JP3361049B2 - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JP3361049B2 JP07160698A JP7160698A JP3361049B2 JP 3361049 B2 JP3361049 B2 JP 3361049B2 JP 07160698 A JP07160698 A JP 07160698A JP 7160698 A JP7160698 A JP 7160698A JP 3361049 B2 JP3361049 B2 JP 3361049B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置、特
に液晶層を積層した積層型の液晶表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイは、薄型で低消費電力
であり、ノート型パソコンなどに広く用いられている。
特に、消費電力が小さいことが他のCRT、プラズマデ
ィスプレイなどのディスプレイと比べて優れた特徴であ
り、今後は携帯情報機器への応用が期待されている。携
帯機器の場合、ディスプレイの消費電力が500mW以
下、できれば数mWと小さいことが望ましく、バックラ
イトが不要で消費電力の少ない反射型の液晶表示装置が
望まれている。カラー表示の反射型LCDとしては、カ
ラーフィルタを用いた並置型のものがあるが、色純度を
上げると光の利用効率が1/3以下に低下するため反射
率が低下してしまう。
【0003】そこで、液晶層を積層させた積層型の反射
型表示装置が提案されている(例えば、特開平8−31
3939)。特開平8−313939に開示された反射
型液晶表示装置は、液晶層としてシアン、マゼンタ、イ
エローのゲストホスト液晶を用い、これらの各液晶層に
電圧を印加するために液晶層を挟むように画素電極を配
置し、液晶層の下部にアクティブマトリクス基板を設け
て、各画素電極とTFTなどの能動素子を柱状電極にて
接続している。画素電極間の電位差によって各液晶層に
所定の電圧を印加することにより所望の表示が得られ
る。この積層型の液晶表示装置は、光の利用効率が高く
明るい反射画像を得ることができるが、駆動に際して各
液晶層に差分の電圧を印加する必要がある。
【0004】差分の電圧を印加する方法として、特開平
9−80488には、各画素層(サブ画素)を時分割で
駆動し(時分割差分駆動)、ある画素層に電圧を印加す
る際に他の画素層をフローティングにすることで画素内
で差分電圧を発生させる方式が提案されている。しかし
ながら、フローティングとなる画素電極は走査線や信号
線等とのカップリングによって電位変動を受けやすく、
そのためクロストークが発生するなど画質劣化の原因と
なる。
【0005】また、時分割差分駆動において補助容量を
設ける際に、走査線や信号線等とのカップリングを効果
的に低減するための補助容量の接続や配置については、
十分に検討されていないのが現状である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このように、積層され
た各画素(サブ画素)に時分割で所望の電圧を印加して
表示を行う液晶表示装置において、従来は下層側に設け
られた走査線や信号線等とのカップリングを抑制するた
めの駆動技術や補助容量の配置等について、効果的な方
策がなされていなかった。
【0007】本発明は上記従来の課題に対してなされた
ものであり、積層された各画素に時分割で所望の電圧を
印加して表示を行う液晶表示装置において、下層側に設
けられた走査線や信号線等とのカップリングを効果的に
抑制することのできる構成を提供することを目的として
いる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶表示装
置は、交互に積層された複数の画素電極及び複数の液晶
層と、最下層の画素電極よりも下層側に設けられたシー
ルド電極と、このシールド電極に最上層の画素電極に供
給する電圧に対応した電圧を供給する手段とを有するこ
とを特徴とする(請求項1)。
【0009】前記シールド電極に最上層の画素電極に供
給する電圧に対応した電圧を供給する手段は、該シール
ド電極と最上層の画素電極とを電気的に短絡する手段で
あることが好ましい(請求項2)。
【0010】また、本発明に係る液晶表示装置は、交互
に積層された複数の画素電極及び複数の液晶層と、最下
層の画素電極よりも下層側に設けられたシールド電極
と、前記各画素電極に電圧を供給して最上層の液晶層以
外の各液晶層に所望の電圧を印加する第1の制御手段
と、この第1の制御手段によって最上層の液晶層以外の
各液晶層に所望の電圧を印加した後に、最上層の画素電
極以外の画素電極をフローティング状態にするととも
に、最上層の画素電極に電圧を供給して最上層の液晶層
に所望の電圧を印加し、且つ前記シールド電極に最上層
の画素電極に供給する電圧に対応した電圧を供給する第
2の制御手段とを有することを特徴とする(請求項
3)。
【0011】なお、最上層の画素電極のさらに上層側に
液晶層(最上層の液晶層)を挟んで共通電極を設けるこ
とが好ましく、この場合には第2の制御手段により最上
層の画素電極と共通電極とに電圧を供給して最上層の液
晶層に所望の電圧を印加すればよい。
【0012】請求項1〜3に係る発明では、最上層以外
の液晶層に所望の電圧(表示に対応した電圧)を印加し
た後、最上層の以外の液晶層をフローティング状態にし
て最上層の液晶層に所望の電圧(表示に対応した電圧)
が印加される。このとき、最下層の画素電極よりも下層
側に設けられたシールド電極の電位が最上層の画素電極
の電位と連動して変化するため、シールド電極の下層側
に信号線、走査線、能動素子などの所定の電位が与えら
れる領域があっても、これらの領域とのカップリングに
よって画素電極に電位変動が生じることを抑制すること
ができ、液晶層に印加された電圧(電位差)を保持する
ことができる。
【0013】また、本発明に係る液晶表示装置は、交互
に積層された複数の画素電極及び複数の液晶層と、最下
層の画素電極よりも下層側に設けられたシールド電極
と、前記各画素電極に電圧を供給して最下層の液晶層以
外の各液晶層に所望の電圧を印加する第1の制御手段
と、この第1の制御手段によって最下層の液晶層以外の
各液晶層に所望の電圧を印加した後に、最下層の画素電
極以外の画素電極をフローティング状態にするととも
に、最下層の画素電極及びシールド電極にそれぞれ電圧
を供給して最下層の液晶層に所望の電圧を印加する第2
の制御手段とを有することを特徴とする(請求項4)。
【0014】請求項4に係る発明では、最下層以外の液
晶層に所望の電圧(表示に対応した電圧)を印加した
後、最下層の以外の液晶層をフローティング状態にして
最下層の液晶層に所望の電圧(表示に対応した電圧)が
印加される。このとき、最下層の画素電極よりも下層側
に設けられたシールド電極が所定の電位になっているた
め、シールド電極の下層側に信号線、走査線、能動素子
などの所定の電位が与えられる領域があっても、これら
の領域とのカップリングによって画素電極に電位変動が
生じることを抑制することができ、液晶層に印加された
電圧(電位差)を保持することができる。なお、シール
ド電極は最下層の液晶層の共通電極となっていることが
好ましい。
【0015】なお、最上層或いは最下層の画素電極と
は、液晶層に所望の電圧を印加するために実質的に機能
する積層された画素電極のなかの最上層或いは最下層の
ものをさす。
【0016】また、本発明に係る液晶表示装置は、交互
に積層された複数の画素電極及び複数の液晶層と、これ
ら複数の液晶層と並列に且つ最下層の液晶層よりも下層
側に設けられた複数の補助容量の電極をなし、対応する
電圧が供給される画素電極の積層順と逆順に積層された
複数の補助容量電極とを有することを特徴とする(請求
項5)。
【0017】なお、最下層の画素電極と最上層の補助容
量電極とを共通化して、両電極の機能を兼ねるようにし
てもよい。
【0018】また、本発明に係る液晶表示装置は、交互
に積層された複数の画素電極及び複数の液晶層と、これ
ら複数の液晶層と並列に且つ最下層の液晶層よりも下層
側に設けられた複数の補助容量の電極をなし、対応する
電圧が供給される画素電極の積層順と逆順に積層された
複数の補助容量電極と、前記各画素電極及び対応する補
助容量電極に電圧を供給して最上層の液晶層以外の各液
晶層に所望の電圧を印加する第1の制御手段と、この第
1の制御手段によって最上層の液晶層以外の各液晶層に
所望の電圧を印加した後に、最上層の画素電極以外の画
素電極をフローティング状態にするとともに、最上層の
画素電極及び対応する補助容量電極に電圧を供給して最
上層の液晶層に所望の電圧を印加する第2の制御手段と
を有することを特徴とする(請求項6)。
【0019】なお、最上層の画素電極のさらに上層側に
液晶層(最上層の液晶層)を挟んで共通電極を設けるこ
とが好ましく、この場合には第2の制御手段により最上
