JP3514609B2 - 光半導体装置用リードフレームと光半導体装置 - Google Patents

光半導体装置用リードフレームと光半導体装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光半導体チップが
封止された光半導体装置を形成するための光半導体装置
用リードフレームと、該リードフレームを用いて形成さ
れた光半導体装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光半導体装置は、セラミックパッ
ケージ(セラミック製のパッケージ)又はメタルパッケ
ージ(メタル製のパッケージ)に、光半導体チップ及び
光ファイバの先端が固定されたシリコン製の基板が収納
された構造をしている。
【0003】ところで、上記セラミックパッケージ又は
メタルパッケージは、気密性等に優れているが、高価で
あって、一般の汎用の光半導体装置には、適さない。
【0004】このような課題を解決する装置として、リ
ードフレーム上に、LD(レーザーダイオード)、PD
(フォトダイオード)等の光半導体チップ及び該チップ
から発せられる光を受けたり該チップに光を投入したり
する光ファイバの先端が固定された基板を搭載して、そ
れらをリードフレームの一部と共に、モールド樹脂材等
の封止材に封止してなる、封止タイプの光半導体装置が
考えられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記封
止タイプの光半導体装置においては、光半導体チップ及
び光ファイバ先端が固定された基板をモールド樹脂材等
の封止材に、トランスファーモールド法、又はインジェ
クションモールド法を用いて、封止した場合に、基板か
ら延出する石英ガラス等からなる脆弱な光ファイバのフ
ァイバ中途部が、封止材に押されて、歪んだり、クラッ
クを生じたり、極端な場合には、断線したりしてしまっ
た。そして、そのファイバ中途部を光を効率良く確実に
伝えることができなくなったり、そのファイバ中途部を
光を伝えることができなくなったりした。
【0006】本発明は、このような課題に鑑みてなされ
たもので、封止タイプの光半導体装置に用いるリードフ
レームであって、モールド樹脂材等の封止材に封止する
基板から延出する光ファイバのファイバ中途部が歪んだ
り、クラックを生じたり、断線したりするのを防ぐこと
のできる光半導体装置用リードフレーム(以下、リード
フレームという)と、該リードフレームを用いて形成し
た封止タイプの光半導体装置とを提供することを目的と
している。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のリードフレームは、光半導体チップ及び光
ファイバの先端が固定される基板を搭載するためのステ
ージと、該ステージの周囲に備えられたリードであっ
て、前記光半導体チップの電極と電気的に接続するため
のリードと、前記ステージから延設された支持手段であ
って、前記基板から延出する前記光ファイバのファイバ
中途部をステージに対して所定部位に位置決めして固定
するための支持手段とが備えられたことを特徴としてい
る。
【0008】このリードフレームにおいては、基板から
延出する光ファイバのファイバ中途部を、ステージから
延設された支持手段により、ステージに対して所定部位
に動かぬように位置決めして固定できる。そして、その
ファイバ中途部をモールド樹脂材等の封止材に封止した
際に、そのファイバ中途部が、封止材に押されて、歪ん
だり、クラックを生じたり、断線したりするのを、支持
手段により防ぐことができる。
【0009】本発明のリードフレームにおいては、支持
手段が、U字状又はそれに近い形状のガイド溝を持ち、
該ガイド溝にファイバ中途部を嵌挿して、該ファイバ中
途部をステージに対して所定部位に位置決めするもので
あるか、又は、支持手段が、V字状又はそれに近い形状
のガイド溝を持ち、該ガイド溝にファイバ中途部を嵌挿
して、該ファイバ中途部をステージに対して所定部位に
位置決めするものであることを好適としている。
【0010】これらのリードフレームにあっては、支持
手段のU字状、V字状又はそれらに近い形状のガイド溝
