部
５ 斜面
６１；６２平坦面
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｂ２３Ｋ 20/10 Ｂ２３Ｋ 20/10
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/607
H01L 21/60 311
B06B 1/00 - 3/04
B23K 20/00 - 20/26
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の重ね合された接合対象部材を超音
波振動で接合するための超音波振動接合用ツールであっ
て、ホーン本体と、ホーン本体の１つの最大振動振幅点
でホーン本体の上面または下面に設けられた接合作用部
と、接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れ
た２つの最小振動振幅点でホーン本体の前後面に突出し
て設けられた支持部と、支持部の上下面に取付面として
形成された斜面とを備え、支持部の上面における接合作
用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた２つの最
小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方の支持部
の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を
通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら斜面の接
合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る垂線と成
す角度が同じである一方、支持部の下面における接合作
用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた２つの最
小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方の支持部
の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を
通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら斜面の接
合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る垂線と成
す角度が同じであることを特徴とする超音波振動接合用
ツール。 - 【請求項２】 複数の重ね合された接合対象部材を超音
波振動で接合するための超音波振動接合用ツールであっ
て、ホーン本体と、ホーン本体の１つの最大振動振幅点
でホーン本体の上面または下面に設けられた接合作用部
と、接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れ
た２つの最小振動振幅点でホーン本体の前後面に突出し
て設けられた支持部と、支持部の下面に取付面としてホ
ーン本体の接合作用面と平行に形成された平坦面と、支
持部の上面に取付面として形成された斜面とを備え、接
合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた２つ
の最小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方の支
持部の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動振幅
点を通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら斜面
の接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る垂線
と成す角度が同じであることを特徴とする超音波振動接
合用ツール。 - 【請求項３】 複数の重ね合された接合対象部材を超音
波振動で接合するための超音波振動接合用ツールであっ
て、ホーン本体と、ホーン本体の１つの最大振動振幅点
でホーン本体の上面または下面に設けられた接合作用部
と、接合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れ
た２つの最小振動振幅点でホーン本体の前後面に突出し
て設けられた支持部と、支持部の上面の取付面としてホ
ーン本体の接合作用面と平行に形成された平坦面と、支
持部の下面に取付面として形成された斜面とを備え、接
合作用部より超音波振動の振動方向の両側に離れた２つ
の最小振動振幅点の一方の支持部の斜面と前記他方の支
持部の斜面とが接合作用部に対する１つの最大振動振幅
点を通る垂線上の或る１つの一点で交差し、これら斜面
の接合作用部に対する１つの最大振動振幅点を通る垂線
と成す角度が同じであることを特徴とする超音波振動接
合用ツール。 - 【請求項４】 請求項１記載の超音波振動接合用ツール
を支持するための支持装置であって、上下方向より支持
可能に分割された上下クランパ及び弾性体を備え、上ク
ランパは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応
して下方に突出する把持部と超音波振動接合用ツールに
おける支持部の上面に取付面として形成された斜面に接
触する把持部の下面たる斜面を備えた単一ボディとして
形成され、下クランパは前後に分割されており、下クラ
ンパのそれぞれは超音波振動接合用ツールにおける支持
部に対応して上方に突出する把持部と超音波振動接合用
ツールにおける支持部の下面に取付面として形成された
斜面と接触する把持部の上面たる斜面とを備え、弾性体
が上下クランパを互いに近づく方向に付勢するばね力を
上下クランパに付与することを特徴とする支持装置。 - 【請求項５】 請求項２記載の超音波振動接合用ツール
を支持するための支持装置であって、上下方向より支持
可能に分割された上下クランパ及び弾性体を備え、上ク
ランパは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応
して下方に突出する把持部と超音波振動接合用ツールに
おける支持部の上面に取付面として形成された斜面に接
触する把持部の下面たる斜面を備えた単一ボディとして
形成され、下クランパは前後に分割されており、下クラ
ンパのそれぞれは超音波振動接合用ツールにおける支持
部に対応して上方に突出する把持部と超音波振動接合用
ツールにおける支持部の下面に取付面として形成された
平坦面 と接触する把持部の上面たる平坦面とを備え、弾
性体が上下クランパを互いに近づく方向に付勢するばね
力を上下クランパに付与することを特徴とする支持装
置。 - 【請求項６】 請求項３記載の超音波振動接合用ツール
を支持するための支持装置であって、上下方向より支持
可能に分割された上下クランパ及び弾性体を備え、上ク
ランパは超音波振動接合用ツールにおける支持部に対応
して下方に突出する把持部と超音波振動接合用ツールに
おける支持部の上面に取付面として形成された平坦面に
接触する把持部の下面たる平坦面を備えた単一ボディと
して形成され、下クランパは前後に分割されており、下
クランパのそれぞれは超音波振動接合用ツールにおける
支持部に対応して上方に突出する把持部と超音波振動接
合用ツールにおける支持部の下面に取付面として形成さ
れた斜面と接触する把持部の上面たる斜面とを備え、弾
性体が上下クランパを互いに近づく方向に付勢するばね
力を上下クランパに付与することを特徴とする支持装
置。
Priority Applications (8)
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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-
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- 2000-07-27 JP JP2000227813A patent/JP3492298B2/ja not_active Expired - Fee Related
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