JP2882745B2 - マガジン位置決め排出装置及びこれを具備したボンディング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マガジン位置決め排出
装置とこれを具備したボンディング装置とに関する。

【０００２】

【従来技術】この種の装置の一例として、図１２乃至図
１４に示すワイヤボンディング装置がある。なお、当該
ワイヤボンディング装置はその詳細な構成が実開平４−
２０２３２号公報等において開示されている故、ここで
は装置全体としての説明は概略に留め、要部のみについ
て詳しく説明する。

【０００３】図１２に示すように、当該ワイヤボンディ
ング装置においては、複数枚のリードフレームＬ＼Ｆを
配列収容（紙面に対して垂直な方向において配列）した
マガジンＭがマガジン位置決め排出装置としてのローダ
１５１に装填される。該各リードフレームＬ＼Ｆにはそ
の長手方向に沿って複数のＩＣチップ１５３が等ピッチ
にて装着されている。

【０００４】装填されたマガジンＭ内の各リードフレー
ムＬ＼Ｆのうち例えば最下段の１枚が図示しないフレー
ム移送手段によって取り出され、ボンディングステージ
たるヒータープレート１５５上に移送される。なお、該
フレーム移送手段により移送されるリードフレームＬ＼
Ｆは、その両側に対応するように配置された１対のガイ
ドレール１５７、１５８により案内される。

【０００５】上記のようにリードフレームＬ＼Ｆがヒー
タープレート１５５上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームＬ＼Ｆを各ＩＣチップ１５３の配
列ピッチずつ間欠送りし、これに伴って各ＩＣチップ１
５３と該リードフレームに形成されているリード（図示
せず）とが、ボンディング手段１６０により導電性のワ
イヤを用いてボンディング接続される。そして、ボンデ
ィングを完了したリードフレームＬ＼Ｆは、上記フレー
ム移送手段によって更に後送され、ローダ１５１と同様
の構成を有するマガジン位置決め排出装置としてのアン
ローダ１６２に装填されている空のマガジンＭ内に収容
される。

【０００６】次に、後述する位置決め手段が作動するこ
とによって、マガジンＭがその収容した各リードフレー
ムＬ＼Ｆの配列ピッチの１ピッチ分だけ下降させられ、
上記の一連の動作が最下段から２枚目のリードフレーム
について行われる。以下、マガジンＭ内の各リードフレ
ームＬ＼Ｆについてボンディングを終了するまで繰り返
される。

【０００７】ここで、上記ローダ１５１について詳述す
る。なお、前述したように、アンローダ１６２に関して
はローダ１５１と同様の構成である故、その説明を省略
する。

【０００８】図１２にその概略を示すように、ローダ１
５１は、マガジンＭ内に配列収容された各リードフレー
ムＬ＼Ｆを前述したフレーム移送手段をして１枚ずつ押
し出させるために該マガジンＭをリードフレームＬ＼Ｆ
の配列ピッチずつ下降若しくは上昇（紙面に対して垂直
な方向）させて位置決めする位置決め手段１６５と、該
位置決め手段１６５を搭載した可動ベース１６６と、該
可動ベース１６６上に設けられて該マガジンＭをその移
動方向に対して垂直な水平面内において規制する規制手
段１６７とを有している。但し、該規制手段１６７によ
るマガジンＭの規制とは、マガジンＭを完全に固定状態
とする訳ではなく、マガジンＭとの間に適当な隙間を隔
てての規制であり、上記位置決め手段１６５の作動によ
るマガジンＭの下降（若しくは上昇）動作を可能とする
ものである。

【０００９】上記可動ベース１６６は、当該ワイヤボン
ディング装置の本体である架台１７０上に図示しない案
内機構を介して取り付けられ、矢印０にて示す方向、す
なわち前述の両ガイドレール１５７，１５８により画定
されるフレーム搬送路に対して垂直な方向において位置
調整可能となっている。そして、図１３に示す調整手段
１７２により移動させられる。図示のように、この調整
手段１７２は、可動ベース１６６が移動すべき方向０に
おいて延在して設けられてその両端部にて軸受１７４に
より軸支されたねじ軸１７５と、該ねじ軸１７５に螺合
すると共に可動ベース１６６に結合されたナット１７６
と、該ねじ軸１７５を回転駆動するパルスモータ１７７
とを備えている。

【００１０】次に、上記位置決め手段１６５については
下記のように構成されている。

【００１１】すなわち、図１３に示すように、矢印Ｚに
て示す上下方向において延在して設けられて軸受１８０
を介して可動ベース１６６に取り付けられたねじ軸１８
１と、該ねじ軸１８１を回転駆動するパルスモータ１８
２と、該ねじ軸１８１に螺合した昇降部材１８３と、該
昇降部材１８３に結合し、マガジンＭを担持する可動担
持部材としてのマガジン受部１８５と、該マガジン受部
１８５の先端部に摺動可能（矢印Ｐ方向）に設けられて
マガジンＭを押え保持するためのチャック１８６とを有
している。

【００１２】一方、上記位置決め手段１６５と共に可動
ベース１６６上に設けられた規制手段１６７について
は、図１４に示すように構成されている。

【００１３】図１４に示すように、この規制手段１６７
は、略Ｌ字状に形成されたフレーム１９０を有してお
り、該フレーム１９０は上記可動ベース１６６に対して
固定されている。また、該フレーム１９０の屈曲部の近
傍には断面形状がＬ字状の規制部材１９２が配置されて
おり、これも上記可動ベース１６６に対して固定されて
いる。

【００１４】上記フレーム１９０の一辺には、上記の規
制部材１９２と協働してマガジンＭをその幅方向（矢印
Ｒ方向）において規制するための規制部材１９３が該幅
方向において移動可能に取り付けられている。この規制
部材１９３にはナット１９４が固着され、フレーム１９
０に該規制部材１９３の移動方向と平行に取り付けられ
たねじ軸１９５に該ナット１９４が螺合している。ま
た、フレーム１９０上には、該ねじ軸１９５を回転駆動
するパルスモータ１９７が固設されている。なお、両規
制部材１９２、１９３は、その各々の長さ（図１４にお
ける紙面に対して垂直な方向の寸法）が、複数のマガジ
ンＭを重ねた状態でガイドできるように設定されてい
る。

【００１５】上記規制部材１９３には、その略全長にわ
たってカム１９９が設けられている。このカム１９９
は、図１３に示したチャック１８６をマガジン受部１８
５上のマガジンＭに対して脱着させるべく駆動するもの
である。

【００１６】一方、フレーム１９０の他方の辺には、固
定側としての上記規制部材１９２と協働してマガジンＭ
をその長さ方向（矢印Ｓ方向）において規制するための
規制部材２０３が該長さ方向において移動可能に取り付
けられている。該規制部材２０３にはナット２０４が固
着され、フレーム１９０に該規制部材２０３の移動方向
と平行に取り付けられたねじ軸２０５に該ナット２０４
が螺合している。また、フレーム１９０には、該ねじ軸
２０５を回転駆動するパルスモータ２０７が固設されて
いる。なお、該規制部材２０３は、上下方向（紙面に対
して垂直な方向）において、上記した規制部材１９２及
び１９３と略同じ長さを有している。

