JPS61117161A - 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法Info
- Publication number
- JPS61117161A JPS61117161A JP59235067A JP23506784A JPS61117161A JP S61117161 A JPS61117161 A JP S61117161A JP 59235067 A JP59235067 A JP 59235067A JP 23506784 A JP23506784 A JP 23506784A JP S61117161 A JPS61117161 A JP S61117161A
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- Japan
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- aluminum nitride
- powder
- molded body
- ceramic molded
- nitride ceramics
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は窒化アルミニウムセラミックスの製造方法に関
する。
する。
［発明の技術的背景とその問題点］
窒化アルミニウムセラミックスは高電気絶縁性および高
熱伝導性を備えた非酸化物セラミックであり、回路基板
等各種の部品用材料として近年注目されているものであ
る。この窒化アルミニウムセラミックスの焼成は、例え
ば基板用窒化アルミニウムセラミックス成形体の場合に
はこれを支持台上に載せ、さらにこの窒化アルミニウム
セラミックス成形体を載せた支持台を数段積み重ねて焼
成することが多い。
熱伝導性を備えた非酸化物セラミックであり、回路基板
等各種の部品用材料として近年注目されているものであ
る。この窒化アルミニウムセラミックスの焼成は、例え
ば基板用窒化アルミニウムセラミックス成形体の場合に
はこれを支持台上に載せ、さらにこの窒化アルミニウム
セラミックス成形体を載せた支持台を数段積み重ねて焼
成することが多い。
しかし、この場合被焼成物と支持台とが焼成中の加熱あ
るいは加圧により固着し易く、そのために被焼成物に亀
裂が入ったり割れたりすることが頻繁に発生していた。
るいは加圧により固着し易く、そのために被焼成物に亀
裂が入ったり割れたりすることが頻繁に発生していた。
従来、この解決策として、共素地を被焼成物と支持台間
に挾み焼成するという方法がとられてきたが、この方法
では基板のような薄肉の成形体の場合には焼成時に反っ
たり歪んだりする欠点があった。
に挾み焼成するという方法がとられてきたが、この方法
では基板のような薄肉の成形体の場合には焼成時に反っ
たり歪んだりする欠点があった。
また、窒化アルミニウムセラミックス成形体の焼成法に
関するもう一つの問題点は、従来法によれば、被焼成物
を支持台上に１枚ずつ載せているために支持台に要する
体積並びに重」が大となり、作業性が悪いことの他、こ
の支持台をも加熱を要するために熱が不必要に消費され
るという点である。
関するもう一つの問題点は、従来法によれば、被焼成物
を支持台上に１枚ずつ載せているために支持台に要する
体積並びに重」が大となり、作業性が悪いことの他、こ
の支持台をも加熱を要するために熱が不必要に消費され
るという点である。
［発明の目的］
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたもので、
窒化アルミニウムセラミックス成形体が支持台とも別の
窒化アルミニウムセラミックス成形体とも固着せず、従
って窒化アルミニウムセラミックス成形体を積み重ねて
焼成することの可能な製造方法を提供することを目的と
する。
窒化アルミニウムセラミックス成形体が支持台とも別の
窒化アルミニウムセラミックス成形体とも固着せず、従
って窒化アルミニウムセラミックス成形体を積み重ねて
焼成することの可能な製造方法を提供することを目的と
する。
［発明の概要］
すなわち本発明の窒化アルミニウムセラミックスの製造
方法は、窒化アルミニウムセラミックス成形体を平均粒
径が１〜５０μｍのセラミックス粉末を介在させて複数
段積み重ね、非酸化性雰囲気中で、１６００〜１８５０
℃で焼成することを特徴としている。
方法は、窒化アルミニウムセラミックス成形体を平均粒
径が１〜５０μｍのセラミックス粉末を介在させて複数
段積み重ね、非酸化性雰囲気中で、１６００〜１８５０
℃で焼成することを特徴としている。
本発明の要点は、粒度を厳密にコントロールしたセラミ
ックス粉末を窒化アルミニウムセラミックス成形体と支
持台間および窒化アルミニウムセラミックス成形体間に
介在させることにより、被焼成物の表面あらざに影響を
与えず、かつ良好な平滑度、平面度を保持したまま焼結
体を支持台および別の焼結体から分離できるようにした
ことであり、特に基板用窒化アルミニウムセラミックス
成形体の製造方法として有用である。
ックス粉末を窒化アルミニウムセラミックス成形体と支
持台間および窒化アルミニウムセラミックス成形体間に
介在させることにより、被焼成物の表面あらざに影響を
与えず、かつ良好な平滑度、平面度を保持したまま焼結
体を支持台および別の焼結体から分離できるようにした
ことであり、特に基板用窒化アルミニウムセラミックス
成形体の製造方法として有用である。
ここで用いるセラミックス粉末としては、窒化ホウ素粉
末、窒化アルミニウム粉末、アルミナ粉末があげられる
。なかでも窒化ホウ素粉末が最も好ましい。また、粒度
は平均粒径で１〜５ｏμｍ、好ましくは１〜２０μｍの
ものが適している。これらのセラミックス粉末は、例え
ばアセトン等の有機溶媒に懸濁したものを、スプレィ、
刷毛、ロール等を使用して、あるいはディッピングまた
は乾式で支持台表面および被焼成物表面に塗布する。
