JPH09314359A - 超音波接合装置の共振器用支持具 - Google Patents

超音波接合装置の共振器用支持具

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JPH09314359A
JPH09314359A JP13215396A JP13215396A JPH09314359A JP H09314359 A JPH09314359 A JP H09314359A JP 13215396 A JP13215396 A JP 13215396A JP 13215396 A JP13215396 A JP 13215396A JP H09314359 A JPH09314359 A JP H09314359A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの被接合部分を加圧保持する共振器の
接合作用部の下面とワーク搭載台の上面との正確な平行
度を容易に出す。 【解決手段】 ホルダー2のアーム部2aに装着した支
持具5の内孔5fに、共振器4の両端部を挿入すると共
に、共振器4を下降して、接合作用部4dの下面をワー
ク搭載台7の上面に接触させ、共振器4を左右に移動し
て接合作用部4dをホルダー2の昇降中心線L1上に位
置合わせして、ナット5cを締め込むと、楔外筒5bが
凹部2bより受ける押し縮める方向の外力と、楔外筒5
bと楔内筒5aとによる楔作用とにより、ナット5cの
締まり方向に共振器4が回るのを防ぐと共に、共振器4
を均一に締め付けて昇降中心線L1と直交する水平な1
本の直線L2上で同軸に両端支持に装着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は超音波接合装置の
昇降可能なホルダーに共振器を両端支持に装着する支持
具に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波接合装置としては、装置本
体にアクチュエータを介して昇降可能に取り付けられた
ホルダーの左右に相対峙するアーム部に、振動子が発生
した超音波振動に共振する共振器を両端支持に装着し、
ホルダーの下降により共振器の接合作用部とこれの下方
に配置されたワーク搭載台とでそれらの間に複数のワー
クの互いに重ね合わされた被接合部分を加圧保持して、
共振器が振動子で発生した超音波振動に共振してワーク
の重ね合わせ面を接合するようにしたものが知られてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の超
音波接合装置において、ホルダーに共振器を両端支持に
装着するには、ホルダーのアーム部に貫通孔を形成し、
この貫通孔の周壁を形成するアーム部にスリットを入れ
て、当該貫通孔の周壁を1カ所切り離することにより、
アーム部の弾性作用で貫通孔の内径を拡開させ、この貫
通孔に共振器の両端部を挿入した後に、スリットを境と
するアーム部の一片部から他片部にねじを締結すること
で、貫通孔の内径を縮小して、共振器の両端部を支持す
ることからねじを締結する過程で共振器に捩れを生じた
り、ねじの締め過ぎや不足により共振器に片寄った応力
が発生して、ワークの被接合部分を加圧保持する共振器
の接合作用部の下面とワーク搭載台の上面との平行度を
出すのに、多大な労力と時間を要していた。
【0004】そこで、この発明はナットを締め付けるこ
とで、楔外筒がホルダーのアーム部の凹部より受ける押
し縮める方向の外力と、楔内筒と楔外筒とによる楔作用
とで、捩れや片寄った応力が発生することなく、共振器
の両端部をホルダーのアーム部に同軸状に支持して、ワ
ークの被接合部分を加圧保持する共振器の接合作用部の
下面とワーク搭載台の上面との平行度を容易に出すこと
ができる超音波接合装置の共振器用支持具を提唱しよう
とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の装置本体にア
クチュエータを介して昇降可能に取り付けられたホルダ
ーの左右に相対峙するアーム部に、振動子が発生した超
音波振動に共振する共振器を両端支持に装着し、ホルダ
ーの下降により共振器の接合作用部とこれの下方に配置
されたワーク搭載台とでそれらの間に複数のワークの互
いに重ね合わされた被接合部分を加圧保持して、共振器