【００１７】また、図１４に示すように、上記規制部材
２０３の所定位置にはマガジンプッシャー２１０が設け
られている。

【００１８】次に、上記した構成のローダ１５１の動作
について説明する。

【００１９】まず、図１４に示す各規制部材１９２、１
９３及び２０３により囲まれる空間内に、上方から、複
数のマガジンＭを重ねるようにして挿入し、図１３に示
すマガジン受部１８５上に載置する。この状態で作動指
令信号が発せられ、図１４に示す各パルスモータ１０
７、２０７が共に正回転させられる。これにより、両規
制部材１９３及び２０３が各々規制部材１９２に向けて
移動し、各マガジンＭは規制される。なお、この規制動
作が完了したことは、上記両規制部材１９３、２０３上
に設けられた検知手段２１２及び２１３（図１４参照）
によって検知される。また、この規制動作と同時に、図
１３に示すパルスモータ１７７が回転させられて可動ベ
ース１６６が移動し、図１２に示す各ガイドレール１５
７、１５８により画定されるフレーム搬送路に対してマ
ガジンＭ内のリードフレームＬ＼Ｆが円滑に流入すべ
く、マガジンＭの幅方向の位置出しが行われる。但し、
前述してように、このとき、上記各規制部材１９２、１
９３、２０３とマガジンＭとの間には適当な隙間が設け
られ、図１３に示す位置決め手段１６５の作動によるマ
ガジンＭの下降（若しくは上昇）動作を可能とする。

【００２０】次いで、図１３に示すパルスモータ１８２
が回転させられ、各マガジンＭはこれを担持したマガジ
ン受部１８５と共に、収容しているリードフレームＬ＼
Ｆの配列ピッチずつ下降する。前述したように、このマ
ガジンＭの下降動作に連動して、リードフレームＬ＼Ｆ
が１枚ずつマガジン外に取り出され、ボンディングが行
われる。

【００２１】かくして、１つ目、すなわち最下段のマガ
ジンＭ内のすべてのリードフレームＬ＼Ｆについてボン
ディングが終了して該マガジンＭが空になると、図１４
に示したマガジンプッシャー２１０が突出動作させら
れ、これによって、上方に位置する２つ目のマガジンＭ
が規制部材１９２に対して押圧固定される。そして、空
になった１つ目のマガジンＭのみがマガジン受部１８５
と共に更に下降させられて回収位置に達し、該マガジン
受部１８５上から回収される。

【００２２】１つ目のマガジンが回収されると、マガジ
ン受部１８５は再び上昇させられ、２つ目のマガジンＭ
の底面に当接してこれを受ける。この時点で上記マガジ
ンプッシャー２１０が引込動作させられ、該マガジンＭ
はマガジン受部１８５により担持される。以下、１つ目
のマガジンに対すると同様の一連の動作が行われ、この
２つ目のマガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆに関し
てもボンディングが施される。

【００２３】ところで、上述したマガジンＭの回収のた
めに、下記の構成が多く採用される。

【００２４】図１３において、マガジン受部１８５につ
き、これが最上昇位置及び最下降位置にある状態を夫々
実線及び二点鎖線にて示している。この最上昇位置と
は、前述したマガジンプッシャー２１０（図１４参照）
が引込動作を行うことによって、リードフレームＬ＼Ｆ
を収容したマガジンＭが当該マガジン受部１８５に対し
て供給される供給位置である。また、最下降位置とは、
空になったマガジンＭを回収すべき位置まで持ち来すた
めの位置である。図示のように、この回収位置にはマガ
ジンＭを受ける受台２１５が設けられ、マガジン受部１
８５が上記最下降位置に至ることにより、マガジンＭは
該受台２１５上に載置される。なお、該マガジンＭは、
マガジン受部１８５が該最下降位置に達するよりも少し
上方にて受台２１５上に当接してこれに載せられるので
あり、マガジン受部１８５は該最下降位置に達した時点
では該マガジンＭから離脱する状態となる。

【００２５】上記のように受台２１５上に載置されたマ
ガジンＭを作業者等による回収作業に供すべく前方に向
けて排出するマガジン排出手段が設けられている。この
マガジン排出手段は、図１３において各々二点鎖線及び
実線で示す排出位置及び非排出位置の間で往復動自在に
してマガジンＭを排出するための排出部材２１７と、該
排出部材２１７を作動させるエアシリンダ機構などの駆
動手段（図示せず）とからなる。該排出手段は、前述し
た位置決め手段１６５との関係から、図１５に示すタイ
ミングにて作動する。

【００２６】図１５における（ａ）は、上記位置決め手
段１６５が具備するマガジン受部１８５の位置と、ボン
ディング装置作動の経過時間との関係を示す図である。
また、図１５の（ｂ）はこの図１５の（ａ）における経
過時間に対応して上記排出手段が如何に作動するかを示
す図であり、該図においてＯＮとは上記排出部材２１７
が排出位置に移動している状態を示し、ＯＦＦは非排出
位置に移動している状態を示す。該図に示すように、ボ
ンディング作業に伴うマガジン受部１８５の１ピッチず
つの間欠的下降動作によって時間ｔ₂ −ｔ₁ が経過し、
この時刻ｔ₂ に達すると該マガジン受部１８５は最下降
位置に速やかに下降する。これにより、空となった１つ
目のマガジンＭが図１３に示す受台２１５上に載置され
る。この載置と同時に上記排出部材２１７が非排出位置
から排出位置に向けて移動して該マガジンＭは装置の前
方に排出され、作業者等により回収される。この後、時
間ｔ₃ −ｔ₂ の経過を待ってマガジン受部１８５が最上
昇位置へと移動し、続く時間ｔ₄ −ｔ₃ の間に２つ目の
マガジンＭが供給され、担持する。また、この時刻ｔ₃
において上記排出部材２１７が非排出位置に戻される。
そして、この２つ目のマガジン内の各リードフレームに
関するボンディング作業に時間ｔ₅ −ｔ₄ が経過し、以
降、上記と同様に一連の作業が続けられる。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の装置に
おいては、一旦排出されたマガジンＭが装置の振動によ
って、受台２１５上を装置後方（図１３における右方）
に向けて逆戻りすることが懸念され、この場合、後続の
マガジンＭを担持して下降してくるマガジン受部１８５
が該マガジンに衝突し、両者が損傷する恐れがある。

【００２８】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、排出したマガジンと装置作動部との
衝突を防止したマガジン位置決め排出装置及びこれを具
備したボンディング装置を提供することを目的としてい
る。

【００２９】

【課題を解決するための手段】本発明は、フレームを複
数枚配列収容するマガジンを該マガジンが供給される供
給位置にて可動担持部材上に担持してフレーム配列方向
において移動させて位置決めすると共に、所定回収位置
まで持ち来し得る位置決め手段と、排出位置及び非排出
位置の間で往復動自在な排出部材を具備して前記回収位
置に至ったマガジンを該排出部材によって前記位置決め
手段による位置決めの方向に対して交差する方向に排出
するマガジン排出手段とを有するマガジン位置決め排出
装置において、排出したマガジンの排出方向とは反対側
の面に係合し得る位置に前記可動担持部材が達したとき
に前記排出部材を前記排出位置から非排出位置に作動さ
せるように構成したものである。また、本発明は、フレ
ームを複数枚配列収容するマガジンを該マガジンが供給
される供給位置にて可動担持部材上に担持してフレーム
配列方向において移動させて位置決めすると共に、所定
回収位置まで持ち来し得る位置決め手段と、前記フレー
ムを該マガジン及びボンディングステージの間で移送す
るフレーム移送手段と、排出位置及び非排出位置の間で
往復動自在な排出部材を具備して前記回収位置に至った
マガジンを該排出部材によって前記位置決め手段による
位置決めの方向に対して交差する方向に排出するマガジ
ン排出手段とを有するボンディング装置において、排出
したマガジンの排出方向とは反対側の面に係合し得る位
置に前記可動担持部材が達したときに前記排出部材を前
記排出位置から非排出位置に作動させるように構成した
ものである。

