JP2507416Y2 - 基板のバツフア装置 - Google Patents
基板のバツフア装置Info
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- JP2507416Y2 JP2507416Y2 JP1989038279U JP3827989U JP2507416Y2 JP 2507416 Y2 JP2507416 Y2 JP 2507416Y2 JP 1989038279 U JP1989038279 U JP 1989038279U JP 3827989 U JP3827989 U JP 3827989U JP 2507416 Y2 JP2507416 Y2 JP 2507416Y2
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- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
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- Control Of Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は例えば液晶表示装置（LCD）、薄膜トラン
ジスタ（TFT）等のガラス基板や、プリント基板等の薄
板状ワーク（以下単に基板と称する）を連続的に処理す
る装置の基板搬送路に付設配置される基板のバッファ装
置に関するものである。
ジスタ（TFT）等のガラス基板や、プリント基板等の薄
板状ワーク（以下単に基板と称する）を連続的に処理す
る装置の基板搬送路に付設配置される基板のバッファ装
置に関するものである。
〈従来の技術〉 この種の装置は、基板の連続処理装置の前段処理工程
と後段処理工程との間に配置され、後段処理工程に何ら
かの事故が発生した場合に、前段処理を終えた基板を一
時的にカセット内へ収容し、事故が解消した時点で、そ
の収容した基板を再び後段処理工程へ送り込む（以下バ
ッファ処理と称する）ためのものである。
と後段処理工程との間に配置され、後段処理工程に何ら
かの事故が発生した場合に、前段処理を終えた基板を一
時的にカセット内へ収容し、事故が解消した時点で、そ
の収容した基板を再び後段処理工程へ送り込む（以下バ
ッファ処理と称する）ためのものである。
このようなバッファ装置としては、従来より種々知ら
れており、その１つとして例えば特開昭54-114176号公
報に開示されたものがある。
れており、その１つとして例えば特開昭54-114176号公
報に開示されたものがある。
それは、基板搬送路上手側より搬送されてくる基板を
受け取って回収する回収側コンベアと、上下多段に形成
した基板収容溝を備え、回収した基板を一時的に収容す
るカセットと、カセットを位置決め可能に昇降する昇降
手段と、カセットから取り出した基板を下手側の基板搬
送路へ引き渡す払出し側ベルトコンベアと、昇降手段を
駆動制御するとともに上記ベルトコンベアを一組として
同時に作動させる制御手段とを具備して成り、バッファ
処理に際し基板の搬送順序が乱れないように「先入れ・
先出し（FIFO）方式」を採用したものである。
受け取って回収する回収側コンベアと、上下多段に形成
した基板収容溝を備え、回収した基板を一時的に収容す
るカセットと、カセットを位置決め可能に昇降する昇降
手段と、カセットから取り出した基板を下手側の基板搬
送路へ引き渡す払出し側ベルトコンベアと、昇降手段を
駆動制御するとともに上記ベルトコンベアを一組として
同時に作動させる制御手段とを具備して成り、バッファ
処理に際し基板の搬送順序が乱れないように「先入れ・
先出し（FIFO）方式」を採用したものである。
〈考案が解決しようとする課題〉 上記従来例のものは搬送順序が乱れない点で優れてい
るが、下記のような難点が指摘される。
るが、下記のような難点が指摘される。
イ．カセット内の基板収容溝に基板を収容したり、そこ
から基板を取り出す際に、上記一組のベルトコンベアで
基板を保持する構造であるため、回収側ベルトコンベア
と、払出し側ベルトコンベアとを別々に作動させること
ができない。従って、カセット内の基板収容溝に基板を
収容する作業と収容された基板を取り出す作業を同時に
行うことができない。
から基板を取り出す際に、上記一組のベルトコンベアで
基板を保持する構造であるため、回収側ベルトコンベア
と、払出し側ベルトコンベアとを別々に作動させること
ができない。従って、カセット内の基板収容溝に基板を
収容する作業と収容された基板を取り出す作業を同時に
行うことができない。
ロ．一般的に基板搬送路は多数の搬送ローラ等を備え、
それらが塵埃の発生源にもなる。しかるに上記従来例の
ものはカセットが基板搬送路に対して昇降可能に設けら
れ、かつ「先入れ・先出し方式」を採用することから、
カセット内に収容した基板が基板搬送路よりも下位にく
