JPS63277570A - 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
に関し、さらに詳しくは、緻密で高熱伝導性を有する窒
化アルミニウム単相からなる窒化アルミニウム焼結体お
よびその製造方法に関する。

（従来技術） 窒化アルミニウム（Ａ八）は高温まで強度低下が少なく
、化学的耐性にも優れているため、耐熱材料として用い
られる一方、その高温伝導性、高電気絶縁性を利用して
半導体装置の放熱板材料。

回路基板用絶縁体材料としても有望視されている。

こうした値化アルミニウムは常圧下では融点を持たず、
２５００℃以上の高温で分解するため、薄膜などの用途
を除いては焼結体として用いられる。

かかる窒化アルミニウム焼結体は通常１．窒化アルミニ
ウム粉末を成形、焼結して得られる。超微粉（０，３μ
ｍ以下程度）のＡＭ粉末を用いた場合には単独でも緻密
彦焼結体が得られるが、原料粉末表面の酸化層中の酸素
が焼結時にＡｌＮ格子中に固溶したＪ、ＡＪ−０−Ｎ化
合物を生成し、その結果無添加焼結体の熱伝導率はたか
だか１００ｗ／ｍＫ程度である。′また粒径０．５μｍ
以上のんＡ粉末を用いた場合は焼結性が良好でないため
に、ホットプレス法による以外には無添加では緻密な焼
結体を得ることは困難である。そこで常圧で焼結体を得
ようとした場合、焼結体の高密度化およびＡｌＮ原料粉
末の不純物酸素のＭＮ粒内への固溶を防止するために、
焼結助剤として希土類酸化物、アルカリ土類金属酸化物
等を添加することが一般に行なわれている（特開昭６０
−１２７２６７号、特開昭６１−１００７１号、特開昭
６０−７１５７５号等）にれらの焼結助剤はＡＭ原料粉
末の不純物酸素と反応し液相を生成し焼結体の緻密化を
達成すると共に、この不純物酸素を粒界相として固定（
酸素トラップ）し、高熱伝導率化を達成すると考えられ
ている。

町、別置の浄心（内容に変更な１） このように焼結助剤を添加することによシ確かに焼結体
は緻密化、高熱伝導率化するが、他方で。

結果的に残存する粒界相（主相であるＡＭ相に対し副相
）の存在、完全にドラッグしきれなかった酸素等の存在
により、窒化アルミニウム焼結体のそれは高々１９０ｗ
／ｍＫ程度と、Ａムの理論熱伝導率３２０ｗ／ｍＫに対
しかなり低いものであった。

そのため％窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率の向上を
目的として種々の試みがなされているが、未だ十分満足
すべきものは得られていない。

（発明が解決しようとした問題点） 現在半導体搭載用の回路基板、放熱基板等ではより高い
熱伝導率を有する材料が望まれている。

しかしながら酸素その他の不純物特に、助剤添加の結果
として粒界に生成する粒界相の存在によ九窒化アルミニ
ウム焼結体の高熱伝導度化には限界があった。

本発明は、以上の点を考慮してな芒れたもので、熱伝導
性に優れ九窒化アルミニウム焼結体を提供することを目
的とした。

叩、１ｌＴｌ書・′・）胎−（ｉりｊ賓に′が釘な！ゝ
〔発明の構成〕 （問題点を解決するための手段及び作用）本発明者等は
上記目的を達成すべく窒化アルミニウム粉末に添加する
焼結助剤や焼結条件、焼結体組成、焼結体微細構造等と
熱伝導率の関係について実験・検討を進めた結果、以下
に示す新規事項を発見し、本発明を完成するに至った。

すなわち、添加物としてアルカリ土類金属化合物および
希土類化合物をＡ７Ｎ粉末に添加し、窒素を含む還元雰
囲気中で長時間焼成したところ、粒界相（例えばＹ−Ａ
ｌ−０化合物、Ｃａ−ＡＪ−０化合物など）の存在量が
従来の窒化アルミニウム焼結体に比べて減少するという
ことがわかった。そして十分長時間焼結すると実質的に
副相がなくＭＮ単相からなシ、多結晶体として非常に高
い熱伝導率を有する窒化アルミニウム焼結体が得られる
という事実をみいだした。

