JP2890337B2 - 板状部材の処理装置 - Google Patents
板状部材の処理装置Info
- Publication number
- JP2890337B2 JP2890337B2 JP35316891A JP35316891A JP2890337B2 JP 2890337 B2 JP2890337 B2 JP 2890337B2 JP 35316891 A JP35316891 A JP 35316891A JP 35316891 A JP35316891 A JP 35316891A JP 2890337 B2 JP2890337 B2 JP 2890337B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- plate
- elevator
- unloader
- loader
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ローダ側マガジンに収
納されたリードフレーム等のような板状部材をワイヤボ
ンデイング装置、ダイボンデイング装置、検査装置等の
半導体装置組立装置（以下加工装置という）に供給し、
加工装置で加工が終了した板状部材をアンローダ側マガ
ジンへ移送して収納する板状部材の処理装置に関する。
納されたリードフレーム等のような板状部材をワイヤボ
ンデイング装置、ダイボンデイング装置、検査装置等の
半導体装置組立装置（以下加工装置という）に供給し、
加工装置で加工が終了した板状部材をアンローダ側マガ
ジンへ移送して収納する板状部材の処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、リードフレーム等の板状部材
は、図４に示すように、マガジン５０に積層する形で収
納されている。そこで、板状部材５１に加工を施す時
は、ローダ側のエレベータに板状部材５１が収納された
マガジン５０を位置決め載置し、アンローダ側のエレベ
ータに空のマガジンを位置決め載置する。そして、ロー
ダ側のマガジンより１枚ずつ板状部材を加工装置の加工
位置に送り出し、加工が終了した板状部材は、アンロー
ダ側のマガジンに１枚ずつ収納される。なお、この種の
装置として、例えば実公平２ー３８４４５号公報があげ
られる。
は、図４に示すように、マガジン５０に積層する形で収
納されている。そこで、板状部材５１に加工を施す時
は、ローダ側のエレベータに板状部材５１が収納された
マガジン５０を位置決め載置し、アンローダ側のエレベ
ータに空のマガジンを位置決め載置する。そして、ロー
ダ側のマガジンより１枚ずつ板状部材を加工装置の加工
位置に送り出し、加工が終了した板状部材は、アンロー
ダ側のマガジンに１枚ずつ収納される。なお、この種の
装置として、例えば実公平２ー３８４４５号公報があげ
られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記したように、板状
部材はマガジンに収納されて処理されるので、板状部材
を収納したマガジン毎に管理される。しかるに、上記従
来技術は、加工後の板状部材を加工前に収納されていた
マガジンと別個のマガジンに収納するので、その後の管
理が非常に煩わしいという問題点があった。また空のマ
ガジンを複数個用意しておく必要があり、設備費が高く
なると共に、該空のマガジンを保管するためのスペース
を必要とするという問題点があった。
部材はマガジンに収納されて処理されるので、板状部材
を収納したマガジン毎に管理される。しかるに、上記従
来技術は、加工後の板状部材を加工前に収納されていた
マガジンと別個のマガジンに収納するので、その後の管
理が非常に煩わしいという問題点があった。また空のマ
ガジンを複数個用意しておく必要があり、設備費が高く
なると共に、該空のマガジンを保管するためのスペース
を必要とするという問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、加工後の板状部材を、加
工前に収納されていたマガジンに収納することができる
板状部材の処理装置を提供することにある。
工前に収納されていたマガジンに収納することができる
板状部材の処理装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、板状部材が収納されたマガジンを位
置決め載置するローダ側エレベータと、このローダ側エ
レベータの側方に配設されたエレベータ装置によって上
下動させられるバッファマガジンと、このバッファマガ
ジンへ前記ローダ側エレベータ上のマガジン内の板状部
材を一度に移し換えるプッシャと、前記バッファマガジ