ることは避けられない。このため、基板搬送路より発生
した塵埃が基板に付着し易く、歩留まりの低下をもたら
す。
それらが塵埃の発生源にもなる。しかるに上記従来例の
ものはカセットが基板搬送路に対して昇降可能に設けら
れ、かつ「先入れ・先出し方式」を採用することから、
カセット内に収容した基板が基板搬送路よりも下位にく
ることは避けられない。このため、基板搬送路より発生
した塵埃が基板に付着し易く、歩留まりの低下をもたら
す。
ハ．しかも、カセット内に多数の基板を収容した状態で
カセットを昇降させるため、昇降手段で昇降駆動する際
の駆動振動により、基板収容溝部で発塵を生じさせる。
カセットを昇降させるため、昇降手段で昇降駆動する際
の駆動振動により、基板収容溝部で発塵を生じさせる。
ニ．基板のバッファ処理（回収、収容、払い出し及び引
き渡し）にあたり、バッファ装置全体の設置面積を基板
搬送路の幅から大きくはみ出さない範囲に収めることが
望ましい。
き渡し）にあたり、バッファ装置全体の設置面積を基板
搬送路の幅から大きくはみ出さない範囲に収めることが
望ましい。
本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、
上記イ〜ニの問題を解決することを技術課題とする。
上記イ〜ニの問題を解決することを技術課題とする。
〈課題を解決するための手段〉 本考案は上記課題を解決するものとして、次のように
構成される。
構成される。
即ち、通り抜け可能な基板搬送路に沿って基板搬送方
向上手側から下手側へ基板を搬送する基板搬送装置の基
板搬送路に付設される基板のバッファ装置において、 上記基板搬送路の上方に固定配置され、基板が基板搬
送方向に通り抜け可能な基板収容部を上下多段に有する
基板収容手段と、上記基板収容手段の基板搬送方向上手
側に設けられた回収手段と、上記基板収容手段の基板搬
送方向下手側に設けられた払出し手段と、を備え、 上記回収手段は、基板搬送路上の基板を鉛直上方に移
動させて回収し、基板搬送方向に前進して当該基板を基
板収容手段の基板収容部に収容する回収アームを備え、
上記払出し手段は、上記基板収容手段の基板収容部に収
容された基板を基板搬送方向に後退して払い出し、当該
基板を鉛直下方に移動させることにより基板搬送路に引
き渡す払出しアームを備え、上記基板を基板搬送路の鉛
直上方でバッファ処理可能に構成した、ことを特徴とす
るものである。
向上手側から下手側へ基板を搬送する基板搬送装置の基
板搬送路に付設される基板のバッファ装置において、 上記基板搬送路の上方に固定配置され、基板が基板搬
送方向に通り抜け可能な基板収容部を上下多段に有する
基板収容手段と、上記基板収容手段の基板搬送方向上手
側に設けられた回収手段と、上記基板収容手段の基板搬
送方向下手側に設けられた払出し手段と、を備え、 上記回収手段は、基板搬送路上の基板を鉛直上方に移
動させて回収し、基板搬送方向に前進して当該基板を基
板収容手段の基板収容部に収容する回収アームを備え、
上記払出し手段は、上記基板収容手段の基板収容部に収
容された基板を基板搬送方向に後退して払い出し、当該
基板を鉛直下方に移動させることにより基板搬送路に引
き渡す払出しアームを備え、上記基板を基板搬送路の鉛
直上方でバッファ処理可能に構成した、ことを特徴とす
るものである。
〈作用〉 本考案では、後段処理工程において故障がなければ、
基板は基板収容手段の下方の通り抜け可能な基板搬送路
を通って前段処理工程から後段処理工程へ搬送される。
基板は基板収容手段の下方の通り抜け可能な基板搬送路
を通って前段処理工程から後段処理工程へ搬送される。
万一、後段処理工程において故障が発生した場合に
は、基板は次のようにして回収され、上記基板収容手段
の上下多段形成された基板収容部に収容される。
は、基板は次のようにして回収され、上記基板収容手段
の上下多段形成された基板収容部に収容される。
即ち、基板収容手段の基板搬送方向上手側に設けた回
収手段は、昇降自在の回収アームを備えており、この回
収アームで基板搬送路上の基板を１枚づつ基板搬送路か
ら鉛直上方に移動させて回収し、基板搬送方向に前進し
て前段処理を終えた１ロット分の基板を上記基板収容部
に収容する。
収手段は、昇降自在の回収アームを備えており、この回
収アームで基板搬送路上の基板を１枚づつ基板搬送路か
ら鉛直上方に移動させて回収し、基板搬送方向に前進し
て前段処理を終えた１ロット分の基板を上記基板収容部
に収容する。
また、上記故障が解消した場合には、基板は上記回収
動作とは逆の動作により払い出され、下方に位置する基
板搬送路に引き渡される。即ち、基板収容手段の多段の
基板収容部は、基板が基板搬送方向に通り抜け可能に構
成されており、当該基板収容部に回収された基板は、基
板収容手段の基板搬送方向下手側に設けた払出し手段の
昇降自在の払出しアームにより基板搬送方向に後退して
払い出され、鉛直下方に移動させることにより基板搬送