この事実に基づいて高熱伝導率化を達成する最適条件を
種々検討した結果が本発明であり、＆）窒化アルミニウ
ムを生成分とし、これにアルカリ土類金属化合物および
希土類化合物からなる添加物を、各々の元素重量換算で
０．０５〜２５チ添加した成形体もしくはこの成形体を
、１５５０〜２０５０’０．４時間未満で焼成し、ＡＭ
以外の構成相を含む焼結体を。

ｂ）窒素ガスを含む還元雰囲気中で ｅ）　１５５０〜２０５０℃で４時間以上焼成し、ＡＭ
以外の構成相を含まず、密度が３．１２０〜ａ、ｚｓｓ
ｇ／ｄ１２５″０における熱伝導率が２００ｗ／ｍ−に
以上であることを具体化した高熱伝導性窒化アルきニク
ム焼結体の製造方法である。この様な方法で得られた窒
化アルミニウム焼結体は、Ｘ線回折及び電子顕微鏡を用
いて構成相を観察してもＡＬＮ結晶粒のみ紹められ、他
の相は観察されない、また成分分析を行なったところＡ
ＬＮが生成分で、希土類元素そしてアルカリ土類元素の
合計量ｌＯ〜３０００ｐｐｍｂ不純物酸素２０００　ｐ
ｐｍを含有し、その他の不純物陽イオン元素は１１００
０ｐｐ以下という新規な窒化アルミニウム焼結体であっ
た。

ζ日＝１社１本発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結
体の製造方法は、窒化アルミニウム原料粉、添加物の種
類とその添加ｔ、焼成雰囲気、そして焼成温度とその時
間を骨子としたものである。

生成分である窒化アルミニウム原料粉末としては、焼結
性、熱伝導性を考慮して酸素を７重ｆｌｉ：％以下、実
用上は０．０１〜７重量％含有し、ｓｆＬ均粒径が０．
０５〜５１ｒｒｒ１のものを使用する。

添加物としてはアルカリ土類金属化合物および希土類化
合物を用いる。これら元素の化合物としては、酸化物％
窒化物、フッ化物、酸フッ化物、酸窒化物、もしくは焼
成によシこれらの化合物となる物質が最適である。焼成
によって例えば酸化物となる物質としては、これら元素
の炭酸塩、硝酸塩、シェラ酸塩、水酸化物などをあげる
ことができる。

これら添加物の添加蓋は、アルカリ土類金属および希土
類光重の重量換算でＯ，ＯＳ〜２５チの範囲で添加する
。添加量が０．０５重量％未満であると添加物の効果が
十分に発揮されず、焼結体が緻密化さ引例♂の浄１（内
容に変更なし） れなかったり、Ａへ結晶中に酸素が固溶し高熱伝導性焼
結体が得られない。また、添加量が過度に多いと１粒界
相が焼結体中に残存し、この結果。

忠 本発明方法においては前述の様にＡＪＮ粉と添加物の混
合された成形体を後述の条件で焼成しても良いし、又、
従来の方法（例えば特開昭６１−１１７１６０等）で製
造場れたＡＪＮ以外の構成相として（アルカリ土類金属
元素）−ＡＪ−０化合物、および（希土類元素）−Ａｌ
−０化合物などを含櫟結体を上述した成形体の代シに用
いてもよい。焼成雰囲気に関しては、窒素ガスを含む還
元性雰囲気中で行なう、還元性雰囲気は％Ｃｏ、Ｈ２ガ
スおよびカーボン（気相および又は固相）などを少なく
とも１種以上存在嘔せることによって作ることができる
。

