JP2001253507A - スタック装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業者の安全性及び作業性を確保しつつ、一
度に多量のマガジンを供給することができるスタック装
置を提供する。 【解決手段】 供給部４に供給された複数のマガジンを
押し当て部材２１によって送受作業部３に順次送る。送
受作業部３に送られたマガジンを昇降部材４３によって
支持するとともに、昇降部材４３をへ方へ向けて間欠的
に移動させ、送受空間Ｃにおいて、ボンディング装置か
ら送られてくるリードフレームをマガジン内に複数収容
させる。リードフレームの収容数が一定量に達したら、
昇降部材４３をさらに下降させマガジンを停留部５の基
端部に降ろし、マガジンを押し出し板６５によって停留
部５の先端部側へ送り出し、停留部５に停留させる。供
給部４が水平方向に延在するため、供給部４の延在寸法
を長くすれば一度にセットできるマガジンの数を増やす
ることができる。しかも作業者がマガジンを供給する高
さを高くする必要がない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
ラインに用いるスタック装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、短冊状のリードフレームをワーク
とする半導体装置の製造ラインにおいては、図８に示す
ように、ダイボンダやワイヤボンダ等のボンディング装
置１００の上流側にはローダ１０１が配置され、その下
流側にはアンローダ１０２が配置されている。ローダ１
０１はボンディング装置１００にリードフレームを供給
するためのスタック装置、アンローダ１０２はボンディ
ング作業が終了したリードフレームをボンディング装置
１００から受け取りそれを停留させるためのスタック装
置である。ローダ１０１及びアンローダ１０２とボンデ
ィング装置１００との間における前述したようなリード
フレームの送受作業には、例えば図９に示すようなマガ
ジン１０３が用いられている。マガジン１０３は左右両
側が開口する断面矩形の容器体の内側両壁面に、リード
フレーム１０４の両側辺を挿入するための溝１０３ａが
上下方向に一定間隔で複数設けられたものであって、ボ
ンディング作業前又はボンディング作業後の状態におけ
るリードフレーム１０４が上下に間隔をおいて収容可能
となっている。

【０００３】また、ローダ１０１及びアンローダ１０２
は、作業者Ｍによって前述したマガジン１０３が上下に
積み重ねた状態で複数個セットされる構造、及び供給さ
れたマガジン１０３を順次、一定のピッチで下方（矢示
イ方向）へ間欠的に移動させる間欠移動機構を備えるこ
とによって、ボンディング装置１００の稼働時に、各マ
ガジン１０３とボンディング装置１００との間における
リードフレーム１０４の送受が可能となっている。すな
わち、作業対象となるマガジン１０３をボンディング装
置側のボンディング作業に連動して移動させることによ
り、ローダ１０１側では、マガジン１０３に収容された
複数のリードフレーム１０４を順次ボンディング装置１
００側に送り出すことができ、アンローダ１０２側で
は、ボンディング装置１００側から送られるリードフレ
ーム１０４をマガジン１０３の全収容位置に収容できる
ようになっている。また、ローダ１０１及びアンローダ
１０２においては、前述したリードフレーム１０４の送
受作業が完了した最下段のマガジン１０３を順次水平方
向（矢示ロ方向）へ移動し、整列して停留させるように
なっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来のローダ１０１及びアンローダ１０２において
は、マガジン１０３を上下に積み重ねた状態で供給する
構成であるため、マガジン１０３を供給する作業者の安
全性及び作業性を考慮すると、一度に供給できるマガジ
ン１０３の数には限界があった。かかることから、作業
者は頻繁にマガジン１０３の供給作業を行う必要があ
り、ラインの生産効率を向上させるうえでの妨げとなっ
ていた。

【０００５】本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなさ
れたものであり、作業者の安全性及び作業性を確保しつ
つ、一度に多量のマガジンを供給することができるスタ
ック装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１の発明にあっては、半導体装置の製造ライン
に他の装置に隣接して配置されるスタック装置におい
て、前記他の装置との間でワークの送受作業が行われる
マガジンを複数供給する供給部と、この供給部に供給さ
れた複数のマガジンを前記送受作業に伴い前記他の装置
と連動して鉛直方向に間欠的に移動させる間欠移動機構
を有した送受作業部と、この送受作業部にて間欠的に移
動され前記送受作業が完了したマガジンを停留させる停
留部とを備え、前記供給部と前記停留部とが前記送受作
業部の上方側と下方側とに相離間して連結されるととも
に、前記供給部が水平方向に延在するものとした。

