JP2011178598A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011178598A5 JP2011178598A5 JP2010043871A JP2010043871A JP2011178598A5 JP 2011178598 A5 JP2011178598 A5 JP 2011178598A5 JP 2010043871 A JP2010043871 A JP 2010043871A JP 2010043871 A JP2010043871 A JP 2010043871A JP 2011178598 A5 JP2011178598 A5 JP 2011178598A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- waviness
- nitride substrate
- substrate
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
すなわち、本願第1の発明は、分離材を介して、窒化珪素粉末および焼結助剤として少なくとも酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を含む複数枚のグリーンシートを積層して焼結した後に分離することによって複数枚の窒化珪素焼結体を得て、該窒化珪素焼結体から窒化珪素基板を得る、窒化珪素基板の製造方法であって、前記分離材が酸素量０．０１〜０．５重量％、平均粒子径４〜２０μｍ、比表面積２０ｍ２／ｇ以下の窒化ホウ素（ＢＮ）粉であり、前記グリーンシートの厚さは０．２〜０．６ｍｍであり該グリーンシート表面に塗布された前記ＢＮ粉の塗布量は０．０５〜１．４ｍｇ／ｃｍ２であることを特徴とする窒化珪素基板の製造方法を提供するものである。
上記目的を達成するための本願第２の発明は、Ｓｉ３Ｎ４を主成分とし、少なくともＭｇを含む窒化珪素基板において、前記窒化珪素基板の表面に残留したＢＮに由来するＢ量の分布を示す変動係数Ｃｖが１．０以下であり、前記窒化珪素基板表面のうねりＷａが１．５μｍ以下であり（但し、うねりは、表面粗さ計を用いて、ろ波中心線うねりを測定して、その算術平均うねりＷａ、すなわち、表面高さの平均値からの偏差の絶対値の算術平均である量を用いるものとし、測定条件は評価長さ３０ｍｍ、測定速度０．３ｍｍ／ｓ、カットオフ値（λｃ）０．２５ｍｍ、カットオフ値（λｆ）８．０ｍｍとする）、相対密度が９８％以上である窒化珪素基板を提供するものである。
Claims (2)
- 分離材を介して、窒化珪素粉末および焼結助剤として少なくとも酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を含む複数枚のグリーンシートを積層して焼結した後に分離することによって複数枚の窒化珪素焼結体を得て、該窒化珪素焼結体から窒化珪素基板を得る、窒化珪素基板の製造方法であって、
前記分離材が酸素量０．０１〜０．５重量％、平均粒子径４〜２０μｍ、比表面積２０ｍ２／ｇ以下の窒化ホウ素（ＢＮ）粉であり、前記ＢＮ粉を０．０５〜１．４ｍｇ／ｃｍ２の塗布量でグリーンシート表面に塗布することを特徴とする窒化珪素基板の製造方法。
- Ｓｉ３Ｎ４を主成分とし、少なくともＭｇを含む窒化珪素基板において、前記窒化珪素基板の表面に残留したＢＮに由来するＢ量の分布を示す変動係数Ｃｖが１．０以下であり、前記窒化珪素基板表面のうねりＷａが１．５μｍ以下であり（但し、うねりは、表面粗さ計を用いて、ろ波中心線うねりを測定して、その算術平均うねりＷａ、すなわち、表面高さの平均値からの偏差の絶対値の算術平均である量を用いるものとし、測定条件は評価長さ３０ｍｍ、測定速度０．３ｍｍ／ｓ、カットオフ値（λｃ）０．２５ｍｍ、カットオフ値（λｆ）８．０ｍｍとする）、相対密度が９８％以上であることを特徴とする窒化珪素基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010043871A JP5339214B2 (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 窒化珪素基板の製造方法および窒化珪素基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010043871A JP5339214B2 (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 窒化珪素基板の製造方法および窒化珪素基板 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011178598A JP2011178598A (ja) | 2011-09-15 |
| JP2011178598A5 true JP2011178598A5 (ja) | 2013-01-10 |
| JP5339214B2 JP5339214B2 (ja) | 2013-11-13 |
Family
ID=44690531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010043871A Active JP5339214B2 (ja) | 2010-03-01 | 2010-03-01 | 窒化珪素基板の製造方法および窒化珪素基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5339214B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103781742B (zh) * | 2011-10-11 | 2015-08-26 | 日立金属株式会社 | 氮化硅基板和氮化硅基板的制造方法 |
| JP5729519B2 (ja) * | 2012-03-26 | 2015-06-03 | 日立金属株式会社 | 窒化珪素焼結体基板及びその製造方法 |
| JP2014073919A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Hitachi Metals Ltd | 窒化物系セラミックス基板の製造方法 |
| US10669210B2 (en) * | 2016-03-28 | 2020-06-02 | Hitachi Metals, Ltd. | Silicon nitride sintered substrate, silicon nitride sintered substrate sheet, circuit substrate, and production method for silicon nitride sintered substrate |
| KR102094454B1 (ko) | 2017-09-20 | 2020-04-23 | 주식회사 엘지화학 | 질화규소 소결체 제조를 위한 테이프 캐스팅용 슬러리 조성물 |
| WO2020090832A1 (ja) * | 2018-11-01 | 2020-05-07 | 宇部興産株式会社 | 窒化ケイ素基板の製造方法および窒化ケイ素基板 |
| JP7185099B2 (ja) * | 2020-05-19 | 2022-12-06 | デンカ株式会社 | セラミック板の製造方法、セッターの製造方法、及びセッターの再生方法 |