ン内の板状部材を１枚ずつ加工装置の加工位置に搬送す
ると共に、加工が終了した板状部材をアンローダ側に搬
送する板状部材搬送手段と、アンローダ側に設けられた
アンローダ側エレベータと、前記バッファマガジンに板
状部材を移し換えて空になったローダ側エレベータ上の
マガジンを前記アンローダ側エレベータ上に搬送するマ
ガジン搬送手段とを備えたことを特徴とする。
の本発明の構成は、板状部材が収納されたマガジンを位
置決め載置するローダ側エレベータと、このローダ側エ
レベータの側方に配設されたエレベータ装置によって上
下動させられるバッファマガジンと、このバッファマガ
ジンへ前記ローダ側エレベータ上のマガジン内の板状部
材を一度に移し換えるプッシャと、前記バッファマガジ
ン内の板状部材を１枚ずつ加工装置の加工位置に搬送す
ると共に、加工が終了した板状部材をアンローダ側に搬
送する板状部材搬送手段と、アンローダ側に設けられた
アンローダ側エレベータと、前記バッファマガジンに板
状部材を移し換えて空になったローダ側エレベータ上の
マガジンを前記アンローダ側エレベータ上に搬送するマ
ガジン搬送手段とを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】板状部材が収納されたマガジンをローダ側エレ
ベータ上に位置決め載置すると、プッシャによってマガ
ジン内の板状部材は全てバッファマガジン内に移し換え
られる。このバッファマガジンに板状部材を移し換えて
空になったローダ側エレベータ上のマガジンは、アンロ
ーダ側エレベータ上に搬送される。またバッファマガジ
ン内の板状部材は、１枚ずつ加工装置の加工位置に搬送
されて加工が施され、加工が終了した板状部材はアンロ
ーダ側エレベータ上のマガジンに収納される。
ベータ上に位置決め載置すると、プッシャによってマガ
ジン内の板状部材は全てバッファマガジン内に移し換え
られる。このバッファマガジンに板状部材を移し換えて
空になったローダ側エレベータ上のマガジンは、アンロ
ーダ側エレベータ上に搬送される。またバッファマガジ
ン内の板状部材は、１枚ずつ加工装置の加工位置に搬送
されて加工が施され、加工が終了した板状部材はアンロ
ーダ側エレベータ上のマガジンに収納される。
【０００７】このように、加工前の板状部材が収納され
ていたマガジンそのものがアンローダ側へ移送されて配
設され、該マガジンに加工が終了した板状部材が収納さ
れるので、管理が容易となる。またマガジンを余分に準
備しておく必要がなく、設備費が安くなると共に、保管
スペースが少なくてすむ。
ていたマガジンそのものがアンローダ側へ移送されて配
設され、該マガジンに加工が終了した板状部材が収納さ
れるので、管理が容易となる。またマガジンを余分に準
備しておく必要がなく、設備費が安くなると共に、保管
スペースが少なくてすむ。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図３によ
り説明する。図２に示すように、架台部１上には、支柱
２を介してベース板３が固定されている。ベース板３上
には、第１図に示すように、ワイヤボンデイング装置４
及びワイヤボンデイングされたワイヤ状態を検査する外
観検査装置５が並設されており、ワイヤボンデイング装
置４及び外観検査装置５の正面側には、板状部材を間欠
的に送るユニバーサルフィーダ６、７が直列に配設され
ている。ユニバーサルフィーダ７の右側には、マガジン
を載置するアンローダ側エレベータ８が配設されてお
り、アンローダ側エレベータ８はエレベータ装置９によ
って上下動させられる。前記ユニバーサルフィーダ６の
左側には、板状部材をガイドするガイドレール１０が配
設されており、ガイドレール１０上の板状部材は図示し
ない駆動手段で左右に往復駆動されるプッシャ１１によ
ってユニバーサルフィーダ６に送られる。
り説明する。図２に示すように、架台部１上には、支柱
２を介してベース板３が固定されている。ベース板３上
には、第１図に示すように、ワイヤボンデイング装置４
及びワイヤボンデイングされたワイヤ状態を検査する外
観検査装置５が並設されており、ワイヤボンデイング装
置４及び外観検査装置５の正面側には、板状部材を間欠
的に送るユニバーサルフィーダ６、７が直列に配設され
ている。ユニバーサルフィーダ７の右側には、マガジン
を載置するアンローダ側エレベータ８が配設されてお
り、アンローダ側エレベータ８はエレベータ装置９によ
って上下動させられる。前記ユニバーサルフィーダ６の
左側には、板状部材をガイドするガイドレール１０が配
設されており、ガイドレール１０上の板状部材は図示し
ない駆動手段で左右に往復駆動されるプッシャ１１によ
ってユニバーサルフィーダ６に送られる。