層の画素電極と共通電極とに電圧を供給して最上層の液
晶層に所望の電圧を印加すればよい。
【0020】また、本発明に係る液晶表示装置は、交互
に積層された複数の画素電極及び複数の液晶層と、これ
ら複数の液晶層と並列に且つ最下層の液晶層よりも下層
側に設けられた複数の補助容量の電極をなし、対応する
電圧が供給される画素電極の積層順と逆順に積層された
複数の補助容量電極と、前記各画素電極及び対応する補
助容量電極に電圧を供給して最下層の液晶層以外の各液
晶層に所望の電圧を印加する第1の制御手段と、この第
1の制御手段によって最下層の液晶層以外の各液晶層に
所望の電圧を印加した後に、最下層の画素電極以外の画
素電極をフローティング状態にするとともに、最下層の
画素電極及び対応する補助容量電極に電圧を供給して最
下層の液晶層に所望の電圧を印加する第2の制御手段と
を有することを特徴とする(請求項7)。
【0021】なお、最下層の画素電極のさらに下層側に
液晶層(最下層の液晶層)を挟んで共通電極を設けるこ
とが好ましく、この場合には第2の制御手段により最下
層の画素電極と共通電極とに電圧を供給して最下層の液
晶層に所望の電圧を印加すればよい。
【0022】請求項5〜7に係る発明では、補助容量電
極がシールドとして機能することになるが、最下層の補
助容量電極のさらに下層側に信号線、走査線、能動素子
などの所定の電位が与えられている領域があっても、こ
れらの領域とのカップリングによって画素電極に電位変
動が生じることを抑制することができ、液晶層に印加さ
れた電圧(電位差)を保持することができる。また、下
層側の画素電極ほど下部領域とのカップリングの影響を
強く受け、上層側の補助容量電極ほど画素電極に対する
シールド効果が大きくなるが、対応する画素電極と補助
容量電極の積層順が互いに逆順であるため、カップリン
グの影響を最も強く受ける最下層の画素電極とシールド
効果の最も大きい最上層の補助容量電極とを同電位にで
き、カップリングの影響を最小に抑えることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。
【0024】[第1の実施形態]本実施形態の基本的な
構成を図1に示す。すなわち、シアン、マゼンタ、イエ
ローに対応する3層の液晶層LC1〜LC3が積層さ
れ、積層された3層の画素電極P1〜P3と対向電極C
OMに挟まれて三つのサブ画素SP1〜SP3が設けら
れ、これにより1画素が構成されている。最下層の画素
電極P1の下には絶縁層を挟んでシールド電極PSが配
置され、さらにその下に設けられたスイッチング素子
(薄膜トランジスタ等)SW1〜SW3及び配線LIN
Eに対するシールドとしての機能を果たしている。スイ
ッチング素子SW1〜SW3はそれぞれ画素電極P1〜
P3に接続されている。
【0025】駆動に際しては、まず、スイッチング素子
SW1〜SW3を介してサブ画素SP1及びSP2に所
望の電圧を印加する。その後、画素電極P1及びP2を
フローティング状態(SW1及びSW2をオフ状態)に
してサブ画素SP3(画素電極P3及び対向電極COM
間)に所望の電圧を印加する。このとき、シールド電極
PSには画素電極P3に供給される電圧に対応する電圧
(実質的には同一の電圧)を印加する。これにより、サ
ブ画素SP1及びSP2に印加されていた電圧はそのま
ま保持されることになる。
【0026】シールド電極PSに画素電極P3に供給さ
れる電圧に対応する電圧を供給するには、シールド電極
PSと画素電極P3を電気的にショートさせる(図
2)、シールド電極PSにアンプ(バッファ)を介して
画素電極P3に供給する電圧と同一の電圧を供給する
(図3)、別に設けたスイッチング素子SW4からシー
ルド電極PSに画素電極P3に供給する電圧と同一の電
圧を供給する(図4)、他の容量成分(液晶層や補助容
量の容量成分)に比べて十分大きな容量を有するキャパ
シタを介してシールド電極PSに画素電極P3に供給す
る電圧と同一の電圧を供給する(図5)、といった手段
が考えられる。
【0027】以下、図2の方法、すなわちシールド電極
PSと画素電極P3を電気的にショートさせる場合を例
に説明する。
【0028】図6は画素部の回路構成を示した図、図7
は表示装置全体の構成を示したブロック図である。
【0029】m列n行目の画素に対して、シアン、マゼ
ンタ、イエローの3層の液晶層LC1〜LC3が設けら
れ、3つの画素電極P1〜P3と対向電極COM(電
位:Vcom)に挟まれて3つのサブ画素SP1〜SP
3が構成される。
【0030】画素電極P1〜P3の電位Vp1〜Vp3
を決めるために、能動素子、ここでは薄膜トランジスタ
(TFT、Tr1〜Tr4)が画素電極に接続されてい
る。TFTには、アモルファスシリコンTFT、多結晶
シリコンTFT、結晶シリコンTET等を用いることが
できるが、他の半導体材料を用いたものでもよい。画素
電極P1にはトランジスタTr1のドレインが、P2に
はトランジスタTr4のドレインが、P3にはトランジ
スタTr2及びTr3のドレインがそれぞれ接続されて
いる。Tr1のソースには信号線Sigm1、ゲートに
は走査線Gn1が、Tr2のソースには信号線Sigm
2、ゲートには走査線Gn1が、Tr3のソースには信
号線Sigm3、ゲートには走査線Gn2がそれぞれ接
続されている。Tr4のソースには液晶にとって交流と
なる画像信号のほぼ中心電圧が供給される配線Vcが、
ゲートには走査線Gn1がそれぞれ接続されている。能
動素子、信号線、走査線等の配線は、1つの基板上に形
成するのが望ましい。画素電極P1と信号線Sigm
i、走査線Gni、能動素子などとの少なくとも一部の
間には画素シールド電極PSmnが設けられ、画素電極
P3と同電位になるように電気的に接続されている。
【0031】それぞれの画素電極には補助容量Cs1〜
Cs3が設けられ、液晶のリークやカップリング等で起
る液晶印加電圧の変動を抑えるようにしている。サブ画
素1のための補助容量Cs1の一方の電極は画素電極P
1に、他方は画素電極P3に接続され、サブ画素2のた
めの補助容量Cs2の一方の電極は画素電極P2に、他
方は画素電極P3に接続され、サブ画素3のための補助
容量Cs3の一方の電極は画素電極P3に、他方は所定
の電位を持つ配線(ここではVc)に接続されている。
なお、補助容量の接続方法は後述の駆動方法に依存して
いるが、補助容量Cs1は、一方の電極を画素電極P1
に、他方の電極を画素電極P2に接続してもよい。ま
た、Cs3の一方の電極を画素電極P3に、他方の電極
を1ライン前の走査線に接続してもよい(図11参
照)。Cs3はレイアウト上の簡略化から走査線Gn1
に接続してもよい。
【0032】図7に示すように、信号線Sigmiは信
号線ドライバー回路に接続され、液晶の交流駆動に対応
したmライン目の画像信号が供給される。走査線Gni
は走査線ドライバー回路に接続され、Gn1、Gn2の
順番に選択レベル(画素のトランジスタTr1〜4がn
チャネルの場合、ハイレベル)が供給される。これらの
ドライバー回路には、ドライバー回路のクロックやスタ
ートパルスなどの制御信号、交流駆動に対応した画像信
号が、制御回路から供給される。
【0033】図9は、本例における各信号波形を示した
ものである。走査線Gn1がハイレベル(nチャネルト
ランジスタの場合、以下特に断りがない限り、選択レベ
ルをハイレベルとする)にするとTr1、Tr2、Tr
4がオンし、画素電極P1、P2、P3にそれぞれ信号
線電圧Vsigm1、配線電圧Vc、信号線電圧Vsi
gm2が印加される。Vcは信号線電圧の中心電圧Vs
igcにほぼ等しくする。これにより、走査線Gn1が
ハイレベルの期間に液晶層LC1への印加電圧VLC1
Vp1−Vp2=Vsigm1−Vsigcとなり、液
晶層LC2への印加電圧VLC2 はVp3−Vp2=Vs
igm2−Vsigcとなり、それぞれ所定の信号電圧
がサブ画素SP1、SP2に印加される。
【0034】続いて、走査線Gn1がローレベルとな
り、Tr1、2、4がオフした後に走査線Gn2がハイ
レベルとなり、トランジスタTr3がオンする。これに
より、画素電極P3は信号線電圧Vsigm3と同電位
となる。また、Tr1、2、4がオフしているので、画
素電極P1、P2の画素電位Vp1、Vp2がそれぞれ
フローティングとなり、Vp3がTr3がオンする前の
電圧(信号線電圧Vsigm2からGn1の立ち下がり
で発生する突抜け電圧ΔVp31下がった電圧)からV
sigm3に変動する時に、その差分相当の電圧変動Δ
Vp3wが発生する。このとき、シールド電極PSmn
がVp3と同電位であり、トランジスタTr3によって
電位が確定されるため、画素電極P1と配線とのカップ
リングが抑えられ、画素電極P1がほぼΔVp3wだけ
変化できるようになる。画素電極P2は画素電極P1と
P3に挟まれており、P1及びP3の電位がどちらもΔ
Vp3w変動すれば、画素電極P2もほぼ同じ変動とな
