JP3369819B2 - セラミックス焼結体の製造方法 - Google Patents

セラミックス焼結体の製造方法

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克典 寺野
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Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックス焼結
体の製造方法に関する。 【0002】 【従来の技術】パワーモジュール用放熱基板として窒化
アルミニウム焼結体が注目されている。この放熱基板用
窒化アルミニウム焼結体は、焼成時の充填率を高めるた
めにその十数枚積層してから1700℃以上の高温で焼
結されており、その際、焼結後の離型性を良くするため
にBN粉を含む離型剤が塗布されている。 【0003】従来、離型剤の塗布方法としては、トルエ
ンやキシレン等の揮発性の有機溶剤に離型剤を分散させ
スプレー方式で行われている。しかしながら、スプレー
方式による塗布では、高価なBN粉のロスが多いという
問題に加えて、塗布膜厚にムラが生じやすく、塗布膜が
薄い部分は焼結体同士を剥がすことができなくなり、逆
に塗布膜が厚い部分は塗布膜の厚みムラにより焼結体に
凹凸が生じるという問題があった。 【0004】更には、窒化アルミニウム焼結体は一般的
に液相焼結によって製造されるが、この場合、焼結体表
面の焼結助剤成分とBN粉に含まれる酸素とが反応して
形成したガラス相の熱膨張率が窒化アルミニウム焼結体
のそれと異なるため、焼結後の冷却時にひずみを生じ、
局部的に凹凸や反りが生じるという問題もあった。 【0005】 【発明が解決しょうとする課題】本発明の目的は、以上
の問題点を解消し、離型剤の塗布ロスが少なく、局部的
な凹凸や反りが生じない、離型性の良好なセラミックス
焼結体の製造方法を提供することである。 【0006】 【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、セ
ラミックスのグリーンシートを成形し、その表面に、
素量が3重量%以下で、平均粒径が20μm以下のBN
粉を含む離型剤をロールコーターによりBN粉として
0.3〜3mg/cm を塗布した後、その複数枚を積
層し、脱脂後、その積層体の上下面をBN製セッターで
押さえ、そのままセッターと同一材質で製作された密閉
容器内に収納し、焼結することを特徴とするセラミック
ス焼結体の製造方法である。 【0007】 【発明の実施の形態】以下、さらに詳しく本発明につい
て説明する。 【0008】本発明が対象としているセラミックスは、
窒化アルミニウム、窒化ケイ素、アルミナ等のようにグ
リーンシート成形が可能なものである。本発明は、窒化
アルミニウム焼結体の製造に特に好適であるので、以
下、窒化アルミニウムを例にとって説明する。 【0009】窒化アルミニウムのグリーンシート(以
下、単に「グリーンシート」という。)は、窒化アルミ
ニウム粉末に焼結助剤を添加しボールミル等で充分に混
合し、シート状に成形することによって製造することが
できる。窒化アルミニウム粉末としては一般に市販され
ているものが使用され、また焼結助剤としてはイットリ
ウム化合物が好ましく、具体的にはその酸化物、フッ化
物、塩化物、硝酸塩、硫酸塩等があげられるが、特に酸
化イットリウムが好ましい。焼結助剤の使用量は窒化ア
ルミニウム粉末100重量部に対して1〜5重量部程度
である。 【0010】窒化アルミニウム粉末と焼結助剤を含む混
合粉末の成形方法として、ドクターブレード法、押し出
し成型法等が採用される。ドクターブレード法では、窒
化アルミニウム粉末と焼結助剤の混合粉末100重量部
に対し、有機結合剤4〜12重量部、可塑剤2〜10重
量部、分散剤1〜3重量部、溶剤10〜40重量部を混
合してスラリーを調製し、脱泡後シート状に成形され
る。スラリーの混合はジルコニア製メディアを用いて5
0時間以上行われる。 【0011】有機結合剤としてはポリビニルブチラー
ル、ポバール、アクリルポリマー等、可塑剤としてはジ
ブチルフタレート、ジオクチルフタレート等、分散剤と
しては脂肪族エステル等、溶剤としては塩素系、ケトン
系、芳香族系、アルコール系、パラフィン系等がそれぞ
れ使用される。 【0012】得られたグリーンシートは、プレス装置に
よって所定形状に打ち抜かれた後、その片面もしくは両
面にBN粉を含む離型剤をロールコーターにより塗布す
る。BN粉を含む離型剤はスラリー化して用いられる
が、その媒体としては、グリーンシートを成形するのに
使用された有機結合剤を溶解しない溶剤、例えばテルピ
ネオール等の高沸点有機溶剤と、BN粉の結合剤として
機能する有機糊剤、例えばメチルセルロース、エチルセ
ルロース等のセルロース系、ポリイソブチルメタクリレ
ート等のアクリル系樹脂との混合物を使用することが好
ましい。 【0013】本発明で採用されるロールコーターとは、
コーティングロールを用いて離型剤を塗布するものであ
り、例えば2本型ダイレクトロールコーター、3本型ダ
イレクトロールコーター、4本型ダイレクトロールコー
ターが採用される(例えば「実用プラスチック用語辞
