JP3379761B2 - 不揮発性記憶装置 - Google Patents

不揮発性記憶装置

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JP3379761B2 JP18810991A JP18810991A JP3379761B2 JP 3379761 B2 JP3379761 B2 JP 3379761B2 JP 18810991 A JP18810991 A JP 18810991A JP 18810991 A JP18810991 A JP 18810991A JP 3379761 B2 JP3379761 B2 JP 3379761B2
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    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/143Detection of memory cassette insertion or removal; Continuity checks of supply or ground lines; Detection of supply variations, interruptions or levels ; Switching between alternative supplies

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路装置
と半導体集積回路装置の動作方法に関し、例えば汎用ラ
イタによる書き込を可能にしつつ、読み出し動作電圧を
低電圧化したEPROM(イレーザブル&プログラマブ
ル・リード・オンリー・メモリ)に利用して有効な技術
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】不揮発性記憶装置としては紫外線により
記憶情報の消去が可能なEPROMがある。このEPR
OMは、プログラマ(ライター)により書き込みが行わ
れ、紫外線照射により記憶情報の消去が行われる。EP
ROMは電源電圧が5Vにより設計され、上記プログラ
マでは電源電圧として5Vないし6Vを用いている。な
お、書き込み用の高電圧を検出して適正な書き込み動作
が行えるようにした回路を持つEPROMの例として、
特開昭63−108594号公報がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本願発明者等は、シス
テムの高速化と低消費電力化等のために半導体集積回路
装置の動作電圧が3Vのような低電圧にされる傾向にあ
ることに着目して、このような低電圧での動作を可能に
したEPROMの開発を検討した。単に動作電圧を3V
のような低電圧化することは比較的簡単に行うことがで
きる。しかし、このようにすると、プログラマも低電圧
用のものを開発しなければならないという問題が生じ
る。そこで、本願発明者にあっては、汎用のプログラマ
での書き込みを可能にしつつ、低電圧システムでの動作
を可能にすることを考えた。このように2つの動作電圧
に限って動作可能にする場合には、上記のような5Vか
ら3Vまでの広電圧範囲での動作を可能にしようとする
場合に比べて、内部回路の動作条件を大幅に緩やかにで
き、しかも現実的で合理的な半導体集積回路装置の動作
方法であることに気が付いた。この発明の目的は、簡単
な構成により、従来システム用と低電圧システム用とに
併用可能にした新規な半導体集積回路装置と半導体集積
回路装置の動作方法を提供することにある。この発明の
前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、本明細書
の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0004】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、半導体集積回路装置の内部
回路を、外部から供給される所定の許容範囲を持つ比較
的高い動作電圧と所定の許容範囲を持つ比較的低い動作
電圧との双方により動作可能にする。また、半導体集積
回路装置に構成される内部回路の動作条件を、外部から
供給される所定の許容範囲を持つ比較的高い動作電圧と
所定の許容範囲を持つ比較的低い動作電圧との2つに限
ってそれぞれ独自に設定し、これらの2つの動作電圧に
より選択的に半導体集積回路装置を動作させるようにす
る。
【0005】
【作用】上記した手段によれば、2種類の動作電圧に応
じて内部回路が動作可能であればよいから簡単な構成に
より内部回路が実現でき、従来システムと低電圧システ
ムのいずれでも使用可能な半導体集積回路装置を得るこ
とができる。また、従来システムのような比較的高い動
作電圧と低電圧システム用の低電圧の2つに限定し、し
かもそれぞれに対応して仕様が決められるという動作方
法を採ることにより、簡単な構成により半導体集積回路
装置の用途の拡大が図られる。
【0006】
【実施例】図1には、この発明が適用されたEPROM
の一実施例のブロック図が示されている。同図の各回路
ブロックは、公知のCMOS半導体集積回路の製造技術
によって、単結晶シリコンのような1個の半導体基板上
において形成される。同図において、PチャンネルMO
SFETは、そのチャンネル(バックゲート)部に矢印
が付加されることによってNチャンネルMOSFETと
区別される。このことは他の図面においても同様であ
る。
【0007】特に制限されないが、集積回路は、単結晶
P型シリコンからなる半導体基板に形成される。Nチャ
ンネルMOSFETは、かかる半導体基板表面に形成さ
れたソース領域、ドレイン領域及びソース領域とドレイ
ン領域との間の半導体基板表面に薄い厚さのゲート絶縁
膜を介して形成されたポリシリコンからなるようなゲー
ト電極から構成される。PチャンネルMOSFETは、
上記半導体基板表面に形成されたN型ウェル領域に形成
される。これによって、半導体基板は、その上に形成さ
れた複数のNチャンネルMOSFETの共通の基板ゲー
トを構成し、回路の接地電位が供給される。N型ウェル
領域は、その上に形成されたPチャンネルMOSFET
の基板ゲートを構成する。PチャンネルMOSFETの
基板ゲートすなわちN型ウェル領域は、後述するような
内部定電圧Vcvに結合される。ただし、外部から供給さ
れる電源電圧Vccに対応した信号レベルを受ける入力回
路であって、その電圧Vccにより動作させられる回路で
はVccに結合され、高電圧回路であれば、それに対応す
るPチャンネルMOSFETが形成されるN型ウェル領
域は、外部から与えられる高電圧Vpp、内部発生高電圧
等に接続される。あるいは、集積回路は、単結晶N型シ
リコンからなる半導体基板上に形成してもよい。この場
合、NチャンネルMOSFETと不揮発性記憶素子はP
型ウェル領域に形成され、PチャンネルMOSFETは
N型基板上に形成される。
【0008】この実施例のEPROMは、外部端子から
供給されるXアドレス信号A0〜Aiと、Yアドレス信
号Aj〜Akとは、それぞれXアドレスバッファXAD
BとYアドレスバッファYADBに入力される。このア
ドレスバッファXADBとYADBを通したアドレス信
号は、XアドレスデコーダXDCRとYアドレスデコー
ダYDCRに供給される。特に制限されないが、上記ア
ドレスバッファXADBとYADBは、制御信号ceに
より制御されて、EPROMが選択されたときに動作状
態にされる。
【0009】XアドレスデコーダXDCRは、その動作
電圧が内部定電圧Vcvと書き込み用の高電圧とされる。
書き込み動作のときには上記高電圧Vppにより動作させ
られ、ベリファイ及び読み出し動作のときには内部定電
圧Vcvにより動作させられる。XアドレスデコーダXD
CRは、対応するアドレスバッファXADBから供給さ
れる内部アドレス信号に従ったメモリアレイMARYの
ワード線W0,Wm及びWn等の選択信号を形成する。
YアドレスデコーダYDCRは、上記同様にその動作電
圧が内部定電圧Vcvと書き込み用の高電圧とされ、書き
込み動作のときには上記高電圧Vppにより動作させら
れ、ベリファイ及び読み出し動作のときには内部定電圧
Vcvにより動作させられる。YアドレスデコーダYDC
Rは、対応するアドレスバッファYADBからの内部ア
ドレス信号に従ったメモリアレイMARYのデータ線の
選択信号Y0,Y1・・・Ynを形成する。
【0010】メモリアレイMARYは、代表として例示
的に1つが示されている。このメモリアレイMARY
は、例示的に示されているコントロールゲートとフロー
ティングゲートを有するスタックドゲート構造の記憶素