このうち、最も簡便なのは焼成容器：と１して力、−７
、ボン裂容器を用いることである。焼成容器に関しては
、単に焼結体に得１、ることか目的であれば窒化アルミ
ニウム、アルミナ、　Ｍｏ　！！等でも十分である明Ｉ
ＴＩ書、の浄ｓｊ（内容に一寛史なし）（特開昭６１−
１４６７６９号等）、シかし、これらの容器を用いたも
のでは、焼結体中に、（添加物元素）−Ａｌ−０化合物
相などが存在したままの状態となシ、高熱伝導率な焼結
体は得られない。本発明では、焼成中にカーボンガス雰
囲気をっくシ出す容器を用いる。この様な焼成容器とし
ては容器全体がカーボン製の物、容器全体がカーボン製
で試料を設置する箇所にＭＮ板、　ＢＮ板、Ｗ板等を敷
いたもの、窒化アルミニウム製の容器で上部蓋がカーボ
ン製の物等を用いることができる。本発明でいうカーボ
ンガス雰囲気とは、　　１５５０〜２０５０℃の焼結温
度範囲で蒸気圧がｌ　Ｘ　１０−’〜５Ｘ１０〜２Ｐａ
程度生成するガスをさす。このカーボンガス〃ζ焼成中
のＡｍ焼結体を還元するという作用が得られ、さらに具
体的には（添加物元素）　−Ａｌ−０三元系化合物等の
粒界相を焼結体中よシ除去する作用が働らき、窒化アル
ミニウム焼結体はｋｌＮ単相となシ、高熱伝導性の焼結
体に変化していく。

この容器の内容積は、その内容積と窒化アＡ／ミニウム
成形体との体積、の比、（内容積／成形体の体積）が１
×１０〜１×１００が良い、これ以上大きな容積を用い
た場合、試料近傍におけるカーボン蒸気圧が低く、カー
ボンによる粒界相除去効果が小さくなる。

焼結時間については、従来種々の助剤を用い１〜３時間
の短時間で行なわれているが、この程度の時間では、上
記焼成容器中で焼成したとしても、窒化アルミニウム焼
結体の緻密化、そして原料粉末表面の酸素を粒界相に固
定することは可能であるが、ＡλＮ粒間の陵および三重
点に粒界相が存在し。

ＡＫＩＮ単相の焼結体は得られない、また前述の如くの
カーボンガス雰囲気が得られない焼成容器を用いた場合
は、長時間の焼成によっても粒界相の除去の効果は現わ
れない、　ＡｕＮ単相にするためには焼結温度および助
剤添加量にもよるが、４時間以上が必要である。よシ好
ましくは６時間以上で。

嘔らに好ましくは１２時間以上である。

焼成温度については、１５５０〜２０５０℃が好ましい
。１５５０″Ｏより低温で焼成すると、原料粉末の粒径
、酸素量にもよるが緻密な焼結体が得られない。また焼
成容器からのカーボンガスの発生が少なくなシ１粒界相
を残したままとなる。また２０５０℃よシ高温で焼成す
ると、　Ａ１１Ｎ自体の蒸気圧が高くなシ、緻密化が困
難になると共に、焼結体中に添加元素の鼠化物と推定さ
れる副相が残存し、結果として熱伝導率が低下する場合
がある。

次いで本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法の一
例を以下に述べる。

まず、ＭＮ粉末に添加物を所定量添加したのちボールは
ル等を用いて混合する。焼結には常圧焼結法を使用する
。この場合、混合粉末にバインダーを加え、混練、造粒
、整粒を行なったのち成形する。成形法としては、金型
プレス、静水圧プレス或いはシート成形などが適用でき
る。続いて、成形体を非酸化性雰囲気中、例えば窒素ガ
ス気流中で加熱してバインダーを除去したのち常圧焼結
する。この時用いる焼成容器は、焼成中カーボンガス雰
囲気をつくシ出す、例えばカーボン製容器で、容器内容
積と成形体体積の比が、ＸＸｌ０’〜ｌＸ１０　のもの
を用いる。焼結温度は１５５０〜２０５０’Ｃに、焼結
時間は４時間以上に設定する。

この様な方法により本発明焼結体を得ることができる。

次に本発明の窒化アルミニウム焼結体の熱伝導の向上効
果および（添加物元素）−Ａｆ！−〇系化合物相等の粒
界の除去による窒化アルミニウム焼結体の純化作用につ
いて説明する。厳密なメカニズムは現在のところ完全に
解明されているわけではないが、本発明者らの研究によ
れば高熱伝導率、化の要因として次のように推定される
。