にファイバ中途部を嵌挿して、該ファイバ中途部をステ
ージに対して所定部位に位置決めできる。
【0011】また、本発明のリードフレームにおいて
は、支持手段の側壁に、空隙が設けられた構造とするこ
とを好適としている。
【0012】このリードフレームにあっては、その支持
手段の側壁に設けられた空隙に、封止材を食いつかせた
状態に侵入させることができる。そして、支持手段を封
止材に動かぬように強固に封止できる。
【0013】また、本発明のリードフレームにおいて
は、支持手段が、塑性変形可能な部材で形成されてお
り、該支持手段の側壁をファイバ中途部周囲に巻き付け
て、該支持手段の内側にファイバ中途部を抱持して固定
するものであることを好適としている。
【0014】このリードフレームにあっては、その塑性
変形可能な部材で形成された支持手段の側壁を、ファイ
バ中途部周囲に巻き付けて、その支持手段の内側にファ
イバ中途部を抱持して固定できる。そして、そのファイ
バ中途部を、支持手段内側に動かぬようにかつファイバ
中途部が支持手段から抜け出ぬように強固に固定でき
る。
【0015】本発明の光半導体装置は、本発明のリード
フレームのステージに光半導体チップ及び光ファイバの
先端が固定された基板が搭載され、前記光半導体チップ
の電極が前記ステージの周囲に備えられたリードと接続
手段を介して電気的に接続され、前記基板から延出する
光ファイバのファイバ中途部が、前記ステージから延設
された支持手段により、ステージに対して所定部位に位
置決めされて固定され、さらに、前記基板に固定された
光半導体チップ及び光ファイバの先端が、絶縁性の封止
材に封止されてなることを特徴としている。さらには、
前記基板に固定された光半導体チップ及び光ファイバの
先端が、前記支持手段の内端と共に絶縁性の封止材に封
止されてなることを特徴としている。
【0016】この光半導体装置においては、基板から延
出する光ファイバのファイバ中途部を、支持手段によ
り、ステージに対して所定部位に動かぬように位置決め
して固定できる。そして、そのファイバ中途部をモール
ド樹脂材等の封止材に封止した際に、そのファイバ中途
部が、封止材に押されて、歪んだり、クラックを生じた
り、断線したりするのを、支持手段により防止できる。
【0017】また、基板から延出する光ファイバのファ
イバ中途部を、支持手段に固定できるため、そのファイ
バ中途部をモールド樹脂材等の封止材に封止した際に、
そのファイバ中途部が、封止材に押されて、支持手段か
ら抜け出るのを、防止できる。
【0018】また、基板に固定された光半導体チップ及
び光ファイバの先端を封止材に封止したり、さらには、
基板に固定された光半導体チップ及び光ファイバの先端
光ファイバのファイバ中途部が固定された支持手段の
内端と共に封止材に封止したりできるため、それらを、
互いに絶縁性を持たせて、封止材により一連に動かぬよ
うに固定できる。そして、基板に固定された光ファイバ
の先端と支持手段に固定された光ファイバのファイバ中
途部との間に外力等が加わって、光ファイバが断線等す
るのを、封止材により防止できる。それと共に、光半導
体チップや光ファイバの先端に塵埃が付着したり、湿気
が侵入したりして、それらの機能が損なわれるのを、封
止材により防止できる。
【0019】本発明の光半導体装置においては、ファイ
バ中途部が、支持手段に接着剤により固定されたり、又
は、ファイバ中途部周囲に支持手段の側壁が巻付けられ
て、該ファイバ中途部が、支持手段の内側に抱持されて
固定されたりした構造とすることを好適としている。
【0020】この光半導体装置にあっては、ファイバ中
途部が、接着剤により支持手段に固定されたり、ファイ
バ中途部周囲に支持手段の側壁が巻付けられて、ファイ
バ中途部が支持手段の内側に固定されたりしているた
め、その支持手段に固定されたファイバ中途部が、支持
手段の内側で動いたり、支持手段から抜け出たりするの
を防止できる。
【0021】本発明の光半導体装置においては、封止材
が、モールド樹脂材であることを好適としている。
【0022】この光半導体装置にあっては、封止材が一
般に広く用いられているモールド樹脂材であるため、従
来汎用のトランスファーモールド法、又はインジェクシ