【０００９】ワイヤボンデイング装置４の背面側には、
エレベータ装置１５によって上下動させられるバッファ
マガジン１６が配設されている。バッファマガジン１６
の左側には、一部が該マガジンに伸びたベルトコンベア
１７が配設されている。そして、ベルトコンベア１７と
前記ガイドレール１０間には、ベルトコンベア１８が配
設され、ベルトコンベア１７上の板状部材はベルトコン
ベア１８によってガイドレール１０上に送られるように
なっている。前記バッファマガジン１６の右側には、板
状部材を収納したマガジン５０を載置するローダ側エレ
ベータ１９が配設されており、ローダ側エレベータ１９
は図示しないエレベータ装置によって上下動させられ
る。またローダ側エレベータ１９の右側には図示しない
駆動手段で左右方向に移動させられるプッシャ２０が配
設されており、プッシャ２０の先端にはローダ側エレベ
ータ１９に載置されたマガジン内の板状部材を一度に全
てを押し出すための押し出し板２１が設けられている。
エレベータ装置１５によって上下動させられるバッファ
マガジン１６が配設されている。バッファマガジン１６
の左側には、一部が該マガジンに伸びたベルトコンベア
１７が配設されている。そして、ベルトコンベア１７と
前記ガイドレール１０間には、ベルトコンベア１８が配
設され、ベルトコンベア１７上の板状部材はベルトコン
ベア１８によってガイドレール１０上に送られるように
なっている。前記バッファマガジン１６の右側には、板
状部材を収納したマガジン５０を載置するローダ側エレ
ベータ１９が配設されており、ローダ側エレベータ１９
は図示しないエレベータ装置によって上下動させられ
る。またローダ側エレベータ１９の右側には図示しない
駆動手段で左右方向に移動させられるプッシャ２０が配
設されており、プッシャ２０の先端にはローダ側エレベ
ータ１９に載置されたマガジン内の板状部材を一度に全
てを押し出すための押し出し板２１が設けられている。
【００１０】図１及び図２に示すように、前記ローダ側
エレベータ１９の下方の架台部１上には、右方向に伸び
てエアシリンダロッド２５が配設されており、エアシリ
ンダロッド２５には該エアシリンダロッド２５によって
移動させられるマガジン移送板２６が取り付けられてい
る。またエアシリンダロッド２５の右端側の架台部１上
には、前記アンローダ側エレベータ８の方向に伸びてエ
アシリンダロッド２７が配設されており、エアシリンダ
ロッド２７には該エアシリンダロッド２７によって移動
させられるマガジン移送板２８が取り付けられている。
また前記ベース板３の下面には、マガジン移送板２６よ
りマガジン移送板２８に空のマガジン５０を移載させる
プッシャ２９が取り付けられている。前記エアシリンダ
ロッド２７の上方のベース板３上には、エアシリンダロ
ッド３０が配設されており、エアシリンダロッド３０に
は該エアシリンダロッド３０によって移動させられるマ
ガジン払出し受３１が取り付けられている。またマガジ
ン移送板２８の上方で前記エレベータ装置９の上端側に
は、前記エアシリンダロッド３０と平行に伸びた支持板
３２が固定されており、支持板３２にはエアシリンダ３
３が固定され、エアシリンダ３３の作動ロットにはプッ
シャ３４が固定されている。
エレベータ１９の下方の架台部１上には、右方向に伸び
てエアシリンダロッド２５が配設されており、エアシリ
ンダロッド２５には該エアシリンダロッド２５によって
移動させられるマガジン移送板２６が取り付けられてい
る。またエアシリンダロッド２５の右端側の架台部１上
には、前記アンローダ側エレベータ８の方向に伸びてエ
アシリンダロッド２７が配設されており、エアシリンダ
ロッド２７には該エアシリンダロッド２７によって移動
させられるマガジン移送板２８が取り付けられている。
また前記ベース板３の下面には、マガジン移送板２６よ
りマガジン移送板２８に空のマガジン５０を移載させる
プッシャ２９が取り付けられている。前記エアシリンダ
ロッド２７の上方のベース板３上には、エアシリンダロ
ッド３０が配設されており、エアシリンダロッド３０に
は該エアシリンダロッド３０によって移動させられるマ
ガジン払出し受３１が取り付けられている。またマガジ
ン移送板２８の上方で前記エレベータ装置９の上端側に
は、前記エアシリンダロッド３０と平行に伸びた支持板
３２が固定されており、支持板３２にはエアシリンダ３
３が固定され、エアシリンダ３３の作動ロットにはプッ
シャ３４が固定されている。
【００１１】図３において、４０は制御部、４１はボン
デイング装置を操作するためのスイッチが配設された操
作パネル、４２は外観検査装置を操作するためのスイッ
チが配設された操作パネル、４３はボンデイング装置用