子(不揮発性メモリ素子・・MOSFETQ1〜Q3)
と、ワード線W0・・Wm・・Wn、及びデータ線D
0,D1・・Dnとにより構成されている。上記メモリ
アレイMARYにおいて、同じ行に配置された記憶素子
Q1〜Q3のコントロールゲートは、それぞれ対応する
ワード線W0に接続され、同じ列に配置された記憶素子
のドレインは、それぞれ対応するデータ線D0,D1〜
Dnに接続されている。
【0011】書き込みが行われるワード線は、その電圧
が上記高電圧Vppにされる。フローティングゲートに電
子を注入すべき記憶素子が結合されたデータ線は、上記
同様な高電圧Vppにされる。これにより、記憶素子にチ
ャンネル飽和電流が流れ、データ線に結合されたドレイ
ン近傍のピンチオフ領域では高電界により加速された電
子がイオン化を起こし、高エネルギーを持つ電子、いわ
ゆるホットエレクトロンが発生する。一方、フローティ
ングゲートは、ワード線が結合されたコントロールゲー
トの電圧とドレイン電圧、及び基板とフローティングゲ
ート間の容量とフローティングゲートとコントロールゲ
ートとの容量とに決まる電圧となり、ホットエレクトロ
ンを誘引して、フローティングゲートの電位を負にす
る。これにより、上記のような書き込みが行われたメモ
リセルは、コントロールゲートが結合されたワード線の
電位を動作電圧Vcvのようなハイレベルの選択状態にし
ても非導通状態になるようなしきい値電圧に変化させら
れる。上記電子の注入を行わないメモリセルのドレイ
ン、言い換えるならば、データ線の電位は、ドレイン近
傍のピンチオフ領域でホットエレクトロンが発生しない
ような低いレベルにされる。このように書き込みが行わ
れないメモリセルは、コントロールゲートが結合された
ワード線の電位を動作電圧Vcvのようなハイレベルの選
択状態にしたときに導通状態になるような低しきい値電
圧に維持される。
【0012】特に制限されないが、8ビット(あるいは
16ビット等)のような複数ビットの単位での書き込み
/読み出しを行うため、上記メモリアレイは、合計で8
組(あるいは16組等)のように複数組設けられるよう
構成される。同図には、8ビット単位のメモリアクセス
を行うEPROMの例が示されている。上記1つのメモ
リアレイMARYを構成する各データ線D0〜Dnは、
上記YアドレスデコーダYDCRによって形成されたカ
ラム選択信号Y0,Y1〜Ynを受けるカラムスイッチ
MOSFETQ7〜Q9を介して、共通データ線CDに
接続される。共通データ線CDには、外部端子I/O
(D0〜D7)から入力される書込み信号を受ける書込
み用のデータ入力バッファDIBの出力端子がスイッチ
MOSFETQ18を介して接続される。同様に他の残
り7個のメモリアレイに対しても、上記同様なカラム選
択回路スイッチMOSFETが設けられ、それに対応し
たアドレスデコーダにより選択信号が形成される。
【0013】上記メモリアレイに対応して設けられる共
通データ線CDには、読み出し制御信号Yrによりスイ
ッチ制御されるスイッチMOSFETQ16を介してセ
ンスアンプSAの入力段回路を構成し、次に説明する初
段増幅回路の入力端子に結合される。便宜上、上記初段
増幅回路を構成するMOSFETQ11〜Q15とCM
OSインバータ回路N1とで構成される回路をセンスア
ンプSAと呼ぶ事とする。センスアンプSAには、動作
電圧として内部定電圧Vcvが供給される。
【0014】上記例示的に示されている共通データ線C
Dは、読み出し制御信号Yrによりオン状態にされるM
OSFETQ16を通して、そのソースが接続されたN
チャンネル型の増幅MOSFETQ11のソースに接続
される。この増幅MOSFETQ11のドレインと上記
電源電圧Vc との間には、そのゲートに回路の接地電位
の印加されたPチャンネル型の負荷MOSFETQ12
が設けられる。上記負荷MOSFETQ12は、読み出
し動作のために共通データ線CDにプリチャージ電流を
流すような動作を行う。
【0015】上記増幅MOSFETQ11の感度を高く
するため、スイッチMOSFETQ16を介した共通デ
ータ線CDの電圧は、Nチャンネル型の駆動MOSFE
TQ13とPチャンネル型の負荷MOSFETQ14と
からなる反転増幅回路の入力である駆動MOSFETQ
13のゲートに供給される。この反転増幅回路の出力電
圧は、上記増幅MOSFETQ11のゲートに供給され
る。さらに、センスアンプの非動作期間での無駄な電流
消費を防止するため、上記増幅MOSFETQ11のゲ
ートと回路の接地電位点との間には、NチャンネルMO
SFETQ15が設けられる。このMOSFETQ15
と上記PチャンネルMOSFETQ14のゲートには、
共通にセンスアンプの動作タイミング信号scが供給さ
れる。
【0016】メモリセルの読み出し時において、センス
アンプ動作タイミング信号scはロウレベルにされ、M
OSFETQ14はオン状態に、MOSFETQ15は
オフ状態にされる。メモリセルは、書込みデータに従っ
て、言い換えるならば、記憶情報に従って上述のように
ワード線の選択レベルに対して高いしきい値電圧か又は
低いしきい値電圧を持つようにされるものである。各ア
ドレスデコーダXDCRによって選択されたメモリセル
においてワード線の選択レベルにされているにもかかわ
らずオフ状態にされている場合、共通データ線CDは、
MOSFETQ12とQ11からの電流供給によって比
較的ハイレベルにされる。一方、選択されたメモリセル
がワード線選択レベルによってオン状態にされている場
合、共通データ線CDは比較的ロウレベルにされる。
【0017】この場合、共通データ線CDのハイレベル
は、このハイレベルの電位を受ける反転増幅回路により
形成された比較的低いレベルの出力電圧がMOSFET
Q11のゲートに供給されることによって比較的低い電
位に制限される。一方、共通データ線CDのロウレベル
は、このロウレベルの電位を受ける反転増幅回路により
形成された比較的高いレベルの電圧がMOSFETQ1
1のゲートに供給されることによって比較的高い電位に
制限される。
【0018】このような共通データ線CDのハイレベル
とロウレベルとを制限すると、この共通データ線CD等
に信号変化速度を制限する浮遊容量等の容量が存在する
にかかわらずに、読み出しの高速化を図ることができ
る。すなわち、複数のメモリセルからのデータを次々に
読み出すような場合において共通データ線CDの一方の
レベルが他方のレベルへ変化させられるまでの時間を短
くすることができる。このような高速読み出し動作のた
めに、上記負荷MOSFETQ12のコンダクタンスは
比較的大きく設定される。
【0019】増幅用のMOSFETQ11は、ゲート接
地型ソース入力の増幅動作を行い、その出力信号をCM
OSインバータ回路N1に伝える。CMOSインバータ
回路N1は、そのロジックスレッショルド電圧を参照電
圧として、ハイレベル/ロウレベルのセンスを行う。こ
のCMOSインバータ回路N1の出力信号は、対応した
データ出力バッファDOBによって、特に制限されない
が、増幅されて上記外部端子I/Oから送出される。ま
た、上記外部端子I/Oから供給される書き込み信号
は、入力バッファDIBを介して、上記共通データ線C
Dに伝えられる。×8ビットや×16ビット構成のため
に設けられる他のメモリアレイに対応した共通データ線
と外部端子との間においても、上記同様な入力段回路及
びセンスアンプ並びにデータ出力バッファからなる読み
出し回路と、データ入力バッファからなる書き込み回路
とがそれぞれ設けられる。
【0020】制御回路CONTは、特に制限されない
が、外部端子CEB、OEB及びVPPに供給されるチ
ップイネーブル信号、アウトプットイネーブル信号、高
電圧及び電圧変換回路CONVで形成された内部定電圧
Vcvとを受けて、その動作モードに応じて制御信号c
e,scとアドレスデコーダXDCR,YDCR及び入
力バッファDIBに供給する動作電圧Vcv/Vppの切り
替えを行う回路を含んでいる。
【0021】例えば、書き込み用高電圧VPPが供給さ
れた状態において、チップイネーブル信号CEBがロウ
レベルで、アウトプットイネーブル信号OEBがハイレ
ベルなら書き込みモードとされ、上記内部信号ceはハ
イレベルにされる。そして、アドレスデコーダ回路XD
CR,YDCR及びデータ入力回路DIBには、その動
作電圧として上記高電圧VPPに対応した内部高電圧V
ppが供給される。上記のように書き込みが行われるワー
ド線は、その電圧が上記高電圧Vppになる。そして、フ
ローティングゲートに電子を注入すべき記憶素子が結合
されたデータ線は、上記同様な高電圧Vppにされる。こ
れにより、記憶素子にチャンネル飽和電流が流れ、デー