ョンモールド法を用いて、基板に固定された光半導体チ
ップ及び光ファイバの先端を、ファイバ中途部が固定さ
れた支持手段の内端と共に、モールド樹脂材からなる封
止材に容易に封止できる。
【0023】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。図1は本発明のリードフレームの好適
な実施の形態を示し、図1はその斜視図である。以下
に、このリードフレームを説明する。
【0024】図において、10は、光半導体チップ20
及び光ファイバ30の先端が固定される基板40を搭載
するための、ステージである。ステージ10は、熱伝導
性の良いCu等で形成されている。
【0025】ステージ10周囲の左右の側部には、細帯
状のリード50が、複数本所定ピッチで横に並べて設け
られている。そして、それらのリード50に、ステージ
10に搭載された基板40に固定された光半導体チップ
20の電極をワイヤ等を介して電気的に接続できるよう
にしている。リード50は、導電性の良いCu等で形成
されている。光半導体チップ20の電極と電気的に接続
するリード50の内端には、Auめっき等が施されて、
該リード50の内端に光半導体チップ20の電極接続用
のワイヤ等を的確に接続できるようにしている。
【0026】ステージ10の前端には、基板40から延
出する光ファイバ30のファイバ中途部34をステージ
10に対して所定部位に位置決めして固定するための、
支持手段60が延設されている。
【0027】支持手段60は、図1に示したように、ス
テージ10の前端から延設された帯状の側壁62と、該
側壁の両側縁に起立させて延設された側壁64とから形
成されていて、その内側にU字状又はそれに近い形状の
ガイド溝90を有している。そして、そのガイド溝90
に光ファイバ30のファイバ中途部34を嵌挿すること
により、該ファイバ中途部34をステージ10に対して
所定部位に位置決めできるようにしている。支持手段6
0は、Cu等の塑性変形可能な部材で形成されていて、
その左右に起立する側壁64を支持手段60の内側に折
曲させて、支持手段60のU字状又はそれに近い形状の
ガイド溝90に嵌挿したファイバ中途部34の周囲に支
持手段の側壁64を巻き付けることができるようにして
いる。そして、ファイバ中途部34を支持手段60の内
側に抱持して固定できるようにしている。
【0028】ステージ10及びその周囲に配設された複
数本のリード50の周囲には、方形帯枠板状をしたガイ
ドレール70が配設されている。そして、そのガイドレ
ール70に、リード50の外端が支持されている。それ
と共に、そのガイドレール70に、ステージ10が、サ
ポートバー72を介して、支持されている。
【0029】図1に示したリードフレームは、以上のよ
うに構成されている。
【0030】次に、このリードフレームの使用例であっ
て、本発明の光半導体装置の好適な実施の形態を説明す
る。
【0031】図2ないし図4は本発明の光半導体装置の
好適な実施の形態を示し、図2はその一部破断斜視図、
図3はその支持手段周辺の拡大斜視図、図4はその支持
手段周辺の拡大側面図である。以下に、この光半導体装
置を説明する。
【0032】図の光半導体装置では、LD及びPD等の
2個の光半導体チップ20及び光ファイバ30の先端が
基板40に固定されている。
【0033】具体的には、図1と図2に示したように、
基板40が、シリコン等で形成されていて、該基板40
表面の縦方向にV溝42が刻設されている。そして、そ
のV溝42に、ファイバ芯32が露出した状態の光ファ
イバ30の先端が、嵌挿されている。そして、その光フ
ァイバ30の先端が、基板40のV溝42に沿って位置
決めされて固定されている。
【0034】V溝42先方の基板40表面部分には、L
D等の光半導体チップ20及び該チップモニター用のP
D等の光半導体チップ20の搭載部が設けられている。
そして、それらの搭載部に、該搭載部に付設された位置
決めマーク(図示せず)に倣って、LD等の光半導体チ
ップ20及び該チップモニター用のPD等の光半導体チ
ップ20が搭載されて固定されている。そして、そのL
D等の光半導体チップ20が発する光を、V溝42に嵌
