JP3354063B2 - リードフレーム供給方法及び供給装置 - Google Patents

リードフレーム供給方法及び供給装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワイヤボンディン
グ装置及びダイボンディング装置等のボンディング装置
において、マガジンに収納されたリードフレームをフレ
ームフィーダに供給するリードフレーム供給方法及び供
給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のボンディング装置を図４により説
明する。フレームフィーダ１０のガイドレール１１の両
端側には、ローダ側マガジン１（１Ａ、１Ｂ・・・）及
びアンローダ側マガジン２（２Ａ、２Ｂ・・・）が配置
されており、ローダ側マガジン１及びアンローダ側マガ
ジン２は、それぞれローダ側エレベータ装置３及びアン
ローダ側エレベータ装置４によって上下駆動させられる
マガジンホルダ５に位置決め載置される。ローダ側マガ
ジン１内のリードフレーム６は、フレームプッシャ７に
よってガイドレール１１のフレーム搬送路１１ａに押し
出される。なお、この種のエレベータ装置３、４を備え
たものとして、例えば特公昭６３−５６１２２号公報、
特公平１−３２１２７号公報及び特公平２−４４８６号
公報に示すものが挙げられる。
【０００３】またフレームプッシャ７が無く、その代わ
りに引き込み爪８を設けたものとして、例えば特公昭５
５−７９４４号公報が知られている。即ち、フレームプ
ッシャ７か引き込み爪８のいずれかを設けているので、
図４（ａ）には引き込み爪８は２点鎖線で図示した。引
き込み爪８の場合には、ローダ側マガジン１内のリード
フレーム６を引き込み爪８で引っ張り、ガイドレール１
１のフレーム搬送路１１ａ上に引き出す。
【０００４】リードフレーム６を搬送するフレームフィ
ーダ１０は、リードフレーム６をガイドするフレーム搬
送路１１ａを有する一対のガイドレール１１と、ローダ
側送り爪１２及びアンローダ側送り爪１３とを有し、ロ
ーダ側送り爪１２及びアンローダ側送り爪１３はそれぞ
れ一対の上爪１２ａ、１３ａ及び下爪１２ｂ、１３ｂよ
りなっている。そして、ローダ側送り爪１２及びアンロ
ーダ側送り爪１３は、図示しない爪開閉手段で開閉させ
られ、また図示しない爪移動手段でガイドレール１１に
沿って移動させられる。またガイドレール１１間でロー
ダ側マガジン１側には、リードフレーム６が有ることを
感知するフレーム確認用センサ１４が配設されている。
なお、この種のフレームフィーダ１０として、例えば特
公昭６３−５６１２２号公報及び特開平４−３４６４４
６号公報に示すものが挙げられる。
【０００５】ガイドレール１１の側方には、ボンディン
グ位置１５に対応してワイヤボンディング装置、ダイボ
ンディング装置等のボンディング装置２０が配設されて
いる。ボンディング装置２０は、ＸＹ方向に駆動される
ＸＹテーブル２１を有し、ＸＹテーブル２１上にはボン
ディングヘッド２２が搭載されており、ボンディングヘ
ッド２２にはテレビカメラ２３が取付けられたカメラホ
ルダ２４が固定されている。またボンディングヘッド２
２には、ボンディングツール２５が取付けられたボンデ
ィングアーム２６が上下動可能に設けられている。ここ
で、テレビカメラ２３はボンディング位置１５の上方に
位置しており、ボンディングツール２５はテレビカメラ
２３に対してＹ１だけオフセットして配設されている。
またボンディングアーム２６は図示しないＺ（上下）駆
動用モータによって上下動させられる。なお、この種の
ボンディング装置２０として、例えば特開平５−２７５
５０２号公報に示すものが挙げられる。
【０００６】そこで、ローダ側マガジン１内のリードフ
レーム６は、フレームプッシャ７によってローダ側送り
爪１２がチャックできる位置まで押し出される。その
後、フレームプッシャ７は元の位置に戻る。リードフレ
ーム６を引き出す引き込み爪８には、リードフレーム６
に引出しピンを挿入するタイプとリードフレーム６を上
下方向からチャックするタイプとがある。引出しピンを
挿入するタイプの場合は、引き込み爪８がローダ側マガ
ジン１内に移動した後、下降して引出しピンがリードフ
レーム６の穴に挿入され、引き込み爪８が送り方向（ボ
ンディング位置１５方向）に移動してローダ側送り爪１
２がリードフレーム６をチャックできる位置までリード
フレーム６を引き出す。その後、引き込み爪８は上昇し
た後に元の位置に戻る。上下方向からチャックするタイ
プの場合は、引き込み爪８がローダ側マガジン１内より
リードフレーム６を引き出した後、リードフレーム６を