【０００７】かかる構成においては、供給部が水平方向
に延在しているため、供給部に一度にセットできるマガ
ジンの数を増やしても、マガジンの供給位置の高さが一
定となる。

【０００８】また、請求項２の発明にあっては、前記供
給部に、当該供給部の延在方向に並ぶ複数の前記マガジ
ンであって前記送受作業部と離間する側のマガジンに当
接する押し当て部材と、この押し当て部材を前記送受作
業部へ向けて駆動し、前記押し当て部材により前記複数
のマガジンを移動させ前記送受作業部と近接する側のマ
ガジンを前記送受作業部へ送る駆動手段とが設けられ、
前記押し当て部材が前記駆動手段の非動作時における前
記送受作業部と離間する方向への移動を許容されたもの
とした。

【０００９】かかる構成においては、駆動手段の非動作
時には、前回セットしたマガジンが供給部に残存してい
る状態でも、押し当て部材の送受作業部と離間する方向
への移動操作が可能であるため、供給部へマガジンを適
宜追加して供給することができる。

【００１０】また、請求項３の発明にあっては、前記駆
動手段はエアシリンダであるものとした。

【００１１】かかる構成においては、押し当て部材の駆
動機構を複雑にすることなく、押し当て部材の移動距
離、つまり供給部の延長を長くすることができる。

【００１２】また、請求項４の発明にあっては、前記間
欠移動機構は、前記送受作業の対象となる前記マガジン
を支持する昇降部材と、この昇降部材を駆動するパルス
モータとを有するものとした。

【００１３】かかる構成においては、マガジンを送受作
業部で間欠的に移動する際のピッチを必要に応じて変化
させることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
にしたがって説明する。図１は、半導体装置の製造ライ
ンにボンディング装置と並んで設置されアンローダとし
て使用される本発明に係るスタック装置１を示す右側面
図である。

【００１５】このスタック装置１は、図２及び図３に示
したように、主としてベース２上に立設された送受作業
部３と、送受作業部３の正面側（図で左側）の上方側と
下方側とに連結され、互いに平行をなして略水平方向に
延在する供給部４と停留部５とによって構成された２階
建て構造を有している。以下、各部の構造を図を参照し
ながら詳述する。

【００１６】（供給部の構成）前記供給部４は、従来の
技術で図９をもって説明したマガジン１０３が複数供給
される部分であって、図２〜図４に示すように、基端側
が送受作業部３側に連結され先端側が支柱６及び停留部
５を介して前記ベース２に支持された供給レール１１を
中心に構成されている。供給レール１１は上方に向かっ
て開口するコ字形の横断形状を有するとともに、その上
部をレールプレート１２によって閉鎖されている。レー
ルプレート１２の表面側には、図４示すように、送受作
業部３から供給レール１１の先端側にかけて延在し前記
マガジン１０３をスライド自在に支持する内側レール１
３ａ，１３ａと外側レール１３ｂ，１３ｂが、レールプ
レート１２の幅方向に平行して突設されている。

【００１７】また、内側レール１３ａ，１３ａの間には
それらと平行して２本の長穴１４，１４が開口してお
り、外側レール１３ｂ，１３ｂのさらに外側には、前記
マガジン１０３の横ずれを防止する一対のガイドプレー
ト１５ａ，１５ａがビス止めされている。なお、右側の
ガイドプレート１５ａについては、図に二点鎖線で示し
た内側レール１３ａに近接する位置、及びそれらの中間
位置に選択的に取付可能であり、幅が異なる３種類のマ
ガジン１０３に対応できるようになっている。