タ線に結合されたドレイン近傍のピンチオフ領域では高
電界により加速された電子がイオン化を起こし、高エネ
ルギーを持つ電子、いわゆるホットエレクトロンが発生
する。一方、フローティングゲートは、ワード線が結合
されたコントロールゲートの電圧とドレイン電圧、及び
基板とフローティングゲート間の容量とフローティング
ゲートとコントロールゲートとの容量とに決まる電圧と
なり、ホットエレクトロンを誘引して、フローティング
ゲートの電位を負にする。これにより、コントロールゲ
ートが結合されたワード線の電位を選択状態にしても非
導通状態になるようにする。これに対して、電子の注入
を行わない記憶素子のドレインは、ドレイン近傍のピン
チオフ領域でホットエレクトロンが発生しないような低
いレベルにされる。
【0022】書き込み用高電圧VPPが供給された状態
において、チップイネーブル信号CEBがロウレベル
で、アウトプットイネーブル信号OEBがロウレベルな
ら、ベリファイモードとされ、上記内部信号scとce
はハイレベルにされる。このベリファイモードでは、上
記各回路XDCR,YDCR及びDIBの各動作電圧は
高電圧Vppから内部電圧Vcvに切り換えられる。これに
より、メモリセルの選択が行われて記憶情報の読み出し
が行われる。
【0023】書き込み用高電圧VPPが書き込みに必要
な高電圧でないこと、言い換えるならば、フローティン
グ状態であったり、接地電位であったり、あるいは外部
から供給される電圧Vccレベルである状態において、チ
ップイネーブル信号CEBがロウレベルで、アウトプッ
トイネーブル信号OEBがロウレベルなら、前記説明し
たような読み出しモードとされ、上記内部信号scとc
eはハイレベルにされる。各回路XDCR,YDCR及
びDIBの各動作電圧は内部電圧Vcvに切り換えられ
る。これにより、メモリセルの選択が行われて記憶情報
の読み出しが行われる。
【0024】この実施例では、外部から供給される電源
電圧Vccが約5V±0.5Vのような一定の許容範囲を
持つ比較的高い電圧のとき、電圧変換回路CONVによ
り約3Vのような内部定電圧Vcvに電圧変換してそれを
内部回路の動作電圧とする。この電圧変換回路CONV
は、特に制限されないが、電圧切り替え機能を持ち、上
記外部から供給される電源電圧Vccが3V±0.3Vの
ような一定の許容範囲を持つ比較的低い電圧のとき、外
部電圧Vccをそのまま内部電圧Vcvに切り替える。この
ような構成を採ることにより、上記デコーダXDCRや
YDCR及びセンスアンプSA等の内部回路において
は、外部から供給される電圧が上記のような比較的高い
電圧と比較的低い電圧にもかかわらずにほぼ同じ電圧に
より動作させられる。この結果、内部回路の動作条件を
同じにすることができ、外部からの2種類の電源電圧に
もかかわらず、消費電力及び動作速度をほぼ同じくする
ことができる。また、センスアンプSAにあっては、同
じ参照電圧によるセンスが可能になるものである。
【0025】このような構成を採ることにより、この実
施例のEPROMでは、汎用ライタ(プログラマ)を用
いての書き込みが可能になるとともに、5V系と3V系
のいずれの動作電圧を持つシステムにおいても同様に使
用することができる。この結果、用途の拡大が可能とな
り、EPROMメーカー側においては量産性の向上を図
ることができ、EPROMのユーザーにあっては、5V
系と3V系のシステムに同様に使用できるから、システ
ム設計が容易になるとともに組み立て部品管理の煩わし
さを無くすことができる。
【0026】図2には、電圧変換回路CONVの一実施
例のブロック図が示されている。基準電圧発生回路は、
基準電圧Vref を形成する。この基準電圧Vref は、特
に制限されないが、前記約3Vのような動作電圧Vcvに
対応した定電圧Vc とされる。ボルテージフォロワは、
上記基準電圧Vref を受けてそれを電力増幅して内部電
圧Vc を形成する。この内部定電圧Vc は、特に制限さ
れないが、電源電圧スイッチに入力される。この電源電
圧スイッチには、外部から供給される電源電圧Vccも入
力される。電源電圧判定回路は、上記外部端子から供給
される電源電圧Vccのレベルの判定信号Vchを形成す
る。この判定信号Vchは、上記電源電圧スイッチの切り
替え制御信号として用いられる。電源電圧スイッチは、
外部から供給される電源電圧Vccが約5Vのような比較
的高い電圧のときには、上記内部定電圧Vc を内部動作
電圧Vcvとして出力し、上記電源電圧Vccが約3Vのよ
うな比較的低い電圧のときには、上記内部定電圧Vc に
代えて外部から供給される電源電圧Vccをそのまま動作
電圧Vcvとして出力させる。このように、外部から供給
される電源電圧Vccが約3Vのような比較的低い電圧の
ときには、基準電圧発生回路及びボルテージフォロワの
動作電圧が不足して、上記のような内部定電圧Vc を安
定して形成することができないから、外部端子から供給
される電源電圧Vccをそのまま内部動作電圧Vcvとして
用いるようにするものである。
【0027】この実施例において、外部から供給される
電源電圧Vccを約5Vと約3Vにし、内部回路の動作電
圧Vcvを約2Vのような低電圧に設定して動作させるよ
うにしてもよい。この場合には、上記電源電圧スイッチ
は不用になる。すなわち、この場合には、基準電圧発生
回路及びボルテージフォロワは、外部から供給される電
源電圧Vccが3Vのような低い電圧のときでも、それを
動作電圧として2Vのような定電圧を安定して形成する
ことができるからである。上記電源電圧スイッチを省略
したことに対応して、電源電圧判定回路も同様に省略で
きる。
【0028】図3には、基準電圧発生回路の一実施例の
具体的回路図が示されている。同図の回路素子に付され
た回路記号は、回路記号の複雑化をなくすために前記図
1のものと一部重複しているが、それぞれは別個の回路
機能を持つものであると理解されたい。このことは、以
下の他の回路図においても同様である。抵抗R1は、電
源電圧Vccに対して大きな抵抗値を持つようにされるこ
とによって、例えば10nA(ナノアンペア)程度の定
電流Iを形成する。この定電流Iは、Nチャンネル型M
OSFETQ2とダイオード形態にされたPチャンネル
型MOSFETQ3を通して供給される。Pチャンネル
型MOSFETQ3には、ゲートとソースが共通化され
ることによって電流ミラー形態にされたPチャンネル型
MOSFETQ4とQ5が設けられる。MOSFETQ
4のドレインにはNチャンネル型MOSFETQ1が直
列に接続される。このMOSFETQ1のゲートには、
上記抵抗R1により形成された定電圧が供給され、MO
SFETQ1のドレインはMOSFETQ2のゲートに
接続される。これにより、MOSFETQ1とQ2によ
り帰還ループが構成され、抵抗R1により形成される定
電流Iの安定化を図っている。
【0029】上記MOSFETQ5により形成される定
電流Iは、ダイオード形態のNチャンネル型MOSFE
TQ6に供給される。このMOSFETQ6は、エンハ
ンスメント型とされる。このMOSFETQ6のゲー
ト,ソース間のしきい値電圧は、デプレッション型のN
チャンネルMOSFETQ7のゲートに供給される。こ
のMOSFETQ7のソース側には、上記抵抗R1によ
り形成された定電圧を受けるNチャンネル型MOSFE
TQ8が設けられる。これにより、MOSFETQ8に
は、MOSFETQ1と同様に定電流Iを流すようにさ
れる。この結果、MOSFETQ6とQ7には同じ定電
流Iが流れ、MOSFETQ7のソースからは、MOS
FETQ6とQ7のしきい値電圧の差電圧ΔVが形成さ
れる。デプレッション型MOSFETQ7のしきい値電
圧は負の値を採るから、上記差分の電圧ΔVは、MOS
FETQ6のしきい値電圧にMOSFETQ7のしきい
値電圧の絶対値を加算した電圧に相当する。
【0030】Nチャンネル型の差動MOSFETQ9と
Q10と、ドレイン側に設けられた電流ミラー形態のP
チャンネル型MOSFETQ11とQ12からなるアク
ティブ負荷回路と、差動MOSFETQ9とQ10の共
通ソースに設けられ、定電圧VBを受ける定電流MOS
FETQ14とにより差動増幅回路が構成される。この
差動増幅回路の非反転入力であるMOSFETQ9のゲ
ートには、上記定電圧ΔVが供給される。差動増幅回路
の出力であるMOSFETQ10のドレインと、反転入
力であるMOSFETQ10のゲートには、利得設定の
ための抵抗回路が接続される。この抵抗回路は、抵抗R
2とR3により構成される。上記抵抗R3は、直並列抵
抗r1〜r4の合成抵抗を意味し、抵抗r1と直列に接
続される並列抵抗r2〜r4にはヒューズ手段F1〜F