のモニタ、４４は外観検査装置用のモニタである。
デイング装置を操作するためのスイッチが配設された操
作パネル、４２は外観検査装置を操作するためのスイッ
チが配設された操作パネル、４３はボンデイング装置用
のモニタ、４４は外観検査装置用のモニタである。
【００１２】次に作用について説明する。始動前は、バ
ッファマガジン１６は上昇した状態にあり、ベルトコン
ベア１７はバッファマガジン１６の下方側に位置してい
る。ローダ側エレベータ１９も上昇した状態にある。マ
ガジン移送板２６はローダ側エレベータ１９の下方に位
置し、マガジン移送板２８はエアシリンダロッド２５側
に位置している。まず、板状部材を収納したマガジン５
０を図示しないロボット又は手動でローダ側エレベータ
１９上に位置決め載置する。これにより、前記マガジン
５０は、該マガジン５０の板状部材を収納されている溝
と、バッファマガジン１６の板状部材を収納する溝が対
向するような位置にある。次にプッシャ２０が作動して
押し出し板２１が前進し、押し出し板２１によって前記
マガジン５０内の板状部材は全て押し出されてバッファ
マガジン１６内に収納される。その後、押し出し板２１
が後退する。
ッファマガジン１６は上昇した状態にあり、ベルトコン
ベア１７はバッファマガジン１６の下方側に位置してい
る。ローダ側エレベータ１９も上昇した状態にある。マ
ガジン移送板２６はローダ側エレベータ１９の下方に位
置し、マガジン移送板２８はエアシリンダロッド２５側
に位置している。まず、板状部材を収納したマガジン５
０を図示しないロボット又は手動でローダ側エレベータ
１９上に位置決め載置する。これにより、前記マガジン
５０は、該マガジン５０の板状部材を収納されている溝
と、バッファマガジン１６の板状部材を収納する溝が対
向するような位置にある。次にプッシャ２０が作動して
押し出し板２１が前進し、押し出し板２１によって前記
マガジン５０内の板状部材は全て押し出されてバッファ
マガジン１６内に収納される。その後、押し出し板２１
が後退する。
【００１３】次にマガジン移送板２６がローダ側エレベ
ータ１９下側へ移送され、、その後ローダ側エレベータ
１９が下降し、該ローダ側エレベータ１９上の空のマガ
ジン５０はマガジン移送板２６の上面に載置される。そ
の後マガジン移送板２６がマガジン移送板２８の側面へ
移動し、マガジン移送板２６上の空のマガジン５０をプ
ッシャ２９によってマガジン移送板２８へ移し換える。
前記のように、マガジン移送板２６がマガジン移送板２
８の側方へ移動した後、ローダ側エレベータ１９は上昇
し、次の板状部材が収納されているマガジンを載置する
位置で停止する。次にエアシリンダロッド３０が作動し
てマガジン移送板２８上の空のマガジン５０をアンロー
ダ側エレベータ８の所まで移送する。続いてアンローダ
側エレベータ８が上昇してマガジン移送板２８上の空の
マガジン５０を受け取り、外観検査装置５で検査が終了
した板状部材を収納する位置まで上昇して停止する。そ
の後にマガジン移送板２８はマガジン移送板２６側へ移
動して停止する。
ータ１９下側へ移送され、、その後ローダ側エレベータ
１９が下降し、該ローダ側エレベータ１９上の空のマガ
ジン５０はマガジン移送板２６の上面に載置される。そ
の後マガジン移送板２６がマガジン移送板２８の側面へ
移動し、マガジン移送板２６上の空のマガジン５０をプ
ッシャ２９によってマガジン移送板２８へ移し換える。
前記のように、マガジン移送板２６がマガジン移送板２
８の側方へ移動した後、ローダ側エレベータ１９は上昇
し、次の板状部材が収納されているマガジンを載置する
位置で停止する。次にエアシリンダロッド３０が作動し
てマガジン移送板２８上の空のマガジン５０をアンロー
ダ側エレベータ８の所まで移送する。続いてアンローダ
側エレベータ８が上昇してマガジン移送板２８上の空の
マガジン５０を受け取り、外観検査装置５で検査が終了
した板状部材を収納する位置まで上昇して停止する。そ
の後にマガジン移送板２８はマガジン移送板２６側へ移
動して停止する。
【００１４】前記したようにバッファマガジン１６内に
全ての板状部材が収納されると、バッファマガジン１６
内の最下位の板状部材がベルトコンベア１７に当接する
までエレベータ装置１５によりバッファマガジン１６が
下降させられる。そして、ベルトコンベア１７が作動し
て板状部材は左側に移動させられてベルトコンベア１８
の上方に位置する。その後ベルトコンベア１８が上昇さ
せられ、ベルトコンベア１７上の板状部材はベルトコン
ベア１８上に移載される。次にベルトコンベア１８が作
動して板状部材はガイドレール１０の上方に移送され
る。続いてベルトコンベア１８が下降し、ベルトコンベ