典」第760〜761頁(1989年9月10日(株)
プラシチックス・エージ)、「新・包装技術便覧」第5
04〜507頁(昭和46年10月(日本包装技術協会
日本生産性本部)参照)。 【0014】BN粉の塗布量は、0.3〜3.0mg/
cmが好ましく、0.3mg/cm未満では離
型性が悪くなり、3.0mg/cmを越えると焼成
時の収縮により、BN粉が焼結体の中央に集まり焼結体
の反りが大きくなる。塗布量の調節は、ロールでグリー
ンシートを押さえる圧力や、スラリー粘度の調整によっ
て行われる。スラリー粘度としては1000cps以下
が望ましい。 【0015】離型剤成分のBN粉の酸素量は3重量%以
下特に2重量%以下であることが好ましい。酸素量が3
重量%を越えると焼結体表面の焼結助剤相と反応し、反
りや凹凸が大きくなる。更には、離型剤成分のBN粉の
平均粒径は20μm以下が好ましく、20μmを越える
と塗布膜の密着強度が弱くなり取扱い時に剥がれやすく
なる。 【0016】離型剤の塗布されたグリーンシートは、複
数数通常は十数枚を積層し脱脂後焼成される。脱脂条件
は、使用した有機結合剤の種類に応じて窒素及び/又は
空気中で行われ、温度は900℃を越えない温度特に空
気中では600℃を越えない温度で行われる。 【0017】脱脂されたグリーンシートは、次いで炉内
にセットされ、窒素、アルゴン等の非酸化性雰囲気下、
温度1700〜2000℃で焼成される。グリーンシー
トを炉内にセットする際、その下面と接する面は窒化ア
ルミニウムの焼結を阻害せずしかも窒化アルミニウムと
焼結助剤との反応が起こらないようにすることが望まし
いので、グリーンシートの下面と接する面にはBN系焼
結体からなるセッターを配置することが望ましい。 【0018】更に好ましい態様について説明すると、グ
リーンシートに積層体を単に重し材で押さえただけで
は、シート端部の焼結助剤が一部飛散し、焼結シートの
端部がわずかに変色する。これを防ぐため、グリーンシ
ートをセッターで押さえた後、そのまま密閉容器内に収
納して焼結することが好ましい。密閉容器の材質として
は、炭素質のものは窒化アルミニウムの焼結を阻害する
ので好ましくないので、例えばタングステン、モリブデ
ン、窒化アルミニウム焼結体等の高融点物質が好まし
い。しかしながら、ヒーター材や炉材に黒鉛又は炭素製
品を使用しているような炉の場合には、酸化物で構成し
たものでは還元され、また高融点金属では焼結温度によ
っては変形を起こす恐れがあるので、密閉容器の材質は
BN系焼結体であることが好ましい。 【0019】 【実施例】以下、本発明を実施例と比較例を挙げて具体
的に説明する。 【0020】実施例1 窒化アルミニウム粉末95重量部、酸化イットリウム粉
末5重量部、ジブチルフタレート4重量部、グリセリン
トリオレート1重量部、トルエン35重量部、イソプロ
パノール15重量部、ポリビニルブチラール8重量部を
ジルコニアで内張りされた容器に入れ、ジルコニア製ボ
ールを用いて50時間混合した。 【0021】得られたスラリーを脱泡機にかけ、粘度を
15000cpsに調整した後、ドクターブレード装置
により、厚みが0.75mmのシート状に成形した。そ
れをプレス装置にて100×100mmの形状に打ち抜
いた後、それぞれの表面に、BN粉(酸素量2重量%、
平均粒径10μm)30重量部、テルピネオール60重
量部、ポリイソブチルメタクリレート10重量部、トル
エン30重量部の混合物からなる離型剤スラリー(粘度
約500cps)をロールコーターによりBN粉として
1.5mg/cm2 塗布した後、それらの5枚重ねて脱
脂炉に入れ、温度500℃、5時間空気中で熱処理して
脱脂した。 【0022】次いで、BN焼結体から切り出されたセッ
ター(125mm×125mm×4mm、平面度300
μm以下)を脱脂されたグリーンシートの上下にセット
し、それを該セッターと同一材質で製作された箱形密閉
容器内に収納し、常圧窒素雰囲気中、温度1850℃で
45分間保持した後、温度1700℃までの冷却速度を
1.5℃/分として室温まで冷却し、窒化アルミニウム
焼結体を製造した。得られた5枚の焼結体はいずれも容
易に離型することができ、平面度も100μm以下であ
った。 【0023】比較例1 BN粉の塗布量を0.2mg/cmとしたこと以外
は実施例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造
した。得られた焼結体の離型性は若干悪かったが、平面
度は80μm以下であった。 【0024】実施例2 BN粉の塗布量を0.3mg/cm としたこと以外
は実施例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造
した。得られた焼結体は離型性がよく、平面度は100
μm以下であった。 【0025】実施例3 BN粉の塗布量を3.0mg/cmとしたこと以外
は実施例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造
した。得られた焼結体は離型性がよく、平面度は100
μm以下であった。 【0026】比較例2 BN粉の塗布量を3.5mg/cmとしたこと以外