ローダ側送り爪１２で挟み、ボンディング位置１５方向
に移送する。
【０００７】フレーム確認用センサ１４がリードフレー
ム６の有ることを感知すると、次にローダ側送り爪１２
が閉じてリードフレーム６をチャックし、リードフレー
ム６をガイドレール１１のフレーム搬送路１１ａに沿っ
て間欠送り動作をする。即ち、ローダ側送り爪１２が開
き、元の位置への移動、閉じてリードフレーム６をチャ
ックし、再びリードフレーム６を一定量送る間欠送り動
作を繰り返す。そして、リードフレーム６のボンディン
グ部分を順次ボンディング位置１５に送る。リードフレ
ーム６のボンディング部分がボンディング位置１５に送
られる度にボンディング装置２０によってボンディング
作業が行われる。ボンディング作業完了後、リードフレ
ーム６はアンローダ側送り爪１３によって間欠的に送ら
れ、アンローダ側マガジン２に収納される。
【０００８】ローダ側マガジン１及びアンローダ側マガ
ジン２には、一定間隔を保って積層する形でリードフレ
ーム６が収納される。そこで、ローダ側マガジン１より
リードフレーム６がガイドレール１１のフレーム搬送路
１１ａに供給、またフレーム搬送路１１ａよりアンロー
ダ側マガジン２にリードフレーム６が収納される毎に、
前記ローダ側マガジン１及びアンローダ側マガジン２を
一定ピッチ下降させ、ローダ側マガジン１及びアンロー
ダ側マガジン２の次のリードフレーム６を収納した又は
収納するフレーム収納部をフレーム搬送路１１ａの搬送
路レベルに位置させる。なお、フレーム搬送路１１ａの
搬送路レベルとは、リードフレーム６をフレーム搬送路
１１ａに送り込むために適した高さのことである。
【０００９】またローダ側エレベータ装置３及びアンロ
ーダ側エレベータ装置４のマガジンホルダ５に２個以上
のローダ側マガジン１（１Ａ、１Ｂ・・・）及びアンロ
ーダ側マガジン２（２Ａ、２Ｂ・・・）を積み重ねる方
式においては、フレーム搬送路１１ａの搬送路レベルで
ローダ側マガジン１の最上段のフレーム収納部からリー
ドフレーム６を送出後又はアンローダ側マガジン２の最
上段のフレーム収納部にリードフレーム６を収納後に、
該ローダ側マガジン１及びアンローダ側マガジン２の直
上のローダ側マガジン１及びアンローダ側マガジン２の
最下段のフレーム収納部をフレーム搬送路１１ａの搬送
路レベルに位置させるようにローダ側マガジン１及びア
ンローダ側マガジン２を下降させる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】一般に、ローダ側マガ
ジン１（１Ａ、１Ｂ・・・）にはリードフレーム６が満
杯に（連続して）収納されている。しかしながら、連続
して収納されているローダ側マガジン１（１Ａ、１Ｂ・
・・）から作業者が品質管理のためリードフレーム６を
抜き取っていることがある。図４（ｂ）において、ロー
ダ側マガジン１Ａに２点鎖線で示す１ａは、リードフレ
ーム６を抜き取ったリードフレーム６が入っていないフ
レーム収納部を示す。
【００１１】また通常の生産においては、リードフレー
ム６はロット管理で行われており、１ロットがローダ側
マガジン１のフレーム収納部段数×Ｎ（ローダ側マガジ
ン１の個数）の枚数のリードフレーム６であることは殆
どなく。このため、ロットの最後のローダ側マガジン１
にはリードフレーム６が満杯とはなっていない。ローダ
側マガジン１Ｂがロットの最後のマガジンである場合
で、２点鎖線で示す１ｂは、ロットの最後のリードフレ
ーム６が入っていないフレーム収納部を示す。
【００１２】従来は、ローダ側エレベータ装置３により
ローダ側マガジン１（１Ａ、１Ｂ・・・）を１段ずつ下
降させ、下降させる毎にリードフレーム６がローダ側マ
ガジン１のその段に入っているか否かにかかわらず、フ
レームプッシャ７で押し出し動作を行うか、又は引き込
み爪８で引き込み動作を行っている。このように、リー
ドフレーム６の収納されていないフレーム収納部におい
ても、フレームプッシャ７又は引き込み爪８が空動作を
行うので、その間リードフレーム６はフレーム搬送路１
１ａに供給されない。即ち、ボンディング装置２０はボ
ンディングを行うことができなく、待機状態となるの
で、生産性が悪い。特に、１ｂで示すように、フレーム
６が収納されていないリードフレーム収納部が多い時
は、当然ながら無駄な動作時間が多くなり、生産性の低
下は著しい。
【００１３】本発明の課題は、リードフレームが収納さ
れたリードフレーム収納部を即座にフレーム搬送路レベ
ルに位置させることができ、生産性の向上が図れるリー