る。また、走査線Gn2が立ち下がる際に画素電位Vp
3に突抜け電圧がΔVp32が発生するが、この変動も
前述のようにVp1、Vp2の変動を与え、VLC1 、V
LC2 は走査線Gn1がハイレベルの際に書込んだ電圧が
維持される。Vp3はΔVp32程度信号が変化するた
め、対向電極電圧VcomをVsigm3の中心電圧V
sigm3cよりもΔVp32程度低くすることで、交
流電圧の正負のバランスが取れるようになる。
【0035】信号線ドライバー回路には、従来のTFT
−LCDと同じ回路を用いることができる。図8は、本
例で用いることができる信号線ドライバー回路の一例を
示したものである。シフトレジスタの出力を受けて、3
列あるサンプル・ホールド回路のサンプリングタイミン
グが決められ、CMY画像信号のmライン目にあたる信
号がサンプリングされる。アナログバッファを通して信
号線Sigmiが駆動される。なお、信号線ドライバー
回路には、これ以外にも、参照信号を選択する方式、デ
ジタル信号をラッチしてDAコンバータで信号線への電
圧を形成する方式などを用いることも可能である。いず
れの方式でも、従来のTFT−LCDと同じ信号線ドラ
イバー回路を用いることができ、階調信号の制御性も高
く維持することができる。
【0036】走査線ドライバー回路は、1画素あたり2
本の走査線Gn1、Gn2を駆動するため、信号線ドラ
イバー回路の速度を従来と同じにすれば、倍の速度で走
査を行う必要がある。Gn1とGn2のパルスが同時に
ハイレベルにならないようにするための回路を付加して
おくとよい。
【0037】以上のように、シールド電極PSmnを設
けることにより、サブ画素SP1〜SP3で構成される
1画素の書込みを行う際に、フローティング状態となる
画素電極が所定の変化を受けるようにすることができ
る。すなわち、信号線や走査線等と画素電極との間のカ
ップリングを抑えることができ、画素電極がフローティ
ング状態の際に変動しにくくなることを改善することが
できる。これにより、サブ画素の電圧制御を精密に行う
ことができ、クロストークなどのない良好な画像表示を
得ることができる。
【0038】図10、図11は本例におけるTFTアレ
イ基板の平面レイアウトを模式的に示した図であり、図
12は液晶層を含めた断面図(図10、図11のそれぞ
れA−A’における断面図)を示したものである。以
下、製造工程等について説明する。
【0039】ガラス基板、プラスティック基板、プラス
ティックフィルムなどによるアレイ基板上に信号線、走
査線、TFT、補助容量を形成する。これらの上に感光
性アクリル樹脂等の絶縁膜1を約2μm塗布し、上部と
の接続部となるスルーホールを開口する。さらに、Mo
をスパッタで200nm堆積した後、フォトレジスト工
程でパターンを形成し、これをマスクにMoをエッチン
グして画素シールド電極PSmnを形成する。このシー
ルド電極PSmnは画素電極P3への配線と接続され
る。続いて、感光性アクリル樹脂等の絶縁膜2を約2μ
m塗布し、スルーホールや表面の凹凸形状などのパター
ン形成を行う。その後、Al、Ag、Al合金などをス
パッタによって200nm堆積し、画素電極P1をパタ
ーニングする。ここで画素電極P1には反射電極として
の機能も付与させている。続いて、マイクロカプセルに
封じたゲストホスト液晶を印刷によって塗布することに
より液晶層LC1を形成し、さらにITOを分散させた
樹脂により透明画素電極P2を形成する。その後、液晶
層LC2、透明画素電極P3を順次形成し、さらに液晶
層LC3を形成後、対向電極COMを設けた対向基板を
真空ラミネート法で密着させて液晶パネルを完成させ
る。
【0040】ここで、絶縁膜1及び絶縁膜2としては、
BCB、非感光性樹脂などの有機樹脂の他、スピンオン
ガラス或いはCVDやスパッタ法などによるシリコン酸
化膜やシリコン窒化膜などの無機絶縁膜などを用いるこ
とができる。絶縁膜の膜厚は厚い方がカップリングが減
少してよいが、画素電極P1とシールド電極PSmnの
間で補助容量を形成することも可能であり、その場合は
所定の厚さ(例えば200〜400nm)としてもよ
い。通常は絶縁膜の厚さを1〜5μmとすることが望ま
しい。
【0041】液晶層としてはマイクロカプセルを用いた
が、モノマーと液晶を混合して光や熱等でモノマーを重
合させて隔壁を形成してもよい。また、薄いフィルム
(誘電率は高い方が望ましい)で液晶層間の隔壁とする
ことも可能である。
【0042】画素電極は、ITOの他、SnOx やIn
x −ZnOx 、さらに導電性透明樹脂でもよく、樹脂
中に分散させる微粒子もITO以外の材料でもよい。
【0043】液晶には、吸収−透過モードのゲストホス
ト液晶以外に、ホログラフィックPDLCやコレステリ
ック液晶などの反射−透過モードのものでもよい。後者
のモードでは、画素電極P1を透明電極として絶縁膜2
を光吸収層としたり、画素電極P1自体をカーボン分散
樹脂などの光吸収型にしてもよい。
【0044】画素電極と下部電極を接続する柱状電極
は、画素電極P2、P3の形成と同時に同じ材料で形成
してもよいが、メッキや樹脂柱の土手の側面に電極を形
成したものなどでもよく、あらかじめ柱状電極を形成し
てから液晶層を形成しても後から柱状電極を形成しても
よい。
【0045】本例では、図10、図11に示すように、
シールド電極PSmnは画素電極P1とほぼ同じ形状で
画素電極P1の下に設けている。これにより、画素電極
P1と信号線、走査線、TFT、補助容量などの所定の
電位を有するものとの間を効果的にシールドすることが
できる。絶縁膜1の厚さと信号線等の電極面積、補助容
量を適当な値とすることで、シールド電極PSmnとの
カップリングが問題にならないようにすることができ
る。また、画素シールド電極PSmnの下に電位を固定
したシールド電極(画面全体で同一電位でよい)を設け
ることにより、信号線が他の画素の信号を供給すること
で画素電圧が変動することがなくなり、クロストーク等
の画質劣化をより低減することができる。
【0046】図13及び図14は、本第1の実施形態の
変形例を示したものである。これは、画素電極P2の電
位Vcを与える配線を信号線Sigm1〜Sigm3に
対して平行して設けずに、走査線Gn1、Gn2に対し
て平行に配線Csnとして設けたものである。このよう
にすることで、信号線の間に設けるよりも広い間隔で配
線を配置できるため、歩留りが向上する。
【0047】なお、以上説明した第1の実施形態では、
画素電極P2の電位Vcを与える配線の電位を一定にす
る他、対向電極電位Vcomと連動して例えば走査線1
本或いは数本ごとに液晶印加電圧の極性を変化させるた
めに、信号振幅程度変動させることも可能である。この
ようにすることで、信号線ドライバー回路の出力は片極
性分の出力電圧幅を有すればよく、ドライバーの耐圧を
低減することができる。なお、この駆動の場合、図6の
Cs3はVcに接続する方がよい。
【0048】[第2の実施形態]次に、本発明の第2の
実施形態の一例について、図15及び図16を参照して
説明する。
【0049】本例の画素部の特徴は、第1の実施形態に
おけるトランジスタTr1、Tr2及びTr4を制御す
る走査線Gn1を、前段の画素のトランジスタTr3を
制御する走査線Gn-1 と共通化したことにある。これに
より、走査線Gnの選択時間を第1の実施形態の2倍に
することができる。
【0050】ただし、信号線の電圧供給方法を変える必
要がある。すなわち、(m,n)画素の1つ前の走査線
Gn-1 が選択されているときに、信号線Sigm3には
(m,n−1)画素のサブ画素SP3の画像信号を画素
電極P3に供給すると同時に、信号線Sigm1、Si
gm2には(m,n)画素のサブ画素SP1、SP2の
画像信号を供給できるようにする。このためには、画像
信号を1ライン分記憶するラインメモリを設けて、積層
液晶の内の一部の画像信号を1走査期間分遅らせればよ
い。このラインメモリは信号線ドライバー回路の内部に
設けてもよい。
【0051】図17は、ラインメモリを用いて信号線ド
ライバー回路への画像信号を遅延させる方式を説明する
ブロック図である。液晶パネルの構成は図15、図16
で示したものであり、走査線ドライバー回路は画素ごと
に1走査線を駆動するようになっている。信号線ドライ
バー回路は図7で示したものと同様である。
【0052】ここでサブ画素の構成の説明のため、サブ
画素SP1をイエロー(Y)、サブ画素SP2をマゼン
タ(M)、サブ画素SP3をシアン(C)とする。外部
からの画像信号は、制御回路で所定の変換がされた後、
サブ画素SP3(C)へのC画像信号をラインメモリに
入れて1走査期間分保持される。信号線ドライバー回路
へは、M画像信号及びY画像信号をリアルタイムで入れ
るとともに、C画像信号としてラインメモリに記憶され
た1走査期間前の信号を入れる。このようにすれば、n
−1ライン目の走査線Gn-1 をハイレベルにする際に、
Sigm1、Sigm2にn行目のM、Y信号が供給さ