まず、添加物によるＡＱＮ原料粉末の不純物酸素のトラ
ップ効果である。すなわちアルカリ土類金属および希土
類元素化合物を添加することによシ、不純物酸素を（添
加物元素）−ＡＰ−０化合物等の形でＡＩＩＮ粒界の稜
および三重点に固定するため、ＡｆｌＮ格子中への酸素
の固溶が防止きれ、　Ａ１の酸窒化物（ＡＱＯＮ）、そ
してＡ＜ＩＮのポリタイプ（２７Ｒ型）の生成を防止す
る。発明者らの研究結果によれば、ＡｆｉＯＮそして２
７Ｒが生成した焼結体は、いずれも熱伝導率が低いこと
がわかっている。この様な低羽ＪＩＪＦの浄書（内容に
変更なし） 熱伝導率化の原因を抑制することが高熱伝導度化の一因
として挙げられる。

例えば、添加元素としてＹを選んだ場合は原料粉末の不
純物酸素が、３Ｙ２０３・５ＡＡ’２０３　、Ｙ２Ｏ３
・Ａｌ２Ｏ３゜２Ｙ２０３　ｅＡｌ　２０３　、Ｙ２Ｏ
３などの化合物としてトラップされる。この状態は、焼
結初期、すなわち、焼結時間００〜３時間で起こり、熱
伝導率が最高１９０ｗ／ｍＫ程度に達する。

これ以降の焼結過程でカーボン雰囲気が粒界相を還元し
、さらに粒界相を除去し始める。次第に粒界相は窒化ア
ルミニウム焼結体中には存在しなくなシ、焼結体の系外
へと移動する。そして最終的に焼結体は他の相を実質的
に含有しないＡ／Ｎ単相となシ、熱伝導率は大巾に上昇
する。これは熱伝導率が小さく熱抵抗として働いていた
粒界相が除去されるためである。また長時間の焼成によ
シ焼結体の粒子が成長する。ＭＮ粒子が成長すると熱抵
抗となる粒界の数が結果的に少なくなることを意味し％
７オノンの散乱が小さな焼結体になる。

又、上述のよう、な副相の除去、そして粒成長以外に、
還元雰囲気下で長時間焼成することによシ、ＡＭ結晶粒
の純化、例えば格子欠陥の減少による熱伝導率上昇効果
も考えられる。

〔発明の実施例〕

次に１本発明の詳細な説明する。

実施何重 不純物として酸素を０．８６重量％含有し、平均粒径が
１．７２μｍ（遠心沈降径、堀場製作所製ＣＡＰＡ　−
５００使用１分散媒ｎ−ブチルアルコール）のＭＮ粉末
に添加物として平均粒径０．９μｍのＹ２Ｏ３を５重量
％（Ｙ換算で３．９重ｉｔチ）そして平均粒径２．０μ
ｍのＣａＣＯ３を１重量％　（Ｃａ換算で０．４０ｍ１
チ）添加し、ボ°−ルミルを用いて混合を行ない原料を
調整した。ついで、この原料に有機系バインダーを４重
量％添加して造粒したのち５００ｋｇ／♂の圧力でプレ
ス成形して３８Ｘ３８Ｘ１０ｍ１ｍの圧粉体とした。

この圧粉体を窒素ガス雰囲気中で７００υまで加熱して
バインダーを除去した。更に、ＢＮ粉末を塗布したＡ＜
ＩＮ板を底板としてひいたカーボン製容器（焼成用容器
Ａ）に脱脂体を収容した。このとき容器Ａのの形状およ
び太き埒は、１２０ψＸ６．４１で内容積が７２　ｏｃ
Ｉｉ程度である。すなわちこの容器Ａの内容積とＡ３１
Ｎ成形体の体積の比が約５Ｘ１０’程度となっている。

この容器を用い窒素ガス雰囲気中（ｌ気圧）１９００’
０．９６時間の条件で常圧焼結した。

得られたＡＩＮ焼結体の密度鉢≠≠≠噛を測定しｆｃ、
　Ｓ’また焼結体から、直径１０１ｍ、厚さ３．３．屏
菖の円板を研削し、これを試験片としてレーザーフラッ
シュ法によシ熱伝導軍を測定した（真空理工製ＴＣ−３
０００使用）、測定温度は２５℃である。

