JPH08198664A

JPH08198664A - アルミナ基焼結体およびその製造方法

Info

Publication number: JPH08198664A
Application number: JP7023502A
Authority: JP
Inventors: Toshiki Fukui; 俊己福井
Original assignee: Kurosaki Refractories Co Ltd
Current assignee: Kurosaki Refractories Co Ltd
Priority date: 1995-01-17
Filing date: 1995-01-17
Publication date: 1996-08-06

Abstract

(57)【要約】【目的】高温での使用が可能な熱衝撃抵抗性に優れ且
つ安価な非シリカ系セラミックス材料の提供。【構成】アルミナ基焼結体においてその焼結体中に窒
化アルミニウム及び／又は酸窒化アルミニウム凝集状態
で分散させる。アルミナと窒化アルミニウムあるいは酸
窒化アルミニウム相が個別に存在する。この両結晶相の
熱膨張率が異なるために急熱又は急冷されると、両者の
凝集粒境界にミスマッチが生じ発生した熱応力が緩和さ
れ、また、焼結体内部に発生した亀裂は、凝集粒境界部
でその進展が阻止されることによって、窒化アルミニウ
ムに比べより安価で、且つアルミナや窒化アルミニウム
と比べ優れた熱衝撃抵抗性を有するシリカ成分を含まな
いアルミナ基焼結体の提供が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱衝撃抵抗性に優れた
アルミナを基体とする焼結体とその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】アルミニウム化合物からなる焼結体の
中、アルミナ焼結体は、優れた耐熱性と機械特性、大き
な熱伝導率、低い誘電率、高い絶縁性など多くの優れた
特性を有することと安価であると言う利点により、機械
的構造部材やＩＣ基板などの電子材料部品として広く用
いられている。

【０００３】また、窒化アルミニウムは、アルミナが有
する優れた機械的特性に加え、鉄に匹敵するアルミナの
約５〜１０倍の熱伝導率を有しており、発熱対策材料と
してＩＣ基板への応用が急速に進んでいる。

【０００４】さらに、アルミナや窒化アルミニウムに代
表されるアルミニウム化合物系のセラミックス材料は、
耐熱性、溶融金属に対する濡れ性の悪さ、熱伝導率の良
さから溶融金属容器用内張、坩堝、加熱炉、誘導加熱
炉、高温摺動部材などの高温部材としての応用が期待さ
れている。

【０００５】ところが、前記のアルミナ基セラミックス
を高温部材として使用する場合には、熱衝撃を回避する
ための繁雑な予備加熱を必要とし、また、窒化アルミニ
ウムはアルミナに比べると熱衝撃抵抗性が良好である
が、求められている要求を満足するものではない。加え
て、その原料コストがアルミナの１０倍以上と高いこと
も経済的観点から考えると大きな欠点である。このよう
な状況において、より安価な熱衝撃抵抗性に優れたセラ
ミックス材料の開発が強く望まれている。

【０００６】この意味から、熱衝撃抵抗性に優れたセラ
ミックス材料としては窒化珪素やサイアロン、炭化珪
素、コーディエライトなどの酸化されシリカを生成する
成分を含む材料からなるシリカ系材料が知られており、
非シリカ系材料では、チタン酸アルミニウムやその固溶
体が、熱膨張率が小さく熱衝撃抵抗性に優れていること
も公知である。さらには、特開平４−１３２６５６号公
報、特開平６−２４８３８号公報は、制御された微細な
亀裂を含むアルミナ−クロミア−ジルコニア複合体が熱
衝撃抵抗性に優れていることを開示している。