ア１８上の板状部材はガイドレール１０上に移載され
る。そして、前記したようにアンローダ側エレベータ８
上の空のマガジンが受入れ体制にあることを確認する
と、ガイドレール１０上の板状部材はプッシャ１１によ
ってユニバーサルフィーダ６上に送り出される。そし
て、ユニバーサルフィーダ６によってワイヤボンデイン
グ装置４の前方に移送され、ワイヤボンデイング装置４
によってワイヤボンデイングが施される。ワイヤボンデ
イングが終了した板状部材はユニバーサルフィーダ６、
７によって外観検査装置５の前方に移送され、外観検査
装置５によって外観検査が行われる。
全ての板状部材が収納されると、バッファマガジン１６
内の最下位の板状部材がベルトコンベア１７に当接する
までエレベータ装置１５によりバッファマガジン１６が
下降させられる。そして、ベルトコンベア１７が作動し
て板状部材は左側に移動させられてベルトコンベア１８
の上方に位置する。その後ベルトコンベア１８が上昇さ
せられ、ベルトコンベア１７上の板状部材はベルトコン
ベア１８上に移載される。次にベルトコンベア１８が作
動して板状部材はガイドレール１０の上方に移送され
る。続いてベルトコンベア１８が下降し、ベルトコンベ
ア１８上の板状部材はガイドレール１０上に移載され
る。そして、前記したようにアンローダ側エレベータ８
上の空のマガジンが受入れ体制にあることを確認する
と、ガイドレール１０上の板状部材はプッシャ１１によ
ってユニバーサルフィーダ６上に送り出される。そし
て、ユニバーサルフィーダ６によってワイヤボンデイン
グ装置４の前方に移送され、ワイヤボンデイング装置４
によってワイヤボンデイングが施される。ワイヤボンデ
イングが終了した板状部材はユニバーサルフィーダ６、
７によって外観検査装置５の前方に移送され、外観検査
装置５によって外観検査が行われる。
【００１５】外観検査終了後の板状部材はユニバーサル
フィーダ７によって移送され、前記アンローダ側エレベ
ータ８上のマガジンに収納される。該マガジンに板状部
材が収納されると、マガジンは１ピッチ上昇させられ、
次の板状部材の受け入れ体制になる。また前記したよう
にバッファマガジン１６より板状部材が移送されると、
次の板状部材がベルトコンベア１７に当接するまでバッ
ファマガジン１６は下降させられる。そして、前記した
動作によってこの板状部材は移送されてワイヤボンデイ
ング及び外観検査が行われ、アンローダ側エレベータ８
上のマガジン５０に収納される。以後、この動作を順次
繰り返して行い、バッファマガジン１６内の板状部材の
全てがアンローダ側エレベータ８上のマガジン５０に収
納されると、エアシリンダ３３によってプッシャ３４が
作動してマガジンはマガジン払出し受３１上に移載され
る。ここで、マガジン払出し受３１は、マガジン５０に
板状部材が満杯になる前に、エアシリンダロッド３０に
よってマガジン払出し受３１がアンローダ側エレベータ
８の側面に移動してマガジン５０を受け取るために待機
する。マガジン払出し受３１が後退した後、アンローダ
側エレベータ８は下降して次の空のマガジンを受け入れ
る体制となる。なお、前記した動作は、制御部の信号に
よって行われる。
フィーダ７によって移送され、前記アンローダ側エレベ
ータ８上のマガジンに収納される。該マガジンに板状部
材が収納されると、マガジンは１ピッチ上昇させられ、
次の板状部材の受け入れ体制になる。また前記したよう
にバッファマガジン１６より板状部材が移送されると、
次の板状部材がベルトコンベア１７に当接するまでバッ
ファマガジン１６は下降させられる。そして、前記した
動作によってこの板状部材は移送されてワイヤボンデイ
ング及び外観検査が行われ、アンローダ側エレベータ８
上のマガジン５０に収納される。以後、この動作を順次
繰り返して行い、バッファマガジン１６内の板状部材の
全てがアンローダ側エレベータ８上のマガジン５０に収
納されると、エアシリンダ３３によってプッシャ３４が
作動してマガジンはマガジン払出し受３１上に移載され
る。ここで、マガジン払出し受３１は、マガジン５０に
板状部材が満杯になる前に、エアシリンダロッド３０に
よってマガジン払出し受３１がアンローダ側エレベータ
８の側面に移動してマガジン５０を受け取るために待機
する。マガジン払出し受３１が後退した後、アンローダ
側エレベータ８は下降して次の空のマガジンを受け入れ
る体制となる。なお、前記した動作は、制御部の信号に
よって行われる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、加工前の板状部材が収
納されたマガジンそのものがアンローダ側に配設され、
該マガジンに加工が終了した板状部材が収納されるの