路に引き渡される。
動作とは逆の動作により払い出され、下方に位置する基
板搬送路に引き渡される。即ち、基板収容手段の多段の
基板収容部は、基板が基板搬送方向に通り抜け可能に構
成されており、当該基板収容部に回収された基板は、基
板収容手段の基板搬送方向下手側に設けた払出し手段の
昇降自在の払出しアームにより基板搬送方向に後退して
払い出され、鉛直下方に移動させることにより基板搬送
路に引き渡される。
上記のように、基板のバッファ処理（回収、収容、払
い出し及び引き渡し）は、全て基板搬送路の鉛直上方で
行われるので、バッファ装置全体の設置面積を基板搬送
路の幅から大きくはみ出さない範囲に収める事ができ、
かつ、基板搬送路で発生した塵埃が落下しても基板に付
着することはない。
い出し及び引き渡し）は、全て基板搬送路の鉛直上方で
行われるので、バッファ装置全体の設置面積を基板搬送
路の幅から大きくはみ出さない範囲に収める事ができ、
かつ、基板搬送路で発生した塵埃が落下しても基板に付
着することはない。
〈実施例〉 第１図は本考案の一実施例を示すバッファ装置の斜視
図、第２図はアーム支持ブロックの縦断面図、第３図は
バッファ装置のブロックダイヤグラムである。
図、第２図はアーム支持ブロックの縦断面図、第３図は
バッファ装置のブロックダイヤグラムである。
このバッファ装置は、基板搬送路Ｒより基板Ｗを一枚
ずつ引き取り回収する回収手段10と、上下多段に形成し
た基板収容溝21を基板収容部として備え、回収した基板
Ｗを一時的に収容するための基板収容手段であるカセッ
ト20と、カセット20から基板Ｗを一枚ずつ取り出して基
板搬送路Ｒへ引き渡す払出し手段30と、回収手段10及び
払出し手段30を駆動制御する制御手段（第３図40）とを
具備して成る。
ずつ引き取り回収する回収手段10と、上下多段に形成し
た基板収容溝21を基板収容部として備え、回収した基板
Ｗを一時的に収容するための基板収容手段であるカセッ
ト20と、カセット20から基板Ｗを一枚ずつ取り出して基
板搬送路Ｒへ引き渡す払出し手段30と、回収手段10及び
払出し手段30を駆動制御する制御手段（第３図40）とを
具備して成る。
基板搬送路Ｒは、基板の両側端部を保持すべく、両側
に多数のローラ３を連設したローラコンベアで構成さ
れ、基板搬送方向の上手側より順に基板Ｗの回収部R1と
通り抜け部R2と、引き渡し部R3とを連設して、これらが
基板搬送路Ｒの一部分をなすように配置され、かつ、回
収部R1、通り抜け部R2及び引き渡し部R3は、第３図に示
すように別々の駆動モータ7,8,9によって独立に駆動制
御可能に構成されている。なお、回収部R1には位置決め
用ストッパ５・５と幅寄せ用当接具６・６とが自動制御
可能に付設されており、搬送されてきた基板Ｗを位置決
め用ストッパ５・５で進行方向へ位置決めし、これと直
交する左右方向の蛇行を幅寄せ用当接具６・６で自動的
に整えるように構成されている。
に多数のローラ３を連設したローラコンベアで構成さ
れ、基板搬送方向の上手側より順に基板Ｗの回収部R1と
通り抜け部R2と、引き渡し部R3とを連設して、これらが
基板搬送路Ｒの一部分をなすように配置され、かつ、回
収部R1、通り抜け部R2及び引き渡し部R3は、第３図に示
すように別々の駆動モータ7,8,9によって独立に駆動制
御可能に構成されている。なお、回収部R1には位置決め
用ストッパ５・５と幅寄せ用当接具６・６とが自動制御
可能に付設されており、搬送されてきた基板Ｗを位置決
め用ストッパ５・５で進行方向へ位置決めし、これと直
交する左右方向の蛇行を幅寄せ用当接具６・６で自動的
に整えるように構成されている。
通り抜け部R2の上方にはカセット20が配置固定され、
カセット20の上手側に回収手段10が、カセット20の下手
側に払出し手段30がそれぞれ配置され、後段処理工程に
おいて故障がなければ、基板Ｗは回収部R1と通り抜け部
R2と引き渡し部R3とを通って前段処理工程から後段処理
工程へ搬送されることになる。
カセット20の上手側に回収手段10が、カセット20の下手
側に払出し手段30がそれぞれ配置され、後段処理工程に
おいて故障がなければ、基板Ｗは回収部R1と通り抜け部
R2と引き渡し部R3とを通って前段処理工程から後段処理
工程へ搬送されることになる。
なお、回収部R1、通り抜け部R2、及び引き渡し部R3に
はそれぞれ基板の有無を検知するセンサS1、S2、S3が配
置されている。
はそれぞれ基板の有無を検知するセンサS1、S2、S3が配
置されている。
上記回収手段10及び払出し手段30はそれぞれカセット
へ向けた略水平の基板保持具11を有する搬送アーム12
と、搬送アーム12をカセット20へ向けて進退駆動可能に
支持するアーム支持ブロツク13と、アーム支持ブロック
13を位置決め可能に昇降する昇降手段25とを具備して成
り、バッファ処理を必要としない時は、基板搬送路Ｒの
路面より低い位置（原点位置）で搬送アーム12を待機さ
