JP2011178598A - 窒化珪素基板の製造方法および窒化珪素基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本願第1の発明は、分離材を介して複数枚のグリーンシートを積層して焼結した後に分離することによって複数枚の窒化珪素焼結体を得て、該窒化珪素焼結体から窒化珪素基板を得る、窒化珪素基板の製造方法であって、前記分離材が酸素量0.01〜0.5重量%、平均粒子径4〜20μm、比表面積20m2/g以下の窒化ホウ素(BN)粉であり、前記BN粉を0.05〜1.4mg/cm2の塗布量でグリーンシート表面に塗布することを特徴とする窒化珪素基板の製造方法である。
【選択図】 図1
Description
平均粒径0.8μm、酸素量1%、α化率97%の窒化珪素粉末94重量%、平均粒径0.5μmの酸化マグネシウム粉末3重量%、及び平均粒径0.5μmの酸化イットリウム粉末3重量%の合計100重量部に対して、バインダーとしてポリビニルブチラール20重量部、可塑剤としてジ−2−エチルヘキシルフタレートを5重量部、有機溶剤としてエチルアルコールと1−ブチルアルコールの混合物を150重量部を樹脂で内張りされた容器に入れ、窒化珪素ボールを用いて20時間混合してスラリーを作製した。得られたスラリーの粘度を調整した後、ドクターブレード装置により、厚さが0.4mmのシート状に成形した。その後、これをプレス装置により150mm×150mmの寸法に打ち抜いてグリーンシートとした。
BN粉スラリーを作製する際に窒化珪素ボールを用いたこと以外は実施例1と同じ方法で窒化珪素基板を製造し、同様の評価を行った。
BN粉スラリーを作製する際のBN粉と水の混合時間を5時間とした以外は実施例1と同じ方法で窒化珪素基板を製造し、同様の評価を行った。
BN粉スラリーを作製した後、BNスラリーを塗布するまでの時間を24時間とした以外は実施例1と同じ方法で窒化珪素基板を製造し、同様の評価を行った。
BN粉スラリーをグリーンシートに塗布した後、30℃で24時間乾燥した以外は実施例1と同様の方法で窒化珪素基板を製造し、同様の評価を行った。
表2に示した六方晶BN粉末及びBN塗布量を用いた以外は、実施例1〜9と同様の方法で窒化珪素基板を製造し、同様の評価を行った。
2 グリーンシート
3 BN製セッタ
4 BN製スペーサ
Claims (6)
- 分離材を介して複数枚のグリーンシートを積層して焼結した後に分離することによって複数枚の窒化珪素焼結体を得て、該窒化珪素焼結体から窒化珪素基板を得る、窒化珪素基板の製造方法であって、
前記分離材が酸素量0.01〜0.5重量%、平均粒子径4〜20μm、比表面積20m2/g以下の窒化ホウ素(BN)粉であり、前記BN粉を0.05〜1.4mg/cm2の塗布量でグリーンシート表面に塗布することを特徴とする窒化珪素基板の製造方法。 - 前記BN粉のグリーンシート表面への塗布は、前記BN粉と水とを樹脂製ボールを用いて混合して作製したスラリーを塗布して行うことを特徴とする請求項1記載の窒化珪素基板の製造方法。
- 前記スラリーを作製後、24時間以内にグリーンシート表面への塗布を行うことを特徴とする請求項2に記載の窒化珪素基板の製造方法。
- 前記スラリーが塗布されたグリーンシートを大気中、60℃以上の温度で乾燥した後、積層して焼結することを特徴とする請求項2又は3に記載の窒化珪素基板の製造方法。
- 前記BNが六方晶窒化ホウ素であり、該六方晶窒化ホウ素が塗布されたグリーンシートの表面における六方晶窒化ホウ素の(002)面と(100)面のX線回折線ピーク強度の比が4以上である請求項1乃至4に記載の窒化珪素基板の製造方法。
- Si3N4を主成分とする窒化珪素基板において、前記窒化珪素基板の表面に残留したBNに由来するB量の分布を示す変動係数Cvが1.0以下であり、前記窒化珪素基板表面のうねりWaが1.5μm以下であり(但し、うねりは、表面粗さ計を用いて、ろ波中心線うねりを測定して、その算術平均うねりWa、すなわち、表面高さの平均値からの偏差の絶対値の算術平均である量を用いるものとし、測定条件は評価長さ30mm、測定速度0.3mm/s、カットオフ値(λc)0.25mm、カットオフ値(λf)8.0mmとする)、相対密度が98%以上であることを特徴とする窒化珪素基板。
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