3が設けられ、その選択的な切断によって抵抗R3の合
成抵抗値のトリミングが行われる。このようなヒューズ
による抵抗値のトリミングに従った抵抗R2と合成抵抗
R3との抵抗比により、差動増幅回路の利得調整が行わ
れる。これにより、上記定電圧ΔVに対するプロセスバ
ラツキの補償が行われ、差動増幅回路を通して出力され
る基準電圧Vref が3Vのような所望の定電圧Vc に設
定される。
【0031】図4には、ボルテージフォロワの一実施例
の具体的回路図が示されている。Nチャンネル型の差動
MOSFETQ1とQ2と、ドレイン側に設けられた電
流ミラー形態のPチャンネル型MOSFETQ3,Q4
からなるアクティブ負荷回路と、差動MOSFETQ1
とQ2の共通ソースに設けられ、定電圧VBを受ける定
電流MOSFETQ5とにより差動増幅回路が構成され
る。この差動増幅回路の非反転入力であるMOSFET
Q1のゲートには、上記基準電圧Vref が供給される。
差動増幅回路の出力であるMOSFETQ2のドレイン
と、反転入力であるMOSFETQ2のゲートは共通接
続されることよって、差動増幅回路の出力信号が反転入
力側に100%帰還される。これにより、出力電圧Vc
は、入力される基準電圧Vref と等しい定電圧になる。
【0032】図5には、電源電圧スイッチの一実施例の
具体的回路図が示されている。上記ボルテージフォロワ
により形成された内部定電圧Vc は、Pチャンネル型M
OSFETQ1のソース側に入力される。このMOSF
ETQ1がN型ウェル領域に形成される場合、そのウェ
ル電位、言い換えるならば、チャンネル電位は外部から
供給される電源電圧Vccとされる。外部から供給される
電源電圧Vccは、Pチャンネル型MOSFETQ2のソ
ース側に入力される。このMOSFETQ2において
も、N型ウェル領域に形成される場合、そのウェル電位
外部から供給される電源電圧Vccとされる。判定信号V
chは、一方においてインバータ回路N1を介してMOS
FETQ1のゲートに供給される。この判定信号Vch
は、他方においてMOSFETQ2のゲートに供給され
る。
【0033】電源電圧Vccが約5Vのような高い電圧の
とき、判定信号Vchは後述するような電源電圧Vccに対
応したハイレベルにされる。このようなハイレベルの判
定信号Vchを受けるインバータ回路N1の出力信号がロ
ウレベルとなり、Pチャンネル型MOSFETQ1をオ
ン状態にする。このPチャンネル型MOSFETQ1の
オン状態に応じて、上記内部定電圧Vc が内部電圧Vcv
として出力される。このとき、MOSFETQ2は、上
記判定信号Vchのハイレベルによりオフ状態にされてい
る。これに対して、電源電圧Vccが約3Vのような低い
電圧のとき、判定信号Vchは接地電位のようなロウレベ
ルにされる。このようなロウレベルの判定信号Vchを受
けるインバータ回路N1の出力信号がハイレベルとな
り、Pチャンネル型MOSFETQ1はオフ状態にさ
れ、上記判定信号Vchのロウレベルに応じてPチャンネ
ル型MOSFETQ2がオン状態にされる。このPチャ
ンネル型MOSFETQ2のオン状態に応じて、電源電
圧Vccが内部電圧Vcvとして出力される。
【0034】図6には、上記ボルテージフォロワの一実
施例の回路図が示されている。この実施例では、ボルテ
ージフォロワに電源電圧スイッチ機能を付加するもので
ある。すなわち、前記図4に示したようなボルテージフ
ォロワにおいて、上記電流ミラー形態のPチャンネル型
MOSFETQ4を電源切り替えスイッチとしても用い
るようにするものである。このため、MOSFETQ4
のゲートと回路の接地電位との間には、スイッチMOS
FETQ8が設けられる。また、定電流MOSFETQ
5のゲートと回路の接地電位との間には、スイッチMO
SFETQ7が設けられる。これらスイッチMOSFE
TQ7,Q8のゲートには、判定信号Vchを受けるイン
バータ回路N1の出力信号が供給される。そして、定電
流MOSFETQ5のゲートには、スイッチMOSFE
TQ6を通して定電圧VBが供給される。このスイッチ
MOSFETQ6のゲートには、上記判定信号Vchが供
給される。ボルテージフォロワの他の構成は、図4と同
様であるので、その説明を省略する。ただし、上記のよ
うに電流ミラー形態のPチャンネル型MOSFETQ3
とQ4のうち、出力側のMOSFETQ4を電源電圧ス
イッチとして用いるようにするため、そのコンダクタン
スは比較的大きく形成され、これに応じてMOSFET
Q3のコンダクタンスも同様に大きく形成される。
【0035】電源電圧Vccが約5Vのような高い電圧の
とき、判定信号Vchは上記同様に電源電圧Vccに対応し
たハイレベルにされる。このハイレベルの判定信号Vch
を受けるインバータ回路N1の出力信号がロウレベルと
なり、Nチャンネル型のスイッチMOSFETQ7とQ
8はオフ状態にされ、上記ハイレベルの判定信号Vchを
受けるNチャンネル型のスイッチMOSFETQ6がオ
ン状態にされる。それ故、定電流MOSFETQ5に定
電流動作を行い、電流ミラー形態のPチャンネル型MO
SFETQ3とQ4はアクティブ負荷回路として動作す
る。これにより、差動増幅回路が動作状態となり、基準
電圧Vref に対応した動作電圧Vcvを形成して出力す
る。これに対して、電源電圧Vccが約3Vのような低い
電圧のとき、判定信号Vchは接地電位のようなロウレベ
ルにされる。このようなロウレベルの判定信号Vchを受
けるインバータ回路N1の出力信号がハイレベルとな
り、Nチャンネル型のスイッチMOSFETQ7とQ8
はオン状態にされ、上記ロウレベルの判定信号Vchを受
けるNチャンネル型のスイッチMOSFETQ6はオフ
状態にされる。それ故、定電流MOSFETQ5がオフ
状態になり、差動増幅回路の動作電流が遮断されること
に応じて増幅動作が停止される。そして、上記MOSF
ETQ8のオン状態に応じて、Pチャンネル型MOSF
ETQ4がオン状態になって、電源電圧Vccを内部電圧
Vcvとして出力させる。このとき、Pチャンネル型MO
SFETQ3もオン状態になるが、定電流MOSFET
Q5がオフ状態であるから、回路の接地電位側に直流電
流を流さなくできる。この構成では、ボルテージフォロ
ワが電源スイッチ機能を持つため、回路の簡素化が可能
となることの他、低電圧動作時にはボルテージフォロワ
が電流消費を行わないから低消費電力化も可能になる。
【0036】図7には、電源電圧判定回路の一実施例の
具体的回路図が示されている。抵抗R1とツェナーダイ
オードZDは、ツェナーダイオードZDのツェナー電圧
に対応した基準定電圧V1を形成する。抵抗R2と前記
図3における抵抗トリミング回路と同様な直並列抵抗r
による抵抗回路とは、電源電圧Vccの分圧回路を構成す
る。すなわち、抵抗R2と直並列抵抗回路との接続点か
ら分圧電圧V2が形成される。上記抵抗回路のうち並列
形態の各抵抗rにはヒューズ手段F1〜F3がそれぞれ
設けられ、このヒューズ手段の選択的な切断により、プ
ロセスバラツキの補償や検出電圧の設定が行われる。
【0037】上記定電圧V1と分圧電圧V2は、差動M
OSFETQ1とQ2のゲートに供給される。差動MO
SFETQ1とQ2のドレイン側には、電流ミラー形態
のPチャンネル型の負荷MOSFETQ3とQ4が設け
られ、ソース側には定電圧VBを受ける定電流MOSF
ETQ5が設けられる。特に制限されないが、上記構成
の差動回路には、Pチャンネル型の出力MOSFETQ
6とNチャンネル型の定電流MOSFETQ7からなる
反転出力回路が設けられる。上記Pチャンネルの出力M
OSFETQ6のゲートは、上記差動MOSFETQ2
のドレイン出力信号が供給され、定電流MOSFETQ
7のゲートには定電圧VBが供給される。なお、出力M
OSFETQ6のゲートとドレインとの間には、位相補
償等のためのキャパシタCが設けられ、MOSFETQ
6のドレインから判定信号Vchが出力される。
【0038】図8には、上記電源電圧判定回路の動作を
説明するための電圧特性図が示されている。電源電圧V
ccがツェナー電圧以下の低い領域ではツェナーダイオー
ドZDがオフ状態であるから、定電圧V1は電源電圧V
ccの上昇に対応して上昇する。そして、電源電圧Vccが
ツェナー電圧以上に高い領域では、上記定電圧回路が動
作してツェナー電圧に対応した定電圧V1が形成され
る。一方、電源電圧Vccの分圧電圧V2は、電源電圧V
ccと抵抗回路の抵抗比に対応して高くされる。上記定電
圧V1に対して分圧電圧V2が低くなるような電源電圧
Vccのもとでは、差動回路の出力信号が電源電圧に対応
したハイレベルになるので、反転増幅された判定信号V
chは回路の接地電位のようなロウレベルにされる。上記
