KR100867571B1 - 전력용 반도체 모듈용 케이스 및 이를 이용한 전력용반도체 모듈의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 전력용 반도체 모듈용 케이스는, 전력용 반도체 모듈의 측면을 둘러싸는 사이드부, 및 사이드부와 결합되어 전력용 반도체 모듈의 상부를 덮되, 사이드부와의 결합을 위한 결합부를 갖는 덮개부를 구비한다. 특히 결합부는, 덮개부의 하부면에서 바 형태로 덮개부 하단 방향으로 향하도록 형성되며, 결합부 단부에는 꺽쇠가 형성된다.
Description
도 1은 종래의 전력용 반도체 모듈용 케이스의 외형을 나타내 보인 사시도이다.
도 2는 종래의 전력용 반도체 모듈용 케이스의 내부 구조를 나타내 보인 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈용 케이스를 나타내 보인 단면도이다.
도 4는 도 3의 "A" 부분을 확대하여 나타내 보인 도면이다.
도 5는 도 3의 전력용 반도체 모듈용 케이스의 덮개부와 사이드부가 분리되어 있는 상태를 나타내 보인 단면도이다.
도 6 내지 도 9는 도 3의 전력용 반도체 모듈용 케이스를 이용하여 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈의 제조 방법을 설명하기 위하여 나타내 보인 도면들이다.
본 발명은 전력용 반도체 모듈용 케이스 및 이를 이용한 전력용 반도체 모듈의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 전력용 반도체 모듈에는 베이스 기판(base substrate) 위에 탑재된 복수개의 전력용 반도체 칩들이 포함된다. 이 전력용 반도체 칩들은 외부 충격 등으로부터 보호되어야 하며, 이를 위하여 케이스를 사용하는 것이 일반적이다.
도 1은 종래의 전력용 반도체 모듈용 케이스의 외형을 나타내 보인 사시도이다. 그리고 도 2는 종래의 전력용 반도체 모듈용 케이스의 내부 구조를 나타내 보인 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 전력용 반도체 모듈용 케이스(100)는 덮개부(cover part)(110) 및 사이드부(side part)(120)를 포함하여 구성된다. 상기 덮개부(110) 및 사이드부(120)는 플라스틱 재질로 이루어진다. 전력용 반도체 모듈의 상부는 덮개부(110)에 의해 밀폐되고, 측면은 사이드부(120)에 의해 밀폐된다. 그리고 전력용 반도체 모듈의 하부는 베이스 기판(200)에 의해 밀폐된다. 즉 사이드부(120)의 상부에는 덮개부(110)가 부착되고, 하부에는 베이스 기판(200)이 부착된다. 통상적으로 베이스 기판(200)에는 반도체 칩(미도시)이 탑재된다. 상기 사이드부(120)와 덮개부(110)은 실리콘 접착제(130)에 의해 상부 부착된다. 그리고 전력용 반도체 모듈 내부 공간의 전기적 단자(140)는 덮개부(110)를 관통하여 전력용 반도체 모듈 외부로 노출된다.
그런데 이와 같은 종래의 전력용 반도체 모듈용 케이스(100)는 덮개부(110) 와 사이드(120)를 실리콘 접착제(130)를 사용하여 부착하여야 된다는 단점이 있다. 즉 실리콘 접착제(130)의 사용으로 인하여 전력용 반도체 모듈의 제조 비용이 증가하고 제조 단계도 더 복잡해지며, 실리콘 접착제(130)에 의한 접착이 원활이 이루어지지 않을 경우 소자의 신뢰성도 저하된다는 문제가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 실리콘 접착제를 사용하지 않음으로서 비용 절감 및 신뢰성 향상을 제공하는 전력용 반도체 모듈용 케이스를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 전력용 반도체 모듈용 케이스를 이용하여 전력용 반도체 모듈을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈용 케이스는, 전력용 반도체 모듈의 측면을 둘러싸는 사이드부; 및 상기 사이드부와 결합되어 상기 전력용 반도체 모듈의 상부를 덮되, 상기 사이드부와의 결합을 위한 결합부를 갖는 덮개부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 사이드부 및 덮개부는 플라스틱 재질로 이루어진 것이 바람직하다.