【００３０】

【実施例】次に、本発明の実施例としてのワイヤボンデ
ィング装置について添付図面を参照しつつ説明する。な
お、本実施例ではワイヤボンディングを例として説明す
るが、本発明はダイボンディング等にも適用可能である
ことは勿論である。また、当該ワイヤボンディング装置
は、以下に説明する部分以外は図１２乃至図１４に示し
た従来のワイヤボンディング装置と同様に構成されてい
る故、ワイヤボンディング装置全体としての説明は省略
し、要部のみの説明に留める。また、以下の説明におい
て、該従来のワイヤボンディング装置の構成部分と同一
の構成部分に関しては同じ参照符号を付している。

【００３１】図１乃至図３において参照符号１にて示す
のはマガジン位置決め排出装置としてのローダであり、
該ローダ１は図１２における各ガイドレール１５７、１
５８及びボンディング手段１６０の左側、すなわちリー
ドフレーム搬送方向上流側に配置される。該ローダ１に
は未ボンディング状態のリードフレームＬ＼Ｆを多数配
列収容したマガジンＭが装填され、該マガジンから該リ
ードフレームＬ＼Ｆを１枚ずつ取り出してボンディング
手段１６０に向けて供給することを行う。なお、図１２
における各ガイドレール１５７、１５８の右側には、他
のマガジン位置決め排出装置として、空のマガジンＭが
装填されたアンローダ（図示せず）が配設されている。
該アンローダは、上記ボンディング手段１６０によりボ
ンディングを施されて搬送されてくるリードフレームＬ
＼Ｆを該マガジン内に順次受け入れて配列収納すること
を行う。該アンローダは上記ローダ１とほぼ同様の構成
である故、該アンローダについての説明は省略し、ロー
ダ１についてのみ説明する。

【００３２】ローダ１は、図２乃至図４において参照符
号５にて示す位置決め手段を有している。この位置決め
手段５には上述したように多数のリードフレームＬ＼Ｆ
を収容したマガジンＭが装着され、該位置決め手段５は
該マガジンＭをその収容したリードフレームＬ＼Ｆの配
列ピッチずつ間欠的に下降させて位置決めすることを行
う。また、図１において参照符号６にて示すのは押出手
段であり、該押出手段６は、上記位置決め手段５による
マガジンＭの間欠的な下降位置決め動作に合わせ、該マ
ガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆを最下段のものか
ら１枚ずつボンディング位置に向けて移送すべく押し出
すことを行う。なお、該押出手段６によりマガジンＭ外
に押し出されたリードフレームＬ＼Ｆは、図示しないフ
レーム移送手段によってボンディング位置に向けて移送
され、ボンディング終了後は該フレーム移送手段によっ
て更に後送されて前述したアンローダ上のマガジンＭ内
に収容される。

【００３３】まず、上記位置決め手段５について詳述す
る。

【００３４】図４から特に明らかなように、この位置決
め手段５は装置架台１７０に固定されたベース８上に設
けられており、矢印Ｚにて示す上下方向において延在し
て設けられて軸受１０を介して該ベース８に取付けられ
たねじ軸１２と、該ねじ軸１２を回転駆動するパルスモ
ータ１３と、該ねじ軸１２に螺合した昇降部材１４と、
該昇降部材１４に結合し、マガジンＭを受けるマガジン
受部１５すなわち可動担持部材とを有している。ねじ軸
１２の上端部及びパルスモータ１３の出力軸１３ａには
夫々歯付ベルト車１２ｂ，１３ｂが嵌着され、該両歯付
ベルト車に歯付ベルト１７が掛け回されており、これに
よって動力の伝達がなされる。なお、これらパルスモー
タ１３等は図１にも示している。また、パルスモータ１
３はブラケット１９を介して上記ベース８に取付けられ
ている。

【００３５】ローダ１は、また、上述した構成の位置決
め手段５により移動せられるマガジンＭをその移動方
向、すなわち各リードフレームＬ＼Ｆの配列方向に対し
て垂直な面内において規制する規制手段を有しており、
次いで、この規制手段について説明する。なお、該規制
手段も上記位置決め手段５と共に上記ベース８上に設け
られ、装置架台１７０に対して固定された状態となって
いる。

【００３６】図１乃至図３に示すように、当該規制手段
は、上記ベース８上に固設された固定フレーム２１と、
各々固定フレーム２１上に矢印Ｇにて示す方向において
往復動自在に設けられた一対の可動フレーム２３及び２
４と、該各可動フレーム２３、２４を夫々移動させる駆
動手段２６及び２７とを有している。両可動フレーム２
３、２４と固定フレーム２１との間には、トラックレー
ル２９ａ、３０ａ及びスライダ２９ｂ、３０ｂからなる
直動案内ユニットが介装され、これによって該両可動フ
レーム２３、２４が上記矢印Ｇ方向において可動となっ
ている。なお、図１及び図２に示すように、可動フレー
ム２３上の所定位置には、出力ロッド３１ａを具備した
マガジンプッシャー３１が設けられている。

【００３７】上記各駆動手段２６及び２７については次
のように構成されている。

【００３８】まず、駆動手段２６は、図１及び図２に示
すようにこれが駆動すべき可動フレーム２３の移動方向
Ｇにおいて延在して設けられて軸受３３を介して固定フ
レーム２１に取り付けられたねじ軸３４と、該ねじ軸３
４を回転駆動するパルスモータ３５と、該ねじ軸３４に
螺合すると共に可動フレーム２３に固着されたナット３
６とを有している。ねじ軸３４の一端部及びパルスモー
タ３５の出力軸３５ａには各々歯付ベルト車３４ｂ，３
５ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト３７が
掛け回されており、これによってパルスモータ３５より
の動力がねじ軸３４に伝達される。また、ねじ軸３４の
一端部にはカップリング３９を介して信号発生手段とし
てのエンコーダ４０が連結されている。このエンコーダ
４０は、上記パルスモータ３５の回転量に応じたパルス
信号を発する。

【００３９】一方、可動フレーム２４を駆動する駆動手
段２７に関しても同様であり、図１及び図３に示すよう
に、可動フレーム２４の移動方向Ｇにおいて延在して設
けられて軸受４３を介して固定フレーム２１に取り付け
られたねじ軸４４と、該ねじ軸４４を回転駆動するパル
スモータ４５と、該ねじ軸４４に螺合すると共に可動フ
レーム２４に固着されたナット４６とを有している。ね
じ軸４４の一端部及びパルスモータ４５の出力軸４５ａ
には各々歯付ベルト車４４ｂ，４５ｂが嵌着され、該両
歯付ベルト車に歯付ベルト４７が掛け回されており、こ
れによって動力伝達が行われる。また、ねじ軸４４の一
端部にはカップリング４９を介して信号発生手段として
のエンコーダ５０が連結されている。このエンコーダ５
０は、上記パルスモータ４５の回転量に応じたパルス信
号を発する。