【００１８】一方、図３に示したように、レールプレー
ト１２によって閉鎖された前記供給レール１１の内部に
は、供給レール１１に沿って延在する第１のエアシリン
ダ１６が収容されている。第１のエアシリンダ１６は本
発明の駆動手段であって、その先端部に設けられたエア
ー供給部１６ａからエアーが供給された作動時に、先端
部側から前記送受作業部３に向かって駆動されるスライ
ダ１７と、スライダ１７を摺動自在に支持するガイドロ
ッド１８とを有している。スライダ１７には、前記レー
ルプレート１２に開口する前記長穴１４，１４を貫通し
て上方に突出する一対のＬ字金具１９，１９を介して断
面矩形の取付部材２０が取り付けられている。

【００１９】取付部材２０には、第１のエアシリンダ１
６の動作に伴って前記レールプレート１２上に供給され
ている最も先端部側（手前側）に位置するマガジン１０
３に当接するとともに、それを送受作業部３に向かって
押圧する板状の押し当て部材２１，２１が供給レール１
１の幅方向に離間して２枚設けられている。取付部材２
０の上面には、上端側が供給部４の先端側に向かって手
前側に屈曲したハンドル２２が設けられており、第１の
エアシリンダ１６が非動作状態にあるときには、ハンド
ル２２を手前に引くことによって作業者が手動で押し当
て部材２２，２２を供給部４の先端側に後退できるよう
になっている。なお、前記スライダ１７における送受作
業部３側への移動限界は、押し当て部材２１，２１が送
受作業部３の内側に達する位置となっている。

【００２０】（送受作業部の構成）前記送受作業部３
は、リードフレームの送受作業に際して、供給部４側か
ら送られるマガジン１０３をボンディング装置の動作と
連動して鉛直方向に間欠的に移動させる部分であって、
ベース２上に立設されるとともに背面側の両側部を一組
の補強部材３１，３１によって強固に固定された縦壁部
材３２と、縦壁部材３２に組み付けられた複数の部材及
び部品によって構成されている。

【００２１】すなわち、図４に示すように、縦壁部材３
２の正面側の両側部には、前述した供給部４が連結され
た上方側に相対向する側壁部材３３，３３が設けられ、
右側の側壁部材３３の内側には、図示省略した調整機構
により縦壁部材３２の幅方向に位置調整が可能な可動壁
部材３４が設けられている。この可動壁部材３４と左側
の側壁部材３３には、供給部４側から送られるマガジン
１０３を上下方向に摺動自在に受容する受容空間Ｂを形
成する固定ガイド部材３５ａ，３５ａと可動ガイド部材
３５ｂ，３５ｂとがそれぞれ対をなして設けられてい
る。固定ガイド部材３５ａ，３５ａと可動ガイド部材３
５ｂ，３５ｂとは平面Ｌ字形の部材であって、正面側か
ら見て奥側（図２で右側）に位置する可動ガイド部材３
５ｂ，３５ｂは前後方向への位置調整が可能となってい
る。つまり可動壁部材３４と可動ガイド部材３５ｂ，３
５ｂとの位置調整を行うことにより、前記受容空間Ｂの
寸法形状を幅寸法や奥行き寸法の異なる複数種のマガジ
ン１０３に応じて調整できるよう構成されている。

【００２２】図５に示すように、左側の側壁部材３３と
可動壁部材３４の外側面には、上下方向の中程に第２の
エアシリンダ３６，３６が対をなして設けられている。
第２のエアシリンダ３６が有する駆動ロッドには、左側
の側壁部材３３及び可動壁部材３４に埋没する待機位置
と、前記受容空間Ｂに突出する図示した支持位置とに移
動する上側ストッパ３７が設けられており、上側ストッ
パ３７が支持位置に移動された状態では、前述した前記
供給部４側から移動したマガジン１０３が、そのまま受
容空間Ｂの上方に位置固定されるようになっている。さ
らに可動壁部材３４の外側面には、第２のエアシリンダ
３６の下方に位置して、第３のエアシリンダ３８が設け
られている。第３のエアシリンダ３８が有する駆動ロッ
ドにも、第２のエアシリンダ３６と同様の待機位置と支
持位置とに移動する下側ストッパ３９が設けられてい
る。下側ストッパ３９は、受容空間Ｂ内で上側ストッパ
３７の下方に移動したマガジン１０３を必要に応じて左
側の側壁部材３３に押圧し、その落下を防止するための
ものであり、それに都合のよい形状を確保されている。