が振動子で発生した超音波振動に共振してワークの重ね
合わせ面を接合する超音波接合装置の共振器用支持具
は、ホルダーのアーム部に左右に開口状に形成された凹
部に内接嵌合する楔外筒と、この楔外筒に内接嵌合して
共振器の両端部を内接嵌合する内孔を有する楔内筒と、
楔外筒の一端に形成された鍔部に回転可能に装着された
ナットとを備え、このナットの雌ねじ部を楔外筒より突
出する楔内筒の雄ねじ部に装着して、このナットを締め
込む方向に回転操作することにより、楔外筒がホルダー
の凹部より受ける押し縮める方向の外力と、楔内筒の楔
部と楔外筒の楔部とによる楔作用で、楔内筒の内孔の内
径を縮小して、共振器の両端部を支持するようにしたこ
とを特徴としている。この請求項1の構成によれば、ホ
ルダーの左右のアーム部に個別に装着した支持具の内孔
に、共振器の両端部を個別に挿入すると共に、共振器を
下降して、接合作用部の下面をワーク搭載台の上面又は
その上に載せたワークの被接合部分や被接合部分と同等
のダミー部材の上面に接触させた後に、共振器を左右に
移動して接合作用部をホルダーの昇降中心線上に位置す
るように位置合わせして、支持具のナットを締め込むこ
とにより、楔外筒がホルダーの凹部より受ける押し縮め
る方向の外力と、楔外筒と楔内筒とによる楔作用とによ
り、ナットの締まり方向に共振器が回るのを防ぐと共
に、楔内筒の内孔が縮小して真円となって共振器の両端
部を均一に締め付けて、共振器をホルダーにその昇降中
心線と直交する水平な1本の直線を中心とした同軸状で
両端支持状態に装着することができて、共振器の接合作
用部の下面とワーク搭載台の上面との平行度を正確に出
すことができ、ワーク搭載台と共振器の接合作用部とで
ワークの被接合部分を均一に加圧保持して、共振器を振
動子で発生した超音波振動に共振してワークを適正に重
ね合わ接合することができる。前記アーム部の凹部の底
部に凹部より小径な貫通孔を形成し、貫通孔と凹部との
境に環状の段差部を形成すれば、アーム部への支持具の
はめ込み深さが正確となり、支持具による共振器の締め
付けを安定させることができる。
【0006】
【発明の実施の形態】図1〜3は第1実施形態を示して
いる。先ず、図3において、超音波接合装置は、装置本
体1にエアーシリンダーのような加圧機能を有するアク
チュエータを介して昇降動作可能に取り付けられたホル
ダー2に、図外の超音波発生器から供給された電力によ
り所定周波数の縦波の超音波振動を発生して出力する電
気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子又は
磁歪素子等からなる電気音響変換器又は電気振動変換器
である振動子3が結合された共振器4を、同一形態の支
持具5を左右に介して両端支持状態に装着していて、装
置本体1の前部で前方及び左右に開放する作業空間6の
底部を形成するワーク搭載台7と、共振器4の中央に有
る接合作用部4dとで、それらの間に複数のワークが重
ね合わせられた被接合部分Wを加圧保持し、共振器4が
振動子3で発生した超音波振動に共振してワークの重ね
合わせ面を接合する。
【0007】この実施形態の場合、図1にも示すよう
に、ワーク搭載台7はその左右方向の中心を示す図外の
目印がホルダー2の昇降中心線L1と同軸状に配置され
ており、ワークの被接合部分Wを載せるワーク搭載台7
の上面はホルダー2の昇降中心線L1と直交する水平な
面性状を有している。
【0008】ホルダー2は複数のアーム部2aを左右に
所定間隔を以て相対峙するように連接した略コ字形に形
成されており、各アーム部2aにその外側面に開口する
真円形の凹部2bを形成し、各凹部2bの底部に凹部2
bより小径な貫通孔2cを形成し、貫通孔2cと凹部2
bとの境に環状の段差部2dを備えている。このホルダ
ー2の凹部2b、貫通孔2c、段差部2dは、ホルダー
2の昇降中心線L1と直交する水平な1本の直線L2を
中心とした同軸状に形成されている。
【0009】共振器4はホーン4aの両側にブースタ4
b,4cを図外のねじ孔と図外の無頭ボルトとで同軸状
に結合してある。ホーン4aは例えば振動子3から伝達
された超音波振動に共振する最大振動振幅点f3から最
大振動振幅点f7までの1波長の長さを有し、その中央
の最大振動振幅点f5に接合作用部4dを突設してあ
る。ワークの被接合部分Wに当接する接合作用部4dの
