SE459494B - Saett vid framstaellning av keramiska kompositer innehaallande kiseloxynitrid och zirkoniumoxid - Google Patents
Saett vid framstaellning av keramiska kompositer innehaallande kiseloxynitrid och zirkoniumoxidInfo
- Publication number
- SE459494B SE459494B SE8702268A SE8702268A SE459494B SE 459494 B SE459494 B SE 459494B SE 8702268 A SE8702268 A SE 8702268A SE 8702268 A SE8702268 A SE 8702268A SE 459494 B SE459494 B SE 459494B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- powder
- added
- process according
- sintering
- phase
- Prior art date
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 19
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 16
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 35
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 18
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910006501 ZrSiO Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 claims description 12
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 238000006396 nitration reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 6
- 229910002790 Si2N2O Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 5
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 2
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000007582 slurry-cast process Methods 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 4
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910007277 Si3 N4 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 claims 1
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 16
- 235000013339 cereals Nutrition 0.000 description 12
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 8
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 2
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004614 Process Aid Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241001478412 Zizania palustris Species 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000003542 behavioural effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910000734 martensite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/486—Fine ceramics
- C04B35/488—Composites
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/597—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/65—Reaction sintering of free metal- or free silicon-containing compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
459 494 ' L" medan de ej förefaller ha prövats som komponenter iïett kompositmaterial. Dock cs- nämns ZrSi04 av Rice et al (ref. l,2) som en önskvärd korngränsfas i s m sintring av Si3N4. Detta p g a dess höga liquidustemperatur, hög E-modul och lag termisk expansionskoefficient. De senare tvâ egenskaperna ligger nära de för Si3N4 med även för de så kallade sialonerna (ß"- fas) eller Si2N2O (O'- fas) såsom de är representerade iddet kända kompatibilitetsdiagrammet Si3N4-SiO2-AlN-Al2O3 (ref. 3) Däremot återfinns ej i litteraturen uppgifter om utnyttjandet av reaktionen mellan ZrSi04 och Si3N4 och/eller komponentkombinationen Zr02/Si2N20 imaterialsammanhang.
Såsom nämns inledningsvis grundar sig förfaringssättet för framställning av komposit- material enligt denna uppfinning på utnyttjandet av reaktion mellan ZrSi04 och Si alla tillförd helt eller delvis som Si till Zr0 2 och Si2N20. I nedanstående beskrivning avses ges en beskrivning av de för detta förfaringssätt viktiga processteg och därav resulterande egenskaper varefter förfaringssättet belyses med ett utföringsexempel.
Utgångsmaterialet vid framställning av kompositmaterialet enligt denna uppfinning bör uteslutande utgöras av ZrSiO4 och Si och/eller Si/Si3N4 pulverblandning om reak- tionen till Zr02 och Si N 2 20 optimalt skall utnyttjas. Beroende på önskade tillämp- ningar för kompositmaterialet där t ex egenskaper som hög hållfasthet, låg värmeled- ningsförmàga el motsv prioriteras kan emellertid överskott av endera komponenten tillföras. Pa samma sätt kan halten av komponenter som bildas genom reaktionen, dvs ZrO2 och Si2N2O, ändras genom separat tillsats av någondera för att påverka kompositmaterialets egenskaper i önskad riktning. I detta sammanhang bör speciellt nämnas ökad tillsats av Si och/eller Si3N4 för att erhålla en komposit inom om- rådet Si2N2O/Si3N4 (ref.3) eller ökad tillsats av Si och/eller Si3H4 kombinerat med adekvat mängd Al2O3 för att erhålla kompositmaterial inom omrâdet ß'- fas/0'- fas inom det tidigare nämnda fasdiagramet. Förutom de inom systemet ZrSi04-Si3N4-Si2N20- Zr02 uppträdandekomponenterna kan även andra komponenter användas (till ex kisel- karbid, aluminiumnitrid m m) för att påverka termomekaniska, elektriska eller andra egenskaper hos det framställda kompositmaterialet.
