JPH04124006A - AlN微小球状焼結体及びその製造方法 - Google Patents
AlN微小球状焼結体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH04124006A JPH04124006A JP2242785A JP24278590A JPH04124006A JP H04124006 A JPH04124006 A JP H04124006A JP 2242785 A JP2242785 A JP 2242785A JP 24278590 A JP24278590 A JP 24278590A JP H04124006 A JPH04124006 A JP H04124006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- aln
- sintered body
- weight
- sintered compact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 24
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 10
- 239000002612 dispersion medium Substances 0.000 claims description 7
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 claims description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 abstract description 8
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 7
- 239000011361 granulated particle Substances 0.000 description 7
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 3
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013040 bath agent Substances 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010216 calcium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005469 granulation Methods 0.000 description 1
- 230000003179 granulation Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、シーズヒータ、可撓性放熱シートの充填剤等
に好適な、粒径が1mm以下のA!!、N微小球状焼結
体及びその製造方法に関する。
に好適な、粒径が1mm以下のA!!、N微小球状焼結
体及びその製造方法に関する。
[従来の技術]
従来、シーズヒータ用の充填材としてはMgOが用いら
れてきた。MgOは熱伝導率が20〜30W/m−に程
度で小さいため、発熱部からの熱を外部に伝達するには
長い時間を要し、急速に加熱する用途には対応が困難で
あった。
れてきた。MgOは熱伝導率が20〜30W/m−に程
度で小さいため、発熱部からの熱を外部に伝達するには
長い時間を要し、急速に加熱する用途には対応が困難で
あった。
また、高熱伝導性の粒子を可撓性の樹脂に添加した放熱
シートは産業上有用な製品である。従来、充填材として
BN粉末が使用されてきたが、BNの熱伝導率は高々1
0〜30W/m−にであり、放熱性の優れた可撓性のシ
ートを製造するには不十分で合った。このため熱伝導率
の大きな充填材が求められていた。
シートは産業上有用な製品である。従来、充填材として
BN粉末が使用されてきたが、BNの熱伝導率は高々1
0〜30W/m−にであり、放熱性の優れた可撓性のシ
ートを製造するには不十分で合った。このため熱伝導率
の大きな充填材が求められていた。
AlNは150W/m−に以上と熱伝導率が大きくシー
ズヒータ用や放熱シート用の充填材として好適である。
ズヒータ用や放熱シート用の充填材として好適である。
しかし、充填材として好適な、粒径が50〜300gm
程度の微小な球状の焼結体及びその製造方法は知られて
いなかった。
程度の微小な球状の焼結体及びその製造方法は知られて
いなかった。
従来、セラミックの球状の焼結体ばてん進法、あるいは
ラバープレス法により球状に成形した後焼結を行い製造
されてきた。しかし、このような方法では直径1mm以
下の球状の焼結体を製造することは不可能であった。
ラバープレス法により球状に成形した後焼結を行い製造
されてきた。しかし、このような方法では直径1mm以
下の球状の焼結体を製造することは不可能であった。
また、焼結体を粉砕して微小焼結体を得ようとしても球
状とはなりえず、特に、AlNは硬いために微小焼結体
は得られなかった。
状とはなりえず、特に、AlNは硬いために微小焼結体
は得られなかった。
[発明が解決しようとする課題]
本発明はシーズヒータ用及び放熱シート用の充填材等と