れ、Tr1、Tr2を通して(m,n)画素のM、Yサ
ブ画素への信号書込みがなされ、Tr3’を通して
(m,n−1)画素のCサブ画素への信号書込みがなさ
れる。
【0053】図18は、信号線ドライバー回路の内部に
メモリ機能を付与した例である。信号線ドライバー回路
のうち1画素列分の回路を示したものであるが、1ビッ
ト分のシフトレジスタからの出力を受けて、2つのサン
プルホールド回路(CMY3色分)、SHa及びSHb
のサンプリングタイミングが決まる。制御線の信号で1
走査期間ごとに切り替える制御を行い、一方のサンプル
ホールド回路で信号をサンプリングする。信号線Sig
m1及びSigm2とSigm3とで別のサンプルホー
ルド回路からの出力を受けるようにすることで、Sig
m3には1走査期間前の信号を生成して送ることができ
る。なお、DAコンバータ方式等でも類似の考え方を用
いることができる。
【0054】図16によりアレイ基板のレイアウトの特
徴をさらに説明する。本例では、走査線Gn、Gn−1
が画素ごとに1本でよいため、走査線を画素と画素の間
に設けることができる。従って、画素電極と走査線との
オーバラップをなくす或いは減少させることができる。
その結果、走査線と画素電極P1及び画素シールド電極
PSmnとのカップリングが減少し、走査線のパルス立
ち下がり時におけるカップリングによる突抜け電圧が低
減できる。そのため、保持時の電圧が不必要に低下しな
くなり、トランジスタをオフするためのゲートの電圧幅
を低減することができるので、消費電力を低減すること
ができる。また、突抜け電圧のバラツキ量も低減でき、
画質を向上させることができる。
【0055】さらに、図16の例(第1の実施形態等で
も同様)では、補助容量Cs3をSigm2とSigm
3の間に形成するばかりでなく、Vcラインの近傍に形
成することも可能である。
【0056】[第3の実施形態]次に、本発明の第3の
実施形態について、図19及び図20(図19のA−
A’断面図)を用いて説明する。本例では、画素シール
ド電極を画素全体にわたって設けるのではなく、最も面
積が広くカップリングが問題となる補助容量部を中心に
設けたものである。
【0057】以下では、本実施形態の製造プロセスの一
例として、逆スタッガ型アモルファスシリコンTFTを
用いた例を説明する。
【0058】ガラス基板やプラスティック基板上にMo
W、Al、Al合金などを100〜500nmスパッタ
により形成し、これをパターニングして走査線及びトラ
ンジスタのゲート電極を形成する。同時に、Cs線、補
助容量Cs1の下部電極1、Cs2の下部電極2、Cs
3の下部電極3、信号線Sigm2と交差する配線を走
査線と同じ材料及び同じパターニング工程で形成する。
【0059】続いて、SiNx やSiNx /SiOx
層などのゲート絶縁膜(絶縁膜a、100〜500n
m)、アモルファスシリコン膜(20〜200nm)、
SiNx (100〜500nm)などの上部絶縁膜を順
次プラズマCVD法等で成膜し、上部絶縁膜を裏面露光
でパターン形成後、n+ 半導体層をプラズマCVD法等
で成膜する。これを適宜パターニング後、下部電極との
接続用スルーホールを形成し、Mo、Mo/Al積層、
ITO、その他の導電材料をスパッタ等で成膜してこれ
をパターニングし、ソース・ドレイン及び信号線となる
電極を形成する。同時に、補助容量Cs1、Cs2の上
部電極1、2、補助容量Cs3の上部電極3を形成す
る。
【0060】続いて、チャネル上のn+ 半導体をエッチ
ング後、SiNx 等のパッシベーション絶縁膜(絶縁膜
c)を成膜し、さらに層間絶縁膜(絶縁膜b)を感光性
アクリル樹脂、BCBなどの有機絶縁膜により1〜10
μm厚で適当なコンタクトホールとともに形成する。こ
の上に、画素電極P1、液晶層LC1、画素電極P2、
液晶層LC2、画素電極P3、液晶層LC3を順次形成
し、これらの上に対向電極が形成された対向基板を配置
して完成する。
【0061】なお、TFTは多結晶SiTFT等でもよ
く、その場合はエキシマレーザアニールを行うなどプロ
セスが異なり、TFT構造もプレーナ型になるなどの違
いがあるが、それに応じて電極形成や絶縁膜形成を変更
することができる。
【0062】補助容量Csiを大きくするためには面積
を広くする必要があり、画素電極とのカップリングが大
きくなる。そこで、図19、図20に示すように、上部
電極3を画素電極P3と同電位となるように配置するこ
とで、面積が大きく、電位が固定されているCs線を画
素電極P1からシールドすることができる。すなわち、
上部電極3が画素シールド電極と同等の働きを有するこ
とになる。
【0063】なお、駆動については第2の実施形態と類
似の回路構成となるので、第2の実施形態と同様でよ
い。信号線等と画素電極P1とのカップリングはゼロで
はないが、層間絶縁膜を厚く、配線幅を小さく、補助容
量を大きくすることで、実用上問題がないレベルにする
ことは可能である。特に階調数を多くとらないデバイス
に適用することが好ましい。
【0064】図21は、本発明によるカップリング低減
の効果を示した模式的な回路図である。
【0065】液晶層及び補助容量による各サブ画素の容
量をC1、C2、C3とし、画素電極P1と配線等との
間の寄生容量をCstとする。第1の実施形態の駆動方法
では、Vp3の電圧にΔVp3w 〜Vsigm3 −Vsigm2 の変
動を与えた際の画素電極P1、P2の変動量をΔVp13
w、ΔVp23wとすると、それぞれ ΔVp13w=ΔVp3w(C1C2+C2Cst )/(C1C2+C1Cst +
C2Cst ) ΔVp23w=ΔVp3w(C1C2)/(C1C2+C1Cst +C2Cst ) で表わされる。C1=C2=C、Cst=αCと簡略化す
ると、 ΔVp13w=ΔVp3w(1+α)/(1+2α) ΔVp23w=ΔVp3w/(1+2α) となる。
【0066】ΔVp3w は最大Vsigmaxとなるので5V程
度である。ΔVp13w、ΔVp23wの変化量を10mV以下
にするには、αが0.001以下であることが必要とな
る。液晶層をε=5、層厚を5μm、画素面積を150
μm角の90%とすると、液晶層の容量Clcは0.18
pFとなる。信号線幅を5μm、画素電極P1の層間絶
縁膜を誘電率3、膜厚2μmの有機膜とすると、Cstは
9.5×10-15 Fとなるから、比は0.053であ
り、目標のαに比べ53倍となる。補助容量を設けてC
1、C2、C3がClcの1桁アップであれば、5倍の5
0mVの変動に抑えられる。これでも階調数が少なけれ
ば階調反転には至らず許容できるレベルといえる。
【0067】[第4の実施形態]本実施形態の基本的な
構成を図22に示す。すなわち、シアン、マゼンタ、イ
エローに対応する3層の液晶層LC1〜LC3が積層さ
れ、積層された3層の画素電極P1〜P3とシールド電
極PSに挟まれて三つのサブ画素SP1〜SP3が設け
られ、これにより1画素が構成されている。シールド電
極PSは、最下層の画素電極P1よりも下層側に設けら
れ、さらにその下に設けられたスイッチング素子(薄膜
トランジスタ等)SW1〜SW3及び配線LINEに対
するシールドとしての機能を果たしている。スイッチン
グ素子SW1〜SW3はそれぞれ画素電極P1〜P3に
接続されている。
【0068】駆動に際しては、まず、スイッチング素子
SW1〜SW3を介してサブ画素SP2及びSP3に所
望の電圧を印加する。その後、画素電極P2及びP3を
フローティング状態(SW2及びSW3をオフ状態)に
してサブ画素SP1(画素電極P1及びシールド電極P
S間)に所望の電圧を印加する。このとき、シールド電
極PSには例えばコモン電圧を印加する。これにより、
サブ画素SP2及びSP3に印加されていた電圧はその
まま保持されることになる。
【0069】図23は本実施形態の第1の例を示したも
のである。本例では、サブ画素SP2、SP3をまず駆
動するために、画素電極P2にVcからコモン電圧を印
加するとともに、画素電極P1、P3にそれぞれSig
m2,Sigm3からTr2、Tr4を通して所定の信
号電圧を書込む。続いて、画素電極P2及びP3をフロ
ーティングにして、シールド電極PSmn(画素電極とし
ても作用する)にVcからコモン電圧を、画素電極P1
にSigm1から所定の信号電圧を供給する。このと
き、画素をほぼ覆うシールド電極PSmnにより、サブ画
素SP2、SP3は印加されている電圧を維持しながら
シフトできるようになる。本例では、シールド電極PS
mnを全画素で接続し共通電極とすることができる。
【0070】図24は本実施形態の第2の例を示したも
のである。本例では、サブ画素SP2、SP3をまず駆
動するために、画素電極P2に共通電圧Vcを印加する
とともに、画素電極P1、P3にそれぞれSigm2,
Sigm3からTr2、Tr4を通して所定の信号電圧
を書込む。続いて、画素電極P2及びP3をフローティ
ングにして、シールド電極PSmn(画素電極としても作
用する)にSigm1から所定の信号電圧を、画素電極
P1にVcからコモン電圧を供給する。このとき、画素
をほぼ覆うシールド電極PSmnにより、サブ画素SP
2、SP3は印加されている電圧を維持しながらシフト
できるようになる。
【0071】なお、図23、図24の例では、補助容量
Cs1〜3は隣接する画素電極間に入れているが、画素
電極1〜3は寄生容量を含めてシールド電極PSmnとの
間に容量を有していてもよい。また、図23、図24の
例では、図6の例と同様に1画素当り2本の走査線を用
いて駆動しているが、図16の例と同様に画素当り1本
の走査線を用いる駆動にも適用できる。
【0072】シールド電極は表面に凹凸を設けて反射板
として機能させることも可能である。さらに、シールド
電極を透明にして、その下に反射面、ホログラフィック
反射面、白ペイント面等を設けてもよい。
【0073】なお、以上の第1〜第4の実施形態では、
液晶層は3層を例に示したが、CMYに白黒の層を入れ
た4層でも、さらに5層以上でも同様の考えを適用する
ことができる。4層の場合は、例えば第1の実施形態に
対応するものとしては、さらにもう一つの画素電極(P
4)及び液晶層(LC4)を対向電極の下層側に設けて
さらにもう一つのサブ画素を構成し、画素電極P1〜4
に電圧を供給してサブ画素SP1〜3に所望の電圧を印
加し、その後に画素電極P1〜3をフローティングにす
るとともに、画素電極P4及びシールド電極に同一の電
圧を供給してサブ画素SP4に所望の電圧を印加すれば
よい。
【0074】また、画素電極への書込みをサブ画素毎に
時分割にしてもよく、例えば第1の実施形態では、サブ
画素SP1の電位を決めた後にサブ画素SP2の電位を
決め、最後にサブ画素3の電位を決めるようにしてもよ
い。
【0075】[第5の実施形態]次に、本発明の第5の
実施形態について説明するが、具体的な説明の前に、従
来の製造技術による反射型積層液晶表示素子に時分割差
分駆動技術を適用した際に生じる問題及びその解決方法
について説明する。
【0076】まず、補助容量電極の並置に伴う問題及び
その解決方法を説明する。
【0077】時分割差分駆動される三層積層液晶表示素
子の一画素に対応する等価回路の例を図25に示す。図
中、LC1〜LC3は液晶層、SW1〜SW3は駆動素
子、G1〜G3はゲート信号配線、S1〜S3は画像信
号配線である。COMは対向電極用の電極である。J1
〜J3は駆動素子給電点である。
【0078】時分割差分駆動は、図26に示したタイミ
ングチャートに従って行われる。まず、期間T1におい
て、G1及びG2の電位をH状態とし、SW1及びSW
2を導通させる。期間中、S1にはLC1用画素電位
(信号基準電位Vsig−cから画像用電位Vsig1
変位させた電位、以下同様)を、S2にはコモン電位
(Vsig−cから対向電極電位Vcom変位させた電
位、以下同様)を設定することで、LC1間に所定の電
位差を与える。
【0079】T1期間経過後、G1の電位をL状態に戻
し、LC1をフローティング状態にする。この状況下で
SW2側の電位が変動しても、LC1間に印加された電
位差は保持される。T1期間直後から始まる期間T2に
おいて、G3の電位をH状態とし、SW2及びSW3を
導通させる。期間中、S2電位はLC2用画素電位に切
り替え、S3にはコモン電位を設定することで、LC2
間に所定の電位差を与える。
【0080】T2期間経過後、G2の電位をL状態に戻
し、LC2もフローティング状態にする。これでLC1
及びLC2間の電位差が保持される。T2期間直後から
始まる期間T3において、G3の電位をH状態に保った
ままS3の電位をLC3用画素電位に切り替え、対向電
極との間でLC3に所定の電位差を与える。T3期間経
過後、G3の電位をL状態に戻し、一画素分の電位設定
を完了する。
【0081】なお、図26におけるS1〜S3用信号波
形では、隣接層毎に基準電圧に対する極性を反転させた
が、層間極性関係は種々設定可能である。
【0082】上記駆動方法の前提で、液晶層の電圧保持
特性を補うため補助容量を設ける場合は、図27に示す
ように、LC1〜LC3の各層に対応した補助容量CS
1〜CS3を、対応層と並列に、且つ容量同士は直列に
設置する必要がある。
【0083】一方、三層積層反射型液晶表示素子におけ
る駆動素子及び信号配線は、表示領域確保、製造コスト
低減の観点から、反射電極の直下で一括形成することが
望ましい。この場合、各液晶層に対応する駆動素子の給
電点と画素電極を結ぶため、図28に示すように、画素
領域脇に垂直導通部を設置する。
【0084】上記構造の前提で、従来構造のように一回
のプロセスで画像信号配線、垂直導通部用給電パッド、
給電パッドに接続した補助容量電極を同一平面内にパタ
ーニングし、(ゲート配線用等の)別プロセスでパター
ニングした電極との間で容量を形成する構造(例えば図
29に断面を示す構造(駆動素子と補助容量電極とは紙
面とは別断面で接続しているとする))にすると、その
等価回路は図30に示すものとなり、前記の等価回路と
は一致しなくなる。この回路構成では、LC1及びLC
2がフローティング状態に成り得ない(図29、図30
の構造ではCS−COMで示した補助容量対向電極を共
通化したが、各層独立に設置しても上記事情は変わらな
い)。すなわち、補助容量電極を単純に並置させる構造
では、時分割差分駆動が実現できないという問題があ
る。
【0085】本実施形態では、上記の問題を解決するた
め、補助容量電極を積層設置する構造を採用する。本構
造の製造には、従来製法に比べ補助容量電極パターニン
グのプロセスが増加する。工程数増加を最小限に抑える
には、フローティング電極化が必須となるSW2給電点
(図27のJ2点)及びSW3給電点(図27のJ3
点)に各々接続する二枚の電極のみを積層形成すればよ
い。この場合は、CS1を形成するもう一方の電極は、
LC1の表示電極(反射電極)で兼ねることになる。た
だし、反射特性制御のため電極に凹凸を導入する場合も
多く、この場合には電極間距離の空間変動により容量値
決定が困難になるので、CS1も別途設置する方が望ま
しい。このときの断面構造の概念を図31に示す。結
局、補助容量電極の積層順が対応する画素電極の積層順
と逆である場合に、最小の追加工程数で図27に示す等
価回路が実現することになる。
【0086】次に、補助容量の平面配置に関する問題と
その解決方法を説明する。
【0087】通常、電圧保持機能(容量値確保)の観点
からは、補助容量電極は反射電極直下の一部領域に形成
すれば十分である。ところが、この構造の場合、反射電
極とその直下に設置された導電体(信号配線、電極、垂
直導通部)との間で無視できない値の容量が形成され、
走査期間中に発生する電位変動の度に容量カップリング
による反射電極電位変動が発生する。特に、時分割差分
駆動時には、信号配線電位が複数回切り替わり、従来駆
動に比べ電位変動発生率が高くなる。
【0088】本発明では、電位変動を抑制するため、補
助容量電極を可能な限り広く形成する。この場合、平面
電極のもつ電位シールド効果によって電極の上下間の電
極によるカップリングは非常に小さくなる。特に、純粋
なシールド効果を狙って、反射電極とJ2点接続電極と
の間にJ1点接続電極を設けることも効果的である。さ
らに、積層電極がJ3点接続電極、J2点接続電極、J
1点接続電極又は反射電極の順で面積が広くなるように
し、各補助容量電極によって関連配線を極力被覆するよ
うな平面配置とすることが望ましい。電極面積を特定の
比率で変化させても、電極間隔或いは電極間絶縁膜の比
誘電率を調整することにより、任意の容量値は達成可能
である。
【0089】補助容量電極による配線被覆の効率を考慮
すると、下層ほど被覆できる信号電極の数が限られるの
で、最上層用画像信号配線S3を内側に、下位液晶層用
の画像信号配線S1、S2を外側に設置することが望ま
しい。要件を満たす補助電極及び信号配線の平面配置例
の透視図を図32に示す。駆動素子の直上、画像信号配
線と同じ高さに配置された電極群をドットで示した。C
SE1〜CSE3は補助容量電極である。CSE1は最
下層用反射画素電極と兼用してもよいが、エンボス加工
を施す等、反射電極の下面に凹凸があるような場合に
は、別途設ける方が望ましい。補助容量用対向電極はゲ
ート配線と同じ高さかその下に設置されるが、図32で
は省略している。PAD1〜PAD3は垂直導通部との
接続電極であり、駆動素子給電部の近傍に設置すると上
部に位置する画素電極への給電の際に損失が少ない。
【0090】また、最下層用ゲート配線G1を内側に、
上位液晶層用のゲート配線G2、G3を外側にする配置
を採用し、時分割差分駆動方式を併用することで、最下
層用ゲート配線と補助容量対向電極とを兼ねさせること
もできる(図26に示したように、最下層用ゲートオン
期間と最上層用ゲートオン期間とは重ならない波形設定
が可能なため)。本構成により周辺回路の構成がさらに
単純化される。要件を満たす補助電極及びゲート配線の
下層2層分の平面配置例の透視図を図33に示した。ゲ
