JPS6389467A - セラミツク基板焼成用離型シ−ト - Google Patents
セラミツク基板焼成用離型シ−トInfo
- Publication number
- JPS6389467A JPS6389467A JP61232276A JP23227686A JPS6389467A JP S6389467 A JPS6389467 A JP S6389467A JP 61232276 A JP61232276 A JP 61232276A JP 23227686 A JP23227686 A JP 23227686A JP S6389467 A JPS6389467 A JP S6389467A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- release sheet
- substrate
- mold release
- firing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
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- Moulds, Cores, Or Mandrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はセラミック基板を多段状に積重ねて焼成する場
合に、各基板間に介在せしめて基板相互の固着を防止す
るための離型シートに関する。
合に、各基板間に介在せしめて基板相互の固着を防止す
るための離型シートに関する。
通常、セラミック基板の複数枚を積重ねて焼成する場合
、焼成後基板相互が固着しないようにシリカ粉末等の敷
粉を基板間に介在せしめて焼成するようにしている。
、焼成後基板相互が固着しないようにシリカ粉末等の敷
粉を基板間に介在せしめて焼成するようにしている。
しかしながら、このような敷粉をセラミックグリーンシ
ート間に介在させると焼成後の基板表面の平滑性が得ら
れず、また基板自体にソリやシミが発生したりする欠点
がある。表面平滑性が得られないのは敷粉がグリーンシ
ート表面に傷を付けたり、敷粉自体が焼成後の基板面に
付着したままとなったりするためである。また、基板に
ソリやシミが発生するのは敷粉であるが故にグリーンシ
ート全面に離型材質が均一に接触しない。即ち粉体であ
るのでグリーンシート面に対し点接触でありかつ粉体の
分布が不均一であるため、シートの自重によりソリが生
じたり、焼成時のシート面に対するガスの分布が不均一
になるためシミが生じたりする。
ート間に介在させると焼成後の基板表面の平滑性が得ら
れず、また基板自体にソリやシミが発生したりする欠点
がある。表面平滑性が得られないのは敷粉がグリーンシ
ート表面に傷を付けたり、敷粉自体が焼成後の基板面に
付着したままとなったりするためである。また、基板に
ソリやシミが発生するのは敷粉であるが故にグリーンシ
ート全面に離型材質が均一に接触しない。即ち粉体であ
るのでグリーンシート面に対し点接触でありかつ粉体の
分布が不均一であるため、シートの自重によりソリが生
じたり、焼成時のシート面に対するガスの分布が不均一
になるためシミが生じたりする。
本発明者等は上記欠点に鑑み研究の結果、窒化ホウ素粉
末に有機結合剤を添加混合したスラリーをテープ状に成
形して得られる離型シートをセラミックグリーンシート
間に介在せしめて焼成することにより得られたセラミッ
ク基板はその表面平滑性が優れ、基板にソリやシミの発
生のない良好な基板が得られることを知見した。
末に有機結合剤を添加混合したスラリーをテープ状に成
形して得られる離型シートをセラミックグリーンシート
間に介在せしめて焼成することにより得られたセラミッ
ク基板はその表面平滑性が優れ、基板にソリやシミの発
生のない良好な基板が得られることを知見した。
本発明においては表面平滑性に優れ、基板のソリや表面
のシミの発生の少ない良好なセラミック焼結基板を得る
ための焼成用離型シートを提供することを目的とする。
のシミの発生の少ない良好なセラミック焼結基板を得る
ための焼成用離型シートを提供することを目的とする。
本発明によれば窒化ホウ素（ＢＮ）粉末に有機結合剤を
添加混合したスラリーをテープ状に成形して得られるセ
ラミック基板焼成用離型シートが提供される。
添加混合したスラリーをテープ状に成形して得られるセ
ラミック基板焼成用離型シートが提供される。
窒化ホウ素（ＢＮ）粉末は一般のセラミックスに対し離
型的性質を有している。この粉末に有機結合剤を添加混
合して得られたスラリーをドクターブレード法によりテ
ープ状に成形し、該シートを焼成する基板の大きさに切
断し、これを焼成炉中に積重ねたセラミック基板間に介
在させる。このようにして焼成されたセラミック基板は
重ね合わせた面に離型的性質を有するシートが平滑な面
に接触した状態で焼成されるので、敷粉を使用する場合
と異なり基板面が平滑となり、基板にソリやシミが発生
しない。
型的性質を有している。この粉末に有機結合剤を添加混
合して得られたスラリーをドクターブレード法によりテ
ープ状に成形し、該シートを焼成する基板の大きさに切
断し、これを焼成炉中に積重ねたセラミック基板間に介