【００２３】一方、前記縦壁部材３２の前面には、幅方
向の中心に位置して上下に延びるガイドレール４１が設
けられている。ガイドレール４１には、受容空間Ｂ内で
マガジン１０３を支持するＬ字形に折曲された一対の腕
４２，４２を有した昇降部材４３が、平面コ字状の可動
片４４（図４参照）を介してスライド自在に支持されて
いる。図６に示すように昇降部材４３の背面には、縦壁
部材３２の背面に上下に延在する送りネジ４５に螺合す
る駆動ナット４６が連結されている。送りネジ４５の上
端には従動側プーリー４７が設けられており、従動側プ
ーリー４７と、送りネジ４５の上端側の近傍に配置され
たパルスモータ４８が有する駆動側プーリー４９との間
に駆動ベルト５０が掛け渡されている。したがって、パ
ルスモータ４８に供給する駆動パルスの制御により、昇
降部材４３を昇降させ、かつその移動方向およびリード
フレームの送受作業時における移動ピッチの制御が可能
となっている。つまり本発明の間欠移動機構が実現され
ている。

【００２４】また、前記縦壁部材３２の背面には、昇降
部材４３における所定の動作位置を検知するための複数
の検知スイッチ、すなわち上昇端スイッチ５１、１段目
スイッチ５２、サイドロックスイッチ５３、原点スイッ
チ５４、下降端スイッチ５５が設けられている。上昇端
スイッチ５１は前記駆動ナット４６が有するスイッチ片
５６を検知する光電スイッチであって、他のスイッチ５
２〜５５は、昇降部材４３が有するスイッチ片５７を検
知する光電スイッチであるとともに上下一列に並んで配
置されている。さらに、縦壁部材３２の前面には、供給
部４側から送られたマガジン１０３が受容空間Ｂに受容
されたことを検知するための供給スイッチ５８（図２参
照）が設けられ、かつ前述した供給レール１１の基端部
には、受容空間Ｂの下方側の開口部分、つまりボンディ
ング装置との間でリードフレームの送受が行われる送受
空間Ｃにおけるマガジン１０３の有無を検出する作業部
スイッチ５９が設けられている。

【００２５】（停留部の構成）停留部５は、前述した送
受作業部３から送られるとともに、ボンディング装置か
ら送られたリードフレームが収容されたマガジン１０３
を停留させておく部分であって、ベース２上に組み付け
られた複数の部材及び部品によって構成されている。

【００２６】すなわち、図３に示すようにベース２の上
面側は、前記縦壁部材３２の正面側の領域をカバープレ
ート６１によって覆われている。カバープレート６１の
上面には、図７に示すように、停留部５の延在方向に平
行して延びる一対のレール６２，６２（図２、図３、図
５では省略。）が設けられており、双方の間隔は、使用
可能なマガジン１０３のうちで幅が最も狭いマガジン１
０３に対応して設定されている。ベース２上には、前記
縦壁部材３２の下端部から背面側に位置して第３のエア
シリンダ６４が配置されている。第３のエアシリンダ６
４が有する駆動ロッドには、図５に示したように上方に
開口する略コ字形の押し出し板６５が設けられており、
押し出し板６５は第３のエアシリンダ６４の動作に伴
い、図６に実線で示した待機位置から二点鎖線で示した
押し出し位置に駆動され、送受作業部３から送られたマ
ガジン１０３を停留部５の先端部側（手前側）へ送り出
す。なお、その送り出し量はマガジン１０３の奥行き寸
法よりやや大きな量である。停留部５の先端部側には、
送受作業部３側から送り出された最前部のマガジン１０
３を検知するための限界スイッチ６６が埋設されてい
る。限界スイッチ６６は、カバープレート６１に設けら
れた切欠き穴を介して表面に延出したスイッチ片６７を
有するマイクロスイッチである。