せるように構成されている。ここで、上記回収手段10の
搬送アーム12は回収アームとして機能し、同様に上記払
出し手段30の搬送アーム12は払出しアームとして機能す
る。なお、第１図中符号４は搬送アーム12の待機用凹入
溝である。
へ向けた略水平の基板保持具11を有する搬送アーム12
と、搬送アーム12をカセット20へ向けて進退駆動可能に
支持するアーム支持ブロツク13と、アーム支持ブロック
13を位置決め可能に昇降する昇降手段25とを具備して成
り、バッファ処理を必要としない時は、基板搬送路Ｒの
路面より低い位置（原点位置）で搬送アーム12を待機さ
せるように構成されている。ここで、上記回収手段10の
搬送アーム12は回収アームとして機能し、同様に上記払
出し手段30の搬送アーム12は払出しアームとして機能す
る。なお、第１図中符号４は搬送アーム12の待機用凹入
溝である。
基板保持具11は搬送アーム12の先端部に２枚の薄板体
をカセット20へ向けて略水平に並列して固定し、その上
面で基板Ｗを保持するように構成されている。この基板
保持具11は、その厚みが基板保持状態において、カセッ
ト20の基板収容溝21のピッチＰよりも十分薄く形成され
ており、搬送アーム12を進退させてカセット20内へ基板
保持具11を挿入して基板収容溝21へ基板Ｗを着脱し得る
ように構成されている。なお、並列配置している２枚の
薄板体（基板保持具11）の取り付け位置及び間隔d1・d2
は回収手段10と払出し手段30とで別異に形成するのが望
ましい。万一両手段10・30の搬送アーム12・12が同一高
さでカセット20内へ進入するような事態が発生しても、
両者の基板保持具11・11が衝突するのを回避するためで
ある。
をカセット20へ向けて略水平に並列して固定し、その上
面で基板Ｗを保持するように構成されている。この基板
保持具11は、その厚みが基板保持状態において、カセッ
ト20の基板収容溝21のピッチＰよりも十分薄く形成され
ており、搬送アーム12を進退させてカセット20内へ基板
保持具11を挿入して基板収容溝21へ基板Ｗを着脱し得る
ように構成されている。なお、並列配置している２枚の
薄板体（基板保持具11）の取り付け位置及び間隔d1・d2
は回収手段10と払出し手段30とで別異に形成するのが望
ましい。万一両手段10・30の搬送アーム12・12が同一高
さでカセット20内へ進入するような事態が発生しても、
両者の基板保持具11・11が衝突するのを回避するためで
ある。
各アーム支持ブロック13は、第１図及び第２図に示す
ように、ブロックケース14と、ブロックケース14内にエ
アシリンダ15を介して上下動可能に設けられたアームガ
イドブロック16と、アームガイドブロック16の案内溝16
aに沿って水平移動可能に設けられた移動ブロック17
と、移動ブロック17を伝動チェーン18を介して移動させ
る正逆転可能なロータリアクチェータ19とから成り、搬
送アーム12の基端部を移動ブロック17に固設してブロッ
クケース14前面のスリット状開口14aより当該搬送アー
ム12を前方へ突出して構成されている。
ように、ブロックケース14と、ブロックケース14内にエ
アシリンダ15を介して上下動可能に設けられたアームガ
イドブロック16と、アームガイドブロック16の案内溝16
aに沿って水平移動可能に設けられた移動ブロック17
と、移動ブロック17を伝動チェーン18を介して移動させ
る正逆転可能なロータリアクチェータ19とから成り、搬
送アーム12の基端部を移動ブロック17に固設してブロッ
クケース14前面のスリット状開口14aより当該搬送アー
ム12を前方へ突出して構成されている。
上記エアシリンダ15は基板保持具11でカセット20に基
板を着脱する際に搬送アーム12を所定ストロークだけゆ
っくりと昇降させるためのものであり、いわゆるソフト
ランディング機能を付加したものである。
板を着脱する際に搬送アーム12を所定ストロークだけゆ
っくりと昇降させるためのものであり、いわゆるソフト
ランディング機能を付加したものである。
各昇降手段25は、アーム支持ブロック13を昇降する駆
動ねじ26と、駆動ねじ26の下端に伝動連結したパルスモ
ータ27と、アーム支持ブロック13を昇降可能に案内する
ガイド棒28・28とを具備して成り、それぞれ回収部R1及
び引き渡し部R3に配置されている。
動ねじ26と、駆動ねじ26の下端に伝動連結したパルスモ
ータ27と、アーム支持ブロック13を昇降可能に案内する
ガイド棒28・28とを具備して成り、それぞれ回収部R1及
び引き渡し部R3に配置されている。
制御手段40は第３図に示すように、中央演算制御部41
と、主動作プログラムＭ、回収用動作プログラムＡ及び
払出し用動作プログラムＢをそれぞれ記憶するROM42
と、カセット20内の収容データを書き込み、読出し可能
に記憶するRAM43とを具備して成るマイクロコンピュー
タで構成されており、後段処理工程において、何らかの
