JPH04124006A - AlN微小球状焼結体及びその製造方法 - Google Patents

AlN微小球状焼結体及びその製造方法

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JPH04124006A
JPH04124006A JP2242785A JP24278590A JPH04124006A JP H04124006 A JPH04124006 A JP H04124006A JP 2242785 A JP2242785 A JP 2242785A JP 24278590 A JP24278590 A JP 24278590A JP H04124006 A JPH04124006 A JP H04124006A
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JP
Japan
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powder
aln
sintered body
weight
sintered compact
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Pending
Application number
JP2242785A
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English (en)
Inventor
Satoshi Uenosono
聡 上ノ薗
Masato Kumagai
正人 熊谷
Toshihiko Funabashi
敏彦 船橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、シーズヒータ、可撓性放熱シートの充填剤等
に好適な、粒径が1mm以下のA!!、N微小球状焼結
体及びその製造方法に関する。
[従来の技術] 従来、シーズヒータ用の充填材としてはMgOが用いら
れてきた。MgOは熱伝導率が20〜30W/m−に程
度で小さいため、発熱部からの熱を外部に伝達するには
長い時間を要し、急速に加熱する用途には対応が困難で
あった。
また、高熱伝導性の粒子を可撓性の樹脂に添加した放熱
シートは産業上有用な製品である。従来、充填材として
BN粉末が使用されてきたが、BNの熱伝導率は高々1
0〜30W/m−にであり、放熱性の優れた可撓性のシ
ートを製造するには不十分で合った。このため熱伝導率
の大きな充填材が求められていた。
AlNは150W/m−に以上と熱伝導率が大きくシー
ズヒータ用や放熱シート用の充填材として好適である。
しかし、充填材として好適な、粒径が50〜300gm
程度の微小な球状の焼結体及びその製造方法は知られて
いなかった。
従来、セラミックの球状の焼結体ばてん進法、あるいは
ラバープレス法により球状に成形した後焼結を行い製造
されてきた。しかし、このような方法では直径1mm以
下の球状の焼結体を製造することは不可能であった。
また、焼結体を粉砕して微小焼結体を得ようとしても球
状とはなりえず、特に、AlNは硬いために微小焼結体
は得られなかった。
[発明が解決しようとする課題] 本発明はシーズヒータ用及び放熱シート用の充填材等と
して好適なAlN微小球状焼結体及びその製造方法を提
供し、上記従来技術の問題点を解決しようとするもので
ある。
[課題を解決するための手段] 本発明は上記課題を解決するために、/INを主成分と
し、球状で、かつ粒径が1mm以下であることを特徴と
するAlNfi小球状焼結体、及び主成分の、’l!N
粉末に、焼結助剤、成形助剤及び分散媒を配合してスラ
リとし、該スラリを噴霧乾燥により造粒・乾燥し、得ら
れた粒子100重量部に対しBN粉末1〜30重量部を
混合して、窒素気流中にて1700〜1950℃で焼成
することを特徴とする/IN微小球状焼結体の製造方法
を提供するもので、焼成後、AffN焼結体からBN粉
末を分離してもよい。
[作用] 本発明のAlN微小球状焼結体は、AffNが高熱伝導
性であり、球状であるので不規則な形状のものより密実
に充填され、従って充填層の熱伝導率が向上し、粒径が
1mm以下であるので、狭い空間への充填、薄い放熱シ
ートの製造が可能である。
本発明の方法に使用するAlN粉末は、平均粒径1から
2μm程度、粉末に含有される酸素量は2%未満が好ま
しい。
焼結助剤としては、高熱伝導化に有効なY203粉末、
y2 o3と炭素の混合粉末、CaC0a粉末などが好
適である。Y203、CaCO3は、純度99.9%以
上、平均粒径5μm以下が好ましい。炭素としてはカー
ボンブラック、グラファイト、焼成中炭素を生成する物
質としてはフェノールレジンが好ましく、平均粒径0.
1um以下が好ましい。
成形助剤としては、水を分散媒として用いる場合はPV
A、トルエンなどの有機浴剤を分散媒として用いる場合
はPVB、アクリル系樹脂などが好適である。水を分散
媒として用いる場合はAlN粉末が酸化し易いので、有
機溶媒中で混合することがより好適である。スラリ濃度
は6o重量%以上が好ましい。これはスラリ濃度が大き
いほど造粒粒子の密度が大きく焼結し易いからである。
なお、スラリ濃度は(粉末重量)/(粉末重量子分散媒