上記焼結条件から得られた焼結体の特性を第１表に示し
た。また、この焼結体のＸ線回折（理学電機製ロータフ
レックスＲＵ−２００，ゴニオメータＣＮ２１７３Ｄ５
　、線源Ｃｕ　５０ｋＶ、１００ｍＡ使用）を行なった
結果を８１図に、焼結体破面の８１Ｍ写真を第２図に示
した（日本電子表ＪＳＭ−Ｔ２０使用）。

実施例２〜２９ 実施例−１で用いたＡＭ粉に各種の添加物を加えて、又
、焼成の温度時間を変化させて実施例−１と同様の方法
で各種の焼結体を得た。その評価結果を表−１に合わせ
て示した。

実施例３０〜３９ 焼成雰囲気の組成および圧力を変化させて実施例−１と
同様な方法で各種の焼結体を得た。その焼結体の評価結
果を表−１に合わせて示した。

実施例４０〜５１ 各種のＭＮ＠を用いて、焼成条件、添加物の組成とその
量を変えて、実施例−１と同様な方法によシ各遣焼結体
を得た。その焼結体の評価結果を表−１に合わせて示し
た。

実施例５２〜５８ 実施例−１と同様な方法で得た成形体を容器と成形体の
容積比が異なる他は、実施例−１と同様な方法によシ各
種の焼結体を得た。その焼結体の評価結果を表−２に示
した。

実施例５６ ＢＮ板を底板としてひいたカーボン製容器（焼成容器Ｂ
）を用いたことを除いて、実施例１と同様にして、　Ａ
ＪＮ焼結体を製造した。同様の評価を行ない、結果を表
−２に示した。

明６書の１・ζ！（内存ｋＪＥ更なし）実施例５７・ 内側の全体がカーボン製の容器（焼成容器Ｃ）を用いた
ことを除いて、実施例１と同様にしてＡＭ焼結体を製造
した。同様の評価を行ない結果を表−２に示した。

実施例５８ 実施例５４で用いたカーボン製容器（４３Ｘ４４Ｘ１５
ｆｌ）内に、平均粒径０６０２μｍのカーボン粉末をつ
め、その中に実施例−１と同様な成形体を入れ１９００
°Ｃ２９６時間で焼成した。得られた焼結体を実施例１
と同様に評価し、結果を表−２に示した。

比較例１〜３ Ａ／Ｎ粉末そして添加物の種類および量が異なる他は実
施例１と同様な方法によシ得たＡΔ脱脂体を焼結用容器
Ａ、ＢおよびＣに種々セットし％１９００’０゜２ｈｒ
、Ｎ２雰囲気中で常圧焼結し、焼結体を得た。これらの
焼結体の特性を表−３に示した。さらに。

比較例１の焼結体を用い、Ｘ線回折を行なった結果を第
３図に、焼結体の破面のＳＥＸ写真を第４図に示した。

これらの結果および同様の評価の結果より、副相として
イツトリウムを含む化合物が観察きれ、　ＡＩＮ単相で
ないことがわかシ、その結果として熱伝導率も１７０　
ｗ／ｍｋ以下の低い値である。

このように焼結時間が４時間未満と短い場合、カーボン
製容器を用いることに、よる粒界相の除去が十分でない
ことがわかり、高熱伝導率を有するＡＩＩＮ焼結体を得
るためには長時間（４時間以上）の焼結が必蚤であるこ
とがわかる。

比較例４〜６ 実施例１と同様な方法によシ得たＡ久Ｎ脱脂体を。

比較例４では内側の全体がＭＮ製の容器（焼結容器Ｄ）
、比較例５では内側の全体がアルミナ製の容器（ｆｓ結
容器Ｅ）、比較例６では内側の全体がタングステン製の
容器（焼結容器Ｆ）を用い、１９００’０．９６ｈｒ、
Ｎｚ気流中で常圧焼結し、焼結体を得た。これらの焼結
体の特性を表−３に示す。

さらに、比較例４の焼結体を用い、Ｘ線回折を行なった
結果を第５図に示した。これらの結果および、評価の結
果より、副相としてイツトリウムを含む化合物が観察さ
れ、んＡ単相でないことがわかった。その結果熱伝導率
も１６８ｗ／ｍＫ以下の比較的低い値である。