挿されて固定された光ファイバ30の先端に伝えたり、
そのLD等の光半導体チップ20が発する光を、そのP
D等の光半導体チップ20によりモニターしたりできる
ようにしている。
【0035】光ファイバ30の先端とLD等の光半導体
チップ20の間、及びLD等の光半導体チップ20と該
チップモニター用のPD等の光半導体チップ20との間
には、光を透過可能な屈折率整合剤(図示せず)がポッ
テッング等されて、それらの間が屈折率整合剤で埋めら
れている。そして、それらの間に光を透過不可能な後述
の封止材80が侵入して、それらの間に光を伝えること
ができなくなるのを、屈折率整合剤により防止できるよ
うにしている。
【0036】LD及びPD等の2個の光半導体チップ2
0及び光ファイバ30の先端が固定された基板40は、
前述図1に示したリードフレームのステージ10に搭載
されて固定されている。
【0037】基板40に固定された光半導体チップ20
の電極は、その近くに配設されたステージ10周囲のリ
ード50の内端に、ワイヤ等の接続手段22を介して、
電気的に接続されている。
【0038】基板40から延出する光ファイバ30のフ
ァイバ中途部34は、ステージ10の前端に延設された
支持手段60のU字状又はそれに近い形状のガイド溝9
0に嵌挿されて、ステージ10に対して所定部位に位置
決めされている。そして、そのファイバ中途部34が、
支持手段60に固定されている。
【0039】具体的には、図3に示したように、ファイ
バ中途部34が、支持手段60に、接着剤66により、
固定されている。
【0040】又は、図4に示したように、Cu等の塑性
変形可能な部材で形成された支持手段60の左右に起立
する側壁64が支持手段60の内側に折曲されて、支持
手段60のU字状又はそれに近い形状のガイド溝90に
嵌挿されたファイバ中途部34周囲に支持手段の側壁6
4が巻付けられている。そして、そのファイバ中途部3
4が、支持手段60の内側に抜け出ぬように抱持されて
固定されている。
【0041】さらに、基板40に固定された光半導体チ
ップ20及び光ファイバ30の先端が、光ファイバ30
のファイバ中途部34が固定された支持手段60の内端
と共に、エポキシ樹脂、熱可塑性樹脂等のモールド樹脂
材からなるブロック状をした絶縁性の封止材80に封止
されている。そして、それらの光半導体チップ20、光
ファイバ30の先端、ファイバ中途部34が固定された
支持手段60の内端が、互いに絶縁性を持たせて、封止
材80により一連に動かぬように固定されている。
【0042】図2ないし図4に示した光半導体装置は、
以上のように構成されていて、この光半導体装置におい
ては、基板20から延出する光ファイバ30のファイバ
中途部34を、ステージ10から延設された支持手段6
0のU字状又はそれに近い形状のガイド溝90に嵌挿し
て、そのファイバ中途部34を、ステージ10に対して
所定部位に正確に位置決めできる。
【0043】また、基板40から延出する光ファイバ3
0のファイバ中途部34を支持手段60に固定できる。
そして、そのファイバ中途部34をモールド樹脂材等の
封止材80に封止した際に、そのファイバ中途部34
が、封止材80に押されて、歪んだり、クラックを生じ
たり、断線したりするのを、支持手段60により防止で
きる。
【0044】また、基板40から延出する光ファイバ3
0のファイバ中途部34を、支持手段60に固定できる
ため、そのファイバ中途部34をモールド樹脂材等の封
止材80に封止した際に、そのファイバ中途部34が、
封止材80に押されて、支持手段60から抜け出るの
を、防止できる。
【0045】また、基板40に固定された光ファイバ3
0の先端と支持手段60に固定された光ファイバ30の
ファイバ中途部34とを、封止材80を介して、互いに
動かぬように強固に固定できる。そして、光ファイバ3
0の先端と光ファイバ30のファイバ中途部34との間
に外力等が加わって、光ファイバ30が断線等するの
を、封止材80により防止できる。それと共に、光半導
体チップ20や光ファイバ30の先端に、塵埃が付着し
たり、湿気が侵入したりして、それらの機能が損なわれ
るのを、封止材80により防止できる。
【0046】なお、前述リードフレーム又は上述光半導