して好適なAlN微小球状焼結体及びその製造方法を提
供し、上記従来技術の問題点を解決しようとするもので
ある。
して好適なAlN微小球状焼結体及びその製造方法を提
供し、上記従来技術の問題点を解決しようとするもので
ある。
[課題を解決するための手段]
本発明は上記課題を解決するために、/INを主成分と
し、球状で、かつ粒径が1mm以下であることを特徴と
するAlNfi小球状焼結体、及び主成分の、’l!N
粉末に、焼結助剤、成形助剤及び分散媒を配合してスラ
リとし、該スラリを噴霧乾燥により造粒・乾燥し、得ら
れた粒子100重量部に対しBN粉末1〜30重量部を
混合して、窒素気流中にて1700〜1950℃で焼成
することを特徴とする/IN微小球状焼結体の製造方法
を提供するもので、焼成後、AffN焼結体からBN粉
末を分離してもよい。
し、球状で、かつ粒径が1mm以下であることを特徴と
するAlNfi小球状焼結体、及び主成分の、’l!N
粉末に、焼結助剤、成形助剤及び分散媒を配合してスラ
リとし、該スラリを噴霧乾燥により造粒・乾燥し、得ら
れた粒子100重量部に対しBN粉末1〜30重量部を
混合して、窒素気流中にて1700〜1950℃で焼成
することを特徴とする/IN微小球状焼結体の製造方法
を提供するもので、焼成後、AffN焼結体からBN粉
末を分離してもよい。
[作用]
本発明のAlN微小球状焼結体は、AffNが高熱伝導
性であり、球状であるので不規則な形状のものより密実
に充填され、従って充填層の熱伝導率が向上し、粒径が
1mm以下であるので、狭い空間への充填、薄い放熱シ
ートの製造が可能である。
性であり、球状であるので不規則な形状のものより密実
に充填され、従って充填層の熱伝導率が向上し、粒径が
1mm以下であるので、狭い空間への充填、薄い放熱シ
ートの製造が可能である。
本発明の方法に使用するAlN粉末は、平均粒径1から
2μm程度、粉末に含有される酸素量は2%未満が好ま
しい。
2μm程度、粉末に含有される酸素量は2%未満が好ま
しい。
焼結助剤としては、高熱伝導化に有効なY203粉末、
y2 o3と炭素の混合粉末、CaC0a粉末などが好
適である。Y203、CaCO3は、純度99.9%以
上、平均粒径5μm以下が好ましい。炭素としてはカー
ボンブラック、グラファイト、焼成中炭素を生成する物
質としてはフェノールレジンが好ましく、平均粒径0.
1um以下が好ましい。
y2 o3と炭素の混合粉末、CaC0a粉末などが好
適である。Y203、CaCO3は、純度99.9%以
上、平均粒径5μm以下が好ましい。炭素としてはカー
ボンブラック、グラファイト、焼成中炭素を生成する物
質としてはフェノールレジンが好ましく、平均粒径0.
1um以下が好ましい。
成形助剤としては、水を分散媒として用いる場合はPV
A、トルエンなどの有機浴剤を分散媒として用いる場合
はPVB、アクリル系樹脂などが好適である。水を分散
媒として用いる場合はAlN粉末が酸化し易いので、有
機溶媒中で混合することがより好適である。スラリ濃度
は6o重量%以上が好ましい。これはスラリ濃度が大き
いほど造粒粒子の密度が大きく焼結し易いからである。
A、トルエンなどの有機浴剤を分散媒として用いる場合
はPVB、アクリル系樹脂などが好適である。水を分散
媒として用いる場合はAlN粉末が酸化し易いので、有
機溶媒中で混合することがより好適である。スラリ濃度
は6o重量%以上が好ましい。これはスラリ濃度が大き
いほど造粒粒子の密度が大きく焼結し易いからである。
なお、スラリ濃度は(粉末重量)/(粉末重量子分散媒
重量)で示される。
重量)で示される。
成形助剤の配合量は、Al2.N粉末及び焼結助剤の合
計量に対して1〜2重量%が好ましい。配合量が1重量
%未満では造粒後焼結するまでの作業中に造粒粒子が壊
れてしまいハンドリングが困難となりやすく歩留りが低
下する。配合量が2重量%を越えても製造上問題はない
がコストがかさむだけで実際的ではない。
計量に対して1〜2重量%が好ましい。配合量が1重量
%未満では造粒後焼結するまでの作業中に造粒粒子が壊
れてしまいハンドリングが困難となりやすく歩留りが低
下する。配合量が2重量%を越えても製造上問題はない
がコストがかさむだけで実際的ではない。
スラリは噴霧乾燥する。噴霧乾燥を行うことにより乾燥
粒子を球状にすることができる。また、噴霧乾燥条件を
変化させることにより、得られる粒子の粒径、粒度分布
を制御できるため、所望の粒度分布を持ったAffNの
球状の焼結体の作製が可能となった。
粒子を球状にすることができる。また、噴霧乾燥条件を
変化させることにより、得られる粒子の粒径、粒度分布
を制御できるため、所望の粒度分布を持ったAffNの
球状の焼結体の作製が可能となった。
造粒粒子を単味で焼成すると、粒子同士が焼付いてしま
い球状の焼結体が得られない、BNは高温で安定でかつ
AlNとの反応性がないので粒子同士の焼付きを防止す
るため造粒粒子に混合する。
い球状の焼結体が得られない、BNは高温で安定でかつ
AlNとの反応性がないので粒子同士の焼付きを防止す
るため造粒粒子に混合する。
造粒粒子100重量部に対しBN粉末を1〜30重量部
混合する。BN粉末が1重量部未満では焼成すると造粒
粒子同士が焼付いてしまい球状の焼結体が得られない。
混合する。BN粉末が1重量部未満では焼成すると造粒