Vid användning av konventionell (trycklös) sintring behöver sintringshjälpmedel tillföras. Dessa ka väljas bland de som är kända vid exempelvis sintring av Si3N4 och sialoner. Således kan oxider såsom Al203, MgO, Ba0 m m eller oxider av sällsynta jordartsmetaller användas varvid tillsatsmängden avgörs av önskade sintringsegenskap- er eller egenskaper hos den färdiga kompositen. Om sintringsteknik med applikation av mekaniskt tryck utnyttjas (gasövertrycksintring, varmpressning, HIP) kan sin- tringshjälpmedel elimineras eller deras halt jämförelsevis minskas. För att stabili- sera helt eller delvis den bildade ZrO2 i dess tetragonala form och således ut- nyttja den förstärkníngseffekt genom martensitisk omvandling av den tetragonals formen till den monoklina enligt kända principer för högpre sterande ZrO7 material/ 2» 459 494 kompositer bör nagon/nägra av de kända oxidiska stabilisatórer såsom Y203, H90, CaD, Ce02 m.m utnyttjas. Eftersom den monoklina/tetragonala omvandlingen även är kopplad till storleken hos ZrD2 kornen i kompositmatrisen kan genom adekvat pulver- beredning enligt kända principer tillsats av oxidiska stabilisatorer undvikas.
Detsamma gäller, dvs ingen stabilisator tillförs, om förstärkingsmekanismen via mikrosprickbildning i s m spontan tetragonal/monoklin fasomvandling hos Zr02 kornen utnyttjas.
Utgångsmaterialet kan förutom 2rSi04 pulvret och andra komponenter som nämnts ovan utgöras av Si pulver eller en blandning av Si3N4 och Si pulver. Dessa pulver bör vara av submikron storlek för framställning av högpresterande kompositmaterial med finkornig mikrostrukrur.medan för eldfasta tillämpningar kan en grövre kornstorlek, dvs medelkornstorlek över l um, användas. Den önskade kornstorleken hos startpulver- materialet kan erhållas genom sammanblandning av separat framtagna pulver eller genom sammalning i lämplig kvarnutrustning. Det har härvid visat sig att om sub- mikront ZrSi04 pulver sammals med Si pulver med en kornstorlek väsentligen över- stigande l um kan en submikron ZrSi04/Si pulverblandning erhållas - den specifika ytan hos det sammalda pulvret blir högre än om vart pulver mals för sig. En liknande Synergetisk malningsverkan erhålls således som beskrivs i den svenska ansökningen SE 8lO3269-0 för submikront Si3N4 pulver och Si pulver enligt ovan. Det kan dock hållas för troligt att sammalning av Si pulver med ZrSiO4 pulver med kornstorlek över l um kan ge en submikron pulverblandning.
Eventuella sintringshjälpmedel/stabilisator tillförs i s m sammalning av huvud- komponenterna men kan även tillsättes via impregnering eller andra adekvata sätt efter formning av det sammalda pulvermaterialet med kända metoder såsom slam- gjutning, formsprutning, pressning, extrudering, stampning m m till en pulverkropp av önskad form. Efter avbränning av eventuella processhjälpmedel tillsatta i s m formning följer nitreringssteget där det tillsatta Si pulvret omsätts i en kväve- innehállande atmosfär till Si3N4. För att undvika överhettning i s m den exoterma nitreiringsreaktionen bör nitreringssteget ske under långsam temperaturstegring eller till exempel m h a ett_tvâstegsprogram med första temperaturnivån vid lDOO - l3OD°C och slutnitreringstemperaturen vid ll5O - l45D°C. Slutnitrerings- temperaturen bör i allmänhet ligga under den lägsta eutektiska temperaturen for de eventuella närvarande sintringshjälpmedel/stabilisator/huvudkomponenterna emedan närvaro av smälta torde påskynda den exoterma reaktionen nlellan ZrSiOQ och Si3N4 till ZrD2 och Si2N20.0m submikront Si pulver ingår kan normalt fullständig omsättning till nitrid ske vid en slutnitreringstemperatur av l250 - l3GO°C och en halltid av l -3 timmar. Om emellertid det av särskilda skäl är önskvärt att utnyttja den frigjorda reaktionsvärmen vid nitrering samt den exoterma reaktionen mellan ZrSiO4 och Si3N4 kan förslagsvis processen drivas adiabatiskt så att även 459 494 B en partiell'eller fullständig sintring (densifiering) kan erhållas i s m nitrering och omsättning av ZrSi04 och Si3N4 till Zr02 och Si2N20. vid konventionell (trycklös) sintring bör temperaturen ligga under ca l750°C för att minimera sönderfall av den bildade Si2N¿0 till Si0 och N2 gas. En kväveinne- hållande atmosfär bör användas. Pulverbäddtekniken enligt kända principer bör utnyttjas där det använda inpackningspulvret, till exempel föroxiderad Si N 3 4 pulver, SiO2/Si3N4 pulverblandning, Si2N20 pulver el motsv genererar samma typ av gasformiga sönderfallsprodukter som den sintrade pulverkroppen. Temperaturen bör vidare hållas heis: under isso°c för att minimera karnriiivaxc , i synnerhet korntillväxt av den bildade ZrO2 i kompositmatrisen.
