JP4564548B2 - 超音波振動接合用共振器とそれを支持する支持装置 - Google Patents
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- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 31
- 230000009916 joint effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 15
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 11
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description
図10おいて、支持装置85の把持部86が共振器87の支持部88を線状に支えている。しかしながら、上下に相対峙する複数対に構成された把持部86が1つの支持部88の上下方向から支持する構造であるので、支持装置85の構造が複雑になるという欠点がある。しかも、支持部88の把持部86と接触する上下面が互いに平行な面に構成されているので、共振器の横方向の位置が決まらないという欠点がある。
Claims (4)
- 共振本体と、共振本体の1つの最大振動振幅点で共振本体の上下面に設けられた接合作用部と、接合作用部から超音波振動の振動方向の両側に離れた2つの最小振動振幅点で共振本体の前後面に突出して設けられた支持部とを備えた超音波振動接合用共振器において、支持部が前面から見られた場合において上下の水平面と上下の斜面と左右の縦面とからなる六角形を呈し、水平面は接合作用部の接合作用面と平行し、接合作用部から超音波振動の振動方向の両側に離れた2つの最小振動振幅点の一方における支持部の上方の斜面と他方における支持部の上方の斜面とが接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線上の或る一点で交差し、接合作用部から超音波振動の振動方向の両側に離れた2つの最小振動振幅点の一方における支持部の下方の斜面と他方における支持部の下方の斜面とが接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線上の或る一点で交差し、これら上方の斜面の接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線と成す角度と下方の斜面の接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線と成す角度とが同じであることを特徴とする超音波振動接合用共振器。
- 共振本体と、共振本体の1つの最大振動振幅点で共振本体の上下面に設けられた工具取付部と、上下面における工具取付部の一方にねじで取り付けられた接合作用部と、接合作用部から超音波振動の振動方向の両側に離れた2つの最小振動振幅点で共振本体の前後面に突出して設けられた支持部とを備えた超音波振動接合用共振器において、支持部が前面から見られた場合において上下の水平面と上下の斜面と左右の縦面とからなる六角形を呈し、水平面は接合作用部の接合作用面と平行し、接合作用部から超音波振動の振動方向の両側に離れた2つの最小振動振幅点の一方における支持部の上方の斜面と他方における支持部の上方の斜面とが接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線上の或る一点で交差し、接合作用部から超音波振動の振動方向の両側に離れた2つの最小振動振幅点の一方における支持部の下方の斜面と他方における支持部の下方の斜面とが接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線上の或る一点で交差し、これら上方の斜面の接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線と成す角度と下方の斜面の接合作用部に対する1つの最大振動振幅点を通る垂線と成す角度とが同じであることを特徴とする超音波振動接合用共振器。
- 請求項1または請求項2の超音波振動接合用共振器を支持するための支持装置であって、上基盤と前後に分かれた下基盤と弾性体とを備え、上基盤は超音波振動接合用共振器における支持部の上方の水平面に点状または前後方向の線状に接触する把持部を1個の支持部に対し1個割り当てるように合計4個備え、下基盤は超音波振動接合用共振器における支持部の下方の斜面に点状または前後方向の線状に接触する把持部を1個の支持部に対し1個割り当てるように合計4個備え、弾性体が上基盤と下基盤とを互いに近づく方向に付勢する弾性を上基盤と下基盤とに付与することを特徴とする支持装置。
- 上基盤にはガイド棒が下方に突出して設けられ、下基盤には上基盤のガイド棒を昇降可能に受容するガイド孔が上方から下方への窪みまたは貫通孔として設けられるか、または、上基盤にはガイド孔が下方から上方への窪みまたは貫通孔として設けられ、下基盤には上基盤のガイド孔に昇降可能に受容されるガイド棒が上方に突出して設けられたことを特徴とする請求項3記載の支持装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008117796A JP4564548B2 (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 超音波振動接合用共振器とそれを支持する支持装置 |
DE08015730T DE08015730T1 (de) | 2008-04-28 | 2008-09-05 | Ultraschallschwingungsbindungsresonator |
EP08015730A EP2113331B1 (en) | 2008-04-28 | 2008-09-05 | Ultrasonic vibration bonding resonator |
US12/207,729 US7854247B2 (en) | 2008-04-28 | 2008-09-10 | Ultrasonic vibration bonding resonator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008117796A JP4564548B2 (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 超音波振動接合用共振器とそれを支持する支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009267265A JP2009267265A (ja) | 2009-11-12 |
JP4564548B2 true JP4564548B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=40901799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008117796A Active JP4564548B2 (ja) | 2008-04-28 | 2008-04-28 | 超音波振動接合用共振器とそれを支持する支持装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7854247B2 (ja) |
EP (1) | EP2113331B1 (ja) |
JP (1) | JP4564548B2 (ja) |
DE (1) | DE08015730T1 (ja) |
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-
2008
- 2008-04-28 JP JP2008117796A patent/JP4564548B2/ja active Active
- 2008-09-05 EP EP08015730A patent/EP2113331B1/en active Active
- 2008-09-05 DE DE08015730T patent/DE08015730T1/de active Pending
- 2008-09-10 US US12/207,729 patent/US7854247B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20090266869A1 (en) | 2009-10-29 |
US7854247B2 (en) | 2010-12-21 |
EP2113331A1 (en) | 2009-11-04 |
EP2113331B1 (en) | 2013-04-03 |
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DE08015730T1 (de) | 2010-02-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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