ドフレーム供給方法及び供給装置を提供することにあ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の方法は、上下駆動されるローダ側エレベータ
装置にローダ側マガジンが位置決め載置され、フレーム
プッシャ又は引き込み爪で前記ローダ側マガジンに収納
されているリードフレームをフレームフィーダに供給す
るリードフレーム供給方法において、前記ローダ側マガ
ジンのフレームフィーダ側と反対側で前記フレームフィ
ーダのフレーム搬送路レベル又はフレーム搬送路レベル
より上方に、前記ローダ側マガジン内のリードフレーム
の有無を感知するフレーム有無用センサを配設し、リー
ドフレームを送出させるフレーム収納部がレーム搬送路
レベルに位置し、前記フレーム有無用センサがリードフ
レームの無いことを感知した時に前記フレームプッシャ
又は引き込み爪を作動させないで、リードフレームが収
納されている次のフレーム収納部を前記フレームフィー
ダのフレーム搬送路レベルに位置させることを特徴とす
る。
【００１５】上記課題を解決するための本発明の装置
は、上下駆動されるローダ側エレベータ装置にローダ側
マガジンが位置決め載置され、フレームプッシャ又は引
き込み爪で前記ローダ側マガジンに収納されたリードフ
レームをフレームフィーダに供給するリードフレーム供
給装置において、前記ローダ側マガジンのフレームフィ
ーダ側の反対側で前記フレームフィーダのフレーム搬送
路レベル又はフレーム搬送路レベルより上方に配設さ
れ、前記ローダ側マガジン内のリードフレームの有無を
感知するフレーム有無用センサと、リードフレームを送
出させるフレーム収納部がレーム搬送路レベルに位置
し、前記フレーム有無用センサがリードフレームの無い
ことを感知した時に前記フレームプッシャ又は引き込み
爪を作動させないで、リードフレームが収納されている
次のフレーム収納部を前記フレームフィーダのフレーム
搬送路レベルに位置させる制御部を有する制御回路とを
備えていることを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明のリードフレーム供給方法
及び供給装置の一実施の形態を図１乃至図３により説明
する。なお、図４と同じ又は相当部材には、同一符号を
付し、その詳細な説明は省略する。図１に示すように、
上下駆動されるローダ側エレベータ装置３にローダ側マ
ガジン１（１Ａ、１Ｂ・・・）が位置決め載置され、フ
レームプッシャ７か引き込み爪８のいずれかを有し、フ
レームプッシャ７又は引き込み爪８で前記ローダ側マガ
ジン１に収納されたリードフレーム６をフレームフィー
ダ１０に供給するリードフレーム供給方法及び供給装置
を対象とし、この方法及び装置に新規な方法及び装置を
付加したものである。
【００１７】図１及び図２に示すように、ローダ側マガ
ジン１のフレームフィーダ１０側と反対側でフレーム搬
送路１１ａの搬送路レベルの位置にフレーム有無用セン
サ５０が配設されている。
【００１８】図３は制御回路を示す。装置を駆動させる
に必要な各種データは、入力手段３０より制御部３１を
通してデータメモリ３２に記憶される。データメモリ３
２には、例えばマガジン１、２のフレーム収納部の段数
Ｎ、フレーム収納部のピッチＰ、ローダ側マガジン１Ａ
の最上段のフレーム収納部からその上のローダ側マガジ
ン１Ｂの最下段のフレーム収納部までの寸法Ｈ等が記憶
されている。制御メモリ３３は、制御部３１を通して装
置を作動させるプログラムが記憶されている。制御部３
１は、制御メモリ３３のプログラムに従って、データメ
モリ３２に記憶されたデータを読み出し、モータ駆動部
３４を通してローダ側エレベータ装置３及びアンローダ
側エレベータ装置４のマガジン上下用モータ３５、３
６、送り爪用モータ３７、プッシャ用モータ３８又は引
き込み爪用モータ３９を駆動させる。以上は、周知の回
路である。
【００１９】本実施の形態においては、フレーム有無用
センサ５０がリードフレーム６の無いことを感知した信
号により、制御部３１は、ローダ側エレベータ装置３の
マガジン上下用モータ３５を作動させ、マガジンホルダ
５を介してローダ側マガジン１を１段下降させるように
なっている。
【００２０】次に動作について説明する。以下、フレー
ムプッシャ７を用いた場合について説明する。今、図１
（ｂ）に示すように、ローダ側マガジン１Ａの最下段の
フレーム収納部がフレーム搬送路１１ａの搬送路レベル
に位置した状態から説明する。装置を始動させると、ロ
ーダ側エレベータ装置３によりローダ側マガジン１（１
Ａ、１Ｂ・・・）を１段ずつ下降させ、下降させる毎に
ローダ側マガジン１のフレーム収納部がフレーム搬送路
１１ａの搬送路レベルに位置すると、フレーム有無用セ