En värmebehandling som ett separat steg eller en del av sintringsprogrammet kan ingå för att kristallisera delvis eller helt den efter svalning bildade korngränsglasfasen till kristallina faser och således optimera kompositens varmhållfasthet, korrosionsbeständighet och andra relaterade egenskaper. Normalt sker omsättning av ZrSi04/Si 3N4 till ZrO2/Si2N20 i s m sintring och denna reaktion åtföljs av en molvolymöning a v ca 9 %. Vid användning av sintrings- metoder med utnyttjande av mekaniskt tryck behöver således trycket läggas på efter det att reaktionen väsentligen har slutförts.
Förfaringssättet för framställning av kompositmaterial enligt denna uppfinning be- lyses närmare av nedanstående beskrivet utföringsexempel: Två satser med ZrSiO4 pulver (Ventron, BET specifik area: 99.98%) och Si pulver (KemaNord, BET specifik area: med tillsats av (i viktprocent) resp 2) l2.8 m2/g, renhetsgrad: 2.l m2/g, renhetsgrad: 99.82) 9% Y203/5% Al203 respektive 3% Y203/4% Al2D3 (sats l som stabilisator/sintringshjälpmedel har valts i detta exempel (givetvis medverkar den tillsatta stabilisatorn även som sintringshjälpmedel).för att illu- strera inverkan av varierande mängd stabilisator/sintringshjälpmedel. Mängdförhâllan- det ZrSi04/Si var det stökiometriska för reaktionen. Pulverberedning skedde genom sammalning av komponenterna i kulkvarn i plastbehállare med Si3N4 malkulor i ca 70 timmar i etanol som malvätska. De således beredda slammorna vâtsiktades genom en l0 um siktduk varefter vätskefasen avlägsnades i en roterande ning av BET specifik area gav l4 - Zl m2/g vilket indikerar att d pulvret lättare hade kunnat malas ner till submikron storlek geno vid separat malning av Si pulver erhålls normalt en s 8 - ll m2/9. indunstare. Mät- et tillsatta Si m sammalning. pecifik area av ej mer än Den erhållna intorkade pulverblandningen siktgranulerades, des enaxligt till form av rektanguljära stavar och kallisostatpressades v Den erhållna gröndensiteten blev ca 55 kropparna utfördes i en grafitresistans 0.l MPa tryck. Ett tvåstegsprogram anvä iiso°/0.5 tim - i25o° förpressa- id 280 MPa. % av den teoretiska. Nitrering av de formade ugn eller en termovåg i kvävgasatmosfär vid ndes enligt följande (temperatur/hålltid): /l.5 tim. För den använda provstorleken (7x7x40 nmfl ledde detta program till fullständig omsättning av Si utan ëverhettningseffekter. E n mindre 459 494 5 krympning (linjär) av ca l - l.3 % erhölls efter nitrering och gröndensiteten blev 67 - 68% av den teoretiska. Röntgendiffraktionsanalys av nitrerat material visade närvaro av ZrSi04 och Si3N4 (alfa - fas). šintring genomfördes i en grafitresis- tensugn med provkropparna inbäddade i föroxiderat kiselnitridpulver (föroxidering: l2000/0.5 tim) i kvävgas vid 0.l MPa. De använda sintringsprogrammen var l600 - ie4o° aan 1-4 timmars haiitia. via temperaçur över i67o° skedde i detta fan visst sönderfall som resulterade i ökad inre porositet. Provkroppar från sats l och 2 densifierade till ca 99 % respektive 95 % av den teoretiska densiteten. Osäkerheten om de relativa mängderna/exakt sammansättning hos de efter sintring bildade faserna gör att den teoretiska densiteten kan avvika något från kompaktdensiteten. Fasanalys med röntgendiffraktion visade att en omsättning till Zr02 och Si2N20 hade skett under sintringen. Den bildade Zr02 fanns som tetragonal/kubisk fas respektive monoklin/tetragonal(kubisk) fas hos sats l och 2. Förhållandet monoklin/tetragonal (kubisk) fas hos sats 2 uppskattades till ca l:S. P g a sammanfallande tetragonala/ kubiska reflexer kunde ej en exakt mängdberäkning av de ingående faserna göras.