粒子同士が焼付いてしまい球状の焼結体が得られない。
また、BN粉末が30重量部を越えると、製造上問題は
ないが1回の焼成で製造できる焼結体の量が少なくなり
実際的ではない。
ないが1回の焼成で製造できる焼結体の量が少なくなり
実際的ではない。
BN粉末の粒径は、AeN球状焼結体の粒径、BN粉末
の12N球状焼結体からの分離の要否等を勘案して決定
される。
の12N球状焼結体からの分離の要否等を勘案して決定
される。
焼成温度は1700〜1950℃とする。
1700℃未満では完全な緻密体が得られない。
1950℃を越えても焼結体の特性は変わらないが、焼
成にかかるエネルギーコストがかさむだけで実際的では
ない。
成にかかるエネルギーコストがかさむだけで実際的では
ない。
焼結中の雰囲気はカーボンが焼成領域中に存在しない窒
素気流中とし、圧力は大気圧とする。
素気流中とし、圧力は大気圧とする。
カーボンるつぼ中で焼結することに代表される還元性の
雰囲気では緻密化が困難である。
雰囲気では緻密化が困難である。
焼成後はAffNの球状焼結体とBN粉末の混合物とな
る。シーズヒータあるいは放熱シート用の充填剤として
このまま使用しても問題はない。
る。シーズヒータあるいは放熱シート用の充填剤として
このまま使用しても問題はない。
しかし、より大きな放熱効果を期待する場合は、Aff
N焼結体とBN粉末を分離することが好適である。
N焼結体とBN粉末を分離することが好適である。
具体的には、例えばこの混合物とエタノールとの混合ス
ラリを作成し、BN粉末をエタノール中に分散せしめた
のち濾別すればよい。
ラリを作成し、BN粉末をエタノール中に分散せしめた
のち濾別すればよい。
[実施例]
平均粒径08μm、酸素含有量0.6%、純度98%の
AnN粉末を主成分とし、これに対し3重量%の平均粒
径1.0μmのY203粉末を焼結助剤として混合した
。この混合粉末100重量部に、成形助剤としてポリビ
ニルブチラール(PVB)を1.5重量部、分散媒とし
てエタノールを55重量部、分散剤1重量部とを添加し
、24時間ボットミルで混合した。混合後のスラリの粘
度は200cpsであった。
AnN粉末を主成分とし、これに対し3重量%の平均粒
径1.0μmのY203粉末を焼結助剤として混合した
。この混合粉末100重量部に、成形助剤としてポリビ
ニルブチラール(PVB)を1.5重量部、分散媒とし
てエタノールを55重量部、分散剤1重量部とを添加し
、24時間ボットミルで混合した。混合後のスラリの粘
度は200cpsであった。
このスラリをスプレドライヤーにて乾燥造粒を行った。
得られた粒子100重量部に対して粒径3μmのBN粉
末を第1表に示す割合で混合し、AlN坩堝に充填し常
圧のもと窒素気流中1820℃4時間焼成した。
末を第1表に示す割合で混合し、AlN坩堝に充填し常
圧のもと窒素気流中1820℃4時間焼成した。
A、 ff N微小球状焼結体とBN粉末との混合物を
エタノール中で超音波洗浄後、濾別してBN粉末を分離
した後乾燥して球状のAlN微小焼結体を得た。
エタノール中で超音波洗浄後、濾別してBN粉末を分離
した後乾燥して球状のAlN微小焼結体を得た。
試験結果を第1表に示した。
実施例のNo、 1〜3では、造粒粒子100重量部に
対しBN粉末を1〜30重量部を混合することにより、
粒径1mmu下のAρNの球状焼結体が得られた。比較
例のNo、 4.5では、BN粉末が1重量部未満で焼
成すると造粒粉末同士が焼付いてしまい球状の焼結体が
得られないことがわかる。
対しBN粉末を1〜30重量部を混合することにより、
粒径1mmu下のAρNの球状焼結体が得られた。比較
例のNo、 4.5では、BN粉末が1重量部未満で焼
成すると造粒粉末同士が焼付いてしまい球状の焼結体が
得られないことがわかる。
また、上記の条件で焼結温度を1680℃とした場合、
得られた焼結体の相対密度は83%であり緻密な焼結体
は得られなかった。
得られた焼結体の相対密度は83%であり緻密な焼結体
は得られなかった。
実施例の励1によって得られたAlN微小球状焼結体の
粒度分布を第1図に、走査型電子顕微鏡(SEM)写真
(1000倍)を第2図に示した。第2図から本発明の
AlN微小球状焼結体が、微小なほぼ完全な球状をなし
ていることが観察される。
粒度分布を第1図に、走査型電子顕微鏡(SEM)写真
(1000倍)を第2図に示した。第2図から本発明の
AlN微小球状焼結体が、微小なほぼ完全な球状をなし
ていることが観察される。
[発明の効果1
本発明によりシーズヒータ、可撓性放熱シートの充填材
等に好適な、粒径が1mm以下の、’l!N微小球状焼
結体を得ることができる。
等に好適な、粒径が1mm以下の、’l!N微小球状焼
結体を得ることができる。
第1図は本発明の実施例における/l!N微小球状焼結
体の粒度分布を示すグラフ、第2図は本発明の実施例に
おけるAlN微小球状焼結体の形状を示す走査型電子顕
微鏡写真(倍率1000倍)である。
体の粒度分布を示すグラフ、第2図は本発明の実施例に
おけるAlN微小球状焼結体の形状を示す走査型電子顕
微鏡写真(倍率1000倍)である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 AlNを主成分とし、球状で、かつ粒径が1mm以
下であることを特徴とするAlN微小球状焼結体。 2 主成分のAlN粉末に、焼結助剤、成形助剤及び分