在させる。このようにして焼成されたセラミック基板は
重ね合わせた面に離型的性質を有するシートが平滑な面
に接触した状態で焼成されるので、敷粉を使用する場合
と異なり基板面が平滑となり、基板にソリやシミが発生
しない。
〔実施例〕
窒化ホウ素（ＢＮ）粉末に結合剤としてポリビニールブ
チラールを添加し、溶媒としてトルエンを用いてボール
ミルにて１７時間混合して所定粘度を有するスラリーを
作成した。これをドクターブレード法によりグリーンシ
ート化して、乾燥後６４ Ｘ ６４Ｘ０．１５ｍｍの窒
化ホウ素の離型シートを得た。得られたシートは表面平
滑性を有しかつ柔軟性を有していた。
チラールを添加し、溶媒としてトルエンを用いてボール
ミルにて１７時間混合して所定粘度を有するスラリーを
作成した。これをドクターブレード法によりグリーンシ
ート化して、乾燥後６４ Ｘ ６４Ｘ０．１５ｍｍの窒
化ホウ素の離型シートを得た。得られたシートは表面平
滑性を有しかつ柔軟性を有していた。
〔実験例１〕
窒化けい素粉束に焼結助剤としてＹ２Ｏ，及びＡｌｚＯ
ｉを適量添加し、さらに結合剤を加えて混合したスラリ
ーをテープ状に成形し、６０ｘ６０Ｘ１．Ｏｖａの窒化
けい素止成形体を１０枚作成した。このようにして得ら
れた窒化けい素の生成形体１ ・・・を脱バインダ後、
第１図に示すように焼成炉内に５枚ずつ積重ねるととも
に、前記実施例で得られた窒化ホウ素離型シート２・・
・を介在させて非酸化性雰囲気中で各生成形体の材質に
適合した条件で焼成した。
ｉを適量添加し、さらに結合剤を加えて混合したスラリ
ーをテープ状に成形し、６０ｘ６０Ｘ１．Ｏｖａの窒化
けい素止成形体を１０枚作成した。このようにして得ら
れた窒化けい素の生成形体１ ・・・を脱バインダ後、
第１図に示すように焼成炉内に５枚ずつ積重ねるととも
に、前記実施例で得られた窒化ホウ素離型シート２・・
・を介在させて非酸化性雰囲気中で各生成形体の材質に
適合した条件で焼成した。
得られた焼結体は敷粉の如き付着物のない表面の平滑性
に優れており、基板全てにソリ及びシミの発生が見られ
なかった。
に優れており、基板全てにソリ及びシミの発生が見られ
なかった。
〔実験例２〕
窒化アルミニウム粉末に焼結助剤としてＹ２Ｏ，とＣａ
Ｏを適量添加し、更に結合剤を加えて混合したスラリー
をテープ状に成形し、実験例１と同様に６０Ｘ６０Ｘ１
．Ｑ ＊＊の窒化アルミニウム生成形体を１０枚作成し
た。
Ｏを適量添加し、更に結合剤を加えて混合したスラリー
をテープ状に成形し、実験例１と同様に６０Ｘ６０Ｘ１
．Ｑ ＊＊の窒化アルミニウム生成形体を１０枚作成し
た。
このようにして得られた窒化アルミニウムの生成形体１
・・・を脱バインダ後、第１図に示すように焼成炉内に
５枚ずつ積重ねるとともに、前記実施例で得られた窒化
ホウ素離型シート２・・・を介在させて非酸化性雰囲気
中で各生成形体の材質に適合した条件で焼成した。
・・・を脱バインダ後、第１図に示すように焼成炉内に
５枚ずつ積重ねるとともに、前記実施例で得られた窒化
ホウ素離型シート２・・・を介在させて非酸化性雰囲気
中で各生成形体の材質に適合した条件で焼成した。
得られた焼結体は敷粉如き付着物のない表面の平滑性に
優れており、基板全てにソリ及びシミの発生が見られな
かった。
優れており、基板全てにソリ及びシミの発生が見られな
かった。
〔実験例３〕
炭化けい素粉束に焼結助剤としてＢｅＯを適量添加し、
更に結合剤を加えて混合したスラリーをテープ状に成形
し、実験例１と同様に６０Ｘ６０Ｘ１．０鶴の炭化けい
素止成形体を１０枚作成した。
更に結合剤を加えて混合したスラリーをテープ状に成形
し、実験例１と同様に６０Ｘ６０Ｘ１．０鶴の炭化けい
素止成形体を１０枚作成した。
このようにして得られた炭化けい素の生成形体１・・・
を脱バインダ後、第１図に示すように焼成炉内に５枚ず
つ積重ねるとともに、前記実施例で得られた窒化ホウ素
離型シート２・・・を介在させて非酸化性雰囲気中で各
生成形体の材質に適合した条件で焼成した。
を脱バインダ後、第１図に示すように焼成炉内に５枚ず
つ積重ねるとともに、前記実施例で得られた窒化ホウ素
離型シート２・・・を介在させて非酸化性雰囲気中で各
生成形体の材質に適合した条件で焼成した。
得られた焼結体は敷粉の如き付着物のない表面の平滑性
に優れており、基板全てにソリ及びシミの発生が見られ
なかった。
に優れており、基板全てにソリ及びシミの発生が見られ
なかった。
実験例１〜３のようにして得られた窒化けい素、窒化ア
ルミニウム及び炭化けい素の生成形体１・・・を脱バイ
ンダ後、第２図に示す如く、各別々の焼成炉内において
それぞれ５枚ずつをＢＮ粉末３・・・を介在させて積重
ねて非酸化性雰囲気中で焼成した。
ルミニウム及び炭化けい素の生成形体１・・・を脱バイ
ンダ後、第２図に示す如く、各別々の焼成炉内において
それぞれ５枚ずつをＢＮ粉末３・・・を介在させて積重
ねて非酸化性雰囲気中で焼成した。
これらの結果を実験例１〜３と共に第１表に示す。
第１表
第１表から理解されるようにＢＮ粉末を敷粉として使用
した比較例のものはそれぞれ焼成後の基板表面に敷粉が
焼付いていたり敷粉の取れた凹が多数発生していて表面