は実施例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造
した。得られた焼結体の平面度は120μm以下であっ
た。 【0027】実施例4 酸素量が3重量%のBN粉を用いたこと以外は実施例1
と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造した。得ら
れた焼結体は離型性がよく、平面度は100μm以下で
あった。 【0028】比較例3 酸素量が3.5重量%のBN粉を用いたこと以外は実施
例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造した。
得られた焼結体の平面度は120μm以下であった。 【0029】実施例5 平均粒径が3μmのBN粉を用いたこと以外は実施例1
と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造した。得ら
れた焼結体は離型性がよく、平面度は100μm以下で
あった。 【0030】実施例6 平均粒径が20μmのBN粉を用いたこと以外は実施例
1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造した。得
られた焼結体は離型性がよく、平面度は100μm以下
であった。 【0031】比較例4 平均粒径が25μmのBN粉の平均粒径を25μmとし
たこと以外は実施例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼
結体を製造した。BN塗布後の取扱いに注意を要した
が、得られた焼結体の平面度は120μm以下であっ
た。 【0032】実施例7 窒化アルミニウム粉末95重量部と酸化イットリウム粉
末5重量部のかわりに、窒化ケイ素粉末87重量部、酸
化マグネシウム粉末5重量部、酸化アルミニウム粉末3
重量部及び酸化イットリウム粉末5重量部とし、また焼
成条件を1650℃×45分、1450℃までの冷却時
間を1.5℃/分としたこと以外は実施例1に準じて窒
化ケイ素焼結体を製造した。得られた焼結体は離型性が
よく、平面度は100μm以下であった。 【0033】比較例5 BN粉の塗布方法をスプレー方式としたこと以外は実施
例1と同じ方法で窒化アルミニウム焼結体を製造した。
得られた焼結体は反りが大きく、平面度は150μm以
上であった。 【0034】上記BN粉及び窒化アルミニウム焼結体の
評価は以下の方法によった。 (1)粒度の測定(n=5) 粒度分析計(レーザー回折法、N&L社(英国)製、商
品名[マイクロトラックSPA−7997])による。 (2)酸素(n=5) LECO社製「TC−136型O/N同時分析計」によ
る。 【0035】 【発明の効果】本発明によれば、離型剤成分であるBN
粉のロスが少なく、焼結体の離型性が良好でしかも平面
が100μm以下の小さなセラミックスを製造するこ
とができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−172041(JP,A) 特開 平5−238835(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/64

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 セラミックスのグリーンシートを成形
    し、その表面に、酸素量が3重量%以下で、平均粒径が
    20μm以下のBN粉を含む離型剤をロールコーターに
    よりBN粉として0.3〜3mg/cm を塗布した
    後、その複数枚を積層し、脱脂後、その積層体の上下面
    をBN製セッターで押さえ、そのままセッターと同一材
    質で製作された密閉容器内に収納し、焼結することを特
    徴とするセラミックス焼結体の製造方法。
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JP2014073919A (ja) * 2012-10-03 2014-04-24 Hitachi Metals Ltd 窒化物系セラミックス基板の製造方法
CN106882967B (zh) * 2017-02-16 2019-08-23 北京钢研新冶精特科技有限公司 一种含内置电极的陶瓷体的热压烧结方法
WO2020203787A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 デンカ株式会社 窒化珪素基板、窒化珪素-金属複合体、窒化珪素回路基板、及び、半導体パッケージ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011178598A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Hitachi Metals Ltd 窒化珪素基板の製造方法および窒化珪素基板
WO2013054852A1 (ja) 2011-10-11 2013-04-18 日立金属株式会社 窒化珪素基板および窒化珪素基板の製造方法
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