상기 결합부는, 상기 덮개부의 하부면에서 바 형태로 상기 덮개부 하단 방향으로 향하도록 형성된 것이 바람직하며, 이 경우 상기 결합부는, 단부에 형성된 꺽쇠를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈의 제조 방법은, 사이드부 및 덮개부를 구비하되, 상기 덮개부에 형성된 결합부에 의해 상기 사이드부 및 덮개부와의 결합을 체결하는 전력용 반도체 모듈용 케이스를 이용한 전력용 반도체 모듈의 제조 방법에 있어서, (가) 전력용 반도체 칩을 기판상에 부착시키는 단계; (나) 상기 전력용 반도체 칩과 상기 기판을 와이어를 사용하여 전기적으로 연결시키는 단계: (다) 상기 전력용 반도체 칩 및 와이어가 부착된 기판을 베이스 기판에 부착시키는 단계; (라) 상기 기판이 부착된 베이스 기판을 상기 케이스의 사이드부 하부에 부착시키는 단계; (마) 상기 사이드부의 상부로 돌출되도록 상기 기판상에 전기적 단자를 부착시키는 단계: 및 (바) 상기 전기적 단자가 상기 케이스의 덮개부 밖으로 돌출되도록 상기 덮개부의 결합부를 이용하여 상기 덮개부와 사이드부를 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 기판으로 DBC 기판을 사용하는 것이 바람직하다.
상기 단계 (다) 및 (마)는 솔더링을 사용하여 수행하는 것이 바람직하다.
상기 단계 (라)는 실리콘 접착제를 이용하여 수행하는 것이 바람직하다.
상기 단계 (마)를 수행한 후 실리콘 젤로 상기 사이드부의 내부를 봉합하는 단계를 더 포함는 것이 바람직하다.
이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안된다.
도 3은 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈용 케이스를 나타내 보인 단면도이다. 그리고 도 4는 도 3의 "A" 부분을 확대하여 나타내 보인 도면이다. 또한 도 5는 도 3의 전력용 반도체 모듈용 케이스의 덮개부와 사이드부가 분리되어 있는 상태를 나타내 보인 단면도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈용 케이스(300)는 덮개부(310) 및 사이드부(320)를 포함하여 구성된다. 덮개부(310) 및 사이드부(320)의 재질을 플라스틱이다. 덮개부(310)의 양 측면 하단부에는 결합부(311)가 형성된다. 이 결합부(311)는 바(bar) 형태로 덮개부(310) 하단 방향으로 향하도록 형성되며, 단부에는 꺽쇠가 수직으로 더 형성되어 사이드부(320)의 안쪽 상단부에 체결되어 결합된다. 특히, 상기 사이드부의 안쪽 상단부에는 수직으로 돌출된 돌출부가 더 형성되는데, 상기 결합부는 상기 돌출부의 측면 및 하면과 이격되지 않고 직접 접촉하면서 신장되고, 상기 꺽쇠의 상면은 상기 돌출부의 하면과 직접 접촉하여 결합된다.
도 6 내지 도 9는 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈용 케이스를 이용한 전력용 반도체 모듈의 제조 방법을 설명하기 위하여 나타내 보인 도면들이다.
먼저 도 6을 참조하면, DBC(Direct Bonded Copper) 기판(610)에 전력용 반도체 칩(612)을 탑재하고, 이 전력용 반도체 칩(612)과 DBC 기판(610)을 와이어(614)를 사용하여 전기적으로 상호 연결시킨다. 전력용 반도체 칩(612)은 필요에 따라 복수개가 탑재된다.
다음에 도 7을 참조하면, 전력용 반도체 칩(612)이 탑재된 DBC 기판(610)을 베이스 기판(620) 위에 부착시킨다. 상기 베이스 기판(620)은 구리(Cu) 재질로 이루어지며, 부착 공정은 솔더링(soldering)을 사용하여 수행한다.