Mikrostrukturen undersökt med svepelektronmikroskop hos en polerad tvärsnittsyta visade närvaro av små, avlånga SiZN20 korn (ca l um längd) omgivna av en glasfas samt ZrO2 korn ca 0.5 ~ 2 um stora. Dessa korn var homogent fördelade i Si¿N20 matrisen.
Litteraturhänvisningar: l. Rice et al, Progr. Rep. NRL, December l974, l8 2, Rice et al, J.Am.Ceram.Soc. 58(5-6)(l975)264 M.B,Trigg, K.H.Jack, Proc.Int.Symp Ceramic Comp. for Engines,l983.Japan, l99
Claims (1)
1. PATENTKRAV 1. 459 494 b Förfaringssätt vid framställning av keramiska kompositmaterial innehållande kiseloxynitrid (Si2N20, 0'-fas) och zirkoniumoxid (Zr02) utgående från pulverformiga råmaterial som formas med känd teknik, nitreras i kväveinne- hållande atmosfär och/eller sintras till önskad densitet, k ä n n e t e c k- n a t a v att râmaterialpulvret innehåller zirkoniumsilikat (ZrSi04) och kiselpulver (Si) alt. ZrSi04 och en blandning av Si och kiselnitridpulver (Si3N4) samt eventuellt en stabiliserande oxid för bildning av tetragonal/ kubisk Zr02 och/eller ett sintringshjälpmedel, som efter pulverberedning och formning omsätts till Zr02 och Si2N20 (0'-fas) i samband med nitrering av Si till Si3N4 och sintring alt. enbart i samband med sintring. Förfaringssätt enligt krav 1 k ä n n e t e c k n a t a v att mängden tillsatt ZrSi04 och Si tillfört helt eller delvis som Si-pulver som senare genom nitrering omsätts till Si3N4, är den stökiometriska för omsättning till Zr02 och Si2N2O (0'-fas) som huvudkomponenter i det framställda kom- positmaterialet. Förfaringssätt enligt krav 1 och 2 k ä n n e t e c k n a t a v att mängden tillsatt Si tillfört helt eller delvis som Si-pulver som senare genom nitrering omsätts till Si3N4, varierar inom sammansättningsområdet för Si3N4, Si2N20 och Zr0 2 som huvudkomponenter i det framställda komposit- materialet. Förfaringssätt enligt krav i och 2 k ä n n e t e c k n a t a v att mängden tillsatt Si varierar enligt krav 3 samt att aluminiumoxid (AIZO3) eller motsvarande tillsätts i en mängd motsvarande bildning av Si¿N20 (0'-fas), Zr02 och en sialon (kiselaluminiumoxynitrid) som huvudkomponenter i det fram- ställda kompositmaterialet. Förfaringssätt enligt krav 1 - 4 k ä n n e t e c k n a t a v att ett sintringshjälpmedel tillsätts som väljs bland oxider som till ex Al203, Mg0, 8a0 eller oxider av sällsynta jordartsmetaller. Förfaringssätt enligt krav 1 - 5 k ä n n e t e c k n a t a v att oxider som stabiliserar den tetragonala och/eller kubiska formen av Zr0 2 tillsätts som till ex Y 203, Mg0, Ca0, Ce02 och andra för sig eller i blandning. l 10. 11. 1 459 494 Förfaringssätt enligt krav 1 - 6 k ä n n e t e c k n a t a v att råmaterial- pulvret bereds genom sammanblandning och/eller sammalning av de ingående pulverkomponenterna till en submikron kornstorlek utgående från pulvermate- rial där samtliga huvudkomponenter, d v s ZrSi04, Si och/eller Si/Si3N4 besitter submikron kornstorlek eller minst en av dessa ligger inom det sub- mikrona kornstorleksområdet. Förfaringssätt enligt krav 1 - 7 k ä n n e t e c k n a t a v att pulver- râmaterialet