が著しく粗れており、基板にソリ及びシミが多数発生し
ていた。これに対し本発明のＢＮ離型シートを介在させ
て焼成したものは表面の平滑性が優れ、基板にソリ及び
シミの発生が全くなかった。
した比較例のものはそれぞれ焼成後の基板表面に敷粉が
焼付いていたり敷粉の取れた凹が多数発生していて表面
が著しく粗れており、基板にソリ及びシミが多数発生し
ていた。これに対し本発明のＢＮ離型シートを介在させ
て焼成したものは表面の平滑性が優れ、基板にソリ及び
シミの発生が全くなかった。
本発明の窒化ホウ素（ＢＮ）離型シートは従来の如く敷
粉によりグリーンシート面に傷を付けたりすることなく
平滑な面を有する基板が得られ、かつ焼成時基板のソリ
やシミの発生を防止することができる。
粉によりグリーンシート面に傷を付けたりすることなく
平滑な面を有する基板が得られ、かつ焼成時基板のソリ
やシミの発生を防止することができる。
第１図は本発明の離型シートを用いた焼成方法を示す説
明図、第２図は従来の焼成方法を示す説明図である。 １：生成形体 ２：離型シート
明図、第２図は従来の焼成方法を示す説明図である。 １：生成形体 ２：離型シート
Claims (1)
- 窒化ホウ素（ＢＮ）粉末に有機結合剤を添加混合した
スラリーをテープ状に成形して得られるセラミック基板
焼成用離型シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61232276A JPS6389467A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | セラミツク基板焼成用離型シ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61232276A JPS6389467A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | セラミツク基板焼成用離型シ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6389467A true JPS6389467A (ja) | 1988-04-20 |
Family
ID=16936697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61232276A Pending JPS6389467A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | セラミツク基板焼成用離型シ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6389467A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418979A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Sheet for mold release |
| JPH0283242A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-23 | Ishizuka Glass Co Ltd | 焼成用シート |
| JPH02212381A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-23 | Suzuki Motor Co Ltd | セラミックスの超塑性加工法 |
| JP2005047723A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | セラミック焼成体の製造方法 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP61232276A patent/JPS6389467A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418979A (en) * | 1987-07-14 | 1989-01-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Sheet for mold release |
| JPH0283242A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-23 | Ishizuka Glass Co Ltd | 焼成用シート |
| JPH02212381A (ja) * | 1989-02-13 | 1990-08-23 | Suzuki Motor Co Ltd | セラミックスの超塑性加工法 |
| JP2005047723A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | セラミック焼成体の製造方法 |
| JP4659346B2 (ja) * | 2003-07-29 | 2011-03-30 | 京セラ株式会社 | セラミック焼成体の製造方法 |
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