JP2006206393A - 球状窒化アルミニウム焼結粉およびその製造方法並びにその用途 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 1次粒子径が0.1〜0.8μmの粉末を10重量%以上含むAlN粉末と焼結助剤とを含有してなるスラリーを噴霧乾燥し、得られる顆粒をさらに1400〜1800℃で焼成することによって、気孔率が0.3%以下でかつ平均粒子径が10〜500μmである球状AlN焼結粉が得られ、該焼結粉を樹脂に混合すると、高い熱伝導性ひいては放熱性が得られる。
【選択図】 図2
Description
本発明の球状AlN焼結粉は、AlNからなり、球状の形態を持ち、その平均粒子径が10〜500μm、好ましくは30〜200μmであり、気孔率が0.3%以下、好ましくは0.2%以下である。さらに、安息角θが45°以下であることが好ましい。
気孔率(%)=(1−ρa/ρt)×100 …(1)
本発明の球状AlN焼結粉は、たとえば、1次粒子径0.1〜0.8μmの粉末を全量の10重量%以上含むAlN粉末と焼結助剤とを含むスラリーを噴霧乾燥し、さらに1400〜1800℃で焼成することによって製造できる。
スラリー濃度(%)=[A/(A+B)]×100 …(2)
〔式中、Aは原料AlN粉末と焼結助剤との合計量を示す。Bは燐酸水溶液の量を示す。いずれの量も重量である。〕
(実施例1)
図1は、原料AlN粉末と焼結助剤とを含むスラリーから焼成前の顆粒を調製するためのスプレードライヤーの構成を概略的に示す系統図である。該スプレードライヤーにおける水の最大蒸発量は10kg/hrであり、管体1の内容積は10m3である。
実施例1で得られた球状AlN焼結粉を用いて以下の方法で放熱シートを作製し、熱伝導度を測定した。
AlN粉末として、アルキルアルミ法で製造された平均1次粒子径100nmのAlN粉末(三井化学(株)製)0.3kgと、アルキルアルミ法で製造された1次粒子径2μmのAlN粉末(三井化学(株)製)2.7kgとを混合して用いる以外は、実施例1と同様にして、球状AlN焼結粉を得た。この球状AlN焼結粉の気孔率は0.23%、安息角θは34°であった。図3は、得られた球状AlN焼結粉の表面状態を示す電子顕微鏡写真である。この電子顕微鏡写真は、実施例1と同様にして撮影されたものである。
AlN粉末として、アルキルアルミ法で製造された1次粒子径2μmのAlN粉末(三井化学(株)製)3kgを用いる以外は、実施例1と同様にしてAlN焼結粉を得た。このAlN焼結粉の気孔率は0.37%、安息角θは38°であった。図4は、得られたAlN焼結粉の表面状態を示す電子顕微鏡写真である。この電子顕微鏡写真は、実施例1と同様にして撮影されたものである。
2 捕集器
3 アトマイザー
4 スラリーポンプ
5 スラリータンク
6 攪拌器
7 空気吸込口
8 送風機
9 ヒーター
10 オイルタンク
11 サイクロン
12 ダンパー
13 バグフィルター
14 排気ファン
15 エアーコンプレッサー
Claims (7)
- 形態が球状であり、平均粒子径が10〜500μmかつ気孔率が0.3%以下であることを特徴とする球状窒化アルミニウム焼結粉。
- 気孔率が0.2%以下であることを特徴とする請求項1記載の球状窒化アルミニウム焼結粉。
- 安息角θが45°以下であることを特徴とする請求項1または2記載の球状窒化アルミニウム焼結粉。
- 1次粒子径0.1〜0.8μmの粉末を全量の10重量%以上含む窒化アルミニウム粉末と焼結助剤とを含むスラリーを噴霧乾燥し、さらに1400〜1800℃で焼成することを特徴とする球状窒化アルミニウム焼結粉の製造方法。
- 焼結助剤が、リチウム、カルシウム、ストロンチウム、イットリウムおよびランタンから選ばれる少なくとも1種および/または前記金属を含む化合物から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項4記載の球状窒化アルミニウム焼結粉の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか1つに記載の窒化アルミニウム焼結粉を含有することを特徴とする放熱用フィラー。
- 請求項1〜3のいずれか1つに記載の窒化アルミニウム焼結粉および合成樹脂を含有することを特徴とする樹脂系放熱材料。
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