で、管理が容易となる。またマガジンを余分に準備して
おく必要がなく、設備費が安くなると共に、保管スペー
スが少なくてすむ。
納されたマガジンそのものがアンローダ側に配設され、
該マガジンに加工が終了した板状部材が収納されるの
で、管理が容易となる。またマガジンを余分に準備して
おく必要がなく、設備費が安くなると共に、保管スペー
スが少なくてすむ。
【図１】本発明になる板状部材の処理装置の一実施例を
示す概略構成の平面図である。
示す概略構成の平面図である。
【図２】図１の概略構成の右側面図である。
【図３】図１の概略構成の正面図である。
【図４】マガジンの斜視図である。
４ ワイヤボンデイング装置 ５ 外観検査装置 ６、７ ユニバーサルフィーダ ８ アンローダ側エレベータ １０ ガイドレール １５ エレベータ装置 １６ バッファマガジン １７、１８ ベルトコンベア １９ ローダ側エレベータ ２０ プッシャ ２５ エアシリンダロッド ２６ マガジン移送板 ２７ エアシリンダロッド ２８ マガジン移送板 ２９ プッシャ ５０ マガジン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鎌田 秀春 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 竹内 隆志 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (72)発明者 富山 弘巳 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (72)発明者 上原 宏一 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/50
Claims (1)
- 【請求項１】 板状部材が収納されたマガジンを位置決
め載置するローダ側エレベータと、このローダ側エレベ
ータの側方に配設されたエレベータ装置によって上下動
させられるバッファマガジンと、このバッファマガジン
へ前記ローダ側エレベータ上のマガジン内の板状部材を
一度に移し換えるプッシャと、前記バッファマガジン内
の板状部材を１枚ずつ加工装置の加工位置に搬送すると
共に、加工が終了した板状部材をアンローダ側に搬送す
る板状部材搬送手段と、アンローダ側に設けられたアン
ローダ側エレベータと、前記バッファマガジンに板状部
材を移し換えて空になったローダ側エレベータ上のマガ
ジンを前記アンローダ側エレベータ上に搬送するマガジ
ン搬送手段とを備えたことを特徴とする板状部材の処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35316891A JP2890337B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 板状部材の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35316891A JP2890337B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 板状部材の処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166851A JPH05166851A (ja) | 1993-07-02 |
| JP2890337B2 true JP2890337B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=18429022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35316891A Expired - Fee Related JP2890337B2 (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 板状部材の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2890337B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0753009A (ja) * | 1993-08-12 | 1995-02-28 | Shinkawa Ltd | マガジン搬送装置 |
| JP3225338B2 (ja) * | 1995-07-13 | 2001-11-05 | 株式会社新川 | マガジン搬送装置 |
| JP3239048B2 (ja) * | 1995-07-13 | 2001-12-17 | 株式会社新川 | マガジン搬送装置 |