【０００７】ところが、この熱衝撃抵抗性に優れた窒化
珪素やサイアロン、炭化珪素、コーディエライトなどの
シリカ系材料は、優れた機械特性と熱衝撃抵抗性を有す
るが、他の化学成分との反応により容易に低融点ガラス
を形成するシリカ成分を多く含むためその使用範囲が限
定されることになる。また、前記のチタン酸アルミニウ
ム系材料は、高い異方性結晶より構成され、また、多く
のマイクロクラックを焼結体内部に含む組織的特徴によ
り低熱膨張率が達成され、結果として熱衝撃抵抗性が向
上する。しかし、焼結体の高密度化が困難であり、更に
内部に多くの亀裂を含むため、その曲げ強度は数十ＭＰ
ａ以下と低く構造材料としての用途が大きく制限され
る。また、チタン酸アルミニウム結晶は、８００〜１３
００℃の温度域で高膨張率であるルチルとアルミナに分
解するため、熱衝撃抵抗性を維持することができない。
このチタン酸アルミニウム焼結体に各種酸化物の添加物
によってチタン酸アルミニウムの分解を抑制することが
可能であることが特公平６−６２３３６号公報、特開平
２−２５８６７０号公報、特開平２−３１１３６１号公
報等に開示されているが、機械強度の大幅な改善は認め
られず、その使用条件が大きく限定され殆ど実用化に到
っていないのが現状である。

【０００８】さらに、前記のアルミナ−クロミア−ジル
コニア複合体では、焼結体内部に分散された３〜２０μ
ｍ程度の微細亀裂により新たに生成する亀裂の破壊エネ
ルギーを吸収分散しその進展を阻止することにより熱衝
撃抵抗性が得られるものであるが、長時間の使用や繰り
返し熱履歴により焼結体内部に存在するジルコニア粒子
は熱変態による微細化し、また、亀裂の進行は緩やかな
がら進行する。従って、初期に導入された微細組織を維
持することができず焼結体の破壊が進行する。とくに、
肉厚の小さな焼結体、例えばチューブや平板では、その
影響は顕著であり長時間又は繰り返し加熱される箇所で
の使用には適用不可能である。また、環境保全の立場か
ら考えるとクロミアの使用はより規制される方向に進む
と考えられ好ましくない。このように、実用可能な非シ
リカ系の耐熱衝撃材料は殆ど開発されていないのが現状
である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は機械的強度に
おいて優れ、且つ安価なアルミナ系焼結体における熱衝
撃抵抗性の大幅な改善をその目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、アルミナ焼結
体にその焼結体中に窒化アルミニウムをるいは酸窒化ア
ルミニウムを凝集状態で分散することによって熱衝撃抵
抗性は優れたものとなるという知見の下で完成した。

【００１１】ここで、本発明の焼結体における凝集組織
（状態）とは、焼結体中で特定の結晶相が集まった状態
をいい、また、凝集粉末とは人為的操作なしに、微細な
一次粒子が集合し、２次粒子となっている粉末（原料そ
のものの状態）をいい、また、造粒粉末とは人為的操作
により、微粉末を特定の形状大きさに集合させた粉末を
いう。

【００１２】熱衝撃抵抗性を向上させるためには、窒化
アルミニウムあるいは酸窒化アルミニウムの存在状態を
規定することが重要である。窒化アルミニウムあるいは
酸窒化アルミニウムは、アルミナマトリックス中に異相
の集合体、すなわち凝集状態で分散して存在する必要が
ある。

【００１３】すなわち、本発明において、最も重要な特
徴は、アルミナと窒化アルミニウムを完全に反応させ酸
窒化アルミニウムとするのではなく、結晶相としてのア
ルミナと窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニウム
が個別に存在する複合材料とする点である。

【００１４】窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニ
ウムの凝集径は、アルミナと反応せずにＸ線回折法によ
り結晶相として個別に特定可能であればその効果は認め
られるが、より好ましくは、その凝集径が１０μｍ以上
を条件とする。

【００１５】窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニ
ウムの含有量は、その量に関係なく熱衝撃抵抗性の向上
に効果が認められる。経済的な効果を加味した場合、効
率的な結果を得るためには窒化アルミニウム換算で５重
量％以上５０重量％以下であることがより好ましい。以
下、窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニウムの含
有量は窒化アルミニウム換算の量とする。

【００１６】窒化アルミニウムが５０重量％よりも多く
なると、熱衝撃抵抗性向上に対して寄与があるもののコ
スト的な利点が少なくなる。窒化アルミニウムが５重量
％よりも少なくなるとその添加による熱衝撃抵抗性向上
の効果が小さくなる。