この様に少なくとも内部の一部が、カーボンよりなる焼
結容器を用いない場合も高熱伝導率を有するＭぎ焼結体
が得られず、カーボン雰囲気の有効さがわかる。

比較例７ 実施例１で用いたＡＩＮ粉末を、　　５　Ｑ　Ｑｋｇ／
ａｍ３の圧力でプレス成形して、３０Ｘ３０Ｘ１０１１
１の圧粉体と−この圧靜体をカーボン型中に入れ窒素ガ
ス雰囲気中、温度１９００℃、４００にν揖３の圧力下
で１時間ホットプレス焼結し、焼結体を得た。この焼結
体の特性を表−３に示した。さらにＸ線回折を行なった
結果を第６図に示した。この結果よシ副相としてＡＪ−
０−Ｎ系化合物が観察され、へへ単相ではないことがわ
かった。結果として熱伝導率も８０Ｗ／ｍＫという低い
値でおった。

この様に希土類およびアルカリ土類金属元素化合物を添
加し力いと、Ａ□原料粉末表面の不純物明：！ＩＩＳ＆
の１１１以内容に変更なし）酸素とＡｊ７Ｎが反応し、
熱伝導をさまたげるＡｌ−０−Ｎ化合物が生成してしま
うことから、添加物のを効さがわかる。

［発明の効果］ 以上のべた如く、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、
実質的にＡｆＩＮ単相からなるもので、高純度かつ、高
熱伝導率を示すなど、優れた性質ををするものであり、
その工業的価値は極めて大きいものである。

【図面の簡単な説明】

第１図、第３図、第５図および第６図は焼結体のＸ線回
折パターン図、第２図および第４図は焼結体破面の結晶
構造を（ＳＥＭ写真により）表した図である。 １・・・ＡＮＮの回折ピーク ２・・・Ｙ−ＡＩ−０化合物の回折ピーク３・・・Ａｊ
！−０−Ｎ化合物のピーク４・・・ＡｇＮ粒 ５・・・Ｙ−ＡＩ７−０化合物（粒界相）（以下余白） 、ｉ　、ｐｆｆ１ 第４図

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）ａ）窒化アルミニウムを生成分とし、これにアル
   カリ土類金属化合物および希土類化合物から成る添加物
   を、各々の元素の重量換算で０．０５〜２５％添加した
   成形体、もしくはこの成形体を、１５５０〜２０５０℃
   、４時間未満で焼成し、ＡｌＮ以外の構成相を含む焼結
   体を ｂ）窒素ガスを含む還元雰囲気中で ｃ）１５５０〜２０５０℃で４時間以上焼成し、実質的
   にＡｌＮ以外の構成相を含まない焼結体を得ることを特
   徴とした高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法
   。
2. （２）アルカリ土類金属元素がＣａ、Ｓｒ、Ｂａのうち
   少なくとも１種であり、希土類元素がＹ、Ｓｃ、Ｄｙ、
   Ｃｅのうち少なくとも１種である特許請求の範囲第１項
   記載の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
3. （３）焼成雰囲気が窒素ガスおよび水素、一酸化炭素、
   カーボンガス、カーボン固相から選ばれた少なくとも一
   種から成る特許請求の範囲第２項記載の高熱伝導性窒化
   アルミニウム焼結体の製造方法。
4. （４）カーボンガスを生成する焼成容器および／又は焼
   成時にカーボンガスを生成する物質を焼成容容内に含む
   ことで還元雰囲気を具体化する特許請求の範囲第３項記
   載の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
5. （５）成形体もしくは焼結体を配置する試料台として窒
   化アルミニウム板、ＢＮ板、タングステン板を敷いたカ
   ーボン容器中で焼成することを特徴とした特許請求の範
   囲第４項記載の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製
   造方法。
6. （６）焼成容器の内容積と、前記成形体または焼結体と
   の体積比が１×１０＾０〜１×１０＾７であることを特
   徴とした特許請求の範囲第５項記載の高熱伝導性窒化ア
   ルミニウム焼結体の製造方法。
7. （７）焼結体の密度が３．１２０−３．２８５ｇ／ｃｍ
   ＾３、２５℃における熱伝導率が２００Ｗ／ｍＫ以上で
   あることを特徴とした特許請求の範囲第１項記載の高熱
   伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法。