重量)で示される。
成形助剤の配合量は、Al2.N粉末及び焼結助剤の合
計量に対して1〜2重量%が好ましい。配合量が1重量
%未満では造粒後焼結するまでの作業中に造粒粒子が壊
れてしまいハンドリングが困難となりやすく歩留りが低
下する。配合量が2重量%を越えても製造上問題はない
がコストがかさむだけで実際的ではない。
スラリは噴霧乾燥する。噴霧乾燥を行うことにより乾燥
粒子を球状にすることができる。また、噴霧乾燥条件を
変化させることにより、得られる粒子の粒径、粒度分布
を制御できるため、所望の粒度分布を持ったAffNの
球状の焼結体の作製が可能となった。
造粒粒子を単味で焼成すると、粒子同士が焼付いてしま
い球状の焼結体が得られない、BNは高温で安定でかつ
AlNとの反応性がないので粒子同士の焼付きを防止す
るため造粒粒子に混合する。
造粒粒子100重量部に対しBN粉末を1〜30重量部
混合する。BN粉末が1重量部未満では焼成すると造粒
粒子同士が焼付いてしまい球状の焼結体が得られない。
また、BN粉末が30重量部を越えると、製造上問題は
ないが1回の焼成で製造できる焼結体の量が少なくなり
実際的ではない。
BN粉末の粒径は、AeN球状焼結体の粒径、BN粉末
の12N球状焼結体からの分離の要否等を勘案して決定
される。
焼成温度は1700〜1950℃とする。
1700℃未満では完全な緻密体が得られない。
1950℃を越えても焼結体の特性は変わらないが、焼
成にかかるエネルギーコストがかさむだけで実際的では
ない。
焼結中の雰囲気はカーボンが焼成領域中に存在しない窒
素気流中とし、圧力は大気圧とする。
カーボンるつぼ中で焼結することに代表される還元性の
雰囲気では緻密化が困難である。
焼成後はAffNの球状焼結体とBN粉末の混合物とな
る。シーズヒータあるいは放熱シート用の充填剤として
このまま使用しても問題はない。
しかし、より大きな放熱効果を期待する場合は、Aff
N焼結体とBN粉末を分離することが好適である。
具体的には、例えばこの混合物とエタノールとの混合ス
ラリを作成し、BN粉末をエタノール中に分散せしめた
のち濾別すればよい。
[実施例] 平均粒径08μm、酸素含有量0.6%、純度98%の
AnN粉末を主成分とし、これに対し3重量%の平均粒
径1.0μmのY203粉末を焼結助剤として混合した
。この混合粉末100重量部に、成形助剤としてポリビ
ニルブチラール(PVB)を1.5重量部、分散媒とし
てエタノールを55重量部、分散剤1重量部とを添加し
、24時間ボットミルで混合した。混合後のスラリの粘
度は200cpsであった。
このスラリをスプレドライヤーにて乾燥造粒を行った。
得られた粒子100重量部に対して粒径3μmのBN粉
末を第1表に示す割合で混合し、AlN坩堝に充填し常
圧のもと窒素気流中1820℃4時間焼成した。
A、 ff N微小球状焼結体とBN粉末との混合物を
エタノール中で超音波洗浄後、濾別してBN粉末を分離
した後乾燥して球状のAlN微小焼結体を得た。
試験結果を第1表に示した。
実施例のNo、 1〜3では、造粒粒子100重量部に
対しBN粉末を1〜30重量部を混合することにより、
粒径1mmu下のAρNの球状焼結体が得られた。比較
例のNo、 4.5では、BN粉末が1重量部未満で焼
成すると造粒粉末同士が焼付いてしまい球状の焼結体が
得られないことがわかる。
また、上記の条件で焼結温度を1680℃とした場合、
得られた焼結体の相対密度は83%であり緻密な焼結体
は得られなかった。
実施例の励1によって得られたAlN微小球状焼結体の
粒度分布を第1図に、走査型電子顕微鏡(SEM)写真
(1000倍)を第2図に示した。第2図から本発明の
AlN微小球状焼結体が、微小なほぼ完全な球状をなし
ていることが観察される。
[発明の効果1 本発明によりシーズヒータ、可撓性放熱シートの充填材
等に好適な、粒径が1mm以下の、’l!N微小球状焼
結体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例における/l!N微小球状焼結
体の粒度分布を示すグラフ、第2図は本発明の実施例に
おけるAlN微小球状焼結体の形状を示す走査型電子顕
微鏡写真(倍率1000倍)である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 AlNを主成分とし、球状で、かつ粒径が1mm以
    下であることを特徴とするAlN微小球状焼結体。 2 主成分のAlN粉末に、焼結助剤、成形助剤及び分
    散媒を配合してスラリとし、該スラリを噴霧乾燥により
    造粒・乾燥し、得られた粒子100重量部に対しBN粉
    末1〜30重量部を混合して、窒素気流中にて1700
    〜1950℃で焼成することを特徴とするAlN微小球
    状焼結体の製造方法。 3 焼成後、AlN焼結体からBN粉末を分離すること
    を特徴とする請求項1記載のAlN微小球状焼結体の製
    造方法。
JP2242785A 1990-09-14 1990-09-14 AlN微小球状焼結体及びその製造方法 Pending JPH04124006A (ja)

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