末、窒化アルミニウム粉末、アルミナ粉末があげられる
。なかでも窒化ホウ素粉末が最も好ましい。また、粒度
は平均粒径で１〜５ｏμｍ、好ましくは１〜２０μｍの
ものが適している。これらのセラミックス粉末は、例え
ばアセトン等の有機溶媒に懸濁したものを、スプレィ、
刷毛、ロール等を使用して、あるいはディッピングまた
は乾式で支持台表面および被焼成物表面に塗布する。
被焼成物への塗布は被焼成物の両面でもあるいは片面の
みでもよい。これらの方法により形成させたセラミック
ス粉末層の厚さは１０μｍ以上が適当である。
みでもよい。これらの方法により形成させたセラミック
ス粉末層の厚さは１０μｍ以上が適当である。
本発明による窒化アルミニウムセラミックス成形体の焼
成は、セラミックス粉末を間に介在させた被焼成物を支
持台上に１〜２０枚積み重ね、非酸化性雰囲気中、例え
ばＮｚ、Ａｒ等から選ばれる一種のガスまたは二種以上
の混合ガスあるいは真空雰囲気中で１〜３時間、０〜４
００ｋｇ／ｃｊで加熱することによって行なわれる。加
熱温度は１６００〜１８５０℃であり、好ましくは１７
００〜１８００℃である。
成は、セラミックス粉末を間に介在させた被焼成物を支
持台上に１〜２０枚積み重ね、非酸化性雰囲気中、例え
ばＮｚ、Ａｒ等から選ばれる一種のガスまたは二種以上
の混合ガスあるいは真空雰囲気中で１〜３時間、０〜４
００ｋｇ／ｃｊで加熱することによって行なわれる。加
熱温度は１６００〜１８５０℃であり、好ましくは１７
００〜１８００℃である。
［発明の実施例］
次に本発明の実施例について説明する。
実施例
酸化イツトリウムを５重量％含む窒化アルミニウム粉末
にバインダを加え、ドクターブレード法で窒化アルミニ
ウムの厚さ１止の薄板成形を行なった。この薄板より８
０ Ｘ ４０ ｕのものを打抜き、窒素雰囲気で約り０
０℃×１時間で脱脂を行なつた。
にバインダを加え、ドクターブレード法で窒化アルミニ
ウムの厚さ１止の薄板成形を行なった。この薄板より８
０ Ｘ ４０ ｕのものを打抜き、窒素雰囲気で約り０
０℃×１時間で脱脂を行なつた。
一方、平均粒径が３μｍの窒化ホウ素粉末１０Ｑをアセ
トン１００ｃｃに懸濁し、この懸濁液を窒化アルミニウ
ム製の焼結支持台表面および前記の窒化アルミニウムセ
ラミックス成形体表面に刷毛を用いて塗布することによ
り窒化ホウ素粉末層を約１５μｍ形成させた。
トン１００ｃｃに懸濁し、この懸濁液を窒化アルミニウ
ム製の焼結支持台表面および前記の窒化アルミニウムセ
ラミックス成形体表面に刷毛を用いて塗布することによ
り窒化ホウ素粉末層を約１５μｍ形成させた。
次いでこの窒化ホウ素粉末を塗布した支持台に窒化アル
ミニウムセラミックス成形体を窒化ホウ素粉末が間に挾
まれるように１０枚積み重ね、これらをアルミナ製容器
に入れ、Ｎ２ガス中で１８００℃、２時間の常圧焼結を
行なった。
ミニウムセラミックス成形体を窒化ホウ素粉末が間に挾
まれるように１０枚積み重ね、これらをアルミナ製容器
に入れ、Ｎ２ガス中で１８００℃、２時間の常圧焼結を
行なった。
得られた焼結体は支持台とも別の焼結体とも固着してお
らず、焼結体からの窒化ホウ素粉末の除去も容易であっ
た。また、クラックや割れ、反り等は認められず、表面
形状も良好であった。
らず、焼結体からの窒化ホウ素粉末の除去も容易であっ
た。また、クラックや割れ、反り等は認められず、表面
形状も良好であった。
［発明の効果］
以上説明したように本発明による窒化アルミニウムセラ
ミックスの製造方法によれば、窒化アルミニウムセラミ
ックス成形体を積み重ねて焼成しても互いに固着するこ
となく、しがもセラミックス粉末の除去も容易である。
ミックスの製造方法によれば、窒化アルミニウムセラミ
ックス成形体を積み重ねて焼成しても互いに固着するこ
となく、しがもセラミックス粉末の除去も容易である。
また、得られた焼結体は良好な平滑度、平面度を保持し
ているので、作業能率の高い高品質の窒化アルミニウム
セラミックス焼結体を得ることができる。
ているので、作業能率の高い高品質の窒化アルミニウム
セラミックス焼結体を得ることができる。
代理人弁理士 則 近 憲 佑
（ほか１名〉
手 続 補 正 書 （自発）Ｒｌ］ ６σ１
１．避１Ｂ
１．避１Ｂ
Claims (3)
- （１）窒化アルミニウムセラミックス成形体を平均粒径
が１〜５０μｍのセラミックス粉末を介在させて支持し
、非酸化性雰囲気中で、１６００〜１８５０℃で焼成す
ることを特徴とする窒化アルミニウムセラミックスの製
造方法。 - （２）セラミックス粉末は窒化ホウ素粉末、窒化アルミ
ニウム粉末またはアルミナ粉末である特許請求の範囲第
１項記載の窒化アルミニウムセラミックスの製造方法。 - （３）窒化アルミニウムセラミックス成形体は基板用窒
化アルミニウムセラミックス成形体である特許請求の範
囲第１項記載の窒化アルミニウムセラミックスの製造方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59235067A JPS61117161A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
| DE19853534886 DE3534886A1 (de) | 1984-09-30 | 1985-09-30 | Verfahren zum herstellen von aluminiumnitrid-keramik-platten |
| US07/212,130 US4863658A (en) | 1984-09-30 | 1988-06-28 | Aluminum nitride ceramic substrate for copper and method for production thereof |