定電圧V1に対して分圧電圧V2が高くなるような電源
電圧Vccのもとでは、差動回路の出力信号がロウレベル
になるので、反転増幅された判定信号Vchは電源電圧V
ccのようなハイレベルにされる。この実施例では、電源
電圧Vccが約4V以上に高くされたとき、判定信号Vch
がロウレベルからハイレベルに変化するよう分圧抵抗回
路の抵抗比が設定されている。これにより、例えば上記
のような5Vのような比較的高い電源電圧と、3Vのよ
うな比較的低い電源電圧の判定動作を行うことができる
ものである。
【0039】図9には、この発明に係る不揮発性記憶装
置の他の一実施例のブロック図が示されている。この実
施例のEPROMにおいても、基本的には前記図1と同
様であり、それと異なる部分について以下詳細に説明す
る。この実施例のEPROMにおいては、内部回路の動
作電圧は外部から供給される電源電圧Vccがそのまま内
部回路の動作電圧として用いられる。このため、電源電
圧Vccが約5Vのような比較的高い電圧であるときと、
約3Vのような比較的低い電圧であるときとで動作電圧
が大きく異なることに応じて、外部からのアドレス信号
A0〜Ai及びAj〜Akを受けるXアドレスバッファ
XADBとYアドレスバッファYADBには、電源電圧
Vccの判定信号Vchが供給されて、後述するような2通
りの入力回路が切り替えられて使用される。
【0040】センスアンプSAを構成する初段増幅回路
の出力信号レベルは、上記のような2通りの電源電圧に
応じて大きく異なるものとなる。このため、それぞれの
電源電圧に対応した信号レベルのセンス動作を行うため
に、2つのロジックスレッショルド電圧を持つインバー
タ回路N1とN2と、出力選択回路が設けられる。イン
バータ回路N1のロジックスレッショルド電圧は、電源
電圧Vccが約3Vのような比較的低い電圧のときの増幅
信号に対応して設定される。インバータ回路N2のロジ
ックスレッショルド電圧は、電源電圧Vccが約5Vのよ
うな比較的高い電圧のときの増幅信号に対応して設定さ
れる。
【0041】インバータ回路N1の出力信号は、ナンド
ゲート回路G1を通してCMOSインバータ回路を構成
するPチャンネル型MOSFETQ20とNチャンネル
型MOSFETQ21のゲートに供給される。このCM
OSインバータ回路のNチャンネル型MOSFETQ2
1のソースは、スイッチMOSFETQ22を介して接
地電位に接続される。インバータ回路N2の出力信号
は、ナンドゲート回路G2を通してCMOSインバータ
回路を構成するPチャンネル型MOSFETQ23とN
チャンネル型MOSFETQ24のゲートに供給され
る。このCMOSインバータ回路のNチャンネル型MO
SFETQ24のソースは、スイッチMOSFETQ2
5を介して接地電位に接続される。上記インバータ回路
N2に対応した上記ナンドゲート回路G2の他方の入力
とスイッチMOSFETQ25のゲートには判定信号V
chが供給される。上記インバータ回路N1に対応した上
記ナンドゲート回路G1の他方の入力とスイッチMOS
FETQ22のゲートには、判定信号Vchがインバータ
回路N3によって反転されて供給される。
【0042】データ出力バッファDOBにあっては、動
作電圧の切り替えに対応して電流駆動能力を等しくする
ようにするため、上記判定回路Vchにより出力回路の切
り替えが行われる。また、アドレスバッファと同様に5
V系の高電圧のときと、3V系の低電圧のときとの入力
レベルの相違に応じてデータ入力バッファDIBNにお
いても、それぞれの入力レベルに対応した2つの入力回
路が設けられ、判定信号Vchによる入力インターフェイ
スの切り替えが行われる。また、電圧変換回路CONV
は削除され、前記のような電源電圧判定回路DETCに
より判定信号Vchが形成される。
【0043】図10には、上記アドレスバッファXAD
B,YADBやデータ入力バッファDIB等のように外
部からの入力信号を受ける入力バッファの一実施例の具
体的回路図が示されている。この実施例では、入力端子
INに対して2つの入力バッファIB1とIB2が設け
られる。入力バッファIB1は、直列形態のPチャンネ
ル型MOSFETQ1とQ2と並列形態のNチャンネル
型MOSFETQ3,Q4とによりノアゲート構成とさ
れ、電源電圧Vccが約5Vのような比較的高い電圧のと
きの入力信号のレベルに対応したロジックスレッショル
ド電圧を持つようMOSFETQ1〜Q4の素子定数が
選ばれる。これに対して、入力バッファIB2は、直列
形態のPチャンネル型MOSFETQ5とQ6と並列形
態のNチャンネル型MOSFETQ7,Q8とにより上
記同様にノアゲート構成とされ、電源電圧Vccが約3V
のような比較的低い電圧のときの入力信号のレベルに対
応したロジックスレッショルド電圧を持つようMOSF
ETQ5〜Q8の素子定数が選ばれる。
【0044】判定信号Vchは、インバータ回路N1を介
してナンドゲート回路G1に供給さされる。上記判定信
号Vchは、ナンドゲート回路G2に供給される。これら
のナンドゲート回路G1とG2の他方に入力には、内部
チップイネーブル信号ceが供給される。これにより、
信号ceがハイレベルにされるメモリアクセス状態にお
いて、電源電圧Vccが約5Vのような高い電圧であるこ
とにより判定信号Vchがハイレベルにされなら、ナンド
ゲート回路G2の出力信号がロウレベルとなり、入力バ
ッファIB1が活性化される。すなわち、ナンドゲート
回路G2の出力信号のロウレベルに応じて、入力バッフ
ァIB1のPチャンネル型MOSFETQ1がオン状態
に、Nチャンネル型MOSFETQ4がオフ状態にさ
れ、入力端子INにゲートが結合されたPチャンネル型
MOSFETQ2とNチャンネル型MOSFETQ3の
オン/オフ状態に対応して出力信号が形成される。この
ようにして、入力端子INから供給される入力信号は、
入力バッファIB1を通して取り込まれることになる。
このとき、ナンドゲート回路G1の出力信号がハイレベ
ルにされることに応じて、入力バッファIB2のPチャ
ンネル型MOSFETQ5がオフ状態に、Nチャンネル
型MOSFETQ8がオン状態にされる。これにより、
入力バッファIB2は、端子INからの入力信号に無関
係にロウレベルの固定信号を出力する。
【0045】内部チップイネーブル信号ceがハイレベ
ルにされるメモリアクセス状態において、電源電圧Vcc
が約3Vのような低い電圧であることにより判定信号V
chがロウレベルにされなら、ナンドゲート回路G2に代
わってナンドゲート回路G1の出力信号がロウレベルと
なり、入力バッファIB1に代わって入力バッファIB
2が活性化される。すなわち、ナンドゲート回路G1の
出力信号のロウレベルに応じて、入力バッファIB2の
Pチャンネル型MOSFETQ5がオン状態に、Nチャ
ンネル型MOSFETQ8がオフ状態にされ、入力端子
INにゲートが結合されたPチャンネル型MOSFET
Q6とNチャンネル型MOSFETQ7のオン/オフ状
態に対応して出力信号が形成される。このようにして、
入力端子INから供給される入力信号は、入力バッファ
IB2を通して取り込まれることになる。このとき、上
記ナンドゲート回路G2の出力信号がハイレベルにされ
ることに応じて、入力バッファIB1のPチャンネル型
MOSFETQ1がオフ状態に、Nチャンネル型MOS
FETQ4がオン状態にされる。これにより、入力バッ
ファIB1は、端子INからの入力信号に無関係にロウ
レベルの固定信号を出力する。
【0046】上記のような2つの入力バッファIB1と
IB2に対応して、活性化された方の出力信号を内部回
路に取り込むための出力スイッチ回路SW1とSW2が
設けられる。出力スイッチ回路SW1とSW2は、3状
態出力機能を持つCMOSスイッチを組み合わせたマル
チプレクサである。入力バッファIB1に対応した出力
スイッチ回路SW1は、上記入力バッファの出力信号を
受けるPチャンネル型MOSFETQ10とNチャンネ
ル型MOSFETQ11からなるCMOSインバータ回
路と、このCMOSインバータ回路に動作電圧を供給す
るPチャンネル型MOSFETQ9とNチャンネル型M
OSFETQ12がそれぞれ設けられる。上記Pチャン
ネル型MOSFETQ9のゲートには、判定信号Vchが
インバータ回路N2により反転されて供給され、Nチャ
ンネル型MOSFETQ12のゲートには判定信号Vch
がそのまま供給される。入力バッファIB2に対応した
出力スイッチ回路SW2も上記同様な回路により構成さ
れる。ただし、入力バッファIB2の出力信号を受ける
CMOSインバータ回路に動作電圧を供給するPチャン
ネル型MOSFETとNチャンネル型MOSFETに