【００４０】図１及び図３に示すように、上記した可動
フレーム２４上には、可動ブラケット５３が矢印Ｈ（図
１参照）にて示す方向において往復動自在に設けられて
いる。詳しくは、この可動ブラケット５３と可動フレー
ム２４との間にはトラックレール５４ａ及びスライダ５
４ｂからなる直動案内ユニットが介装され、これによっ
て該可動ブラケット５３が可動となっている。

【００４１】なお、上記矢印Ｈ方向は前述した矢印Ｇ方
向に対して垂直であり、マガジンＭの長さ方向及び幅方
向がこれら矢印Ｈ及びＧ方向に夫々一致するようになさ
れている。

【００４２】上記可動ブラケット５３を移動させる駆動
手段５６が設けられており、該駆動手段５６は次のよう
に構成されている。

【００４３】図１乃至図３に示すように、この駆動手段
５６は、可動ブラケット５３が移動すべき矢印Ｈ方向
（図１参照）において延在して設けられて軸受６３を介
して可動フレーム２４に取付けられたねじ軸６４と、該
ねじ軸６４を回転駆動するパルスモータ６５と、該ねじ
軸６４に螺合すると共に可動ブラケット５３に固着され
たナット６６とを有している。ねじ軸６４の一端部及び
パルスモータ６５の出力軸６５ａには各々歯付ベルト車
６４ｂ、６５ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベ
ルト６７が掛け回されており、これによってパルスモー
タ６５よりの動力がねじ軸６４に伝達される。また、ね
じ軸６４の一端部にはカップリング６９を介して信号発
生手段としてのエンコーダ７０が連結されている。この
エンコーダ７０は、上記パルスモータ６５の回転量に応
じたパルス信号を発する。

【００４４】図１乃至図３に示すように、前述した各可
動フレーム２３及び２４並びに可動ブラケット５３に
は、マガジンＭを規制するための長尺の規制部材７３，
７４及び７５が上下方向（矢印Ｚ方向）において延在し
た状態にて取付けられている。これら規制部材７３乃至
７５は、これらを夫々搭載した可動フレーム２３、２４
並びに可動ブラケット５３の作動により、互いに相対的
に近接及び離間する。なお、該可動フレーム２３、２４
及び可動ブラケット５３と、これら可動フレーム及び可
動ブラケットを駆動すべく設けられた各駆動手段２６、
２７及び５６について、該各規制部材７３、７４及び７
５を相対的に移動させる規制部材駆動手段と総称する。

【００４５】図から明らかなように、規制部材７３は全
体として矩形板状に形成され、一対設けられている。ま
た、他の規制部材７４及び７５は１本ずつ設けられ、図
１から明らかなように各々断面形状はＬ字状となってい
る。マガジンＭは、該両規制部材７４及び７５の各一辺
に形成された規制面７４ａ、７５ａと上記の矩形板状の
規制部材７３とによって、リードフレームＬ＼Ｆの移送
方向に対して垂直な方向、すなわち該マガジンの幅方向
において規制される。また、両規制部材７４及び７５の
各他辺に形成された規制面７４ｂ、７５ｂにより、マガ
ジンＭの長さ方向、すなわちリードフレーム移送方向に
おける規制が行われる。なお、図２に示すように、規制
部材７４には、リードフレームＬ＼Ｆをボンディング位
置に向けて搬送する際に該リードフレームＬ＼Ｆを通過
させるためのスリット７４ｄが形成されている。

【００４６】ところで、図１及び図２に示すように、マ
ガジンＭの幅方向における片側に配置された各規制部材
７３には、リードフレーム搬送レベル８０に対応する位
置を始めとして、その長手方向に沿って複数のローラ８
１が設けられている。これらのローラ８１のうち、特
に、リードフレーム搬送レベル８０に対応するものは、
マガジンＭをその他側に設けられた規制部材７４，７５
に向けて付勢するためのものである。該各ローラには該
各ローラをマガジンＭに当接させるべく押圧するための
機構（図示せず）が付加されている。

【００４７】次いで、図１に示した押出手段６の構成に
ついて詳細に説明する。

【００４８】図１に示すように、当該押出手段６は、該
押出手段６の本体部分を構成する可動フレーム８４を備
えている。図１に示すように、該可動フレーム８４は、
トラックレール８６ａ及びスライダ８６ｂからなる案内
手段としての直動案内ユニットを介してベース８、従っ
て当該ワイヤボンディング装置の架台１７０に対して直
線的に可動に取り付けられている。詳しくは、可動フレ
ーム８４には平板状の中継部材８７が一端にて固着さ
れ、該中継部材８７の他端がスライダ８６ｂに固着され
ている。該トラックレール８６ａはリードフレームＬ＼
Ｆを移送すべき方向において伸長しており、上記可動フ
レーム８４はこの方向において可動となっている。

【００４９】上記可動フレーム８４には、図示しない直
動案内ユニットを介して、アーム部材９３がリードフレ
ームＬ＼Ｆを移送すべき方向において可動に取り付けら
れており、該可動フレーム９３にはプッシャ９４が結合
されている。該プッシャ９４は、図１乃至図３に示した
マガジンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆに係合してこれ
を１枚ずつ押し出すための部材である。

【００５０】上述した可動フレーム８４と、直動案内ユ
ニット（図示せず）と、アーム部材９３と、これらに関
連する周辺の部材とによって、上記プッシャ９４を往復
動自在に支持する支持機構が構成されている。この支持
機構は、マガジンＭをリードフレーム移送方向において
規制する規制部材７５に対して下記のように結合されて
いる。

【００５１】図１に示すように、規制部材７５の端面に
はスライドプレート９６がその一端部にて取り付けられ
ている。図示のように、該スライドプレート９６はリー
ドフレーム移送方向に対して略垂直に伸長している。一
方、上記可動フレーム８４の上端部には２つのベアリン
グ（例えばボールベアリング）９７が配置されており、
スライドプレート９６は該両ベアリング９７により両側
から挟まれるように延在し、各ベアリングはスライドプ
レート９６との相対移動に伴って該スライドプレート９
６の両側面に沿って転動する状態となる。上記支持機構
と規制部材７５はかかる構成を介して結合されている。

【００５２】当該ワイヤボンディング装置においては、
上述のように、マガジンＭからリードフレームＬ＼Ｆを
押し出すためのプッシャ９４を往復動自在に支持した支
持機構について、該マガジンをリードフレーム移送方向
において規制する規制部材７５に対して結合している。
この構成によれば、リードフレームＬ＼Ｆの品種交換を
行うべくなされるマガジンＭの種類交換時に、該マガジ
ンＭを規制すべく該規制部材７５が規制部材駆動手段
（前述）によって駆動されて該マガジンＭに近接する際
に上記支持機構も該規制部材７５と連動してこの新たな
マガジン内のリードフレームの近傍所定位置に持ち来さ
れる。従って、マガジンＭからリードフレームＬ＼Ｆを
押し出すために必要なプッシャ９４の作動ストロークは
小さくて済み、その結果、該プッシャ９４を含む押出手
段６が小型となり、ワイヤボンディング装置全体として
の小型化が達成される。