体装置においては、図5に示したように、支持手段60
を、V字状又はそれに近い形状(図では、V字状に近い
形状としている)のガイド溝92を持つ構造に形成して
も良い。そして、その支持手段60のガイド溝92に沿
ってファイバ中途部34を嵌挿することにより、該ファ
イバ中途部34をステージ10に対して所定部位に正確
に位置決めできるようにしても良い。
【0047】また、支持手段60の側壁62、64に
は、図6に示したように、1個ないし複数個のU字状等
をした空隙68を設けても良い。そして、その空隙68
に、封止材80を食いつかせた状態に侵入させて、支持
手段60を封止材80に動かぬように強固に封止できる
ようにしても良い。
【0048】また、支持手段60は、塑性変形不可能な
部材で形成しても良い。そして、支持手段60のU字状
又はそれに近い形状のガイド溝90、あるいはV字状又
はそれに近い形状のガイド溝92に嵌挿したファイバ中
途部34を、支持手段60に接着剤66を用いて固定し
ても良く、そのようにしても、上述光半導体装置と同様
な作用を持つ装置を提供できる。
【0049】また、上述光半導体装置においては、封止
材80に、モールド樹脂材以外の、絶縁性のあるシリコ
ン樹脂材等を用いても良い。しかしながら、封止材80
に、一般に広く用いられているモールド樹脂材を用いれ
ば、従来汎用のトランスファーモールド法、又はインジ
ェクションモールド法により、基板40に固定された光
半導体チップ30及び光ファイバ30の先端を、ファイ
バ中途部34が固定された支持手段60の内端と共に、
モールド樹脂材からなる封止材80に容易かつ的確に封
止できて都合が良い。
【0050】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のリードフ
レーム、及び該リードフレームを用いた本発明の光半導
体装置によれば、基板から延出する光ファイバのファイ
バ中途部を、ステージから延設された支持手段により、
ステージに対して所定部位に動かぬように位置決めして
固定できる。そして、そのファイバ中途部を、モールド
樹脂材等の絶縁性のある封止材に、トランスファーモー
ルド法、又はインジェクションモールド法を用いて、封
止した場合に、そのファイバ中途部が、封止材に押され
て、歪んだり、クラックを生じたり、断線したりするの
を、確実に防ぐことができる。そして、その封止材に封
止した光ファイバのファイバ中途部を、光を効率良く確
実に伝達できる光半導体装置を提供可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリードフレームの斜視図である。
【図2】本発明の光半導体装置の一部破断斜視図であ
る。
【図3】本発明の光半導体装置の支持手段周辺の拡大斜
視図である。
【図4】本発明の光半導体装置の支持手段周辺の拡大側
面図である。
【図5】本発明のリードフレーム又は光半導体装置の支
持手段周辺の拡大側面図である。
【図6】本発明のリードフレーム又は光半導体装置の支
持手段周辺の拡大斜視図である。
【符号の説明】
10 ステージ 20 光半導体チップ 22 接続手段 30 光ファイバ 32 ファイバ芯 34 ファイバ中途部 40 基板 50 リード 60 支持手段 62、64 側壁 66 接着剤 68 空隙 70 ガイドレール 80 封止材 90 U字状又はそれに近い形状のガイド溝 92 V字状又はそれに近い形状のガイド溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/48 - 23/50,33/00 G02B 6/42

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光半導体チップ及び光ファイバの先端が
    固定される基板を搭載するためのステージと、該ステー
    ジの周囲に備えられたリードであって、前記光半導体チ
    ップの電極と電気的に接続するためのリードと、前記ス
    テージから延設された支持手段であって、前記基板から
    延出する前記光ファイバのファイバ中途部をステージに
    対して所定部位に位置決めして固定するための支持手段
    とが備えられ、支持手段が、該支持手段の側壁を前記フ