| CN112811912B (zh) * | 2021-01-20 | 2021-11-02 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种高性能氮化硅陶瓷基片的批量化烧结方法 |
| JP7203284B2 (ja) * | 2021-01-26 | 2023-01-12 | デンカ株式会社 | 窒化ホウ素焼結体シートの製造方法、及び焼結体シート |
| JP7319482B2 (ja) * | 2021-08-26 | 2023-08-01 | デンカ株式会社 | セラミックス板の製造方法、セラミックス板、複合シート、及び積層基板 |
| JP7282279B1 (ja) * | 2021-09-13 | 2023-05-26 | デンカ株式会社 | 窒化ホウ素焼結体の製造方法及び窒化ホウ素焼結体 |
| CN116161970A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-05-26 | 无锡海古德新技术有限公司 | 一种高性能氮化硅陶瓷基板的叠层烧结工艺方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3369819B2 (ja) * | 1995-11-15 | 2003-01-20 | 電気化学工業株式会社 | セラミックス焼結体の製造方法 |
| JPH11322443A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-24 | Tdk Corp | セラミックス焼結体の製造方法 |
| JP2002226279A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Ngk Spark Plug Co Ltd | シート焼結体の製造方法 |
| JP4997431B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2012-08-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 高熱伝導窒化ケイ素基板の製造方法 |
-
2010
- 2010-03-01 JP JP2010043871A patent/JP5339214B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011178598A5 (ja) | ||
| Chu et al. | Bamboo-shaped SiC nanowire-toughened SiC coating for oxidation protection of C/C composites | |
| JP2017139038A5 (ja) | ||
| Tatarko et al. | Wear resistance of hot-pressed Si3N4/SiC micro/nanocomposites sintered with rare-earth oxide additives | |
| Wang et al. | (ZrB2–SiC)/SiC oxidation protective coatings for graphite materials | |
| TW201200440A (en) | Disk, method for manufacturing base material for disk, and disk roll | |
| RU2012112955A (ru) | Керамический углеродный композиционный материал, способ получения керамического углеродного композиционного материала, керамический углеродный композиционный материал с керамическим покрытием и способ получения керамического углеродного композиционного материала с керамическим покрытием | |
| JP2017520437A5 (ja) | ||
| WO2011151585A3 (fr) | Procédé et dispositif de mesure de l'épaisseur d'une couche de revêtement sur une bande en défilement. | |
| BR112015015197A8 (pt) | Método para a fabricação produção de artigo óptico, método para obter um artigo óptico cortado e artigo óptico | |
| JP2019127415A5 (ja) | ||
| Boussois et al. | Characterization of textured ceramics containing mullite from phyllosilicates | |
| PH12015502151A1 (en) | Release film for green sheet manufacturing, and method for manufacturing release film for green sheet manufacturing | |
| JP2011145281A5 (ja) | ||
| JP2015505748A5 (ja) | ||
| TR201909797T4 (tr) | Seramik ürünlerin ve bilhassa döşeme karolarının üretiminde opaklaştırıcı madde olarak alümin kullanımı. | |
| JP2013118376A5 (ja) | ||
| Yang et al. | The influence of size effect on sensitivity of Cu/CuNi thin-film thermocouple | |
| Hu et al. | Nano-scale displacement sensing based on van der Waals interactions | |
| CN104764904B (zh) | 一种三轴压电加速度计 | |
| CN103592188A (zh) | 一种观察和测量脆性薄膜在硬基底上界面断裂韧性的方法 | |
| Blugan et al. | Oxidation and corrosion of silicon nitride ceramics with different sintering additives at 1200 and 1500° C in air, water vapour, SO2 and HCl environments–A comparative study | |
| CN202472016U (zh) | 1680纳米带通红外滤光片 | |
| JP6453235B2 (ja) | 多孔質板状フィラー、及び断熱膜 | |
| JP2013076124A5 (ja) |