| JP3225337B2 (ja) * | 1995-07-13 | 2001-11-05 | 株式会社新川 | マガジン搬送装置 |
| JP3586096B2 (ja) * | 1998-04-30 | 2004-11-10 | 日本アビオニクス株式会社 | マガジン自動搬送装置 |
| CN114901022A (zh) * | 2022-04-05 | 2022-08-12 | 安徽鹿鼎科技有限公司 | 一种应用于电子数据的智能勘查设备 |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP35316891A patent/JP2890337B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05166851A (ja) | 1993-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2890337B2 (ja) | 板状部材の処理装置 | |
| JP2000118681A (ja) | トレイ搬送装置及び方法 | |
| JPS60153308A (ja) | プリント板給排装置 | |
| JP3041984B2 (ja) | ワイヤボンディング・システム | |
| US4003413A (en) | Machines for reforming and repackaging components | |
| JP2597391B2 (ja) | 自動保管検索装置およびその搬入機構ならびに搬出機構 | |
| JPH0134884B2 (ja) | ||
| JPS6040310A (ja) | 半導体装置の移送装置 | |
| JPS60153307A (ja) | プリント板給排装置 | |
| JPH11309419A (ja) | Ｎｇストッカ装置 | |
| CN210635264U (zh) | 端子台供料装置 | |
| JP2543963B2 (ja) | 半導体自動マ―キング装置 | |
| JPS62175324A (ja) | リ−ドフレ−ムの供給・排出装置 | |
| CN219476642U (zh) | 一种led叠料处理装置 | |
| JP2897455B2 (ja) | 捺印装置 | |
| JPS60132831A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JPH07172512A (ja) | リードフレーム処理装置、及びリードフレームとマガジンの物流方法 | |
| JPH0333716Y2 (ja) | ||
| JPH06140443A (ja) | リードフレーム供給装置 | |
| JPH06238609A (ja) | 釘打ち作業ライン | |
| JPH0150099B2 (ja) | ||
| CN113690103A (zh) | 铁芯与铁架绞合设备 | |
| JPS60248522A (ja) | 自動部品給排方式 | |
| JPS60132815A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH04359524A (ja) | 半導体製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990106 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090226 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090226 Year of fee payment: 10 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090226 Year of fee payment: 10 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100226 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110226 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110226 Year of fee payment: 12 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110226 Year of fee payment: 12 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |