JPH05166851A - 板状部材の処理装置 - Google Patents
板状部材の処理装置Info
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- JPH05166851A JPH05166851A JP35316891A JP35316891A JPH05166851A JP H05166851 A JPH05166851 A JP H05166851A JP 35316891 A JP35316891 A JP 35316891A JP 35316891 A JP35316891 A JP 35316891A JP H05166851 A JPH05166851 A JP H05166851A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
マガジンに収納させる。 【構成】板状部材が収納されたマガジン50を位置決め
載置するローダ側エレベータ19と、ローダ側エレベー
タ19の前方に配設されエレベータ装置15によって上
下動させられるバッファマガジン16と、バッファマガ
ジン16へローダ側エレベータ19上のマガジン50内
の板状部材を一度に移し換えるプッシャ20と、バッフ
ァマガジン16内の板状部材を1個づつ加工装置4、5
に搬送すると共に、加工が終了した板状部材をアンロー
ダ側に搬送する板状部材搬送手段17、18、10、
6、7と、アンローダ側に設けられたアンローダ側エレ
ベータ8と、バッファマガジン16に板状部材を移し換
えて空になったローダ側エレベータ19上のマガジン5
0をアンローダ側エレベータ8上に搬送するマガジン搬
送手段25、30を備えている。
Description
納されたリードフレーム等のような板状部材をワイヤボ
ンデイング装置、ダイボンデイング装置、検査装置等の
半導体装置組立装置(以下加工装置という)に供給し、
加工装置で加工が終了した板状部材をアンローダ側マガ
ジンへ移送して収納する板状部材の処理装置に関する。
は、図4に示すように、マガジン50に積層する形で収
納されている。そこで、板状部材51に加工を施す時
は、ローダ側のエレベータに板状部材51が収納された
マガジン50を位置決め載置し、アンローダ側のエレベ
ータに空のマガジンを位置決め載置する。そして、ロー
ダ側のマガジンより1枚ずつ板状部材を加工装置の加工
位置に送り出し、加工が終了した板状部材は、アンロー
ダ側のマガジンに1枚ずつ収納される。なお、この種の
装置として、例えば実公平2ー38445号公報があげ
られる。
部材はマガジンに収納されて処理されるので、板状部材
を収納したマガジン毎に管理される。しかるに、上記従
来技術は、加工後の板状部材を加工前に収納されていた
マガジンと別個のマガジンに収納するので、その後の管
理が非常に煩わしいという問題点があった。また空のマ
ガジンを複数個用意しておく必要があり、設備費が高く
なると共に、該空のマガジンを保管するためのスペース
を必要とするという問題点があった。
工前に収納されていたマガジンに収納することができる
板状部材の処理装置を提供することにある。
の本発明の構成は、板状部材が収納されたマガジンを位
置決め載置するローダ側エレベータと、このローダ側エ
レベータの側方に配設されたエレベータ装置によって上
下動させられるバッファマガジンと、このバッファマガ
ジンへ前記ローダ側エレベータ上のマガジン内の板状部
材を一度に移し換えるプッシャと、前記バッファマガジ
ン内の板状部材を1枚ずつ加工装置の加工位置に搬送す
ると共に、加工が終了した板状部材をアンローダ側に搬
送する板状部材搬送手段と、アンローダ側に設けられた
アンローダ側エレベータと、前記バッファマガジンに板
状部材を移し換えて空になったローダ側エレベータ上の
マガジンを前記アンローダ側エレベータ上に搬送するマ
ガジン搬送手段とを備えたことを特徴とする。
ベータ上に位置決め載置すると、プッシャによってマガ
ジン内の板状部材は全てバッファマガジン内に移し換え
られる。このバッファマガジンに板状部材を移し換えて
空になったローダ側エレベータ上のマガジンは、アンロ
ーダ側エレベータ上に搬送される。またバッファマガジ
ン内の板状部材は、1枚ずつ加工装置の加工位置に搬送
されて加工が施され、加工が終了した板状部材はアンロ
ーダ側エレベータ上のマガジンに収納される。
ていたマガジンそのものがアンローダ側へ移送されて配
設され、該マガジンに加工が終了した板状部材が収納さ
れるので、管理が容易となる。またマガジンを余分に準
備しておく必要がなく、設備費が安くなると共に、保管
スペースが少なくてすむ。
り説明する。図2に示すように、架台部1上には、支柱
2を介してベース板3が固定されている。ベース板3上
には、第1図に示すように、ワイヤボンデイング装置4
及びワイヤボンデイングされたワイヤ状態を検査する外
観検査装置5が並設されており、ワイヤボンデイング装
置4及び外観検査装置5の正面側には、板状部材を間欠
的に送るユニバーサルフィーダ6、7が直列に配設され
ている。ユニバーサルフィーダ7の右側には、マガジン
を載置するアンローダ側エレベータ8が配設されてお
り、アンローダ側エレベータ8はエレベータ装置9によ
って上下動させられる。前記ユニバーサルフィーダ6の
左側には、板状部材をガイドするガイドレール10が配
設されており、ガイドレール10上の板状部材は図示し
ない駆動手段で左右に往復駆動されるプッシャ11によ
ってユニバーサルフィーダ6に送られる。
エレベータ装置15によって上下動させられるバッファ
マガジン16が配設されている。バッファマガジン16
の左側には、一部が該マガジンに伸びたベルトコンベア
17が配設されている。そして、ベルトコンベア17と
前記ガイドレール10間には、ベルトコンベア18が配
設され、ベルトコンベア17上の板状部材はベルトコン
ベア18によってガイドレール10上に送られるように
なっている。前記バッファマガジン16の右側には、板
状部材を収納したマガジン50を載置するローダ側エレ
ベータ19が配設されており、ローダ側エレベータ19
は図示しないエレベータ装置によって上下動させられ
る。またローダ側エレベータ19の右側には図示しない
駆動手段で左右方向に移動させられるプッシャ20が配
設されており、プッシャ20の先端にはローダ側エレベ
ータ19に載置されたマガジン内の板状部材を一度に全
てを押し出すための押し出し板21が設けられている。
エレベータ19の下方の架台部1上には、右方向に伸び
てエアシリンダロッド25が配設されており、エアシリ
ンダロッド25には該エアシリンダロッド25によって
移動させられるマガジン移送板26が取り付けられてい
る。またエアシリンダロッド25の右端側の架台部1上
には、前記アンローダ側エレベータ8の方向に伸びてエ
アシリンダロッド27が配設されており、エアシリンダ
ロッド27には該エアシリンダロッド27によって移動
させられるマガジン移送板28が取り付けられている。
また前記ベース板3の下面には、マガジン移送板26よ
りマガジン移送板28に空のマガジン50を移載させる
プッシャ29が取り付けられている。前記エアシリンダ
ロッド27の上方のベース板3上には、エアシリンダロ
ッド30が配設されており、エアシリンダロッド30に
は該エアシリンダロッド30によって移動させられるマ
ガジン払出し受31が取り付けられている。またマガジ
ン移送板28の上方で前記エレベータ装置9の上端側に
は、前記エアシリンダロッド30と平行に伸びた支持板
32が固定されており、支持板32にはエアシリンダ3
3が固定され、エアシリンダ33の作動ロットにはプッ
シャ34が固定されている。
デイング装置を操作するためのスイッチが配設された操
作パネル、42は外観検査装置を操作するためのスイッ
チが配設された操作パネル、43はボンデイング装置用
のモニタ、44は外観検査装置用のモニタである。
ッファマガジン16は上昇した状態にあり、ベルトコン
ベア17はバッファマガジン16の下方側に位置してい
る。ローダ側エレベータ19も上昇した状態にある。マ
ガジン移送板26はローダ側エレベータ19の下方に位
置し、マガジン移送板28はエアシリンダロッド25側
に位置している。まず、板状部材を収納したマガジン5
0を図示しないロボット又は手動でローダ側エレベータ
19上に位置決め載置する。これにより、前記マガジン
50は、該マガジン50の板状部材を収納されている溝
と、バッファマガジン16の板状部材を収納する溝が対
向するような位置にある。次にプッシャ20が作動して
押し出し板21が前進し、押し出し板21によって前記
マガジン50内の板状部材は全て押し出されてバッファ
マガジン16内に収納される。その後、押し出し板21
が後退する。
ータ19下側へ移送され、、その後ローダ側エレベータ
19が下降し、該ローダ側エレベータ19上の空のマガ
ジン50はマガジン移送板26の上面に載置される。そ
の後マガジン移送板26がマガジン移送板28の側面へ
移動し、マガジン移送板26上の空のマガジン50をプ
ッシャ29によってマガジン移送板28へ移し換える。
前記のように、マガジン移送板26がマガジン移送板2
8の側方へ移動した後、ローダ側エレベータ19は上昇
し、次の板状部材が収納されているマガジンを載置する
位置で停止する。次にエアシリンダロッド30が作動し
てマガジン移送板28上の空のマガジン50をアンロー
ダ側エレベータ8の所まで移送する。続いてアンローダ
側エレベータ8が上昇してマガジン移送板28上の空の
マガジン50を受け取り、外観検査装置5で検査が終了
した板状部材を収納する位置まで上昇して停止する。そ
の後にマガジン移送板28はマガジン移送板26側へ移
動して停止する。
全ての板状部材が収納されると、バッファマガジン16
内の最下位の板状部材がベルトコンベア17に当接する
までエレベータ装置15によりバッファマガジン16が
下降させられる。そして、ベルトコンベア17が作動し
て板状部材は左側に移動させられてベルトコンベア18
の上方に位置する。その後ベルトコンベア18が上昇さ
せられ、ベルトコンベア17上の板状部材はベルトコン
ベア18上に移載される。次にベルトコンベア18が作
動して板状部材はガイドレール10の上方に移送され
る。続いてベルトコンベア18が下降し、ベルトコンベ
ア18上の板状部材はガイドレール10上に移載され
る。そして、前記したようにアンローダ側エレベータ8
上の空のマガジンが受入れ体制にあることを確認する
と、ガイドレール10上の板状部材はプッシャ11によ
ってユニバーサルフィーダ6上に送り出される。そし
て、ユニバーサルフィーダ6によってワイヤボンデイン
グ装置4の前方に移送され、ワイヤボンデイング装置4
によってワイヤボンデイングが施される。ワイヤボンデ
イングが終了した板状部材はユニバーサルフィーダ6、
7によって外観検査装置5の前方に移送され、外観検査
装置5によって外観検査が行われる。
フィーダ7によって移送され、前記アンローダ側エレベ
ータ8上のマガジンに収納される。該マガジンに板状部
材が収納されると、マガジンは1ピッチ上昇させられ、
次の板状部材の受け入れ体制になる。また前記したよう
にバッファマガジン16より板状部材が移送されると、
次の板状部材がベルトコンベア17に当接するまでバッ
ファマガジン16は下降させられる。そして、前記した
動作によってこの板状部材は移送されてワイヤボンデイ
ング及び外観検査が行われ、アンローダ側エレベータ8
上のマガジン50に収納される。以後、この動作を順次
繰り返して行い、バッファマガジン16内の板状部材の
全てがアンローダ側エレベータ8上のマガジン50に収
納されると、エアシリンダ33によってプッシャ34が
作動してマガジンはマガジン払出し受31上に移載され
る。ここで、マガジン払出し受31は、マガジン50に
板状部材が満杯になる前に、エアシリンダロッド30に
よってマガジン払出し受31がアンローダ側エレベータ
8の側面に移動してマガジン50を受け取るために待機
する。マガジン払出し受31が後退した後、アンローダ
側エレベータ8は下降して次の空のマガジンを受け入れ
る体制となる。なお、前記した動作は、制御部の信号に
よって行われる。
納されたマガジンそのものがアンローダ側に配設され、
該マガジンに加工が終了した板状部材が収納されるの
で、管理が容易となる。またマガジンを余分に準備して
おく必要がなく、設備費が安くなると共に、保管スペー
スが少なくてすむ。
示す概略構成の平面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 板状部材が収納されたマガジンを位置決
め載置するローダ側エレベータと、このローダ側エレベ
ータの側方に配設されたエレベータ装置によって上下動
させられるバッファマガジンと、このバッファマガジン
へ前記ローダ側エレベータ上のマガジン内の板状部材を
一度に移し換えるプッシャと、前記バッファマガジン内
の板状部材を1枚ずつ加工装置の加工位置に搬送すると
共に、加工が終了した板状部材をアンローダ側に搬送す
る板状部材搬送手段と、アンローダ側に設けられたアン
ローダ側エレベータと、前記バッファマガジンに板状部
材を移し換えて空になったローダ側エレベータ上のマガ
ジンを前記アンローダ側エレベータ上に搬送するマガジ
ン搬送手段とを備えたことを特徴とする板状部材の処理
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35316891A JP2890337B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 板状部材の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35316891A JP2890337B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 板状部材の処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05166851A true JPH05166851A (ja) | 1993-07-02 |
JP2890337B2 JP2890337B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=18429022
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35316891A Expired - Fee Related JP2890337B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 板状部材の処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2890337B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5516251A (en) * | 1993-08-12 | 1996-05-14 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Magazine carrying apparatus |
US5727917A (en) * | 1995-07-13 | 1998-03-17 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Magazine conveying device |
US5733090A (en) * | 1995-07-13 | 1998-03-31 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Magazine conveying device |
US5868542A (en) * | 1995-07-13 | 1999-02-09 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Magazine conveying device |
JPH11314705A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-11-16 | Nippon Avionics Co Ltd | マガジン自動搬送装置 |
CN114901022A (zh) * | 2022-04-05 | 2022-08-12 | 安徽鹿鼎科技有限公司 | 一种应用于电子数据的智能勘查设备 |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP35316891A patent/JP2890337B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5516251A (en) * | 1993-08-12 | 1996-05-14 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Magazine carrying apparatus |
US5727917A (en) * | 1995-07-13 | 1998-03-17 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Magazine conveying device |
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CN114901022A (zh) * | 2022-04-05 | 2022-08-12 | 安徽鹿鼎科技有限公司 | 一种应用于电子数据的智能勘查设备 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2890337B2 (ja) | 1999-05-10 |
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