| US07/646,495 US5165983A (en) | 1984-09-30 | 1991-01-28 | Method for production of aluminum nitride ceramic plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59235067A JPS61117161A (ja) | 1984-11-09 | 1984-11-09 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117161A true JPS61117161A (ja) | 1986-06-04 |
Family
ID=16980577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59235067A Pending JPS61117161A (ja) | 1984-09-30 | 1984-11-09 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61117161A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6259575A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-16 | 電気化学工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体の製法 |
| JPS6428280A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Sumitomo Electric Industries | Sintered aluminum nitride and production thereof |
| JPH01197367A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-09 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPH04124006A (ja) * | 1990-09-14 | 1992-04-24 | Kawasaki Steel Corp | ＡｌＮ微小球状焼結体及びその製造方法 |
| WO2006051881A1 (ja) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Tokuyama Corporation | メタライズド窒化アルミニウム基板の製造方法及びそれによって得られる基板 |
| JP2007131491A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5411917A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-29 | Ngk Spark Plug Co | Method of separating ceramic laminate products |
| JPS5950079A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-22 | 株式会社村田製作所 | セラミツク薄板の製造方法 |
-
1984
- 1984-11-09 JP JP59235067A patent/JPS61117161A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5411917A (en) * | 1977-06-29 | 1979-01-29 | Ngk Spark Plug Co | Method of separating ceramic laminate products |
| JPS5950079A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-22 | 株式会社村田製作所 | セラミツク薄板の製造方法 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH01197367A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-09 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
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| WO2006051881A1 (ja) * | 2004-11-12 | 2006-05-18 | Tokuyama Corporation | メタライズド窒化アルミニウム基板の製造方法及びそれによって得られる基板 |
| JPWO2006051881A1 (ja) * | 2004-11-12 | 2008-05-29 | 株式会社トクヤマ | メタライズド窒化アルミニウム基板の製造方法及びそれによって得られる基板 |
| JP4685029B2 (ja) * | 2004-11-12 | 2011-05-18 | 株式会社トクヤマ | メタライズド窒化アルミニウム基板の製造方法及びそれによって得られる基板 |
| US7993699B2 (en) | 2004-11-12 | 2011-08-09 | Tokuyama Corporation | Process for producing metallized aluminum nitride substrate |
| JP2007131491A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Tokuyama Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
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