事故が発生した場合に、その旨の信号Ｋを中央演算制御
部41が受けることにより、「先入れ・先出し方式」によ
る所要のバッファ処理をなすように構成されている。な
お、第３図の44は基板のカウンタである。
と、主動作プログラムＭ、回収用動作プログラムＡ及び
払出し用動作プログラムＢをそれぞれ記憶するROM42
と、カセット20内の収容データを書き込み、読出し可能
に記憶するRAM43とを具備して成るマイクロコンピュー
タで構成されており、後段処理工程において、何らかの
事故が発生した場合に、その旨の信号Ｋを中央演算制御
部41が受けることにより、「先入れ・先出し方式」によ
る所要のバッファ処理をなすように構成されている。な
お、第３図の44は基板のカウンタである。
以下、第４図及び第５図に基づいて上記実施例装置の
動作を説明する。
動作を説明する。
第４図は主動作プログラムＭ及び回収用動作プログラ
ムＡを略示するフローチャートである。
ムＡを略示するフローチャートである。
本装置をスタートさせると基板搬送路Ｒの一部を構成
する回収部R1、通り抜け部R2及び引き渡し部R3がそれぞ
れ駆動モータ（第３図７、８、９）によって作動状態と
なる（ステップM1）。この作動状態では前段処理工程で
処理された基板Ｗが、回収部R1、通り抜け部R2及び引き
渡し部R3を経て後段処理工程へ順次搬送される。
する回収部R1、通り抜け部R2及び引き渡し部R3がそれぞ
れ駆動モータ（第３図７、８、９）によって作動状態と
なる（ステップM1）。この作動状態では前段処理工程で
処理された基板Ｗが、回収部R1、通り抜け部R2及び引き
渡し部R3を経て後段処理工程へ順次搬送される。
ステップM2では、後段処理工程における事故の有無
を、事故信号Ｋによって判別し、事故が発生した場合に
は、ステップM4で一旦通り抜け部R2、引き渡し部R3の作
動を停止する。
を、事故信号Ｋによって判別し、事故が発生した場合に
は、ステップM4で一旦通り抜け部R2、引き渡し部R3の作
動を停止する。
次いで、ステップM5で基板の回収ルーチン（回収用動
作プログラムＡ）が実行された後、ステップM6では上記
事故が解消したか否かを事故信号Ｋの有無で判別し、事
故が解消したならステップM7で基板の払出しルーチン
（払出し用動作プログラムＢ）が実行される。これによ
りバッファ処理が実行されることになる。
作プログラムＡ）が実行された後、ステップM6では上記
事故が解消したか否かを事故信号Ｋの有無で判別し、事
故が解消したならステップM7で基板の払出しルーチン
（払出し用動作プログラムＢ）が実行される。これによ
りバッファ処理が実行されることになる。
バッファ処理が終了すると、再び正常運転状態にな
り、ステップM8（第５図）で処理が終了したことを判断
して主動作ルーチンは終了する。
り、ステップM8（第５図）で処理が終了したことを判断
して主動作ルーチンは終了する。
なお、ステップM2において、事故信号がないことによ
り後段処理工程の事故が解消したと判断した場合には、
ステップM3に進み、カセット内に基板が収容されている
か否かを確認する。ステップM3においてカセット内に基
板が全くないと判断した場合には、ステップB1、B2に進
み、ステップB2においてもカセット内に基板がないと判
断されるため、払出しルーチンM7は実行されることなく
ステップB8に進む。
り後段処理工程の事故が解消したと判断した場合には、
ステップM3に進み、カセット内に基板が収容されている
か否かを確認する。ステップM3においてカセット内に基
板が全くないと判断した場合には、ステップB1、B2に進
み、ステップB2においてもカセット内に基板がないと判
断されるため、払出しルーチンM7は実行されることなく
ステップB8に進む。
一方、ステップM3においてカセット内に基板があると
判断した場合には、ステップM4、M5に進む。そしてステ
ップA1で前段処理工程の１ロット分の基板が既に回収さ
れているため回収部R1に基板がないと判断した場合を除
き、引き続き回収ルーチンM5を実行して残り基板の回収
が行われる。
判断した場合には、ステップM4、M5に進む。そしてステ
ップA1で前段処理工程の１ロット分の基板が既に回収さ
れているため回収部R1に基板がないと判断した場合を除
き、引き続き回収ルーチンM5を実行して残り基板の回収
が行われる。
なお、１ロット分の基板の回収を待たずに、後段処理
工程の故障が早期に解消した場合には、残余の基板の回
収と収容した基板の払出しとを並行して行うようにす
る。そうすることにより処理効率が大幅に向上する。
工程の故障が早期に解消した場合には、残余の基板の回
収と収容した基板の払出しとを並行して行うようにす
る。そうすることにより処理効率が大幅に向上する。
ステップM5における基板の回収用動作プログラムＡの
フローチャートは下記のようになる。
フローチャートは下記のようになる。
回収ルーチンがスタートすると、ステップA1では第１
図に示すように、基板Ｗが回収部R1に搬入されていない
場合にステップM6に移り、搬入されている場合にはセン
サS1でそれを検知し、ステップA2では搬送路面上にスト
ッパ５を起立させて基板Ｗに当接させるとともに、回収
部R1の作動を停止させ、幅寄せ用当接具６で基板を左右
に整えて正しく位置決めする。そして回収手段10のアー
ム支持ブロック13内のエアシリンダ15を伸張させて搬送
アーム12をゆっくりと鉛直上方へ上昇させ、基板保持具
11で基板Ｗをローラ３よりソフトアップする。なお、基
板保持具11は上面に図示しない吸着孔を具備しており、
基板Ｗをしっかりと吸着保持し得るように構成されてい
る。
図に示すように、基板Ｗが回収部R1に搬入されていない
場合にステップM6に移り、搬入されている場合にはセン
サS1でそれを検知し、ステップA2では搬送路面上にスト
ッパ５を起立させて基板Ｗに当接させるとともに、回収
部R1の作動を停止させ、幅寄せ用当接具６で基板を左右
に整えて正しく位置決めする。そして回収手段10のアー
ム支持ブロック13内のエアシリンダ15を伸張させて搬送
アーム12をゆっくりと鉛直上方へ上昇させ、基板保持具
11で基板Ｗをローラ３よりソフトアップする。なお、基
板保持具11は上面に図示しない吸着孔を具備しており、
基板Ｗをしっかりと吸着保持し得るように構成されてい
る。
次いで、ステップA3では当該アーム支持ブロック13を
上昇させ、RAM43にメモリされた所要の高さで停止させ
る。
上昇させ、RAM43にメモリされた所要の高さで停止させ
る。
そしてステップA4では搬送アーム12を前進させて基板
保持具11をカセット20内へ挿入して、基板Ｗを所定位置
の空の収容溝21内に挿入する。
保持具11をカセット20内へ挿入して、基板Ｗを所定位置
の空の収容溝21内に挿入する。
ステップA5では基板保持具11の吸着保持を解除すると
ともに、エアシリンダ15を収縮させ、搬送アーム12をゆ
っくり降下させて基板Ｗをソフトダウンさせ、当該収容
溝21に基板を載置、収容する。引き続きステップA6で搬
送アーム12を後退させ、ステップA7でアーム支持ブロッ
ク13を下降して原点復帰させる。なお、カセット20には
少なくとも基板供給装置と本バッファ装置間にある基板
以上の枚数の基板を収容し得るように収容溝21が切設さ
れ、一方制御手段40のRAM43には「先入れ・先出し方
式」による制御データが格納される。
ともに、エアシリンダ15を収縮させ、搬送アーム12をゆ
っくり降下させて基板Ｗをソフトダウンさせ、当該収容
溝21に基板を載置、収容する。引き続きステップA6で搬
送アーム12を後退させ、ステップA7でアーム支持ブロッ
ク13を下降して原点復帰させる。なお、カセット20には
少なくとも基板供給装置と本バッファ装置間にある基板
以上の枚数の基板を収容し得るように収容溝21が切設さ
れ、一方制御手段40のRAM43には「先入れ・先出し方
式」による制御データが格納される。
第５図は払出し用動作プログラムＢを略示するフロー
チャートである。主動作プログラム（第４図）ステップ
M5で後段処理工程の故障が解消したことを判別して払出
しルーチンがスタートする。
チャートである。主動作プログラム（第４図）ステップ
M5で後段処理工程の故障が解消したことを判別して払出
しルーチンがスタートする。
ステップB1では通り抜け部R2及び引き渡し部R3を作動
させてそこへ停留していた基板Ｗをまず後段処理工程へ
向けて排出する。
させてそこへ停留していた基板Ｗをまず後段処理工程へ
向けて排出する。
ステップB2でカセット内の基板の有無を確認する。
ステップB3では払出し手段30のアーム支持ブロック13
を上昇させ、所要高さで停止させる。
を上昇させ、所要高さで停止させる。
即ち、基板収容溝内に収容された基板のうち、最初の
基板Ｗを収容している基板収容溝21に対応させてアーム
支持ブロック13を停止させる。
基板Ｗを収容している基板収容溝21に対応させてアーム
支持ブロック13を停止させる。
そしてステップB4では搬送アームをカセット20へ向け
て前進させて基板保持具11をカセット20内へ挿入する。
て前進させて基板保持具11をカセット20内へ挿入する。
ステップB5ではエアシリンダ15を伸張させ、搬送アー
ム12をゆっくり上昇させて基板Ｗをソフトアップさせる
とともに基板保持具11上に基板Ｗを吸着保持する。
ム12をゆっくり上昇させて基板Ｗをソフトアップさせる
とともに基板保持具11上に基板Ｗを吸着保持する。
次いでステップB6で搬送アーム12を後退させて基板Ｗ
をカセット20から取り出し、引き続きステップB7でアー
ム支持ブロック13を下降して原点復帰させ、基板保持具
11の真空吸着を解除するとともに、ステップB8でエアシ
リンダ15を収縮させ、搬送アーム12をゆっくりと鉛直下
方へ下降させて基板Ｗをソフトダウンさせる。このと
き、引き渡し部R3の搬送ローラ３を一時的に停止させ、
そのローラ３に基板Ｗを引き渡す。
をカセット20から取り出し、引き続きステップB7でアー
ム支持ブロック13を下降して原点復帰させ、基板保持具
11の真空吸着を解除するとともに、ステップB8でエアシ
リンダ15を収縮させ、搬送アーム12をゆっくりと鉛直下
方へ下降させて基板Ｗをソフトダウンさせる。このと
き、引き渡し部R3の搬送ローラ３を一時的に停止させ、
そのローラ３に基板Ｗを引き渡す。
カセット内の全ての基板の払出しを終えるまで上記払
出し動作B2〜B8を反復する。
出し動作B2〜B8を反復する。
なお、本考案は上記実施例に限るものではなく、例え
ば、 回収手段10及び払出し手段30の基板保持具11をその
下面にあけた吸着溝で基板Ｗを吸着保持するようにす
る。
ば、 回収手段10及び払出し手段30の基板保持具11をその
下面にあけた吸着溝で基板Ｗを吸着保持するようにす
る。
そして、この場合には、アーム支持ブロック13の原
点位置を搬送路の上方へ位置させる。
点位置を搬送路の上方へ位置させる。
搬送路Ｒを他のベルトコンベア等で代替する。
ソフトランディング用のエアシリンダ15を別の昇降
手段で代替させ、又は省く。
手段で代替させ、又は省く。
搬送アーム12を進退させるロータリアクチェータ19
をエアシリンダ等のアクチェータで代替させる。
をエアシリンダ等のアクチェータで代替させる。
上記「先入れ・先出し方式」の制御は、RAM43にメ
モリされたプログラムを使用せず、カセットの各収容溝
21に基板検知用センサを付設し、シーケンス制御で代用
する。
モリされたプログラムを使用せず、カセットの各収容溝
21に基板検知用センサを付設し、シーケンス制御で代用
する。
等々、多様な変形を加えて実施することができる。
〈考案の効果〉 以上の説明で明らかなように、本考案では、通り抜け
可能な基板搬送路の上方に基板収容手段を固定配置し、
その基板収容手段の上手側に設けた回収手段で基板を回
収して基板収容部に収容するとともに、当該基板収容手
段の下手側に設けた払出し手段で基板を払い出して、基
板搬送路に引き渡すように構成し、基板のバッファ処理
（回収、収容、払い出し及び引き渡し）は、全て基板搬
送路の鉛直上方で行うようにしたので、バッファ装置全
体の設置面積を基板搬送路の幅から大きくはみ出さない
範囲に収める事ができ、かつ、基板搬送路で発生した塵
埃が基板に付着するのを抑えることができる。
可能な基板搬送路の上方に基板収容手段を固定配置し、
その基板収容手段の上手側に設けた回収手段で基板を回
収して基板収容部に収容するとともに、当該基板収容手
段の下手側に設けた払出し手段で基板を払い出して、基
板搬送路に引き渡すように構成し、基板のバッファ処理
（回収、収容、払い出し及び引き渡し）は、全て基板搬
送路の鉛直上方で行うようにしたので、バッファ装置全
体の設置面積を基板搬送路の幅から大きくはみ出さない
範囲に収める事ができ、かつ、基板搬送路で発生した塵
埃が基板に付着するのを抑えることができる。
また、基板搬送路の上方に基板収容手段を固定配置
し、回収手段の回収アーム及び払出し手段の払出しアー
ムを昇降させて、基板の回収と払い出しを行うようにし
たので、従来例のように基板収容手段の昇降駆動に起因
する基板収容部での発塵を有効に防止することができ
る。
し、回収手段の回収アーム及び払出し手段の払出しアー
ムを昇降させて、基板の回収と払い出しを行うようにし
たので、従来例のように基板収容手段の昇降駆動に起因
する基板収容部での発塵を有効に防止することができ
る。
さらに、回収手段の回収アームと払出し手段の払出し
アームとを別々に昇降させることにより、いわゆる「先
入れ・先出し方式」を適用することができる。
アームとを別々に昇降させることにより、いわゆる「先
入れ・先出し方式」を適用することができる。
第１図は本考案の一実施例を示すバッファ装置の斜視
図、第２図はアーム支持ブロックの縦断正面図、第３図
はバッファ装置のブロックダイヤグラム、第４図及び第
５図はそれぞれ動作プログラムを略示すフローチャート
である。 Ｒ……基板搬送路、Ｗ……基板、10……回収手段、12…
…搬送アーム（回収アーム・払出しアーム）、20……カ
セット（基板収容手段）、21……基板収容溝（基板収容
部）、30……払出し手段。
図、第２図はアーム支持ブロックの縦断正面図、第３図
はバッファ装置のブロックダイヤグラム、第４図及び第
５図はそれぞれ動作プログラムを略示すフローチャート
である。 Ｒ……基板搬送路、Ｗ……基板、10……回収手段、12…
…搬送アーム（回収アーム・払出しアーム）、20……カ
セット（基板収容手段）、21……基板収容溝（基板収容