ート配線と同じ高さに配置された補助容量対向電極CS
−COMをドットで示した。
【0091】なお、本実施形態で用いられる補助容量電
極の形成材料としては、Al,Mo,Cr,Ta,W等
の金属、或いはそれらの組み合わせによる合金があげら
れる。CSE1として、下面の影響を電気的に遮蔽する
機能だけを持たせるなら、この他に有機導電性物質を用
いることもできる。
【0092】補助容量を形成する層間絶縁膜材料として
は、駆動素子との接合性の良好な材料が望ましい。特
に、駆動素子がSiによるトランジスタである場合に
は、窒化物(SiNx)、酸化物(SiOx)が一般的
に用いられる。より高い誘電性(すなわち電場収束効
果)が要求される場合には、TaやTiの酸化物が用い
られる。より低い誘電性(すなわち電場遮蔽効果)が要
求される場合は、有機物が用いられる。
【0093】液晶物質としては、フッ素系液晶、シアノ
系液晶、エステル系液晶などがある。電圧無印加時に光
を吸収するモードで表示を行うので、誘電異方性は正で
あることが望ましい。
【0094】二色性色素分子としては、例えば、以下の
化学式(1)〜(9)に示すイエロー色素、化学式(1
0)〜(17)に示すマゼンタ色素、化学式(18)〜
(21)に示すシアン色素が用いられる。
【0095】
【化1】
【0096】
【化2】
【0097】
【化3】
【0098】
【化4】
【0099】
【化5】
【0100】
【化6】
【0101】
【化7】
【0102】
【化8】
【0103】
【化9】
【0104】
【化10】
【0105】
【化11】
【0106】
【化12】
【0107】
【化13】
【0108】
【化14】
【0109】
【化15】
【0110】
【化16】
【0111】
【化17】
【0112】
【化18】
【0113】
【化19】
【0114】
【化20】
【0115】
【化21】
【0116】二色性色素の液晶物質に対する重量比は、
0.01〜10%、好ましくは0.1〜5%である。重
量比が小さい場合には、コントラストが十分に向上しな
い。重量比が高すぎる場合には、電圧印加時でも着色が
残り、やはりコントラストが低下する。
【0117】バインダー樹脂としては、ポリエチレン
類;塩素化ポリエチレン類;エチレン・酢酸ビニル共重
合体、エチレン・アクリル酸・無水マレイン酸共重合体
等のエチレン共重合体;ポリブタジエン類;ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ
エチレンナフタレート等のポリエステル類;ポリプロピ
レン類;ポリイソブチレン類;ポリ塩化ビニル類;ポリ
塩化ビニリデン類;ポリ酢酸ビニル類;ポリビニルアル
コール類;ポリビニルアセタール類;ポリビニルブチラ
ール類;四フッ化エチレン樹脂類;三フッ化塩化エチレ
ン樹脂類;フッ化エチレン・プロピレン樹脂類;フッ化
ビニリデン樹脂類;フッ化ビニル樹脂類;四フッ化エチ
レン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体、四フ
ッ化エチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共
重合体、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合
体、四フッ化エチレン・エチレン共重合体等の四フッ化
エチレン共重合体;含フッ素ポリベンゾオキサゾール等
のフッ素樹脂類;アクリル樹脂類;ポリメタクリル酸メ
チル等のメタクリル樹脂類;ポリアクリロニトリル類;
アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体等の
アクリロニトリル共重合体;ポリスチレン類;ハロゲン
化ポリスチレン類;スチレン・メタクリル酸共重合体、
スチレン・アクリロニトリル共重合体等のスチレン共重
合体;ポリスチレンスルホン酸ナトリウム、ポリアクリ
ル酸ナトリウム等のイオン性ポリマー;アセタール樹脂
類;ナイロン66等のポリアミド類;ゼラチン;アラビ
アゴム;ポリカーボネート類;ポリエステルカーボネー
ト類;セルロース系樹脂類;フェノール樹脂類;ユリア
樹脂類;エポキシ樹脂類;不飽和ポリエステル樹脂類;
アルキド樹脂類;メラミン樹脂類;ポリウレタン類;ジ
アリールフタレート樹脂類;ポリフェニレンオキサイド
類;ポリフェニレンスルフィド類;ポリスルフォン類;
ポリフェニルサルフォン類;シリコーン樹脂類;ポリイ
ミド類;ビスマレイミドトリアジン樹脂類;ポリイミド
アミド類;ポリエーテルスルフォン類;ポリメチルペン
テン類;ポリエーテルケトン類;ポリエーテルイミド
類;ポリビニルカルバゾール類;ノルボルネン系非晶質
ポリオレフィン類等の熱可塑性樹脂を用いることができ
る。
【0118】マイクロカプセル化技術としては、界面重
合法、in situ重合法、液中硬化被覆法、水溶液
系からの相分離法、有機溶液系からの相分離法、融解分
散冷却法、気中懸濁法、スプレードライング法等があ
り、記録媒体の用途、形態等に応じて適宜選択すること
ができる。マイクロカプセルの被膜としては、メラミン
樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、フラ
ン樹脂等の縮合系ポリマー、スチレン−ジビニルベンゼ
ン共重合体、メチルメタクリレート−ビニルアクリレー
ト共重合体等の三次元架橋ビニルポリマー等の熱硬化性
樹脂や、組成物を分散させるバインダー樹脂として開示
した熱可塑性樹脂を適宜用いることができる。また、上
記の熱硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂から選択される二種
以上を用いて、マイクロカプセルを構成する多層の被膜
を形成してもよい。この場合、マイクロカプセルの熱安
定性を向上させる観点から、被膜の最外殻には熱硬化性
樹脂を用いることが好ましい。
【0119】以下、本第5実施形態における具体的な例
について説明する。
【0120】(実施例1)以下の構造式(22)で示さ
れるイエロー色のアントラキノン系二色性色素をフッ素
系液晶混合物Lixon−5035XX(チッソ社製
商品名)に溶解させた。
【0121】
【化22】
【0122】この液晶組成物を80重量部、モノマーと
してメチルメタクリレートモノマー3重量部とオクタデ
シルメタクリレートモノマー11重量部、架橋剤として
ジビニルベンゼンを1重量部を混合溶解した。膜乳化装
置(伊勢化学製)を用い、平均孔径1μmの親水性多孔
質ガラスチューブにこの混合液を通し、静圧力1.5気
圧を加えて、0.3重量%のポリビニルアルコール水溶
液流の中に押し出し、エマルジョンを得た。50rpm
で攪拌しながら、エマルジョン(液晶組成物)を85℃
で1時間重合した後、純水とともにイオン交換樹脂製多
孔質管中を通し精製した。得られたイエロー色素入り液
晶マイクロカプセルの形状を顕微鏡で観察したところ、
平均直径6μmの球形であった。
【0123】以下の構造式(23)で示されるマゼンタ
色のアントラキノン系二色性色素を用いることにより、
同様の工程にて、マゼンタ色素入り液晶マイクロカプセ
ルを作製した。
【0124】
【化23】
【0125】以下の構造式(24)で示されるシアン色
のアントラキノン系二色性色素を用いることにより、同
様の工程にて、シアン色素入り液晶マイクロカプセルを
作製した。
【0126】
【化24】
【0127】0.7mm厚のガラス基板上にMo−Ta
合金を250nm堆積し、これをパターニングして1画
素につき3系統のゲート電極及び補助容量対向電極を、
図34に示す配置で形成した。
【0128】この上にゲート絶縁膜としてSiOx を3
00nm、SiNx を50nmそれぞれ堆積した後、連
続して活性層のa−Siを50nm、チャネル保護膜と
してSiNx を200nm、それぞれ堆積した。チャネ
ル保護膜を島状にエッチング形成した後、オーミックコ
ンタクト層としてのn+ a−Siを50nm堆積し、a
−Si及びn+ a−Siを島状にエッチングし、1画素
につき3系統のチャネルを、図35の位置に形成した。
その後、ゲート電極の取り出し部のゲート絶縁膜を除去
した。
【0129】続いて、Cr、Alをそれぞれ50nm、
300nm堆積し、これをパターニングした。これによ
り、3系統の信号電極とそれにつながるドレイン電極を
対応するチャネルの片側に、第1の系統のチャネルのも
う片側には第1の系統のソース電極とそれにつながる第
1の系統の接続パッド電極を、第2の系統のチャネルの
もう片側には第2の系統のソース電極とそれにつながる
第2の系統の接続パッド電極を、第3の系統のチャネル
のもう片側には第3の系統のソース電極とそれにつなが
る第3の系統の垂直導通部接続パッド電極及び第3の系
統の補助容量電極を、それぞれ形成した(図36)。
【0130】信号電極をマスクとして、ソース−ドレイ
ン間のn+ a−Siをチャネル保護膜に対して選択的に