ンサ５０はリードフレーム６の有無を感知する。
【００２１】リードフレーム６が収納されていると、フ
レームプッシャ７が作動してローダ側送り爪１２がリー
ドフレーム６をチャックできる位置までリードフレーム
６を押し出す。次にローダ側送り爪１２が閉じてリード
フレーム６をチャックし、リードフレーム６をガイドレ
ール１１のフレーム搬送路１１ａに沿って間欠的に送
り、リードフレーム６のボンディング部分を順次ボンデ
ィング位置１５に送る。リードフレーム６が完全にガイ
ドレール１１内に送出されたことをフレーム確認用セン
サ１４が確認すると、マガジンホルダ５は、図３に示す
データメモリ３２に記憶されている１ピッチＰだけ下降
し、次のリードフレーム６がフレーム搬送路１１ａの搬
送路レベルに位置する。以後、前記のようにリードフレ
ーム６がガイドレール１１内に送出される毎にマガジン
ホルダ５は１ピッチＰだけ下降させられる。
【００２２】ローダ側マガジン１Ａのリードフレーム６
の無いリードフレーム収納部１ａがフレームフィーダ１
０のフレーム搬送路１１ａの搬送路レベルに位置する
と、フレーム有無用センサ５０はリードフレーム６の無
いことを感知し、その信号によって制御部３１はマガジ
ンホルダ５を１ピッチだけ下降させる信号をモータ駆動
部３４を介してマガジン上下用モータ３５に送る。即
ち、フレームプッシャ７は作動しなく、マガジンホルダ
５のみを下降させ、ローダ側マガジン１Ａの次のリード
フレーム収納部をフレームフィーダ１０のフレーム搬送
路１１ａの搬送路レベルに位置させる。
【００２３】このような動作を順次繰り返し、ローダ側
マガジン１Ａの最上段のリードフレーム６がフレーム搬
送路１１ａの搬送路レベルに位置され、このリードフレ
ーム６が送出される。即ち、図３に示すデータメモリ３
２に記憶されているローダ側マガジン１のフレーム収納
部の段数Ｎ−１の数だけマガジンホルダ５の下降動作が
行われる。この動作後、次はデータメモリ３２に記憶さ
れているデータＨだけマガジンホルダ５は下降させられ
る。これにより、ローダ側マガジン１Ｂの最下段のリー
ドフレーム６がフレーム搬送路１１ａの搬送路レベルに
位置し、このリードフレーム６がガイドレール１１内に
送出可能な状態となる。
【００２４】そして、ローダ側マガジン１Ｂの最下段の
リードフレーム６がガイドレール１１内へ送出され、フ
レームフィーダで作業位置（ボンディング位置）に送ら
れてリードフレーム６にボンディングが行われ、次のリ
ードフレーム６のガイドレール１１内への送出可能の信
号がくる前に、特公平１−３２１２７号公報に記載され
た従来と同様の動作によってローダ側マガジン１Ａの排
出が行われる。ローダ側マガジン１Ａの排出後、マガジ
ンホルダ５は上昇し、ローダ側マガジン１Ｂ、１Ｃ・・
・はマガジンホルダ５に載置される。以後、前記した動
作によってローダ側マガジン１Ｂ内のリードフレーム６
のガイドレール１１内への送出動作が行われる。
【００２５】ローダ側マガジン１Ｂにおいては、２点鎖
線で示すように、途中のフレーム収納部１ｂからリード
フレーム６が収納されていない。従って、このフレーム
収納部１ｂはマガジンホルダ５の下降動作のみ行われ
る。そして、マガジンホルダ５の下降動作がデータメモ
リ３２に記憶されているローダ側マガジン１のフレーム
収納部の段数Ｎの数になると、前記した動作によって、
ローダ側マガジン１Ｃの最下段のリードフレーム６がフ
レーム搬送路１１ａの搬送路レベルに位置し、このリー
ドフレーム６がガイドレール１１内に送出可能な状態と
なる。またローダ側マガジン１Ｂの排出動作が行われ
る。
【００２６】なお、上記実施例においては、ローダ側マ
ガジン１からのリードフレーム６の払い出しは、フレー
ムプッシャ７で行う場合について説明したが、引き込み
爪８で行う場合にも適用できることは勿論である。また
フレーム有無用センサ５０は、フレームフィーダ１０の
フレーム搬送路１１ａの搬送路レベルに配設したが、フ
レーム搬送路レベルより上方に配設してもよい。またフ
レーム確認用センサ１４は無くてもよいが、これを設け
ると、ローダ側マガジン１からリードフレーム６がフレ
ーム搬送路１１ａに確実に払い出されたかの確認が行え
る。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、ローダ側マガジンのフ
レームフィーダ側と反対側で前記フレームフィーダのフ
レーム搬送路レベル又はフレーム搬送路レベルより上方
に、前記ローダ側マガジン内のリードフレームの有無を
感知するフレーム有無用センサを配設し、リードフレー
ムを送出させるフレーム収納部がレーム搬送路レベルに