formas med kända metoder såsom slamgjutning, formsprutning, extrudering m m till en pulverkropp och nitreras i kväveinnehâllande atmosfär vid maximalt den temperatur som ligger under den lägsta eutektiska tempera- turen för de närvarande/bildade faserna. _ Förfaringssätt enligt krav 1 - 7 k ä n n e t e c k n a t a v att en pulver- kropp formad enl. krav 8 nitreras i närvaro av smälta bildad genom fasreak- tion mellan de närvarande komponenterna. Förfaringssätt enligt krav 1 - 9 k ä n n e t e c k n a t a v att nitrering utförs i ett tvåstegsprogram med första temperaturnivan vid 1000 - 1300°C och andra nivån via 1150 - 14so°c. - Förfaringssätt enligt krav 1 - 7 där den formade pulverkroppen eventuellt nitreras enligt krav 8 - 10 k ä n n e t e c k n a t a v att sintring sker trycklöst d v s utan användning av pålagt mekaniskt tryck med eller utan användandet av pulverbädd i kväveinnehàllande atmosfär vid temperatur under 17so°c.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8702268A SE459494B (sv) | 1987-06-01 | 1987-06-01 | Saett vid framstaellning av keramiska kompositer innehaallande kiseloxynitrid och zirkoniumoxid |
| EP88905254A EP0365553B1 (en) | 1987-06-01 | 1988-05-31 | Method for producing ceramic composite materials containing silicon oxynitride and zirconium oxide |
| DE8888905254T DE3873767T2 (de) | 1987-06-01 | 1988-05-31 | Verfahren zur herstellung keramischer verbundwerkstoffe, enthaltend siliziumoxynitrid und zirkoniumoxid. |
| PCT/SE1988/000296 WO1988009778A1 (en) | 1987-06-01 | 1988-05-31 | Method for producing ceramic composite materials containing silicon oxynitride and zirconium oxide |
| US07/438,416 US5098623A (en) | 1987-06-01 | 1988-05-31 | Method for producing ceramic composite materials containing silicon oxynitride and zirconium oxide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8702268A SE459494B (sv) | 1987-06-01 | 1987-06-01 | Saett vid framstaellning av keramiska kompositer innehaallande kiseloxynitrid och zirkoniumoxid |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE8702268D0 SE8702268D0 (sv) | 1987-06-01 |
| SE8702268L SE8702268L (sv) | 1988-12-02 |
| SE459494B true SE459494B (sv) | 1989-07-10 |
Family
ID=20368712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE8702268A SE459494B (sv) | 1987-06-01 | 1987-06-01 | Saett vid framstaellning av keramiska kompositer innehaallande kiseloxynitrid och zirkoniumoxid |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5098623A (sv) |
| EP (1) | EP0365553B1 (sv) |
| DE (1) | DE3873767T2 (sv) |
| SE (1) | SE459494B (sv) |
| WO (1) | WO1988009778A1 (sv) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4126738A1 (de) * | 1990-12-11 | 1992-06-17 | Claussen Nils | Zr0(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-haltiger keramikformkoerper |
| US5382396A (en) * | 1992-06-15 | 1995-01-17 | Industrial Technology Research Institute | Method of making a porous ceramic filter |
| US6040256A (en) * | 1993-10-12 | 2000-03-21 | Isuzu Ceramics Research Institute Co., Ltd. | Method for producing a reaction sintered ceramic |