下面はワーク搭載台7の上面と平行する水平な面性状を
有している。一方のブースタ4bは振動子3から伝達さ
れた超音波振動に共振する最大振動振幅点f1から最大
振動振幅点f3までの1/2波長の長さを有し、その中
央の最小振動振幅点f2の部分より外側に屈曲して環状
に突出する支持部4eを備え、その端面に振動子3を図
外のねじ孔と図外の無頭ボルトとで同軸状に結合してあ
る。他方のブースタ4cは振動子3から伝達された超音
波振動に共振する最大振動振幅点f7から最大振動振幅
点f9までの1/2波長の長さを有し、その中央の最小
振動振幅点f8の部分より外側に屈曲して環状に突出す
る支持部4fを備えている。
【0010】又、図1〜2にも示すように、支持具5
は、楔内筒5aに楔外筒5bを外接嵌合し、楔外筒5b
の一端に形成された鍔部5hに回転可能に装着されたナ
ット5cの雌ねじ部5jを楔外筒5bより突出する楔内
筒5aの雄ねじ部5dにはめ込んであり、支持具5をホ
ルダー2の凹部2bに挿入して、ナット5cを締め込む
方向に回転操作すると、楔外筒5bがホルダー2の凹部
2bより受ける押し縮める方向の外力と、楔内筒5aの
楔部5eと楔外筒5bの楔部5iとによる楔作用で、楔
内筒5aの内径を絞れるように形成されている。
【0011】この実施形態の場合、楔内筒5aは、外周
面の一半分に雄ねじ部5dを形成し、他半分に雄ねじ部
5d側から反対側に行くに従って外径が徐々に大きくな
る楔部5eを備えている。この楔内筒5aは、ブースタ
4b,4cの支持部4e,4fの外径と略同一直径の真
円形の内孔5fを空けると共に、スリット5gを形成し
て周壁を一カ所切り離すことにより、その楔内筒5aの
弾性作用で、内孔5fの直径がその内部にブースタ4
b,4cの支持部4e,4fを摺接して収容し得る程度
に開いていると共に、楔部5eの大径な開口側の端部の
外径寸法がホルダー2の凹部2bの内径よりも小寸法に
開いている態様である。この楔内筒5aの雄ねじ部5
d、楔部5e、内孔5fは同軸状になっている。
【0012】楔外筒5bは、ホルダー2の凹部2bの内
径と略同一直径の真円形に形成された外周面の一端に環
状の鍔部5hを径方向外側に突出し、内周面に鍔部5h
側から反対側に行くに従って内径が徐々に大きくなる楔
部5iを備えている。この楔外筒5bは、鍔部5h以外
の外周面の外径をホルダー2の凹部2bの内径と略同一
内径の直径に形成すると共に、楔部5iを楔内筒5aの
楔部5eと同一の傾斜角度を有するように貫通形成した
態様で、その直径部分で2等分に分割されている。この
楔外筒5bの鍔部5h、楔部5iは同軸状になってい
る。
【0013】ナット5cは、楔外筒5bの反対側に位置
する一端部に楔内筒5aの雄ねじ部5dに嵌合する雌ね
じ部5jを有し、他端部に楔外筒5bの鍔部5h以外の
外周部を挿入する挿入孔5kを開口し、この挿入孔5k
と雌ねじ部5jとの間に楔外筒5bの鍔部5hを収容す
る環状の溝部5mを備えている。このナット5cの雌ね
じ部5j、溝部5m、貫通孔2cは一端から他端に向け
て同軸状に連接している。
【0014】この支持具5で共振器4をホルダー2に取
り付けるには、先ず、楔外筒5bの鍔部5hをナット5
cの挿入孔5kより溝部5mに挿入装着し、楔外筒5b
の楔部5iの大径な開口より楔内筒5aの雄ねじ部5d
を入れて、楔内筒5aの楔部5eを楔外筒5bの楔部5
iの内部に挿入し、この楔外筒5bの鍔部5h側の端部
より突出した楔内筒5aの雄ねじ部5dにナット5cを
はめ込むことで、楔内筒5a、楔外筒5b、ナット5c
が一体不可分となるように、支持具5を組み立てる。こ
の状態において、楔内筒5aの大径な開口側の端部は楔
外筒5bの大径な開口より外側に突出している。
【0015】次に、組み立てられた2個の支持具5をホ
ルダー2に装着する。それは、楔外筒5bの楔部5iの
大径な開口側の端部をホルダー2の凹部2bに外側より
挿入し、楔外筒5bより突出した楔内筒5aの大径な開
口側の端部をホルダー2の段差部2dに突き当てたま
ま、ナット5cを締め込むことで、楔外筒5bの外周面
をホルダー2の凹部2bの内周面に接触させると共に、
楔内筒5aの楔部5eと楔外筒5bの楔部5iとを互い
に接触させて、楔外筒5bがホルダー2の凹部2bより
受ける押し縮める方向の外力と、双方の楔部5e,5i
による楔作用とにより、楔内筒5aの内孔5fの直径が