位置し、前記フレーム有無用センサがリードフレームの
無いことを感知した時にフレームプッシャ又は引き込み
爪を作動させないで、リードフレームが収納されている
次のフレーム収納部を前記フレームフィーダのフレーム
搬送路レベルに位置させるので、リードフレームが収納
されたリードフレーム収納部を即座にリードフレーム収
納部に位置させることができ、生産性の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のボンディング装置のリードフレームの
供給方法及び供給装置の一実施の形態の概略配置を示
し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面断面である。
【図２】図１の要部斜視図である。
【図３】本発明のリードフレーム供給装置の制御回路の
一実施の形態を示すブロック図である。
【図４】従来のボンディング装置のリードフレームの供
給方法及び供給装置の概略配置を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は正面断面である。
【符号の説明】
１、１Ａ、１Ｂ ローダ側マガジン ３ ローダ側エレベータ装置 ５ マガジンホルダ ６ リードフレーム １０ フレームフィーダ １１ ガイドレール １１ａ フレーム搬送路 ２０ ボンディング装置 ３１ 制御部 ５０ フレーム有無用センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−7036（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−139035（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−181435（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−151476（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−252200（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/50

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 上下駆動されるローダ側エレベータ装置
    にローダ側マガジンが位置決め載置され、フレームプッ
    シャ又は引き込み爪で前記ローダ側マガジンに収納され
    ているリードフレームをフレームフィーダに供給するリ
    ードフレーム供給方法において、前記ローダ側マガジン
    のフレームフィーダ側と反対側で前記フレームフィーダ
    のフレーム搬送路レベル又はフレーム搬送路レベルより
    上方に、前記ローダ側マガジン内のリードフレームの有
    無を感知するフレーム有無用センサを配設し、リードフ
    レームを送出させるフレーム収納部がレーム搬送路レベ
    ルに位置し、前記フレーム有無用センサがリードフレー
    ムの無いことを感知した時に前記フレームプッシャ又は
    引き込み爪を作動させないで、リードフレームが収納さ
    れている次のフレーム収納部を前記フレームフィーダの
    フレーム搬送路レベルに位置させることを特徴とするリ
    ードフレーム供給方法。
  2. 【請求項２】 上下駆動されるローダ側エレベータ装置
    にローダ側マガジンが位置決め載置され、フレームプッ
    シャ又は引き込み爪で前記ローダ側マガジンに収納され
    たリードフレームをフレームフィーダに供給するリード
    フレーム供給装置において、前記ローダ側マガジンのフ
    レームフィーダ側の反対側で前記フレームフィーダのフ
    レーム搬送路レベル又はフレーム搬送路レベルより上方
    に配設され、前記ローダ側マガジン内のリードフレーム
    の有無を感知するフレーム有無用センサと、リードフレ
    ームを送出させるフレーム収納部がレーム搬送路レベル
    に位置し、前記フレーム有無用センサがリードフレーム
    の無いことを感知した時に前記フレームプッシャ又は引
    き込み爪を作動させないで、リードフレームが収納され
    ている次のフレーム収納部を前記フレームフィーダのフ
    レーム搬送路レベルに位置させる制御部を有する制御回
    路とを備えていることを特徴とするリードフレーム供給
    装置。
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