散媒を配合してスラリとし、該スラリを噴霧乾燥により
造粒・乾燥し、得られた粒子100重量部に対しBN粉
末1〜30重量部を混合して、窒素気流中にて1700
〜1950℃で焼成することを特徴とするAlN微小球
状焼結体の製造方法。 3 焼成後、AlN焼結体からBN粉末を分離すること
を特徴とする請求項1記載のAlN微小球状焼結体の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2242785A JPH04124006A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | AlN微小球状焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2242785A JPH04124006A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | AlN微小球状焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04124006A true JPH04124006A (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=17094255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2242785A Pending JPH04124006A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | AlN微小球状焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04124006A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006206393A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Mitsui Chemicals Inc | 球状窒化アルミニウム焼結粉およびその製造方法並びにその用途 |
CN114736023A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-12 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝复合板及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57100148A (en) * | 1980-12-13 | 1982-06-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Heat dissipating sheet |
JPS61117161A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
JPS63277571A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Toshiba Corp | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPS6438420A (en) * | 1987-08-03 | 1989-02-08 | Matsushita Electric Works Ltd | Epoxy resin molding material |
JPS6461362A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Granulated product containing aluminum nitride powder |
JPH01313364A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-18 | Murata Mfg Co Ltd | AlN焼結体の製造方法 |
JPH03295863A (ja) * | 1990-04-10 | 1991-12-26 | Toyo Alum Kk | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
JPH0474705A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-10 | Lion Corp | 球状窒化アルミニウム及びその製造方法 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP2242785A patent/JPH04124006A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57100148A (en) * | 1980-12-13 | 1982-06-22 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Heat dissipating sheet |
JPS61117161A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 |