【００２７】そして、以上の構成からなるスタック装置
１においては、前記供給部４に複数のマガジン１０３が
供給された状態にあるとき、図外の制御装置による所定
の制御に基づきボンディング装置側のボンディング動作
と連動し、以下のように動作する。すなわち、スタック
装置１は動作を開始すると、押し当て部材２１，２１
が、供給されている全マガジン１０３を送受作業部３側
へ移動させ、先頭に位置する第１のマガジン１０３を受
容空間Ｂへ押し入れ、第１のマガジン１０３を上側スト
ッパ３７，３７上に載置する。また、供給スイッチ５８
がその状態を検知すると、第１のエアシリンダ１６への
エア供給を停止する。次に、昇降部材４３が上昇を開始
し、それが受容空間Ｂ内のマガジン１０３の底部に達す
る上昇端まで上昇すると、上側ストッパ３７，３７が待
機位置へ後退してマガジン１０３を昇降部材４３に支持
させる。

【００２８】引き続き、昇降部材４３が下降を開始し、
マガジン１０３が１つ分下がった位置まで下降すると、
１段目スイッチ５２がそれを検知する。それに伴い昇降
部材４３が停止するととともに上側ストッパ３７，３７
が支持位置に再び突出する一方、第１のエアシリンダ１
６が再び動作し、後続する第２のマガジン１０３を受容
空間Ｂ内へ移動して上側ストッパ３７，３７に載置させ
る。同時に、上側ストッパ３７，３７が待機位置へ後退
することにより、第２のマガジン１０３を第１のマガジ
ン１０３の上に載せる。一方、このとき、第１のマガジ
ン１０３の下端部は、ボンディング装置からリードフレ
ームが送られてくる送受空間Ｃに達しており、その状態
で昇降部材４３が一定のピッチで断続的に下降すること
により、第１のマガジン１０３内へのリードフレームの
収容が開始される。なお、送受作業の準備が整ったこと
は、作業部スイッチ５９によって検知され事前にボンデ
ィング装置に知らされる。

【００２９】次に、昇降部材４３が、第１のマガジン１
０３の全収容箇所にリードフレームが収容される所定位
置まで下降したら、それをサイドロックスイッチ５３が
検知する。すると、第３のエアシリンダ３８が動作し、
下側ストッパ３９が第１のマガジン１０３の上部に乗っ
ている第２のマガジン１０３を位置固定する。同時に、
前述したと同様の手順で、供給部４から第３のマガジン
１０３を受容空間Ｂへ供給し、それを第２のマガジン１
０３に載せる。また、その間には、昇降部材４３が下端
位置（図２で二点鎖線で示した位置）まで移動するとと
もに、それが下降端スイッチ５５により検知したら、第
３のエアシリンダ６４が動作し、押し出し板６５が作業
終了後のマガジン１０３（リードフレームが収容された
マガジン）を停留部５の先端部側（手前側）へ送り出
す。引き続き、昇降部材４３が第２のマガジン１０３の
底部に達するまで上昇した後、その位置で停止する。同
時に、下側ストッパ３９が待機位置へ戻って第２のマガ
ジン１０３の固定状態を解除し、昇降部材４３が再び一
定のピッチで断続的な下降を開始する。

【００３０】そして、以上の動作を繰り返し、やがて停
留部５に送られたマガジン１０３が所定数に達すると、
それを限界スイッチ６６が検知し、その旨を作業者に報
知する。また、供給部４に供給した全てのマガジン１０
３に対する作業が終了し、供給スイッチ５８によりマガ
ジン１０３の存在が検出できなくなったとき、つまり供
給部４にマガジン１０３が残存しない状態となった場合
にも、その旨を作業者に報知する。

【００３１】ここで、本実施の形態におけるスタック装
置１においては、供給部４と停留部５とが上下に位置す
る２階建て構造であり、供給部４が水平方向に延在して
いるため、供給部４の延在寸法を長くすることにより、
一度にセットできるマガジン１０３の数を増やすること
ができ、その場合であっても作業者がマガジン１０３を
供給する高さが一定である。よって、前記スタック装置
１によれば、マガジン１０３の供給作業を行う作業者の
安全性及び作業性を確保しつつ、一度に多量のマガジン
１０３を供給することができる。その結果、ラインの生
産効率を向上させることが可能である。