| JP2945925B2 (ja) | 1996-12-28 | 1999-09-06 | 工業技術院長 | 複合繊維の製造方法 |
| US6841439B1 (en) * | 1997-07-24 | 2005-01-11 | Texas Instruments Incorporated | High permittivity silicate gate dielectric |
| US6013553A (en) * | 1997-07-24 | 2000-01-11 | Texas Instruments Incorporated | Zirconium and/or hafnium oxynitride gate dielectric |
| US7115461B2 (en) * | 1997-07-24 | 2006-10-03 | Texas Instruments Incorporated | High permittivity silicate gate dielectric |
| CN102030535B (zh) * | 2010-11-29 | 2013-05-29 | 沈阳大学 | 氮化锆增强氧氮化铝复合陶瓷材料的制备方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1340696A (en) * | 1970-07-10 | 1973-12-12 | Lucas Industries Ltd | Method of manufacturing silicon nitride products |
| US4069059A (en) * | 1976-06-11 | 1978-01-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Silicon nitride-zirconium silicate ceramics |
-
1987
- 1987-06-01 SE SE8702268A patent/SE459494B/sv not_active IP Right Cessation
-
1988
- 1988-05-31 WO PCT/SE1988/000296 patent/WO1988009778A1/en not_active Ceased
- 1988-05-31 US US07/438,416 patent/US5098623A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-31 DE DE8888905254T patent/DE3873767T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-31 EP EP88905254A patent/EP0365553B1/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1988009778A1 (en) | 1988-12-15 |
| EP0365553A1 (en) | 1990-05-02 |
| DE3873767T2 (de) | 1993-03-11 |
| US5098623A (en) | 1992-03-24 |
| SE8702268D0 (sv) | 1987-06-01 |
| SE8702268L (sv) | 1988-12-02 |
| DE3873767D1 (de) | 1992-09-17 |
| EP0365553B1 (en) | 1992-08-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5470806A (en) | Making of sintered silicon carbide bodies | |
| JPH07277814A (ja) | アルミナ基セラミックス焼結体 | |
| JPS6324951B2 (sv) | ||
| JP2659082B2 (ja) | ジルコニア系複合セラミック焼結体の製法 | |
| SE459494B (sv) | Saett vid framstaellning av keramiska kompositer innehaallande kiseloxynitrid och zirkoniumoxid | |
| JPH0553751B2 (sv) | ||
| JP2533336B2 (ja) | 部分安定化された酸化ジルコニウムからなる焼結成形体およびその製造法 | |
| EP0250592B1 (en) | Ceramics containing alpha-sialon | |
| JPS6186466A (ja) | スピネル系セラミツクス | |
| JP2690571B2 (ja) | ジルコニア系切削工具とその製造法 | |
| JP2581128B2 (ja) | アルミナ−サイアロン複合焼結体 | |
| JPH05117030A (ja) | 複合セラミツクスおよびその製造法 | |
| JPH10279360A (ja) | 窒化珪素質構造部品およびその製造方法 | |
| JPH0694390B2 (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
| JPH08198664A (ja) | アルミナ基焼結体およびその製造方法 | |
| JP2985519B2 (ja) | 粒子分散型ZrO2系セラミックス材料及びその製造方法 | |
| JPH0811707B2 (ja) | アルミナ−ジルコニア質焼結体およびその製造法 | |
| JPH04104944A (ja) | Al↓2O↓3―SiC―ZrO↓2複合焼結体 | |
| JPH05339045A (ja) | 非線形セラミックス | |
| JPH0818875B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH0517210A (ja) | アルミナ基複合焼結体の製造方法及びアルミナ基複合焼結体 | |
| JPH0465363A (ja) | 窒化ケイ素質焼結体の製造方法 | |
| JPH07172925A (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH06116017A (ja) | 高靱性アルミナ−ジルコニア焼結体 | |
| JPH05339061A (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NAL | Patent in force |
Ref document number: 8702268-7 Format of ref document f/p: F |
|
| NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8702268-7 Format of ref document f/p: F |