    ァイバ中途部周囲に巻き付けて、該支持手段の内側にフ
    ァイバ中途部を抱持して固定することのできる塑性変形
    可能な部材で形成されていることを特徴とする光半導体
    装置用リードフレーム。
  2. 【請求項2】 支持手段が、ファイバ中途部を嵌挿する
    U字状又はそれに近い形状のガイド溝を持つ請求項1記
    載の光半導体装置用リードフレーム。
  3. 【請求項3】 支持手段が、ファイバ中途部を嵌挿する
    V字状又はそれに近い形状のガイド溝を持つ請求項1記
    載の光半導体装置用リードフレーム。
  4. 【請求項4】 支持手段の側壁に、空隙が設けられた請
    求項1、2又は3記載の光半導体装置用リードフレー
    ム。
  5. 【請求項5】 光半導体チップ及び光ファイバの先端が
    固定される基板を搭載するためのステージと、該ステー
    ジの周囲に備えられたリードであって、前記光半導体チ
    ップの電極と電気的に接続するためのリードと、前記ス
    テージから延設された支持手段であって、前記基板から
    延出する前記光ファイバのファイバ中途部をステージに
    対して所定部位に位置決めして固定するための支持手段
    とが備えられ、支持手段が、該支持手段の側壁を前記フ
    ァイバ中途部周囲に巻き付けて、該支持手段の内側にフ
    ァイバ中途部を抱持して固定することのできる塑性変形
    可能な部材で形成されている光半導体装置用リードフレ
    ームのステージに、光半導体チップ及び光ファイバの先
    端が固定された基板が搭載され、前記光半導体チップの
    電極が前記ステージの周囲に備えられたリードに接続手
    段を介して電気的に接続され、前記基板から延出する前
    記光ファイバのファイバ中途部周囲に前記ステージから
    延設された支持手段の側壁が巻き付けられて、該支持手
    段の内側にファイバ中途部が、ステージに対して所定部
    位に位置決めされて抱持されて固定され、さらに、前記
    基板に固定された光半導体チップ及び光ファイバの先端
    が、前記支持手段の内端と共に絶縁性の封止材に封止さ
    れて、該封止材の外部に支持手段の外端と支持手段外方
    に延びる前記光ファイバの外端とが共に露出している
    とを特徴とする光半導体装置。
  6. 【請求項6】 光半導体チップ及び光ファイバの先端が
    固定される基板を搭載するためのステージと、該ステー
    ジの周囲に備えられたリードであって、前記光半導体チ
    ップの電極と電気的に接続するためのリードと、前記ス
    テージから延設されたU字状、V字状又はそれらに近い
    形状のガイド溝を持つ支持手段であって、前記基板から
    延出する前記光ファイバのファイバ中途部をステージに
    対して所定部位に位置決めして固定するための支持手段
    とが備えられた光半導体装置用リードフレームのステー
    ジに、光半導体チップ及び光ファイバの先端が固定され
    た基板が搭載され、前記光半導体チップの電極が前記ス
    テージの周囲に備えられたリードに接続手段を介して電
    気的に接続され、前記基板から延出する前記光ファイバ
    のファイバ中途部が前記ステージから延設された支持手
    段のガイド溝に嵌挿されて、該光ファイバのファイバ中
    途部が、ステージに対して所定部位に位置決めされて固
    定され、さらに、前記基板に固定された光半導体チップ
    及び光ファイバの先端が、前記支持手段の内端と共に絶
    縁性の封止材に封止されて、該封止材の外部に支持手段
    の外端と支持手段外方に延びる前記光ファイバの外端と
    が共に露出していることを特徴とする光半導体装置。
  7. 【請求項7】 ファイバ中途部が、支持手段に接着剤に
    より固定された請求項6記載の光半導体装置。
  8. 【請求項8】 封止材が、モールド樹脂材である請求項
    5、6又は7記載の光半導体装置。
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