【００３２】また、本実施の形態においては、前述した
ように供給部４から送受作業部３の受容空間Ｂへマガジ
ン１０３を送った後には、それに続く次のマガジン１０
３を受容空間Ｂへ送るまでの間には、第１のエアシリン
ダ１６へのエアの供給が停止されて非動作状態となり、
その状態では、ハンドル２２を手前に引くことによって
作業者が手動で押し当て部材２２，２２を供給部４の先
端側に後退できる。つまり、前回セットしたマガジン１
０３が供給部３に残存している状態でも、新たなマガジ
ン１０３を供給部３へ適宜追加して供給することができ
る。

【００３３】よって、供給部４にマガジン１０３を常に
待機させておくことができ、新たなマガジン１０３の供
給待ちに伴いボンディング装置側の作業が中断されるこ
とを未然に防止し、ラインの稼働率を上げることができ
る。また、作業者にあっては、前回供給した全てのマガ
ジン１０３に対するリードフレームの送受作業が一度終
了することを待たずに、自己の都合に応じて供給作業を
行うことができ、これによっても作業者の作業性が向上
する。その結果、マガジン１０３の供給作業を行う作業
者の人員削減が可能となり、生産効率のより一層の向上
が可能となる。

【００３４】また、前記押し当て部材２２，２２を第１
のエアシリンダ１６により駆動する構成であるため、単
純な構造であっても供給部４の延在長を長くすることが
できる。したがって、製造コストを抑えつつ一度に供給
できるマガジン１０３の数を容易に増やすことができ
る。なお、製造コストはやや高くなるが、これ以外の駆
動機構を用いても、非動作時に押し当て部材２２，２２
を供給部４の先端側に適宜後退可能とすることは可能で
ある。例えば、供給部４の基端部と先端側とに一対のプ
ーリーを設け、それらの間に駆動ベルトを張設し、かつ
駆動ベルトに押し当て部材２２，２２を連結させれば、
原動側のプーリーをモータの回転により押し当て部材２
２，２２を送受作業部３側へ駆動できる。また、原動側
のプーリーとモータとの間に、モータの非動作時におけ
る原動側のプーリーの逆転を許容させるギヤ機構を設け
れば、手動による押し当て部材２２，２２の前述した後
退操作が可能となる。

【００３５】また、本実施の形態の送受作業部３におい
ては、昇降部材４３を送りネジ３２を介してパルスモー
タ４８により駆動する構成であって、リードフレームの
送受作業時における昇降部材４３の移動ピッチ制御が可
能となっている。よって、要求される昇降部材４３の移
動ピッチが異なる複数種のマガジンの使用に対応するこ
とができ、かかる汎用性の確保よって装置の低コスト化
が可能である。

【００３６】なお、本実施の形態においては、供給部４
と停留部５とが上下に位置する２階建て構造のものを示
したが、これに限らず、作業者の安全性及び作業性を確
保できる範囲であれば、例えば供給部４と停留部５とを
各々２階建て構造とすることもできる。その場合には、
それらを本実施の形態と同様の機構を有する単一の送受
作業部３で連結するとともに前述した昇降部材４３を、
互いに対をなす一方の供給部４と停留部５との間と、他
方の供給部４と停留部５の間とを交互に移動させるよう
にすればよい。

【００３７】また、本実施の形態においては、アンロー
ダとして使用されるスタック装置１について説明した
が、これとは別に、マガジン１０３内のリードフレーム
をボンディング装置へ送るローダとして使用されるスタ
ック装置においても本発明を採用することができる。そ
の場合にも前述したスタック装置１と同様の効果が得ら
れる。但し、その場合には、マガジン１０３内のリード
フレームをボンディング装置へ送るための機構が別途必
要となる。また、本発明におけるスタック装置は、ボン
ディング装置以外の装置に隣接して半導体装置の製造ラ
インに配置されるものであってもよく、さらにリードフ
レーム以外の物品をワークとするものであってもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように請求項１のスタック
装置においては、供給部に一度にセットできるマガジン
の数を増やしても、マガジンの供給位置の高さが一定と
なるようにした。よって、マガジンの供給作業を行う作
業者の安全性及び作業性を確保しつつ、一度に多量のマ
ガジンを供給することができ、その結果、ラインの生産
効率を向上させることが可能となる。