다음에 도 8을 참조하면, DBC 기판(610)이 부착된 베이스 기판(620)을 전력 용 반도체 모듈용 케이스(도 3의 300)의 사이드부(320) 하부에 부착시킨다. 상기 사이드부(320)는 플라스틱 재질로 이루어지며, 상기 부착 공정은 실리콘 접착제를 사용하여 수행한다. 전력용 반도체 모듈용 케이스(도 3의 300)의 사이드부(320)에 베이스 기판(620)이 부착됨으로써 전력용 반도체 모듈의 하부면은 완전히 밀폐된다. 상기 사이드부(320)에 베이스 기판(620)을 부착한 후에는, 솔더링에 의해 DBC 기판(610)에 전기적 단자(625)를 부착하여 사이드부(320) 위로 전기적 단자(625)가 돌출되도록 한다. 전기적 단자(625)를 부착한 후에는, 통상의 방법을 사용하여, 실리콘 젤(silicon gel)로 전력용 반도체 모듈용 케이스(도 3의 300)의 사이드부(310) 내부를 봉합(encapsulation)한다.
다음에 도 9를 참조하면, 전력용 반도체 모듈용 케이스(도 3의 300)의 덮개부(310)를 사이드부(320)에 결합시킨다. 이때 실리콘 접착제의 사용 없이, 덮개부(310)의 하부면에서 바(bar) 형태로 덮개부(310) 하단 방향으로 향하도록 형성된 결합부(311)를 이용하여 사이드부(320)에 결합시킨다. 즉 결합부(311)의 단부에 형성된 꺽쇠가 사이드부(320)의 안쪽 상단부에 체결되도록 한다. 도면에 나타내지는 않았지만, 덮개부(310)를 사이드부(320)에 결합시키면 전력용 반도체 모듈의 상부는 완전히 밀폐되며, 전기적 단자(625)만이 덮개부(310) 상부를 통해 노출된다.
이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 전력용 반도체 모듈용 케이스 및 이를 이용한 전력용 반도체 모듈의 제조 방법에 따르면, 케이스의 덮개부 및 사이 드부의 결합을 위하여 실리콘 접착제를 사용하지 않고, 덮개부에 구비된 결합부를 이용함으로써 제조 단가를 절감할 수 있고 제조 공정 단계를 줄임으로써 대량 생산이 용이해진다는 이점을 제공한다.
Claims (9)
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- 사이드부 및 덮개부를 구비하되, 상기 덮개부에 형성된 결합부에 의해 상기 사이드부 및 덮개부와의 결합을 체결하는 전력용 반도체 모듈용 케이스를 이용한 전력용 반도체 모듈의 제조 방법에 있어서,(가) 전력용 반도체 칩을 기판상에 부착시키는 단계;(나) 상기 전력용 반도체 칩과 상기 기판을 와이어를 사용하여 전기적으로 연결시키는 단계:(다) 상기 전력용 반도체 칩 및 와이어가 부착된 기판을 베이스 기판에 부착시키는 단계;(라) 상기 기판이 부착된 베이스 기판을 상기 케이스의 사이드부 하부에 부착시키는 단계;(마) 상기 사이드부의 상부로 돌출되도록 상기 기판상에 전기적 단자를 부착시키는 단계: 및(바) 상기 전기적 단자가 상기 케이스의 덮개부 밖으로 돌출되도록 상기 덮개부의 결합부를 이용하여 상기 덮개부와 사이드부를 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전력용 반도체 모듈의 제조 방법.
- 제5항에 있어서.상기 기판으로 DBC 기판을 사용하는 것을 특징으로 하는 전력용 반도체 모듈 의 제조 방법.
- 제5항에 있어서,상기 단계 (다) 및 (마)는 솔더링을 사용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 전력용 반도체 모듈의 제조 방법.
- 제5항에 있어서,상기 단계 (라)는 실리콘 접착제를 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 전력용 반도체 모듈의 제조 방법.
- 제5항에 있어서,상기 단계 (마)를 수행한 후 실리콘 젤로 상기 사이드부의 내부를 봉합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전력용 반도체 모듈의 제조 방법.
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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KR100867571B1 true KR100867571B1 (ko) | 2008-11-10 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05175351A (ja) * | 1991-12-26 | 1993-07-13 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置のパッケージ |
JPH11214764A (ja) * | 1998-01-26 | 1999-08-06 | Nec Corp | 圧電トランス |
JP2000068307A (ja) * | 1998-08-21 | 2000-03-03 | Nec Eng Ltd | Lsi開封用治具 |
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