【００５３】ところで、前述したように、上記支持機構
と規制部材７５は、スライドプレート９６及びベアリン
グ９７を介して結合している。これらスライドプレート
９６及びベアリング９７は、該支持機構及び規制部材７
５の双方をリードフレーム移送方向に対して垂直な方向
において相対的かつ直線的に案内する案内手段として作
用する。該支持機構と規制部材７５との間にこのような
案内手段を介装したのは、該規制部材７５がマガジンＭ
をリードフレーム移送方向において規制するだけでな
く、該リードフレーム移送方向に対して垂直な方向にお
いても可動にして該方向においてもマガジンＭを規制す
る作用をなすためである。すなわち、上記支持機構と規
制部材７５との間に上記のような案内手段を介装したこ
とにより、規制部材７５がマガジンＭをリードフレーム
移送方向に対して垂直な方向において規制すべく移動し
ようとも、スライドプレート９６とベアリング９７の相
対移動が行われるのみとなる。そして、規制部材７５が
マガジンＭをリードフレーム移送方向において規制すべ
く移動する際には、駆動力は該規制部材７５からスライ
ドプレート９６及びベアリング９７を順次介して上記支
持機構に伝達され、該支持機構は規制部材７５と共にリ
ードフレーム移送方向に移動することとなる。

【００５４】なお、上記規制部材７５を、本実施例のよ
うにリードフレーム移送方向及びこれに垂直な方向の２
方向に移動可能とせず、リードフレーム移送方向におい
てのみ可動とする場合、上記のような案内手段を設ける
必要はなく、規制部材７５を上記支持機構に対して直結
すればよい。

【００５５】上記の構成を採用したことによって、更に
下記の効果が奏される。

【００５６】すなわち、上記構成においては、上記支持
機構が結合されるのは、マガジンＭをリードフレーム移
送方向において規制する規制部材７５であるから、プッ
シャ９４は横ずれ、すなわちリードフレーム移送方向に
対して垂直な方向におけるずれを生ずることなく常にリ
ードフレーム後端の中央部（リードフレームの幅方向の
中央部）を押すこととなる。よって、プッシャ９４が横
ずれを生ずる場合にこれを修正して円滑なフレーム押出
しを行わせるために作業者によって行われるべき調整作
業は殆ど必要とせず、作業効率が向上する。

【００５７】更に、この他、従来はマガジンＭをワイヤ
ボンディング装置から取り外す際に、その取り外す方向
によってプッシャが妨げとなる場合、作業者がプッシャ
をマガジンとの干渉を回避し得る位置まで移動させなけ
ればならず作業性の低下を招来する原因となっていた
が、当該ワイヤボンディング装置においてはこの問題も
解決され、この点からも作業効率の向上が図られる。す
なわち、マガジンＭの取り外し時に上記規制部材７５に
よるマガジンＭの規制状態を解除すべく規制部材駆動手
段（前述）を作動させて該規制部材７５をマガジンＭか
ら離間する方向に移動させると、必然的にプッシャ９４
もマガジンＭから離間することとなり、上記のような作
業者によるプッシャの回避作業を行う必要がないのであ
る。

【００５８】なお、上述した押出手段６は、その具備す
る上記プッシャ９４を駆動するプッシャ駆動手段（図示
せず）を有している。また、図１２に示すように、上記
プッシャ９４によりマガジンＭ外に押し出されたリード
フレームＬ＼Ｆの先端がガイドレール１５７及び１５８
間の所定位置に達したことを検知するためのリードフレ
ーム検出センサ１３９が設けられている。この所定位置
とは、該リードフレームＬ＼Ｆを移送してヒータープレ
ート１５５上や更に後段のアンローダ（図示せず）に向
けて移動させるフレーム移送手段（図示せず）が、該リ
ードフレームＬ＼Ｆを受け取り得る位置である。上記プ
ッシャ駆動手段の作動によってプッシャ９４が上記ホー
ム位置から発進した後、リードフレームＬ＼Ｆをマガジ
ンＭ外に押し出し、該リードフレームＬ＼Ｆの先端がこ
のリードフレーム検出センサ１３９により検出される
と、その検出信号に応じて該プッシャ駆動手段は直ちに
停止される。かかる構成のため、取り扱われるリードフ
レームの種類が変更されてその長さが如何ように変わろ
うとも、プッシャ９４の作動ストロークはこれに合わせ
て自動的に調整されることとなり、各種リードフレーム
は確実に上記フレーム移送手段に受け渡される。

【００５９】続いて、これまで説明した構成に基づき、
当該ワイヤボンディング装置全体の作動制御について説
明する。

【００６０】図５に示すように、前述した各エンコーダ
４０、５０及び７０より発せられるパルス信号は、当該
ワイヤボンディング装置の作動制御を司る制御部（以
下、ＣＰＵと称する）１０４に送られ、該ＣＰＵ１０４
はこれらのパルス信号や、キーボード１０５及び撮像装
置（図示せず：図１２に示すヒータープレート１５５の
上方に配置されている）等より送信される信号を受け
て、各パルスモータ３５、４５、６５、１３及び押出手
段６並びにフレーム移送手段（図５のみに示すだけであ
り、具体的には図示してはいない）１０７及びボンディ
ング手段１６０（図１２参照）を後述のタイミングを以
て作動させる。

【００６１】まず、上記構成のワイヤボンディング装置
において、取り扱われるリードフレームＬ＼Ｆの種類が
変更される場合の調整動作について、図６乃至図９をも
参照しつつ説明する。この場合、上記ＣＰＵ１０４（図
５参照）はＲＯＭ（ＲｅａｄＯｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）
１０８に予め入力されている作業手順情報を読み出して
これに基づき作動制御を行う。また、後述のように、Ｒ
ＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１０
９に情報を入力し、記憶させる。

【００６２】キーボード１０５（図５参照）が操作され
ることなどによって指令信号が発せられると、ＣＰＵ１
０４は、図１に示す各パルスモータ３５、４５及び６５
を夫々逆回転させて各ねじ軸３４，４４及び６４を回転
駆動し、以て各可動フレーム２３，２４及び可動ブラケ
ット５３を移動させ、各規制部材７３，７４及び７５を
図６に示すように外側、すなわち互いに離間する方向に
移動させ、夫々の基準位置に位置決めする。この各規制
部材７３，７４，７５の相互離間方向における基準位置
を第１基準位置と称する。また、各規制部材７３，７
４，７５の相互近接方向における基準位置も第２基準位
置として設定している。各規制部材７３、７４及び７５
がこの第２基準位置にあるとき、当該ワイヤボンディン
グ装置にて取扱われるべき最小寸法のマガジンでも、こ
れら規制部材間に挿入することはできない。すなわち、
該第２基準位置とは、各規制部材７３、７４、７５の相
互の間隔が、この最小のマガジンの外径寸法よりも小と
なるように設定されているのである。

【００６３】従って、ＣＰＵ１０４は、各規制部材７
３、７４、７５が互いに近接する方向への移動を開始し
た後、該第２基準位置に至ると、これを以てマガジンが
装填されていない状態の検知と判定する。また、各規制
部材７３、７４、７５が上記第１基準位置より発進して
第２基準位置に向う間に各エンコーダ４０，５０及び７
０よりのパルス信号が得られなくなると、これを以て、
マガジンＭの規制完了及びその存在の検知とする。

【００６４】すなわち、マガジンＭが存在する場合にお
いては、各規制部材７３，７４，７５がマガジンＭに係
合した状態となればそれ以上移動し得ないことから、上
記各エンコーダ４０，５０，７０よりのパルス信号が断
たれる。この状態を以て検知として該各パルスモータを
停止する訳である。また、各規制部材７３、７４、７５
がマガジンＭに係合した後、単に各パルスモータ３５、
４５、６５を予め定めた作動量だけ逆回転させることに
よりマガジンＭと各規制部材７３、７４、７５との隙間
を常に正確に設定することができる。