【００３９】また、請求項２のスタック装置において
は、前回セットしたマガジンが供給部に残存している状
態でも、マガジンを供給部へ適宜追加して供給すること
ができるようにした。よって、供給部にはワークの送受
作業が行われるマガジンを常に待機させておくことが可
能となるため、新たなマガジンの供給待ちに伴い隣接す
る他の装置の作業が中断されることを未然に防止し、ラ
インの稼働率を上げることが可能となる。また、作業者
にあっては、前回供給した全てのマガジンに対するワー
クの送受作業が一度終了することを待たずに、自己の都
合に応じて供給作業を行うことができ、これによっても
作業者の作業性が向上する。その結果、マガジンの供給
作業を行う作業者の人員削減が可能となり、生産効率の
より一層の向上が可能となる。

【００４０】また、請求項３のスタック装置において
は、押し当て部材の駆動機構を複雑にすることなく、押
し当て部材の移動距離、つまり供給部の延長を長くする
ことができるようにした。よって、一度に供給可能なマ
ガジンの数を低コストにて増やすことができる。

【００４１】また、請求項４のスタック装置において
は、マガジンを送受作業部で間欠的に移動する際のピッ
チを必要に応じて変化させることができるようにした。
よって、ワークの送受作業時に要求される移動ピッチが
異なる複数種のマガジンに対応することができ、かかる
汎用性の確保よって装置の低コスト化が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示すスタック装置の右
側面図である。

【図２】右側面から見た状態でのスタック装置の内部構
造を示す説明図である。

【図３】図２の右側に続く部分を示す説明図である。

【図４】スタック装置の平面図である。

【図５】供給レールを取り除いた状態におけるスタック
装置の正面図である。

【図６】スタック装置の背面図である。

【図７】スタック装置の停留部側の構造を示す平面図で
ある。

【図８】半導体装置の製造ラインにおけるローダ及びア
ンローダの配置図である。

【図９】従来技術におけるマガジンの供給形態を示す説
明図である。

【符号の説明】

１ スタック装置 ３ 送受作業部 ４ 供給部 ５ 停留部 １６ 第１のエアシリンダ（駆動手段） ２２ ハンドル ２２ 押し当て部材 ４３ 昇降部材 ４５ 送りネジ ４６ 駆動ナット ４８ パルスモータ １０３ マガジン

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置の製造ラインに他の装置に隣
   接して配置されるスタック装置において、 前記他の装置との間でワークの送受作業が行われるマガ
   ジンを複数供給する供給部と、この供給部に供給された
   複数のマガジンを前記送受作業に伴い前記他の装置と連
   動して鉛直方向に間欠的に移動させる間欠移動機構を有
   した送受作業部と、この送受作業部にて間欠的に移動さ
   れ前記送受作業が完了したマガジンを停留させる停留部
   とを備え、前記供給部と前記停留部とが前記送受作業部
   の上方側と下方側とに相離間して連結されるとともに、
   前記供給部が水平方向に延在することを特徴とするスタ
   ック装置。
2. 【請求項２】 前記供給部に、当該供給部の延在方向に
   並ぶ複数の前記マガジンであって前記送受作業部と離間
   する側のマガジンに当接する押し当て部材と、この押し
   当て部材を前記送受作業部へ向けて駆動し、前記押し当
   て部材により前記複数のマガジンを移動させ前記送受作
   業部と近接する側のマガジンを前記送受作業部へ送る駆
   動手段とが設けられ、前記押し当て部材が前記駆動手段
   の非動作時における前記送受作業部と離間する方向への
   移動を許容されたことを特徴とする請求項１記載のスタ
   ック装置。
3. 【請求項３】 前記駆動手段はエアシリンダであること
   を特徴とする請求項２記載のスタック装置。
4. 【請求項４】 前記間欠移動機構は、前記送受作業の対
   象となる前記マガジンを支持する昇降部材と、この昇降
   部材を駆動するパルスモータとを有することを特徴とす
   る請求項１，２又は３記載のスタック装置。