部）、30……払出し手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (56)参考文献 特開 昭63−282007（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−262438（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−24936（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−92224（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】通り抜け可能な基板搬送路に沿って基板搬
送方向上手側から下手側へ基板を搬送する基板搬送装置
の基板搬送路に付設される基板のバッファ装置におい
て、 上記基板搬送路の上方に固定配置され、基板が基板搬送
方向に通り抜け可能な基板収容部を上下多段に有する基
板収容手段と、 上記基板収容手段の基板搬送方向上手側に設けられた回
収手段と、 上記基板収容手段の基板搬送方向下手側に設けられた払
出し手段と、 を備え、 上記回収手段は、基板搬送路上の基板を鉛直上方に移動
させて回収し、基板搬送方向に前進して当該基板を基板
収容手段の基板収容部に収容する回収アームを備え、 上記払出し手段は、上記基板収容手段の基板収容部に収
容された基板を基板搬送方向に後退して払い出し、当該
基板を鉛直下方に移動させることにより基板搬送路に引
き渡す払出しアームを備え、 上記基板を基板搬送路の鉛直上方でバッファ処理可能に
構成した、ことを特徴とする基板のバッファ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989038279U JP2507416Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 基板のバツフア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989038279U JP2507416Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 基板のバツフア装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129342U JPH02129342U (ja) | 1990-10-25 |
| JP2507416Y2 true JP2507416Y2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=31546140
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989038279U Expired - Lifetime JP2507416Y2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 基板のバツフア装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2507416Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009001358A (ja) * | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Shinko Electric Co Ltd | 搬送システム |
| US8430229B2 (en) * | 2007-09-14 | 2013-04-30 | Flexlink Components Ab | Lifting device for a conveyor system a conveyor system and a method |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0653333B2 (ja) * | 1985-07-19 | 1994-07-20 | キヤノン株式会社 | 物品等の自動供給装置 |
| JPH0682743B2 (ja) * | 1986-05-09 | 1994-10-19 | キヤノン株式会社 | ウエハ処理装置 |
| JPS6292224U (ja) * | 1985-11-30 | 1987-06-12 | ||
| JPS63282007A (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-18 | Sanyo Electric Co Ltd | バッファ装置 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP1989038279U patent/JP2507416Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02129342U (ja) | 1990-10-25 |
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