エッチング除去した。SiNx を300nm堆積し、第
1及び第2の系統の接続パッド電極上、第3の系統の垂
直導通部接続パッド電極上、マトリクス状電極群の端部
パッド電極上及びソース電極上のSiNx をエッチング
除去した。Moを300nm堆積し、これをパターニン
グして、第2の系統の垂直導通部接続パッド電極及び第
BR>2の系統の補助容量電極を、第2の系統の接続パッ
ド電極とつながるように形成した(図37)。
【0131】SiNx を400nm堆積し、第1の系統
の接続パッド電極上、第2及び第3の系統の垂直導通部
接続パッド電極上、マトリクス状電極群の端部パッド電
極上及びソース電極上のSiNx をエッチング除去し
た。Moを300nm堆積し、これをパターニングし
て、第1の系統の垂直導通部接続パッド電極及び第一の
系統の補助容量電極を、第1の系統の接続パッド電極と
つながるように形成した(図38)。
【0132】SiNx を200nm堆積し、第1から第
3までの系統の垂直導通部接続パッド電極上、マトリク
ス状電極群の端部パッド電極上及びソース電極上のSi
xをエッチング除去した。この上に反射板形成下地層
としてのポリイミド1μmを成膜し、第1から第3まで
の系統の垂直導通部接続パッド電極上をエッチング除去
した。この表面に、型押しによりディンプル加工を施し
た後、Alを200nm成膜し、反射画素電極をパター
ニングした。
【0133】疎水性導電ペーストにより、第1の系統の
垂直導通部接続パッド電極と反射画素電極とを接続し、
同時に第2の系統の垂直導通部接続パッド電極上には高
さ10μmの第1の電極柱を、第3の系統の垂直導通部
接続パッド電極上には高さ22μmの第2の電極柱を、
それぞれ形成した。
【0134】この上に、上記イエロー色素入り液晶マイ
クロカプセル延伸膜をスクリーン印刷法にて塗布し、イ
エロー調光層を形成した。
【0135】上記第2層膜上に、保護膜として、液晶マ
イクロカプセル膜には親和性を示し(接触角5度未
満)、電極柱には親和性を示さない(接触角50度
超)、ヒドロキシメチエチルセルロース水溶液をスリッ
トコートし、液晶マイクロカプセルのガラス転移温度以
下の120℃にて乾燥した。さらに、この積層膜全体に
空気雰囲気中でアニールを施し、保護膜の表面を疎水化
するとともに、液晶マイクロカプセルと基板との密着性
を促進した。この上に、保護膜及び電極柱に親和性を示
す疎水性のITOフィラー分散液(ポリエステルのトル
エン溶液)を電極形状に選択的に塗布し、常温、窒素雰
囲気下で乾燥の後、中心波長147nmの紫外光を照射
して硬化と導電性の付与とを同時に行い、上記第1の電
極柱上部との電気的接続を確保した。
【0136】続いて、上記工程の繰り返しにより、シア
ン色素入り液晶マイクロカプセルから成るシアン調光
層、保護膜を順に形成し、空気雰囲気中でアニールを施
し、保護膜の全表面を疎水化するとともに、液晶マイク
ロカプセルと基板との密着性を促進した。この上に、保
護膜及び電極柱に親和性を示す疎水性のITOフィラー
分散液(ポリエステルのトルエン溶液)を電極形状に選
択的に塗布し、常温、窒素雰囲気下で乾燥の後、中心波
長147nmの紫外光を照射して硬化と導電性の付与と
を同時に行い、上記第2の電極柱上部との電気的接続を
確保した。
【0137】最後に、マゼンタ色素入り液晶マイクロカ
プセルから成るマゼンタ調光層、保護膜を同様の工程に
て順に形成し、最上部に透明電極が形成されたガラス基
板を加熱、圧着して、図31に示すような断面構造の三
層積層型液晶表示素子を作製した。
【0138】この液晶表示素子の画素部を顕微鏡で観察
したところ、三つの調光層全てに関し、カプセル破損は
なく、液晶分子の配向は基板に対してほぼ平行であっ
た。また、この液晶表示素子は中間基板を有さないた
め、積層構造で生じる視差や液晶マイクロカプセル内の
液晶の配向不良も無かった。TABによりドライバIC
を実装し、図26に示すタイミングチャートに従って、
三層間に最大信号振幅5Vの交流電圧を独立に印加する
ことにより、白黒コントラスト比5:1が得られ、色調
も良好な64階調のカラー表示が可能であった。
【0139】(実施例2)(実施例1)と同様の製法に
より、平均粒径6μmの球形のイエロー、マゼンタ、シ
アンの各色素入り液晶マイクロカプセルを各々作製し
た。
【0140】0.7mm厚のガラス基板上に、Mo−T
a合金を250nm堆積し、これをパターニングして1
画素につき3系統のゲート電極を形成した。この際、第
1の系統のゲート電極を補助容量対向電極とするため、
図33中に示した下層の形状に形成した。
【0141】以下、(実施例1)と同様の製造工程によ
り、ガラス基板直上2層の配線形状が図33の配置であ
ることを除き、(実施例1)と同様の断面構造を有する
3層積層型液晶表示素子を作製した。
【0142】TABによりドライバICを実装し、図2
6に示すタイミングチャートに従って、3層間に最大信
号振幅5Vの交流電圧を独立に印加することにより、白
黒コントラスト比5:1が得られ、色調も良好な64階
調のカラー表示が可能であった。
【0143】(実施例3)1画素につき3系統のTFT
及びその配線を形成する方法は、(実施例1)と同様で
ある。
【0144】この上に反射板形成下地層としてのポリイ
ミドを1μm成膜し、第1から第3までの系統の垂直導
電部接続パッド電極上をエッチング除去した。この表面
に型押しによりディンプル加工を施した後、Alを20
0nm成膜し、反射画素電極兼対向電極をパターニング
した。
【0145】第1の系統の垂直導電部接続パッド電極上
には高さ34μmの第1の電極柱を、第2の系統の垂直
導電部接続パッド電極上には高さ22μmの第2の電極
柱を、第3の系統の垂直導電部接続パッド電極上には高
さ10μmの第3の電極柱を、それぞれ形成した。
【0146】(実施例1)と同様の製造工程により、こ
の上にイエロー色素入り液晶マイクロカプセルからなる
イエロー調光層を形成し、第3の電極柱上部との電気的
接続を確保した。同様に、シアン色素入り液晶マイクロ
カプセルからなるシアン調光層を形成し、第2の電極柱
上部との電気的接続を確保した。同様に、マゼンタ色素
入り液晶マイクロカプセルからなるマゼンタ調光層を形
成し、第1の電極柱上部との電気的接続を確保した。
【0147】最上部にガラス基板を加熱圧着して、図3
9に示す断面構造の三層積層型液晶表示素子を作製し
た。TABによりドライバICを実装し、図26に示す
タイミングチャートにしたがって、三層間に最大信号振
幅5Vの交流電圧を独立に印加することにより、白黒コ
ントラスト5:1が得られ、色調も良好な64階調のカ
ラー表示が可能であった。
【0148】(比較例1)(実施例1)と同様の製法に
より、平均粒径6μmの球形のイエロー、マゼンタ、シ
アンの各色素入り液晶マイクロカプセルを各々作製し
た。3系統の駆動素子付き下側基板は、以下の要領にて
作製した。
【0149】3系統のチャネル形成工程とそれに続くゲ
ート絶縁膜除去工程までは、(実施例1)と同様であ
る。ただし、ゲート電極及びチャネルの平面配置は図4
0のようにした。
【0150】Cr、Alをそれぞれ50nm、300n
m堆積し、これをパターニングして、3系統の信号電極
とそれにつながるドレイン電極を対応するチャネルの片
側に、3系統のソース電極とそれにつながる垂直導通部
接続パッド電極及び補助容量電極を対応するチャネルの
もう片側に、それぞれ形成した(図41)。
【0151】信号電極をマスクとしてソース−ドレイン
間のn+ a−Siをチャネル保護膜に対して選択的にエ
ッチング除去した。SiNx を200nm堆積し、3系
統の垂直導通部接続パッド電極上、マトリクス状電極群
の端部パッド電極上及びソース電極上のSiNx をエッ
チング除去した。この上に反射板形成下地層としてのポ
リイミド2μmを成膜し、3系統の垂直導通部接続パッ
ド電極上をエッチング除去した。この表面に、型押しに
よりディンプル加工を施した後、Alを200nm成膜
し、反射画素電極をパターニングした。
【0152】この上に、(実施例1)と同様の素子組み
立て工程により、図29に示す断面構造の三層積層型液
晶表示素子を作製した。
【0153】TABによりドライバICを実装し、図2
6に示すタイミングチャートに従って、3層間に最大信
号振幅5Vの交流電圧を独立に印加したところ、白黒コ
ントラスト比は5:1であったが、カラー表示時の色調
が黄色味を帯びたり、逆に青味を帯びたりして一定せ
ず、色再現性に問題があった。
【0154】以上、本発明の実施形態について説明した
が、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではな
く、その趣旨を逸脱しない範囲内において種々変形して
実施することが可能である。
【0155】
【発明の効果】本発明によれば、シールド電極の接続や
電圧印加の仕方を改善したことにより、下部領域に走査
線や信号線等があっても画素電極とこれらとの間のカッ
プリングを効果的に抑制することが可能となり、表示性