その内部にブースタ4b,4cの支持部4e,4fを摺
接して収容し得る程度に開いている状態にする。この状
態において、楔外筒5bの大径な開口側の端部とホルダ
ー2の段差部2dとの間には隙間9が形成されており、
ナット5cはホルダー2のアーム部2aより離れてい
る。
【0016】引き続き、図1に示すように、共振器4の
振動子3の反対側に位置するブースタ4cを左側の支持
具5の内孔5fを経由して右側の支持具5の内孔5fに
挿入すると共に、振動子3側のブースタ4bを右側の支
持具5の内孔5fに挿入する。
【0017】その後、ワーク搭載台7にワークの被接合
部分Wと同じ厚さを持った部材を載せるか又は当該部材
をワーク搭載台7に載せないで、ホルダー2を下降し
て、共振器4の接合作用部4dをワーク搭載台7上の部
材又はワーク搭載台7に当接させることで、共振器4の
接合作用部4dとワーク搭載台7との平行度を取る。こ
の場合、ホルダー2を昇降するエアーシリンダーの空気
圧は共振器4、振動子3等を含む重さを有するホルダー
2が自重落下しない程度に低くしておく。そして、共振
器4を手で左右に移動して、共振器4の接合作用部4d
をワーク搭載台7の図外の目印に合わせることで、当該
接合作用部4dをホルダー2の昇降中心線L1上に位置
するように位置合わせを行う。
【0018】更に、共振器4の接合作用部4dをワーク
搭載台7上の部材又はワーク搭載台7に当接させて、共
振器4の接合作用部4dとワーク搭載台7との平行度を
保持したまま、ナット5cを締め込むことで、ナット5
cが楔外筒5bをホルダー2の段差部2d側に押圧し、
楔外筒5bがホルダー2の凹部2bより受ける押し縮め
る方向の外力と、双方の楔部5e,5iによる楔作用と
により、楔内筒5aのスリット5gの間隔が狭くなると
共に、楔内筒5aの内孔5fが縮小して真円となって共
振器4の支持部4e,4fの外周面を外側よりナット5
cの締まり方向に共振器4が回るのを防ぎながら締め付
ける。
【0019】この実施形態の構成によれば、ホルダー2
の左右のアーム部2aに個別に装着した支持具5の内孔
5fに、共振器4の両側のブースタ4b,4cの支持部
4e,4fを個別に挿入すると共に、共振器4を下降し
て、接合作用部4dの下面をワーク搭載台7の上面又は
その上に載せたワークの被接合部分Wの上面に接触させ
た後に、接合作用部4dをワーク搭載台7の図外の目印
に合わせてホルダー2の昇降中心線L1上に位置するよ
うに位置合わせした状態で、支持具5のナット5cを締
め込むと、楔外筒5bがホルダー2の凹部2bより受け
る押し縮める方向の外力と、双方の楔部5e,5iによ
る楔作用とにより、ナット5cの締まり方向に共振器4
が回るのを防ぐと共に、楔内筒5aの内孔5fが縮小し
て真円となり、その内孔5fの全内周面が共振器4の支
持部4e,4fの全外周面に接触して均一に締め付け
て、共振器4をホルダー2にその昇降中心線L1と直交
する水平な1本の直線L2を中心とした同軸状で両端支
持状態に装着することができて、共振器4の接合作用部
4dの下面とワーク搭載台7の上面との平行度を正確に
出すことができ、ワーク搭載台7と共振器4の接合作用
部4dとでワークの被接合部分Wを均一に加圧保持し
て、共振器4を振動子3で発生した超音波振動に共振し
てワークを適正に重ね合わ接合することができる。
【0020】図4は第2実施形態を示し、楔外筒5bに
相当する楔外筒5nが、鍔部5h側より切り込まれたす
り割り5pと、楔部5iの大径な開口側より切り込まれ
たすり割り5qとを備えて単一構成すれば、ナット5c
の溝部5mへの鍔部5hの挿入装着、ナット5cの締め
付けによる楔作用の発生に支障を招くことなく、部品の
管理を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1実施形態を示す断面図。
【図2】 同実施形態の要部を分解して示す斜視図。
【図3】 同実施形態の超音波接合装置を示す斜視図。
【図4】 第2実施形態の楔外筒を示す斜視図。
【符号の説明】
2 ホルダー、3 振動子、4 共振器、5 支持具、
5a 楔内筒 5b 楔外筒、5c ナット、7 ワーク搭載台、W
被接合部分

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 装置本体にアクチュエータを介して昇降
    可能に取り付けられたホルダーの左右に相対峙するアー