は、上記判定信号Vchが逆の組み合わせで供給される。
そして、上記2つの出力スイッチ回路SW1とSW2の
出力端子は共通に出力端子OUTに接続される。
【0047】電源電圧Vccが約5Vのような高い電圧で
あることにより判定信号Vchがハイレベルにされたな
ら、出力スイッチ回路SW1のNチャンネル型MOSF
ETQ12と、インバータ回路N1のロウレベルにより
Pチャンネル型MOSFETQ9がオン状態となり、出
力スイッチ回路SW1のCMOSインバータ回路が動作
状態になり、このとき活性化されている入力バッファI
B1の出力信号を出力させる。このとき、他方の出力ス
イッチ回路SW2は、Pチャンネル型MOSFETとN
チャンネル型MOSFETとが共にオフ状態にされ、出
力ハイインピーダンス状態にされている。それ故、入力
端子INから供給される外部信号は上記入力バッファI
B1と出力スイッチ回路SW1を通して出力端子OUT
に伝えられ、内部回路に取り込まれる。
【0048】電源電圧Vccが約3Vのような低い電圧で
あることにより判定信号Vchがロウレベルにされたな
ら、出力スイッチ回路SW1のNチャンネル型MOSF
ETQ12と、インバータ回路N1のハイレベルにより
Pチャンネル型MOSFETQ9がオフ状態となり、代
わってスイッチ回路SW2の同様なスイッチMOSFE
Tがオン状態になる。これにより、このとき活性化され
ている入力バッファIB2の出力信号が出力スイッチ回
路SW2を通して出力される。このとき、上記のように
出力スイッチ回路SW1は、Pチャンネル型MOSFE
TQ9とNチャンネル型MOSFET12が共にオフ状
態にされて、出力ハイインピーダンス状態にされてい
る。それ故、入力端子INから供給される外部信号は上
記入力バッファIB2と出力スイッチ回路SW2を通し
て出力端子OUTに伝えられ、内部回路に取り込まれ
る。
【0049】このように約5Vと約3Vのような2つの
動作電圧に限定して動作させる構成を採り、内部回路を
外部から供給される電源電圧により行わせる構成では、
2つの動作電圧に対応して外部から供給される入力信号
のレベルの相違に対して、2つの入力バッファと出力ス
イッチ回路を設けるという比較的簡単な構成により、汎
用ライタ(プログラマ)を用いての書き込みが可能にな
るとともに、5V系と3V系のいずれの動作電圧を持つ
システムにおいても同様に使用することができる。この
結果、用途の拡大が可能となり、EPROMメーカー側
においては量産性の向上を図ることができ、EPROM
のユーザーにあっては、5V系と3V系のシステムに同
様に使用できるから、システム設計が容易になるととも
に組み立て部品管理の煩わしさを無くすことができる。
【0050】また、上記のような約5Vと約3Vのよう
な2つの動作電圧により、内部回路の動作速度や消費電
流に比較的大きな差が生じるなら、それぞれの動作電圧
のもとで動作速度や消費電力を保証するよう、動作電圧
に対応して異なる仕様にする。このようにすれば、1つ
のEPROMが5V系のシステムに搭載される場合と、
3V系のシステムに搭載される場合とではそれぞれの仕
様に合わせて異なる実質的に異なる品種のように扱えば
よい。このように1つの半導体集積回路装置に対して動
作速度や消費電力等を、それぞれ動作電圧に応じて決め
るようにすることにより、内部回路が複雑化されてしま
うことが防止できる。
【0051】図11には、上記データ出力バッファDO
Bの外部へ出力信号を送出する出力バッファの一実施例
の具体的回路図が示されている。この実施例では、出力
端子OUTに対して2つの出力バッファOB1とOB2
が設けられる。出力バッファOB1は、電源電圧Vccに
無関係に常に動作状態にされる。すなわち、Pチャンネ
ル出力MOSFETQ1とNチャンネル出力MOSFE
TQ2のゲートには、ドライバを構成するCMOSイン
バータ回路N1,N2を通してセンスアンプの出力信号
が供給される。これに対して、出力バッファOB2は、
電源電圧Vccが約3Vのように比較的低い電圧にされた
ときに、活性化される。すなわち、電源電圧Vccが約5
Vのような比較的高いときには、出力MOSFETQ1
とQ2には十分な駆動電圧が供給されるから、比較的大
きな出力電流を得ることができる。これに対して、電源
電圧Vccが約3Vのように40%も大幅に低減したとき
には、それに応じて出力電流も小さくされる。この結
果、5V系で動作させる場合と3V系で動作させる場合
とで実質的な動作速度に差が生じてしまう。この動作速
度の差はそのままにして前記のように異なる仕様とする
ものであってもよいが、この実施例では出力バッファO
B2を活性化して駆動能力を維持して動作速度をほぼ同
じくしようとするものである。
【0052】このため、出力バッファOB2は、3状態
出力機能を持つようにされる。すなわち、Pチャンネル
出力MOSFETQ3のゲートには、ナンドゲート回路
G1が駆動回路として設けられ、Nチャンネル出力MO
SFETQ4のゲートには、ノアゲート回路G2が駆動
回路として設けられる。ノアゲート回路G2の制御入力
には判定信号Vchが供給され、ナンドゲート回路G1の
制御入力には判定信号Vchがインバータ回路N3により
反転されて供給される。ナンドゲート回路G1とノアゲ
ート回路G2の他方の入力にはセンス出力が供給され
る。
【0053】電源電圧Vccが約5Vのような高い電圧で
あることにより判定信号Vchがハイレベルにされなら、
センス出力に無関係にゲート回路G1とG2の出力信号
はハイレベルとロウレベルにされる。これにより、出力
MOSFETQ3とQ4は共にオフ状態にされる。これ
により、出力バッファOB1のみによって出力端子OU
Tに接続される負荷が駆動される。これに対して、電源
電圧Vccが約3Vのような低い電圧であることにより判
定信号Vchがロウレベルにされたなら、ゲート回路G1
とG2がゲートを開いて、センス出力に対応してPチャ
ンネル出力MOSFETQ3とNチャンネル出力MOS
FETQ4がオン状態/オフ状態にされる。この場合に
は、出力バッファOB1とOB2とによって出力端子O
UTに接続される負荷が駆動される。これにより、低電
圧のとのき負荷駆動能力の落ち込みを補償することがで
きる。
【0054】図1の実施例に示したアドレスバッファX
ADB,YADB等の入力バッファにおいて、図10図
のような入力バッファを用いるものであってもよい。こ
の場合には、アドレスバッファXADB,YADB等の
入力バッファに限って、内部定電圧Vcvに代えて、外部
から供給される電源電圧Vccをそのまま用いるものであ
る。なお、図1の実施例のように、アドレスバッファX
ADB,YADB等の入力バッファを含めて内部回路を
内部定電圧Vcvを用いた場合には、同じロジックスレッ
ショルド電圧による入力信号の取り込みが可能になる。
例えば、5V系のシステムでは通常TTL(トランジス
タ・トランジスタ・ロジック)レベルが入力され、3V
系のシステムでは通常CMOSレベルが入力される。こ
のような入力インターフェイスが最も現実的であり、両
者を満足するような中間レベルを持つCMOSインバー
タ回路は簡単に形成することができる。
【0055】図12には、プログラマとEPROMとの
接続関係のブロック図が示されている。プログラマが汎
用ライタのときには、EPROMに供給される電源電圧
Vccは5又は6Vのような比較的高い電圧とされ、高電
圧VPPは約12V程度の高い電圧である。制御端子に
は、動作モードを指示する制御信号CEB及びOEBが
供給される。アドレス端子にはアドレス信号線ADDR
ESを介してX系とY系のアドレス信号が供給される。
書き込みデータとベリファイのための読み出しデータ
は、データ信号線DATAを通して授受される。上記の
ように8ビット単位での書き込み/読み出しを行う場合
には、データ信号線は8本から構成される。接地電位線
GNDによりプログラマの接地電位とEPROMの接地
端子が接続される。
【0056】図13には、この発明に係るEPROMが
搭載されたマイクロコンピュータシステムの一実施例の
ブロック図が示されている。この実施例のマイクロコン
ピュータシステムは、マイクロプロセッサCPUを中心
として、プログラム等が格納されたROM(リード・オ
ンリー・メモリ)、主メモリ装置として用いられるRA
M(ランダム・アクセス・メモリ)、入出力ポートI/
OPORT、この発明に係る前記EPROM、制御回路
CONTROLLERを介して接続されるモニターとし
て液晶表示装置がアドレスバスADDRESS、データ
バスDATAと、図示しない制御バスとによって相互に
接続されてなる。この実施例では、上記表示装置LCD
の動作に必要な12V系電源RGUを、持つものであ