能に優れた液晶表示装置を得ることができる。
【0156】また、本発明によれば、画素電極と補助容
量電極とのそれぞれの積層順を互いに逆順にしたことに
より、画素電極に対するカップリングの影響を最小に抑
えることが可能となり、表示性能に優れた液晶表示装置
を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の基本的な概念構成を
示した図。
【図2】図1の基本的な概念構成のより具体的な概念構
成を示した図。
【図3】図1の基本的な概念構成のより具体的な概念構
成を示した図。
【図4】図1の基本的な概念構成のより具体的な概念構
成を示した図。
【図5】図1の基本的な概念構成のより具体的な概念構
成を示した図。
【図6】本発明の第1の実施形態の一例についてその等
価回路を示した図。
【図7】本発明の第1の実施形態の一例についてその駆
動回路構成を示した図。
【図8】図7における信号線ドライバーについて示した
図。
【図9】本発明の第1の実施形態の一例について各部の
信号波形を示した図。
【図10】本発明の第1の実施形態の一例についてアレ
イ基板の平面的構成について示した図。
【図11】本発明の第1の実施形態の一例についてアレ
イ基板の平面的構成について示した図。
【図12】本発明の第1の実施形態の一例についてアレ
イ基板の断面構成について示した図。
【図13】本発明の第1の実施形態の変形例についてそ
の等価回路を示した図。
【図14】本発明の第1の実施形態の変形例についてそ
の駆動回路構成を示した図。
【図15】本発明の第2の実施形態の一例についてその
等価回路を示した図。
【図16】本発明の第2の実施形態の一例についてアレ
イ基板の平面的構成について示した図。
【図17】本発明の第2の実施形態の一例についてその
駆動回路構成を示した図。
【図18】図17における信号線ドライバーについて示
した図。
【図19】本発明の第3の実施形態の一例についてアレ
イ基板の平面的構成について示した図。
【図20】本発明の第3の実施形態の一例についてアレ
イ基板の断面構成について示した図。
【図21】各部の容量カップリングの計算に用いる等価
回路を示した図。
【図22】本発明の第4の実施形態の基本的な概念構成
を示した図。
【図23】本発明の第4の実施形態の一例についてその
等価回路を示した図。
【図24】本発明の第4の実施形態の他の例についてそ
の等価回路を示した図。
【図25】時分割差分駆動方式の液晶表示素子の等価回
路を示した図。
【図26】時分割差分駆動方式における各部の駆動波形
を示した図。
【図27】本発明の第5の実施形態の一例についてその
等価回路を示した図。
【図28】積層型液晶表示素子の断面構成について示し
た図。
【図29】従来技術に係る積層型液晶表示素子の断面構
成について示した図。
【図30】従来技術に係る積層型液晶表示素子の等価回
路を示した図。
【図31】本発明の第5の実施形態の一例についてその
断面構成を示した図。
【図32】本発明の第5の実施形態の一例についてその
平面構成を示した図。
【図33】本発明の第5の実施形態の他の例についてそ
の平面構成を示した図。
【図34】本発明の第5の実施形態の一例についてその
製造過程の一部を示した図。
【図35】本発明の第5の実施形態の一例についてその
製造過程の一部を示した図。
【図36】本発明の第5の実施形態の一例についてその
製造過程の一部を示した図。
【図37】本発明の第5の実施形態の一例についてその
製造過程の一部を示した図。
【図38】本発明の第5の実施形態の一例についてその
製造過程の一部を示した図。
【図39】本発明の第5の実施形態の他の例についてそ
の断面構成を示した図。
【図40】本発明の第5の実施形態の比較例について示
した図。
【図41】本発明の第5の実施形態の比較例について示
した図。
【符号の説明】
SP1〜SP3…サブ画素 LC1〜LC3…液晶層 P1〜P3…画素電極 PS、PSmn…シールド電極 COM…対向電極 SW1〜SW3…スイッチ LINE…配線 CS1〜CS3…補助容量 Tr1〜Tr5…薄膜トランジスタ Gn、G1〜G3…ゲート線 Sigm、S1〜S3…信号線 J1〜J3…給電点 CSE1〜CSE3…補助容量電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1343 G02F 1/1347 G02F 1/1368

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】交互に積層された複数の画素電極及び複数
    の液晶層と、最下層の画素電極よりも下層側に設けられ
    たシールド電極と、このシールド電極に最上層の画素電
    極に供給する電圧に対応した電圧を供給する手段とを有
    することを特徴とする液晶表示装置。
  2. 【請求項2】前記シールド電極に最上層の画素電極に供
    給する電圧に対応した電圧を供給する手段は、該シール
    ド電極と最上層の画素電極とを電気的に短絡する手段で
    あることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 【請求項3】交互に積層された複数の画素電極及び複数
    の液晶層と、最下層の画素電極よりも下層側に設けられ
    たシールド電極と、前記各画素電極に電圧を供給して最
    上層の液晶層以外の各液晶層に所望の電圧を印加する第
    1の制御手段と、この第1の制御手段によって最上層の
    液晶層以外の各液晶層に所望の電圧を印加した後に、最
    上層の画素電極以外の画素電極をフローティング状態に
    するとともに、最上層の画素電極に電圧を供給して最上
    層の液晶層に所望の電圧を印加し、且つ前記シールド電
    極に最上層の画素電極に供給する電圧に対応した電圧を
    供給する第2の制御手段とを有することを特徴とする液
    晶表示装置。
  4. 【請求項4】交互に積層された複数の画素電極及び複数
    の液晶層と、最下層の画素電極よりも下層側に設けられ
    たシールド電極と、前記各画素電極に電圧を供給して最
    下層の液晶層以外の各液晶層に所望の電圧を印加する第
    1の制御手段と、この第1の制御手段によって最下層の
    液晶層以外の各液晶層に所望の電圧を印加した後に、最
    下層の画素電極以外の画素電極をフローティング状態に
    するとともに、最下層の画素電極及びシールド電極にそ
    れぞれ電圧を供給して最下層の液晶層に所望の電圧を印
    加する第2の制御手段とを有することを特徴とする液晶
    表示装置。
  5. 【請求項5】交互に積層された複数の画素電極及び複数
    の液晶層と、これら複数の液晶層と並列に且つ最下層の
    液晶層よりも下層側に設けられた複数の補助容量の電極
    をなし、対応する電圧が供給される画素電極の積層順と
    逆順に積層された複数の補助容量電極とを有することを
    特徴とする液晶表示装置。
  6. 【請求項6】交互に積層された複数の画素電極及び複数
    の液晶層と、これら複数の液晶層と並列に且つ最下層の
    液晶層よりも下層側に設けられた複数の補助容量の電極
    をなし、対応する電圧が供給される画素電極の積層順と
    逆順に積層された複数の補助容量電極と、前記各画素電
    極及び対応する補助容量電極に電圧を供給して最上層の
    液晶層以外の各液晶層に所望の電圧を印加する第1の制
    御手段と、この第1の制御手段によって最上層の液晶層
    以外の各液晶層に所望の電圧を印加した後に、最上層の
    画素電極以外の画素電極をフローティング状態にすると
    ともに、最上層の画素電極及び対応する補助容量電極に
    電圧を供給して最上層の液晶層に所望の電圧を印加する
    第2の制御手段とを有することを特徴とする液晶表示装
    置。
  7. 【請求項7】交互に積層された複数の画素電極及び複数
    の液晶層と、これら複数の液晶層と並列に且つ最下層の
    液晶層よりも下層側に設けられた複数の補助容量の電極
    をなし、対応する電圧が供給される画素電極の積層順と
    逆順に積層された複数の補助容量電極と、前記各画素電
    極及び対応する補助容量電極に電圧を供給して最下層の
    液晶層以外の各液晶層に所望の電圧を印加する第1の制
    御手段と、この第1の制御手段によって最下層の液晶層
    以外の各液晶層に所望の電圧を印加した後に、最下層の
    画素電極以外の画素電極をフローティング状態にすると
    ともに、最下層の画素電極及び対応する補助容量電極に
    電圧を供給して最下層の液晶層に所望の電圧を印加する
    第2の制御手段とを有することを特徴とする液晶表示装
    置。
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