【００６５】さて、前述のように、各規制部材７３，７
４，７５が相互に離間して第１基準位置に達すると、こ
の状態で該各規制部材の間に新たに取り扱うべきリード
フレームを収容したマガジンＭを例えば２つ、上下に重
ねた状態で上方から挿入し、位置決め手段５が具備する
マガジン受部１５上に載置する。

【００６６】この状態で作動指令信号が発せられ、例え
ば、マガジンＭの幅方向における片側に位置する規制部
材７３を駆動するためのパルスモータ３５が正回転せら
れ、図７に示すように該規制部材７３が他側の規制部材
７４，７５に向けて移動する。これにより、マガジンＭ
は該規制部材７３により押圧されて該両規制部材７４，
７５に押し付けられ、各規制部材７３，７４，７５によ
り幅方向において挾持された状態となる。但し、規制部
材７３に関してはそれ自体がマガジンＭに当接するので
はなく、図１及び図２に示すローラ８１が当接する。こ
の挾持状態になると、移動して来た規制部材７３はそれ
以上移動し得ないことからパルスモータ３５が停止し、
エンコーダ４０からのパルス信号が得られなくなる。Ｃ
ＰＵ１０４（図５参照）はこの状態を以てマガジン幅方
向の規制完了と共にマガジンの存在を確認してパルスモ
ータ３５への給電を停止する。なお、この際、パルスモ
ータ３５がその慣性によって数パルス分は余分に回転し
てしまうことを考慮し、パルスモータ停止後にこの数パ
ルス分だけ逆回転させることが好ましい。

【００６７】この後、上記パルスモータ３５が僅かに逆
回転せられる。これにより、上記各規制部材７３、７
４、７５とマガジンＭの側面との間に適当な隙間（図示
せず）が設けられる。

【００６８】次に、パルスモータ６５が正回転せられ
て、マガジンＭの長さ方向における片側に位置する規制
部材７５が図８に示すように他側に位置する規制部材７
４に向けて移動する。これにより、マガジンＭは該規制
部材７５により押圧されて規制部材７４に押し付けら
れ、該両規制部材７４，７５により長さ方向において挾
持された状態となる。上記規制部材７３の近接動作時と
同様に、このように挾持状態になると、規制部材７５は
それ以上移動し得ないことからパルスモータ６５が停止
し、エンコーダ７０からのパルス信号が得られなくな
る。上記ＣＰＵ１０４はこの状態を以てマガジン長さ方
向の規制完了を確認してパルスモータ６５への給電を停
止する。この後、パルスモータ６５が僅かに逆回転せら
れる。これにより、上記両規制部材７４、７５とマガジ
ンＭの端面との間に適当な隙間（図示せず）が設けられ
る。なお、この規制部材７５の移動に伴い、前述したプ
ッシャ９４及びその支持機構がこの新たなマガジンＭ内
のリードフレームＬ＼Ｆの近傍所定位置に持ち来され
る。

【００６９】かくして、マガジンＭは、各規制部材７
３、７４、７５により囲まれた状態にて上下方向におい
て移動自在となり、位置決め手段５によるマガジンＭの
昇降動作が可能となる。

【００７０】次いで、パルスモータ３５が逆回転せられ
ると共にパルスモータ４５が正回転せられ、図９に示す
ように、各規制部材７３、７４、７５がマガジン幅方向
に同じ分解能及び同じ速度にて同期して移動せられ、リ
ードフレームＬ＼Ｆを案内すべき経路の中心１１０に対
して、マガジンＭの幅方向における中心が一致した時点
で停止せられる。

【００７１】上記のようにマガジンＭの幅方向中心をリ
ードフレーム搬送経路の中心１１０に一致させるべく各
規制部材７３、７４、７５を同じ方向に移動させる際
（図９に図示の状態）、これら各規制部材の移動量につ
いては、その前工程として行われる一方の規制部材７３
のみの第１基準位置から停止位置までの移動量をＷとす
るならば、Ｗ／２に設定される。

【００７２】なお、上記のマガジンＭの位置出し動作と
並行して図１２に示すガイドレール１５７、１５８が、
該マガジンＭに収容されるべきリードフレームＬ＼Ｆを
搬送し得るようにそのレール間隔を調整される。このレ
ール間隔の調整は上記各規制部材７３、７４及び７５の
調整と同様に行われる。

【００７３】上述のようにして、新たに取り扱うべきリ
ードフレームＬ＼Ｆ及びマガジンＭに応じた調整が完了
する。ＣＰＵ１０４（図５参照）は、上記のようにして
調整を完了すると、各規制部材７３、７４及び７５並び
に各ガイドレール１５７、１５８（図１２参照）の設定
位置をＲＡＭ１０９（図５参照）に入力して記憶させ
る。そして、再び同種のリードフレームＬ＼Ｆ及びマガ
ジンＭが取り扱われる際にこの記憶した情報を読み出し
て直ちに位置設定を行う。このように、各規制部材７
３、７４、７５並びに各ガイドレール１５７、１５８の
位置設定を自動的にデジタル制御にて行い、品種毎のデ
ータを記憶し、必要に応じて該データを読み出すので品
種交換時の設定が容易に行え、時間の短縮、作業の簡素
化が図られる。

【００７４】上述のように調整が完了すると、図１に示
した押出手段６が作動させられる。これにより、重ねて
装填されている２つのマガジンＭのうち、下側のマガジ
ンＭ内に収容されているリードフレームＬ＼Ｆのうち最
下段の１枚が押し出される。なお、この押し出し時にお
けるマガジン受部１５及び各マガジンＭの、リードフレ
ーム搬送レベル８０に対する位置を図１０の（ａ）に示
している。この押し出されたリードフレームＬ＼Ｆはフ
レーム移送手段（図示せず）によってヒータープレート
１５５（図１２参照）上に移送される。

【００７５】上記のようにリードフレームＬ＼Ｆがヒー
タープレート１５５上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームＬ＼Ｆを各ＩＣチップ１５３（図
１２参照）の配列ピッチずつ間欠送りし、これに伴って
各ＩＣチップ１５３と該リードフレームに形成されてい
るリード（図示せず）とが、ボンディング手段１６０
（図１２参照）により導電性のワイヤを用いてボンディ
ング接続される。そして、ボンディングを完了したリー
ドフレームＬ＼Ｆは、上記フレーム移送手段によって更
に後送され、ローダ１と同様の構成を有するアンローダ
（図示せず）に装填されている空のマガジンＭ内に収容
される。

【００７６】次に、位置決め手段５が具備するパルスモ
ータ１３が作動することによって、マガジンＭを担持し
たマガジン受部１５がマガジンＭに収容された各リード
フレームＬ＼Ｆの配列ピッチの１ピッチ分だけ下降させ
られ、各マガジンＭも下降する。そして、上記の一連の
動作が最下段から２枚目のリードフレームについて行わ
れる。以下、１つ目のマガジンＭ内の各リードフレーム
Ｌ＼Ｆについてボンディングを終了するまで同様の動作
が繰り返される。なお、１つ目のマガジンＭ内のすべて
のリードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが終了し
た状態におけるマガジン受部１５及び各マガジンＭの、
リードフレーム搬送レベル８０に対する位置を図１０の
（ｂ）に示している。