JPS63277571A (ja) * | 1987-05-08 | 1988-11-15 | Toshiba Corp | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
JPS6438420A (en) * | 1987-08-03 | 1989-02-08 | Matsushita Electric Works Ltd | Epoxy resin molding material |
JPS6461362A (en) * | 1987-09-01 | 1989-03-08 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Granulated product containing aluminum nitride powder |
JPH01313364A (ja) * | 1988-06-10 | 1989-12-18 | Murata Mfg Co Ltd | AlN焼結体の製造方法 |
JPH03295863A (ja) * | 1990-04-10 | 1991-12-26 | Toyo Alum Kk | 球状窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
JPH0474705A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-10 | Lion Corp | 球状窒化アルミニウム及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006206393A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Mitsui Chemicals Inc | 球状窒化アルミニウム焼結粉およびその製造方法並びにその用途 |
CN114736023A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-07-12 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝复合板及其制备方法 |
CN114736023B (zh) * | 2022-03-30 | 2022-12-06 | 厦门理工学院 | 一种氮化铝复合板及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101160109B1 (ko) | 질화알루미늄 분말 및 질화알루미늄 소결체 | |
JP2019531247A (ja) | 球状の窒化アルミニウム粉末を製造するための方法 | |
CN101928145A (zh) | 一种超细、高纯γ-AlON透明陶瓷粉末的制备方法 | |
KR102007358B1 (ko) | 탄화규소 분말 및 이의 제조 방법 | |
JPH0768066B2 (ja) | 耐熱性複合体及びその製造方法 | |
JP2013095637A (ja) | 球状α型炭化ケイ素、その製造方法、及び、該炭化ケイ素を原料としてなる焼結体又は有機樹脂複合体 | |
Rasmussen et al. | Processing of yttria powders derived from hydroxide precursors | |
JPH04124006A (ja) | AlN微小球状焼結体及びその製造方法 | |
JP2882877B2 (ja) | ジルコニア磁器及びその製造方法 | |
JP2004315293A (ja) | ジルコニア製熱処理用部材とその製造方法 | |
JP2577378B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
WO1991001953A1 (en) | Aluminum nitride powder, production thereof, and molding composition containing the same | |
JP3605632B2 (ja) | 高強度アルミナ多孔体とその製造方法 | |
JP4958353B2 (ja) | 窒化アルミニウム粉末及びその製造方法 | |
CN108821317B (zh) | 一种镁铝尖晶石粉、制备方法及制备耐火材料的应用 | |
JPH0512299B2 (ja) | ||
JPH05844A (ja) | 耐熱導電性焼結体 | |
JPH06100358A (ja) | ムライト質焼結体の製造方法 | |
JPH08198664A (ja) | アルミナ基焼結体およびその製造方法 | |
JP2655842B2 (ja) | マグネシアセラミツクスの製造方法 | |
JPH027907B2 (ja) | ||
JPH07126080A (ja) | 軽量焼結アルミナクリンカーの製造方法 | |
JPS62246812A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
JPH03197366A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
JPH0517210A (ja) | アルミナ基複合焼結体の製造方法及びアルミナ基複合焼結体 |