る。それ故、この高電圧を利用してEPROMの書き込
みを行うようにすることもできる。EPROMには、シ
ステムアドレスのうちEPROMに割り当てられたアド
レス空間を示すアドレス信号をデコーダが設けられてお
り、信号CEBがこのデコーダにより形成される。この
マイクロコンピュータシステムは、従来のような5V系
のものであってもよいし、3Vのような低電圧を用いる
ものであってもEPROMを同様に搭載することができ
る。特に、低消費電力化やラップトップ型、パームトッ
プ型のような電子手帳を構成するときには、3Vのよう
な低電圧で動作させることが有利である。このような低
電圧システムにEPROMを搭載するときでも、書き込
み動作は従来の汎用ライタをそのまま用いて書き込みを
行うようにすることができるものである。
【0057】上記実施例から得られる作用効果は、下記
の通りである。すなわち、 (1) 外部から供給される所定の許容範囲を持つ比較
的高い動作電圧と所定の許容範囲を持つ比較的低い動作
電圧との双方に限定して動作可能に内部回路を構成する
場合には、内部回路を低電圧側に固定電圧で動作させた
り、入出力インターフェイスを2つの動作電圧に対応し
たものを用意する等の簡単な手段により実現でき、これ
により用途の広い半導体集積回路装置を得ることができ
るという効果が得られる。 (2) 上記電源電圧判定回路により外部から供給され
る電源電圧が比較的低い動作電圧であるときには電圧切
り替え回路を制御して、定電源電圧回路により形成され
た動作電圧に代えて外部から供給される比較的低い動作
電圧を内部回路の動作電圧として切り替えて用いるよう
にすることにより、外部から供給される電源電圧を有効
に利用できるとともに、簡単な構成により約5Vと約3
Vのように電圧が大きく異なる2つの電源電圧により動
作可能な半導体集積回路装置を得ることができるという
効果が得られる。
【0058】(3) 外部から供給される入力信号を受
ける入力回路として、比較的高い動作電圧のときの入力
信号に対応したロジックスレッショルド電圧を持つもの
と、比較的低い動作電圧のときの入力信号に対応したロ
ジックスレッショルド電圧を持つものとの2つの入力回
路を設けておいて、外部から供給される電源電圧の判定
結果に対応して1つの入力回路の動作を有効にさせると
いう比較的簡単な構成により、約5Vと約3Vのように
電圧が大きく異なる2つの電源電圧により動作可能な半
導体集積回路装置を得ることができるという効果が得ら
れる。 (4) 外部端子へ出力信号を送出する出力回路とし
て、定常的に動作させられるとともに比較的高い動作電
圧のときの出力駆動能力に対応した出力回路と、比較的
低い動作電圧のときの出力信号の駆動能力不足を補うよ
うに設けられた2の出力回路を形成しておいて、低い動
作電圧のときには上記2つの出力回路を動作させること
により、低い動作電圧での動作速度を補償することがで
きるという効果が得られる。
【0059】(5) 内部回路として、フローティング
ゲートとコントロールゲートとの2層ゲート構造を持つ
不揮発性メモリセルを備えるものにあっては、汎用ライ
タ又はプログラマによる書き込みが可能になるととも
に、約5Vのような高電圧システムと約3Vのような低
電圧システムとの双方での読み出しが可能になるという
効果が得られる。 (6) 上記(5)の不揮発性メモリセルを備えるもの
において、メモリセルからの読み出し信号を増幅する初
段増幅回路の増幅出力信号を受けるセンス回路として、
比較的高い動作電圧のときの読み出し信号に対応したロ
ジックスレッショルド電圧を持つものと、比較的低い動
作電圧のときの読み出し信号に対応したロジックスレッ
ショルド電圧を持つものとを形成し、電源電圧判定信号
に対応して1つのセンス回路の動作を有効にされるとい
う比較的簡単な構成により、約5Vのような高電圧シス
テムと約3Vのような低電圧システムとの双方での読み
出しが可能にEPROMを得ることができるという効果
が得られる。
【0060】(7) 半導体集積回路装置に構成される
内部回路の動作条件を、外部から供給される所定の許容
範囲を持つ比較的高い動作電圧と所定の許容範囲を持つ
比較的低い動作電圧との双方に対応してそれぞれ独自に
設定するという方法を採ることにより、内部回路を低電
圧側に固定電圧で動作させたり、入出力インターフェイ
スを2つの動作電圧に対応したものを用意する等の簡単
な手段により、これらの2つの動作電圧のいずれにおい
ても選択的に動作可能な半導体集積回路装置を得ること
ができるという効果が得られる。 (8) 外部から供給される電源電圧が比較的高い電圧
であるときには、内部定電源電圧回路で低い動作電圧に
変換して内部回路を動作させ、電源電圧が低い動作電圧
であるときには定電源電圧回路により形成された電圧に
代えて外部から供給される比較的低い動作電圧を内部回
路の動作電圧として切り替えて用いるようにする方法を
採ることにより、外部から供給される電源電圧を有効に
利用できるとともに、簡単な構成により約5Vと約3V
のように電圧が大きく異なる2つの電源電圧により動作
可能な半導体集積回路装置を得ることができるという効
果が得られる。
【0061】以上本発明者よりなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、本願発明は前記実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種
々変更可能であることはいうまでもない。例えば、メモ
リアレイの消去は、電気的に消去するものであってもよ
い。すなわち、フローティングゲートに蓄積された電荷
を、トンネル電流を利用してソース側、ドレイン側又は
基板又はウェル側に引き抜くようにした、いわゆる一括
消去型EEPROMであってもよい。この場合には、前
記図13のようなシステムに搭載したまま書き込み/消
去が可能になる。また、内部回路は、EPROMあるい
は上記のような一括消去型EEPROMの他、スタティ
ック型RAMやダイナミック型RAMあるいはCMOS
ロジック回路やマイクロプロセッサやその各種周辺回路
等であってもよい。このような内部回路にあっては、E
PROMのように汎用のEPROMを用いることによる
動作電圧の制限はなくなるが、5Vのような従来システ
ムでも、3Vのような低電圧システムでも搭載可能な半
導体集積回路装置を得ることができる。これにより、シ
ステムの拡張や変更により、動作電圧が変更された場合
でもそれに対応して動作する半導体集積回路装置を得る
ことができるものである。
【0062】電圧変換回路の構成やそれに用いられる基
準電圧発生回路やボルテージフォロワあるいは電源スイ
ッチ等の具体的構成は、種々の実施形態を採ることがで
きるものである。低電圧側の動作電圧は、約3Vの他、
2.5Vあるいは2Vのような電圧を中心として±10
%の許容電圧範囲を設定するもの他、約3V〜2V等の
ように所定の比較的大きな許容範囲を設定するものであ
ってもよい。すなわち、低電圧システムとして最も現実
的な信号レベルはCMOSレベルであり、このCMOS
レベルにあっては電源電圧の変化に対応して内部回路及
び外部端子に接続されるインターフェイス回路のロジッ
クスレッショルド電圧も追従して変化するので許容電圧
範囲を上記のように大きくできる。上記動作電圧の許容
範囲を大きくした場合には、それに応じて消費電流や動
作速度も区々になることが考えられるが、その動作電圧
に応じて仕様を設定することにより解決できるものであ
る。言い換えるならば、それが搭載されるシステムにお
ける動作電圧に応じた仕様に従った使い方をするように
すればよい。
【0063】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、半導体集積回路装置の内部
回路として、外部から供給される所定の許容範囲を持つ
比較的高い動作電圧と所定の許容範囲を持つ比較的低い
動作電圧との双方により動作可能にする。この構成で
は、2種類の動作電圧に応じて内部回路が動作可能であ
ればよいから簡単な構成により内部回路が実現でき、2
つの従来システムと低電圧システムのいずれでも使用可
能な半導体集積回路装置を得ることができる。また、従
来システムのような比較的高い動作電圧と低電圧システ
ム用の低電圧の2つに限定し、しかもそれぞれに対応し
て仕様が決められるという動作方法を採ることにより、
簡単な構成により半導体集積回路装置の用途の拡大が図
られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたEPROMの一実施例を
示すブロック図である。
【図2】図1の電圧変換回路CONVの一実施例を示す