【００７７】かくして、１つ目、すなわち下段のマガジ
ンＭ内のすべてのリードフレームＬ＼Ｆについてボンデ
ィングが終了して該マガジンＭが空になると、図１及び
図２に示したマガジンプッシャー３１の出力ロッド３１
ａが突出動作させられ、これによって、上方に位置する
２つ目のマガジンＭが規制部材７４、７５に対して押圧
固定される。そして、空になった１つ目のマガジンＭの
みがマガジン受部１５と共に更に下降させられて回収位
置に達し、該マガジン受部１５上から回収される。この
過程を図１０の（ｃ）及び（ｄ）に示す。

【００７８】１つ目のマガジンが回収されると、マガジ
ン受部１５は再び上昇させられ、２つ目のマガジンＭの
底面に当接してこれを受ける。この時点で上記マガジン
プッシャー３１の出力ロッド３１ａが引込動作させら
れ、該マガジンＭがマガジン受部１５により担持され
る。以下、１つ目のマガジンに対すると同様の一連の動
作が行われ、この２つ目のマガジンＭ内の各リードフレ
ームＬ＼Ｆに関してもボンディングが施される。なお、
図１０の（ｃ）に示すように、この時、更に次のマガジ
ンＭ（二点鎖線で示す）が追加される。

【００７９】ところで、当該ワイヤボンディング装置に
おいては、上述のようにしてローダ１上ですべてのリー
ドフレームＬ＼Ｆが取り出されて空になったマガジンＭ
の回収のために、下記の構成が付加されている。なお、
図示しないが、アンローダ（図示せず）においては、ボ
ンディング終了後のリードフレームが収容されたマガジ
ンの回収を行うために同様の構成が採用されている。

【００８０】図２において、マガジン受部１５につき、
これが最上昇位置及び最下降位置にある状態を夫々一点
鎖線及び二点鎖線にて示している。この最上昇位置と
は、前述したマガジンプッシャー３１（図１及び図２参
照）が引込動作を行うことによって、リードフレームＬ
＼Ｆを収容したマガジンＭが当該マガジン受部１５に対
して供給される供給位置であり、図１０の（ａ）の状態
がこれである。また、最下降位置とは、空になったマガ
ジンＭを回収すべき位置まで持ち来すための位置であ
り、図１０の（ｄ）の状態がこれである。図２に示すよ
うに、この回収位置にはマガジンＭを受ける受台１１１
が設けられ、マガジン受部１５が上記最下降位置に至る
ことにより、マガジンＭは該受台１１１上に載置され
る。なお、該マガジンＭは、マガジン受部１５が該最下
降位置に達するよりも少し上方にて受台１１１の上面に
当接してこれに載せられるのであり、図１０の（ｄ）に
示すように、マガジン受部１５は該最下降位置に達した
時点では該マガジンＭから離脱する状態となる。なお、
図１０の（ｄ）において、この離脱の距離をαにて示し
ている。また、受台１１１は図１にも示している。ま
た、上記マガジン受部１５の昇降の位置については、該
マガジン受部１５を昇降させるためのねじ軸１２に連結
されたエンコーダ１１３（図５参照：具体的には図示せ
ず、この図５のみに示す）より発せられるパルス信号に
基づいて検出される。

【００８１】上記のように受台１１１上に載置されたマ
ガジンＭを作業者等による回収作業に供すべく、上記位
置決め手段５による位置決め方向である上下方向に対し
て直行する前方に向けて排出するマガジン排出手段が設
けられている。このマガジン排出手段は、図２において
各々二点鎖線及び実線で示す排出位置及び非排出位置の
間で往復動自在にしてマガジンＭを排出するための排出
部材１１７と、該排出部材１１７をその出力軸１１８ａ
の往復動によって作動させる駆動手段としての（エア）
シリンダ機構１１８とからなる。なお、このシリンダ機
構１１８は図５にも示している。該排出手段は、前述し
た位置決め手段５との関係から、図１１に示すタイミン
グにて作動する。

【００８２】図１１における（ａ）は、上記位置決め手
段５が具備するマガジン受部１５の位置と、ボンディン
グ装置作動の経過時間との関係を示す図である。また、
図１１の（ｂ）はこの図１１の（ａ）における経過時間
に対応して上記排出手段が如何に作動するかを示す図で
あり、該図においてＯＮとは上記排出部材１１７が排出
位置に移動している状態を示し、ＯＦＦは非排出位置に
移動している状態を示す。該図に示すように、ボンディ
ング作業に伴うマガジン受部１５の１ピッチずつの間欠
的下降動作によって時間ｔ₂ −ｔ₁ が経過し、この時刻
ｔ₂ に達すると該マガジン受部１５は最下降位置に速や
かに下降する。これにより、空となった１つ目のマガジ
ンＭが図２に示す受台１１１上に載置される。この載置
と同時に上記排出部材１１７が非排出位置から排出位置
に向けて移動して該マガジンＭは装置の前方に排出さ
れ、作業者等により回収される。この後、時間ｔ₃ −ｔ
₂ の経過を待ってマガジン受部１５が最上昇位置へと移
動し、続く時間ｔ₄ −ｔ₃ の間に２つ目のマガジンＭが
供給され、担持する。そして、この２つ目のマガジン内
の各リードフレームに関するボンディング作業に時間ｔ
₅ −ｔ₄ が経過し、以降、上記と同様に一連の作業が続
けられる。

【００８３】ここで、図１１から明らかなように、空と
なった１つ目のマガジンＭを排出すべく上記排出位置に
移動されていた排出部材１１７が非排出位置に戻される
のは、２つ目のマガジンＭに関し、これに収容されてい
る各リードフレームＬ＼Ｆについてのボンディング作業
がある程度進んだ時点ｔα（上記時刻ｔ₃ からｔ₅ まで
の任意の時刻）である。この時、図２及び図１０の
（ｅ）に示すように、マガジン受部１５は、既に排出さ
れた１つ目のマガジンＭの排出方向とは反対側の面１２
０に先端が係合し得る位置に達している。

【００８４】従って、一旦排出された１つ目のマガジン
Ｍがワイヤボンディング装置の作動に伴う振動等によっ
て受台１１１上を装置後方（図２における右方）に向け
て逆戻りすることがあろうとも、上記マガジン受部１５
はこの排出されたマガジンＭの背面１２０に先端にて摺
接しつつ下降することとなり、該マガジンとの衝突は回
避される。

【００８５】当該ボンディング装置においては、上述し
た排出マガジンの逆戻り防止動作が、取り扱うべき各種
寸法のマガジンに関してなされる。これは、下記のティ
ーチングが行われることによる。

【００８６】まず、図２において二点鎖線にて示し、ま
た、図１０の（ｄ）に示すマガジン受部１５の位置、す
なわち、最下降位置を該マガジン受部１５の基準位置と
して設定している。但し、詳しくはマガジン受部１５の
マガジン担持面の位置である。そして、ある寸法のマガ
ジンＭについて、図１０の（ａ）乃至（ｅ）に示すよう
に一連の動作を行わせる。