【００１７】なお、窒化アルミニウムと酸窒化アルミニ
ウムの粉末物質を併用する場合、アルミナと窒化アルミ
ニウムの固溶体である酸窒化アルミニウムは、窒化アル
ミニウム量が３８〜２８モル％（１３．５〜１９．８重
量％）の下で形成される。つまり、窒化アルミニウム量
がこれより多い領域ではアルミナ基焼結体とはならな
い。したがって、アルミニウムの添加量を５０重量％と
するためには、酸窒化アルミニウムの添加量は、窒化ア
ルミニウム換算量が１０重量％以下の範囲の焼結体作製
に限定される。

【００１８】本発明の焼結体は、アルミナの造粒粉体又
は粉末と、窒化アルミニウムおよび／または酸窒化アル
ミニウムの造粒粉体または粉末を混合し成形した後、焼
成することによって製造されるが、その製造に際して用
いられるアルミナ粉末の粒径は、その焼結性が焼結助剤
などの添加物の有無又はその種類により大きく変化する
のでとくに限定されないが、好ましくは焼結助剤を用い
る場合は平均粒径１０μｍ以下、焼結助剤を用いない場
合の平均粒径は５μｍ以下、より好ましくは１μｍ以下
である。アルミナ造粒粉体の平均粒径は１０μｍ以上の
ものを用いる。

【００１９】窒化アルミニウム粉末、酸窒化アルミニウ
ム粉末の平均粒径は、とくに限定しないが、好ましくは
１０μｍ以下のものを用いる。窒化アルミニウム造粒粉
体、酸窒化アルミニウム造粒粉体の平均粒径は１０μｍ
以上のものを用いる。

【００２０】そして、粉末、造粒粉体は次の組合せによ
る工程を経て製造される。アルミナ粉末と、窒化アルミニウム粉末または酸窒化
アルミニウム粉末、あるいはその両方を混合し成形す
る。アルミナ粉末と、窒化アルミニウム造粒粉体または酸
窒化アルミニウム粉末、あるいはその両方を混合し成形
する。アルミナ粉末と、窒化アルミニウム造粒粉体または酸
窒化アルミニウム造粒粉体、あるいはその両方を混合し
成形する。アルミナ造粒粉体と、窒化アルミニウム粉末または酸
窒化アルミニウム造粒粉体、あるいはその両方を混合し
成形する。アルミナ造粒粉体と、窒化アルミニウム粉末または酸
窒化アルミニウム粉末あるいはその両方を混合し成形す
る。アルミナ造粒粉体と、窒化アルミニウム造粒粉体また
は酸窒化アルミニウム粉末あるいはその両方を混合し成
形する。アルミナ造粒粉体と、窒化アルミニウム造粒粉体また
は酸窒化アルミニウム造粒粉体あるいはその両方を混合
し成形する。

【００２１】一般にアルミナや窒化アルミニウムに用い
られているマグネシア、シリカ、イットリア、カルシア
などの焼結助材を用いてもよい。焼結助剤の使用は、出
発原料の粒径などにより選定される。当然のことなが
ら、焼結性に優れた微細粉末を出発原料として用いる場
合は焼結助剤を用いる必要はない。

【００２２】ここで、造粒粉体の製造方法は特に限定さ
れないが、スラリーの噴霧乾燥による方法が効率よく粒
径の揃った造粒粉体を得るために有効である。造粒は噴
霧乾燥法に準じる方法でも良く、例えば、へンシェルミ
キサー、スパルタンリューザーなどで得られた粉体を分
級することでも得られる。また、成形体を再粉砕し、得
られる粗角（大粗粒）を用いることが可能である。造粒
粉体の粒径は得ようとする焼結体中の窒化アルミニウム
あるいは酸窒化アルミニウムの凝集径により決定される
ものであり特に限定されない。得られた窒化アルミニウ
ムあるいは酸窒化アルミニウムの造粒粉体は、Ｖ型ミキ
サー、オムニミキサー、クロスロータリーミキサーなど
を用い均一混合される。得られた混合粉体は所望の形に
成形する。

【００２３】得られた成形体は、窒素又は不活性雰囲気
中あるいはコークスなどの炭素中にうめこみ焼成され
る。焼成温度は組成、密度により随時決定されるもので
あり特に特定されない。アルミナ成分の焼結により焼結
体の強度を向上させるためには１４００℃以上の温度で
焼成することが好ましい。更には、窒化アルミニウム成
分をより強固に焼結させるためには、１７００℃以上の
温度で焼成することがより好ましい。