    ム部に、振動子が発生した超音波振動に共振する共振器
    を両端支持に装着し、ホルダーの下降により共振器の接
    合作用部とこれの下方に配置されたワーク搭載台とでそ
    れらの間に複数のワークの互いに重ね合わされた被接合
    部分を加圧保持して、共振器が振動子で発生した超音波
    振動に共振してワークの重ね合わせ面を接合する超音波
    接合装置の共振器用支持具であって、ホルダーのアーム
    部に左右に開口状に形成された凹部に内接嵌合する楔外
    筒と、この楔外筒に内接嵌合して共振器の両端部を内接
    嵌合する内孔を有する楔内筒と、楔外筒の一端に形成さ
    れた鍔部に回転可能に装着されたナットとを備え、この
    ナットの雌ねじ部を楔外筒より突出する楔内筒の雄ねじ
    部に装着して、このナットを締め込む方向に回転操作す
    ることにより、楔外筒がホルダーの凹部より受ける押し
    縮める方向の外力と、楔内筒の楔部と楔外筒の楔部とに
    よる楔作用で、楔内筒の内孔の内径を縮小して、共振器
    の両端部を支持するようにしたことを特徴とする超音波
    接合装置の共振器用支持具。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000077481A (ja) * 1998-09-02 2000-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd ボンディングツールおよびボンディング装置
US6815120B2 (en) 2000-04-10 2004-11-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Battery electrode and manufacturing method and apparatus for the same
US10583609B2 (en) 2016-08-20 2020-03-10 Ultex Corporation Vertical vibration joining apparatus
CN115415660A (zh) * 2022-08-31 2022-12-02 无锡安姆特科技有限公司 一种伺服电机加载式超声波点焊机

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3946610B2 (ja) * 2002-10-03 2007-07-18 株式会社アルテクス 超音波接合装置の共振器支持装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000077481A (ja) * 1998-09-02 2000-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd ボンディングツールおよびボンディング装置
US6815120B2 (en) 2000-04-10 2004-11-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Battery electrode and manufacturing method and apparatus for the same
US6972044B2 (en) 2000-04-10 2005-12-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Battery electrode and manufacturing method and apparatus for the same
US10583609B2 (en) 2016-08-20 2020-03-10 Ultex Corporation Vertical vibration joining apparatus
CN115415660A (zh) * 2022-08-31 2022-12-02 无锡安姆特科技有限公司 一种伺服电机加载式超声波点焊机
CN115415660B (zh) * 2022-08-31 2024-05-10 无锡安姆特科技有限公司 一种伺服电机加载式超声波点焊机

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