ブロック図である。
【図3】図2の基準電圧発生回路の一実施例を示す具体
的回路図である。
【図4】図2のボルテージフォロワの一実施例を示す具
体的回路図である。
【図5】図2の電源電圧スイッチの一実施例を示す具体
的回路図である。
【図6】ボルテージフォロワの他の一実施例を示す具体
的回路図である。
【図7】図2の電源電圧判定回路の一実施例を示す具体
的回路図である。
【図8】図7の電源電圧判定回路の動作を説明するため
の電圧特性図である。
【図9】この発明に係るEPROMの他の一実施例を示
すブロック図である。
【図10】図9のEPROMに用いられる入力バッファ
の一実施例を示す具体的回路図である。
【図11】図9のEPROMに用いられる出力バッファ
の一実施例を示す具体的回路図である。
【図12】プログラマとEPROMの関係を示すブロッ
ク図である。
【図13】この発明に係るEPROMが搭載されるマイ
クロコンピュータシステムの一実施例を示すブロック図
である。
【符号の説明】
XADB…Xアドレスバッファ、YADB…Yアドレス
バッファ、XDCR…Xアドレスデコーダ、YDCR…
Yアドレスデコーダ、SA…センスアンプ、CONT…
制御回路、DOB…データ出力バッファ、DIB…デー
タ入力バッファ、CONV…電圧変換回路、DETC…
電源電圧判定回路、CPU…マイクロプロセッサ、RO
M…リード・オンリー・メモリ、RAM…ランダム・ア
クセス・メモリ、I/OPORT…入出力ポート、EP
ROM…不揮発性記憶装置、RGU…12V系電源装
置、LCD…液晶表示装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松尾 章則 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリ ング株式会社内 (56)参考文献 特開 平3−160818(JP,A) 特開 平3−108194(JP,A) 特開 平2−125521(JP,A) 特開 昭63−76007(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 16/06,11/401

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1つの半導体基板上に形成されてなる不
    揮発性記憶装置であって、 電源電圧を受ける外部電源電圧端子と、 上記外部電源電圧端子から供給された電源電圧が所定の
    電圧範囲であるか否かを判定する電圧判定回路と、 複数からなる不揮発性メモリセルと、 上記複数の不揮発性メモリセルのうち選択された1つか
    らの読み出し信号を増幅するセンスアンプと、 外部出力端子と、 上記センスアンプの増幅出力信号を受け、上記電圧判定
    回路の出力信号に対応して、上記外部電源電圧が上記所
    定の電圧範囲内であるときには第1のロジックスレッシ
    ョルド電圧によってデータを出力し、上記外部電源電圧
    が所定の電圧範囲以下のときには上記第1のロジックス
    レッショルド電圧より低くされた第2のロジックスレッ
    ショルド電圧によってデータを出力させる出力回路とを
    備えてなることを特徴とする不揮発性記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 上記センスアンプは、上記外部電源電圧端子から供給さ
    れる電源電圧により動作させられることを特徴とする不
    揮発性記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項2において上記出力回路は、 上記センスアンプの増幅出力信号を受け、上記外部電源
    電圧が所定の電圧範囲内であるときの読み出し信号に対
    応した第1のロジックスレッショルド電圧を持つように
    された第1の回路と、 上記外部電源電圧が上記所定の電圧範囲以下であるとき
    の読み出し信号に対応し、上記第1のロジックスレッシ
    ョルド電圧より低くされた第2のロジックスレッショル
    ド電圧を持つようにされた第2の回路と、 上記電圧判定回路からの出力信号に応答して上記第1又
    は第2の回路を選択する選択回路と、 上記選択回路により選択された第1又は第2の回路の出
    力信号を上記出力端子へ伝える出力バッファ回路とを含
    むことを特徴とする不揮発性記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項3において、 上記選択回路は、上記第1の回路と第2の回路の出力信
    号を選択するものであることを特徴とする不揮発性記憶
    装置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、 上記第1の回路、第2の回路及び選択回路の各々は、外
    部電源供給端子を介して供給される外部電圧により動作
    させられるものであることを特徴とする不揮発性記憶装
    置。
  6. 【請求項6】 請求項1において更に、 上記複数の不揮発性メモリセルに供給される入力信号が
    入力される外部入力端子と、上記外部入力端子と上記複
    数のメモリセルとの間に設けられ、上記電圧判定回路に
    接続された入力回路とを備え、 上記入力回路は、 上記外部入力端子から供給された入力信号を受け、上記
    電圧判定回路の出力信号に対応して、上記外部電源電圧
    が上記所定の電圧範囲内であるときには第1のロジック
    スレッショルド電圧によってデータを入力し、上記外部
    電源電圧が所定の電圧範囲以下のときには上記第1のロ
    ジックスレッショルド電圧より低くされた第2のロジッ
    クスレッショルド電圧によってデータを入力させること
    を特徴とする不揮発性記憶装置。
  7. 【請求項7】 請求項6において上記入力回路は、 上記外部入力端子に接続され、第1のロジックスレッシ
    ョルド電圧を持つようにされた第1の入力回路と、 上記外部入力端子に接続され、第2のロジックスレッシ
    ョルド電圧を持つようにされた第2の入力回路と、 上記電圧判定回路からの出力信号に応答して上記第1又
    は第2の入力回路を選択する選択回路とを含むことを特
    徴とする不揮発性記憶装置。
  8. 【請求項8】 請求項7において、 上記第1の入力回路は、上記外部電源電圧が所定の電圧
    範囲内であるときの入力信号に対応して決められた第1
    のロジックスレッショルド電圧を持ち、 上記第2の入力回路は、上記外部電源電圧が所定の電圧
    囲以下のときの入力信号に対応して決められた第2の
    ロジックスレッショルド電圧を持つことを特徴とする不
    揮発性記憶装置。
  9. 【請求項9】 請求項6において、 上記外部入力端子は、出力端子としても用いられること
    を特徴とする不揮発性記憶装置。
  10. 【請求項10】 請求項6において出力回路は、 上記電圧判定回路より外部電源供給端子から供給された
    電源電圧が上記所定の電圧範囲以下であると判定された
    とき、外部出力端子に供給される出力電流を補う出力補
    償回路を含むことを特徴とする不揮発性記憶装置。
  11. 【請求項11】 請求項10において出力回路は、 上記センスアンプと外部出力端子との間に設けられた第
    1の出力回路と、 上記センスアンプと外部出力端子との間に設けられ、上
    記電圧判定回路より外部電源供給端子から供給された電
    源電圧が上記所定の電圧範囲以下であると判定されたと
    き応答して上記出力補償回路として動作する第2の出力
    回路とを含むことを特徴とする不揮発性記憶装置。
  12. 【請求項12】 請求項1において出力回路は、 上記電圧判定回路より外部電源供給端子から供給された
    電源電圧が上記所定の電圧範囲以下であると判定された
    とき、外部出力端子に供給される出力電流を補う出力補
    償回路を含むことを特徴とする不揮発性記憶装置。
  13. 【請求項13】 請求項12において出力回路は、 上記センスアンプと外部出力端子との間に設けられた第
    1の出力回路と、 上記センスアンプと外部出力端子との間に設けられ、上
    記電圧判定回路より外部電源供給端子から供給された電
    源電圧が上記所定の電圧範囲以下であると判定されたと
    き応答して上記出力補償回路として動作する第2の出力
    回路とを含むことを特徴とする不揮発性記憶装置。
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