【００２４】また、本発明はＳｉＯ₂もしくは、その化
合物を添加しないが、使用原料の不純物として残るもの
は仕方がなく、可能な限りＳｉＯ₂の少ないものを使用
する。

【００２５】

【作用】熱衝撃抵抗性が向上する理由は明確ではないが
以下のように推定される。本発明の焼結体中には、アル
ミナと窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニウム相
が個別に存在する。この両結晶相の熱膨張率が異なるた
めに急熱又は急冷されると、両者の凝集粒境界にミスマ
ッチが生じ発生した熱応力が緩和され、また、焼結体内
部に発生した亀裂は、凝集粒境界部でその進展が阻止さ
れることによるものと考えられる。

【００２６】

【実施例】

実施例１〜４、６〜９平均粒径０．６μｍのアルミナ粉末にポリビニルアルコ
ール（ＰＶＡ）樹脂を外掛３重量％と、分散剤を外掛
０．５重量％とを添加し、外掛４０重量％の精製水に加
えて樹脂性ポットミルで混合、撹拌を行った。焼結助剤
としてマグネシア換算で外掛０．３重量％の硝酸マグネ
シウムを加えた。得られたアルミナスラリーを噴霧乾燥
法により乾燥して平均粒径６０μｍのアルミナの造粒粉
体を得た。また、平均粒径２μｍの窒化アルミニウム
と、焼結助剤としての平均粒径０．８μｍのイットリア
を３外掛重量％と、ＰＶＡ樹脂を外掛３重量％添加して
エタノールに加え樹脂性ポットミルで混合し撹拌し、得
られた窒化アルミニウムスラリーを噴霧乾燥法により乾
燥し造粒粉体を得た。スラリー濃度と噴霧乾燥条件を変
えることで造粒粉体の粒径を変化させた。上記アルミナ
の造粒粉体と窒化アルミニウムの造粒粉体のそれぞれを
表１に示す割合でＶ型ミキサーを用い混合した後、５０
×５０ｍｍの金型を用いｌ００ｋｇ／ｃｍ²の成形圧で
１軸成形し、さらに１．４ｔ／ｃｍ²でＣＩＰ処理を行
い約１０ｍｍ厚みの成形体を得た。脱脂後、窒素気流中
で５時間焼成し実施例１〜４、６〜９の焼結体を得た。
焼結体の密度及び結晶相（粉末Ｘ線回折法）を決定し
た。焼結体を研磨後、微細組織の観察及びビッカース硬
度測定を行った。焼結体より３×４×４０ｍｍのテスト
ピースを切出し３点曲げ強度、弾性率及び熱衝撃抵抗性
の評価を行った。熱衝撃抵抗性は、一般的に行われてい
るテストピースを所定の温度に加熱した後、水中に投下
して急冷し、その後のテストピースの曲げ強度を測定す
る方法により評価した。この場合の温度差をΔＴとし、
強度低下に必要な温度が大きな値であるほど熱衝撃抵抗
性は大きい。強度低下が顕著に認められ始める温度差を
ΔＴとして示した。

【００２７】実施例５窒化アルミニウム粉末を３０重量％とアルミナ粉末を７
０重量％にイットリアを外掛３重量％とＰＶＡ樹脂を外
掛３重量％添加し、外掛５０重量％のエタノールに加え
作製した混合スラリーを用いて得られた混合造粒粉体を
同様に成形体を作製した後、窒素気流中で１６００℃で
１０時間焼成し実施例５に示す焼結体を得た。そして、
実施例１〜４、６〜９の場合と同様にして、特性を調べ
た。その結果を表１と表２に示す。

【００２８】実施例１０実施例１で得られたアルミナ造粒粉体（平均粒径６０μ
ｍ）の７０重量％と窒化アルミニウム粉（平均粒径２μ
ｍ、自然凝集あり）の３０重量％をＶ型ミキサーを用い
混合した後、５０×５０ｍｍの金型を用い１００ｋｇ／
ｃｍ²の成形圧で１軸成形し、さらに１．４ｔ／ｃｍ²
でＣＩＰ処理を行ない約１０ｍｍ厚みの成形体を得た。
脱脂後、窒素気流中で１７５０℃で５時間焼成し焼結体
を得た。

