JP2007131491A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 焼結助剤を含む窒化アルミニウム脱脂体または焼結体を還元雰囲気下で焼成するに際し、敷粉として、窒化ホウ素粉末層を0.2〜1.5g/cm3となるように、該脱脂体または焼結体の上下に積層させて焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法である。
【選択図】なし
Description
平均粒子径1.5μmの窒化アルミニウム粉末100質量部に対して、焼結助剤として酸化イットリウム粉末を5質量部、分散剤としてソルビタントリオレエートを0.65質量部、結合剤としてポリビニルブチラールを8質量部、可塑剤としてジブチルフタレートを4.72質量部、溶媒としてトルエンを62.4質量部、エタノールを36.4質量部、ブタノールを5.2質量部加えた混合物をボールミルで混合し、脱溶媒した後、ドクターブレード法によりシート成形を行った。得られたシートより70mm角、厚さ0.75mmの成形体を作成した。この成形体を乾燥空気中、550℃で4時間脱脂した。この脱脂体に含まれる焼結助剤は、50000ppmであった。
実施例1で作成した脱脂体を用いて、BNスラリーに結合剤を投入しなかった以外は実施例1と同様に焼成を行った。敷粉として、BN粉末層は、0.60g/cm3であった。得られた焼結体は全て、押板、敷粉等に付着していなかった。得られた焼結体の物性は表1に示す。
実施例1で作成した脱脂体を、窒素雰囲気中、1780℃で5時間焼成し、焼結助剤が30000ppm残存する焼結体を、実施例1の脱脂体に代えて、還元雰囲気下で焼成した以外は実施例1と同様に焼成を行った。得られた焼結体は全て、押板、敷粉等に付着していなかった。得られた焼結体の物性は表1に示す。
実施例1で作成した脱脂体を用いて、窒化アルミニウム製の焼成容器をカーボン製の焼成容器とした以外は実施例1と同様に焼成を行った。得られた焼結体は全て、押板、敷粉等に付着していなかった。得られた焼結体の物性は表1に示す。
実施例3において、窒化アルミニウム製焼成容器をカーボン製の焼成容器とした以外は実施例3と同様に焼成を行った。得られた焼結体は全て、押板、敷粉等に付着していなかった。得られた焼結体の物性は表1に示す。
実施例1において、支持板および押板にBN粉末層の密度が1.2g/cm3となるように塗布した以外は実施例1と同様に焼成を行った。得られた焼結体は全て、押板、敷粉等に付着していなかった。得られた焼結体の物性は表1に示す。
BN粉末100質量部に対して、エタノールを1500質量部、結合剤としてポリビニルピロリドンを0.02質量部、分散剤としてトリエタノールアミンを0.02質量部加えた混合物をボールミルで混合し、得られたスラリーを支持板および押板に塗布した後、室温中で乾燥させた。(尚、エタノール乾燥後、1780℃の温度で30時間配置した後、支持板および押板のBN粉末層の密度を確認したところ、0.1g/cm3であった。)この支持板、押板を使用した以外は実施例1と同様に焼成を行った。得られた焼結体の物性は表1に示す。
比較例1において、実施例3の焼結助剤が30000ppm残存する焼結体を用いて、比較例1と同様に焼成を行った。得られた焼結体の物性は表1に示す。
BN粉末100質量部に対して、エタノールを100質量部、結合剤としてポリビニルピロリドンを0.02質量部、分散剤としてトリエタノールアミンを0.02質量部加えた混合物をボールミルで混合し、得られたスラリーを支持板および押板に塗布した後、室温中で乾燥させた。(尚、エタノール乾燥後、1780℃の温度で30時間配置した後、支持板および押板のBN粉末層の密度を確認したところ、1.8g/cm3であった。)この支持板、押板を使用した以外は実施例1と同様に焼成を行った。得られた焼結体の物性は表1に示す。
比較例3において、実施例3の焼結助剤が30000ppm残存する焼結体を用いて、比較例3と同様に焼成を行った。得られた焼結体の物性は表1に示す。
2 敷粉(窒化ホウ素粉末)
3 窒化アルミニウム脱脂体または焼結体
4 押板
Claims (1)
- 焼結助剤を含む窒化アルミニウム脱脂体または焼結体を還元雰囲気下で焼成するに際し、敷粉として、窒化ホウ素粉末層を0.2〜1.5g/cm3となるように、該脱脂体または焼結体の上下に積層させて焼成することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
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JP2005326541A JP2007131491A (ja) | 2005-11-10 | 2005-11-10 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
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2005
- 2005-11-10 JP JP2005326541A patent/JP2007131491A/ja active Pending
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