【００８７】すなわち、第１に、マガジン受部１５を図
１０の（ａ）に示す最上昇位置に持ち来す。前述したよ
うに、この最上昇位置とは、供給されるマガジンＭを当
該マガジン受部１５が受け取る位置である、該マガジン
受部１５上に載置された下段のマガジンＭ内の最下段の
リードフレームの位置がリードフレーム搬送レベル８０
に一致する。自動的に、あるいは操作者が図５に示すキ
ーボード１０５を操作することなどにより、この最上昇
位置をＲＡＭ１０９（図５参照）に記憶させる。図１０
において、上記基準位置たる最下降位置からこの最上昇
位置までの距離をＳにて示している。この距離Ｓは、図
５に示したエンコーダ１１３より発せられるパルス数と
１パルス毎のマガジン受部１５の単位移動距離とを乗算
して得られ、この演算はＣＰＵ１０４（図５に図示）が
その具備した演算回路（図示せず）にて行う。

【００８８】第２に、マガジン受部１５が図１０の
（ｂ）の状態まで下降したとき、すなわち、下段のマガ
ジンＭ内の最上段のリードフレームの位置がリードフレ
ーム搬送レベル８０に一致したとき、該マガジン受部１
５の位置を上記ＲＡＭ１０９に記憶させる。このとき、
該マガジン受部１５の、上記最上昇位置からの距離は、
上記の距離Ｓと同様にしてＡとして算出される。また、
一方、マガジンＭ内におけるリードフレームの配列ピッ
チについて、Ａ／（ｎ−１）（ｎ：リードフレーム配列
段）として算出し、記憶させる。

【００８９】続いて、第３として、マガジン受部１５が
図１０の（ｃ）の状態まで下降したとき、すなわち、上
段のマガジンＭ内の最下段のリードフレームの位置がリ
ードフレーム搬送レベル８０に一致したとき、該マガジ
ン受部１５の位置を上記ＲＡＭ１０９に記憶させる。こ
のとき、図１０の（ｂ）に示すマガジン受部１５の位置
からの距離は、Ｂとして算出される。

【００９０】上記ＣＰＵ１０４は、上記の両距離Ａ及び
Ｂを加算（Ａ＋Ｂ）し、この加算値をマガジンＭの高さ
Ｔとして求め、該ＴをＲＡＭ１０９に記憶させる。図１
０の（ｅ）において参照符号Ｕにて示すのは、図２に示
した排出部材１１７を排出位置（二点鎖線で示す）から
非排出位置（実線で示す）に戻す際においてマガジン受
部１５がとるべき上記基準位置からの距離であるが、こ
れについて、Ｕ＜Ｔ＋αとすれば、排出されたマガジン
の逆戻りが該マガジン受部１５によって防止される訳で
ある。なお、このαに関しては前述しており、これは機
構上定まる数値であり、既知である。

【００９１】ＣＰＵ１０４は、上記Ｕの値として、Ｔ＋
αよりも小となる適宜の数値を設定し、上記ＲＡＭ１０
９に入力し、記憶させる。

【００９２】上記の一連のティーチングが各種寸法のマ
ガジンについて行われ、各種マガジンに関して上記Ｕの
値が記憶される。そして、再び同種のマガジンが取り扱
われる際にこの記憶した情報を読み出して直ちにマガジ
ン受部１５の位置設定を行う。なお、本実施例において
は、上記の各距離Ｓ、Ａ、Ｂ等をアナログ値として算出
して制御する場合を示しているが、エンコーダ１１３よ
り得られるパルス数そのものを用いてディジタル制御を
行ってもよいことは勿論である。

【００９３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
排出したマガジンと装置作動部との衝突が防止され、作
業を円滑に続けることができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るワイヤボンディング装置
の要部の、一部断面を含む平面図である。

【図２】図２は、図１に関する、一部断面を含むＡ−Ａ
矢視図である。

【図３】図３は、図１に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図４】図４は、図１に関する、一部断面を含むＣ−Ｃ
矢視図である。

【図５】図５は、図１乃至図４に示したワイヤボンディ
ング装置の動作制御系を示すブロック図である。

【図６】図６は、図１乃至図４に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図７】図７は、図１乃至図４に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図８】図８は、図１乃至図４に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図９】図９は、図１乃至図４に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図１０】図１０は、図１乃至図４に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。

【図１１】図１１は、図１乃至図４に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。

【図１２】図１２は、従来のワイヤボンディング装置の
平面図である。

【図１３】図１３は、図１２に示したワイヤボンディン
グ装置の要部の、一部断面を含む側面図である。

【図１４】図１４は、図１２に示したワイヤボンディン
グ装置の要部の平面図である。

【図１５】図１５は、図１２乃至図１４に示したワイヤ
ボンディング装置の動作説明図である。

【符号の説明】

Ｍ マガジン Ｌ＼Ｆ リードフレーム
（フレーム） １ ローダ（マガジン
位置決め排出装置） ５ 位置決め手段 ６ 押出手段 ８ ベース １３、３５、４５、６５ パルスモータ １４ 昇降部材 １５ マガジン受部（可
動担持部材） ２１ 固定フレーム ２３、２４ 可動フレーム ２６、２７、５６ 駆動手段 ３１ マガジンプッシャ
ー ４０、５０、７０、１１３ エンコーダ ５３ 可動ブラケット ７３、７４、７５ 規制部材 ８０ リードフレーム搬
送レベル ８４ 可動フレーム ９３ アーム部材 ９４ プッシャ １０４ ＣＰＵ １０５ キーボード １０７ フレーム移送手段 １０８ ＲＯＭ １０９ ＲＡＭ １１１ 受台 １１７ 排出部材 １１８ シリンダ機構 １５５ ヒータープレート １５７、１５８ ガイドレール １７０ 装置架台

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フレームを複数枚配列収容するマガジン
   を該マガジンが供給される供給位置にて可動担持部材上
   に担持してフレーム配列方向において移動させて位置決
   めすると共に、所定回収位置まで持ち来し得る位置決め
   手段と、排出位置及び非排出位置の間で往復動自在な排
   出部材を具備して前記回収位置に至ったマガジンを該排
   出部材によって前記位置決め手段による位置決めの方向
   に対して交差する方向に排出するマガジン排出手段とを
   有し、排出したマガジンの排出方向とは反対側の面に係
   合し得る位置に前記可動担持部材が達したときに前記排
   出部材を前記排出位置から非排出位置に作動させるよう
   になされていることを特徴とするマガジン位置決め排出
   装置。
2. 【請求項２】 前記可動担持部材の基準位置を設定し、
   排出したマガジンと係合し得る該可動担持部材の位置を
   該基準位置に基づき演算処理により求め、これを記憶手
   段に記憶させることを特徴とする請求項１記載のマガジ
   ン位置決め排出装置。
3. 【請求項３】 フレームを複数枚配列収容するマガジン
   を該マガジンが供給される供給位置にて可動担持部材上
   に担持してフレーム配列方向において移動させて位置決
   めすると共に、所定回収位置まで持ち来し得る位置決め
   手段と、前記フレームを該マガジン及びボンディングス
   テージの間で移送するフレーム移送手段と、排出位置及
   び非排出位置の間で往復動自在な排出部材を具備して前
   記回収位置に至ったマガジンを該排出部材によって前記
   位置決め手段による位置決めの方向に対して交差する方
   向に排出するマガジン排出手段とを有し、排出したマガ
   ジンの排出方向とは反対側の面に係合し得る位置に前記
   可動担持部材が達したときに前記排出部材を前記排出位
   置から非排出位置に作動させるようになされていること
   を特徴とするボンディング装置。