【００２９】実施例１１アルミナ粉（平均粒径０．６μｍ、自然凝集あり）の７
０重量％と実施例１で得られた平均粒径５０μｍの窒化
アルミニウム造粒粉体の３０重量％をＶ型ミキサーを用
い混合した後、５０×５０ｍｍの金型を用い１００ｋｇ
／ｃｍ²の成形圧で１軸成形し、さらに１．４ｔ／ｃｍ
²でＣＩＰ処理を行ない約１０ｍｍ厚みの成形体を得
た。脱脂後、窒素気流中で１７５０℃で５時間焼成し焼
結体を得た。

【００３０】実施例１２アルミナ粉（平均粒径０．６μｍ、自然凝集あり）の７
０重量％と窒化アルミニウム粉（平均粒径２μｍ、自然
凝集あり）の３０重量％をＶ型ミキサーを用い混合した
後、５０×５０ｍｍの金型を用い１００ｋｇ／ｃｍ²の
形成圧で１軸成形し、さらに１．４ｔ／ｃｍ²でＣＩＰ
処理を行ない約１０ｍｍ厚みの成形体を得た。脱脂後、
窒素気流中で１７５０℃で５時間焼成し焼結体を得た。

【００３１】実施例１３アルミナ粉末（平均粒径０．６μｍ）と窒化アルミニウ
ム（平均粒径２μｍ）を湿式混合した後、１７００℃で
熱処理により得られた酸窒化アルミニウムを解砕し平均
粒径５μｍの粉末を得た。更に、イットリア（平均粒径
０．８μｍ）を外掛３重量％とＰＶＡ樹脂を外掛３重量
％添加し、エタノールに加え樹脂性ポットミルで混合、
攪拌を行った。得られた酸窒化アルミニウムスラリーを
噴霧乾燥法により乾燥し、平均粒径６０μｍ造粒粉体を
得た。

【００３２】実施例１で得られたアルミナ造粒粉体（平
均粒径６０μｍ）の４４．５重量％と上記酸窒化アルミ
ニウム造粒粉体の５５．５重量％をＶ型ミキサーを用い
混合した後、５０×５０ｍｍの金型を用い１００ｋｇ／
ｃｍ²の成形圧で１軸成形し、さらに１．４ｔ／ｃｍ²
でＣＩＰ処理を行ない約１０ｍｍ厚みの成形体を得た。
脱脂後、窒素気流中で１８００℃で５時間焼成し焼結体
を得た。

【００３３】実施例１４実施例１で得られたアルミナ造粒粉体（平均粒径６０μ
ｍ）の６７．３重量％、窒化アルミニウム造粒粉体（平
均粒径５０μｍ）の５重量％と実施例１３で得られた酸
窒化アルミニウム造粒粉体（平均粒径６０μｍ）をＶ型
ミキサーを用い混合した後、５０×５０ｍｍの金型を用
い１００ｋｇ／ｃｍ²の成形圧で１軸成形し、さらに
１．４ｔ／ｃｍ²でＣＩＰ処理を行ない約１０ｍｍ厚み
の成形体を得た。脱脂後、窒素気流中で１７５０℃で５
時間焼成し焼結体を得た。

【００３４】比較例として、以下の比較例１〜３とし
て、表１と表２に示す焼結体を得た。その調整方法は以
下のとおりである。

【００３５】比較例１表１の比較例１は実施例５と同様な方法によって得られ
た成形体を窒素気流中で１８００℃で５時間焼成し得
た。

【００３６】比較例２それぞれ比較例２として示す市販のアルミナと、比較例
３として示す窒化アルミニウム焼結体を比較例とした。

【００３７】何れの比較例の場合も、上記実施例と同様
の方法で評価を行った。

【００３８】〔評価〕実施例ｌ〜１４は、α−アルミナ
と窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニウム、特に
１〜９及び１１、１３、１４は焼結助剤として用いたイ
ットリアとアルミナの反応で得られた微量のイットリウ
ムアルミニウムガーネット（ＹＡＧ）から構成されてい
る。

【００３９】図１は、本発明の実施例である実施例３の
その光学顕微鏡写真を示す。同図において、白色部は窒
化アルミニウムまたは酸窒化アルミニウム相あるいはそ
の両方を、灰色部はアルミナ相を示す。同図から明らか
なとおり、アルミナマトリックス中に窒化アルミニウム
または酸窒化アルミニウム相あるいはその両方が１００
μｍ程度に凝集し分散している。このように、本発明に
よれば両結晶相が明確に分離した組織となる。

【００４０】また、表１と表２の特性評価に見られると
おり、窒化アルミニウムの添加量を５重量％添加した実
施例１の場合は、比較例２のアルミナや比較例１の酸窒
化アルミニウムと比べ熱衝撃抵抗性が大幅に向上してお
り、比較例１７の窒化アルミニウムと同程度となってい
る。

【００４１】また、同じく窒化アルミニウムを１０重量
％以上添加した実施例２〜４、６〜１４の場合には、窒
化アルミニウムより優れた熱衝撃抵抗性を示している。

【００４２】窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミニ
ウムの凝集径を変化させることにより耐熱衝撃性が変化
することが、実施例３と５〜７によって明らかである。
同じく本発明の実施例を示す凝集粒径が１０μｍ以下の
実施例５の場合には熱衝撃抵抗性が若干低下するが、窒
化アルミニウムと同等以上の熱衝撃抵抗性を有してい
る。

【００４３】図２は、それぞれのサンプルの熱衝撃試験
後の強度の変化を示す。同図に示すように、本発明によ
るアルミナ基焼結体において、比較例２と３に示されて
いるとおり、セラミックス材料で見られる熱衝撃による
急激な強度低下が見られないことである。同図に示すよ
うに、窒化アルミニウムの含有量により若干違いはある
が、熱衝撃温度差の上昇により緩やかに強度低下が進行
する。また、熱衝撃試験により低下した強度は、アルミ
ナや窒化アルミニウムのそれに比べより大きなΔＴにお
いて高い値を維持していることがわかる。

【００４４】なお、造粒操作を行わない自然凝集した粉
末を用いると焼結体内部の欠陥が増加する傾向にある。
結果として、曲げ強度と硬度がやや低下する。しかし、
耐熱衝撃性には大きな影響を与えない。

【００４５】本発明の粉末、造粒粉末も組合せについて
は、前述の通りであるが、実施例に挙げてないものは、
次の通りである。前記組合せ、、、の酸窒化ア
ルミニウム粉末の取扱いは、実施例の窒化アルミニウム
粉末と同様の条件で他物質の粉末、造粒粉体と組合せ使
用できる。また、前記組合せ、について実施例を挙
げてないが、他の組合せで使用した、アルミナの粉末や
造粒粉体、窒化アルミニウムの粉末や造粒粉体、酸窒化
アルミニウムの粉末や造粒粉末等と同条件で前記組合せ
、に使用できる。

【００４６】

【表１】

【００４７】

【表２】

【００４８】

【発明の効果】本発明によって以下の効果を奏する。（１）アルミナ焼結体そのものの機械的性質に優れ、し
かも安価であるという特性に加え熱衝撃抵抗性の優れた
アルミナ基焼結体が得られる。（２）窒化アルミニウムに比べより安価で、アルミナや
窒化アルミニウムと比べ優れた熱衝撃抵抗性を有するシ
リカ成分を含まないアルミナ基焼結体の製造が可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるアルミナ基焼結体の光学顕微鏡
による代表的な金属組織写真とその説明図である。

【図２】本発明によるアルミナ基焼結体の熱衝撃抵抗
性を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】 α−アルミナからなる基体中に窒化アル
ミニウムあるいは酸窒化アルミニウムが凝集して分散し
ていること特徴とするアルミナ基焼結体。
【請求項２】窒化アルミニウムあるいは酸窒化アルミ
ニウムの凝集径が、１０μｍ以上であることを特徴とす
る請求項１記載のアルミナ基焼結体。
【請求項３】アルミナの造粒粉体又は粉末と、窒化ア
ルミニウムおよび／または酸窒化アルミニウムの造粒粉
体または粉末を混合し成形した後、焼成することを特徴
とするアルミナ基焼結体の製造方法。