JP3244319B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
- B23K26/0853—Devices involving movement of the workpiece in at least in two axial directions, e.g. in a plane
Description
断したときレーザ加工を再開するレーザ加工装置に関す
る。
断したときのレーザ加工再開方法は、レーザ加工を自動
化する際の重要課題の一つである。このようなレーザ加
工再開方法として、加工が異常発生等で中断した時に加
工ヘッドをZ軸方向に一旦リトラクトさせ、再度その中
断した位置で加工をアプローチし、レーザ加工を再開さ
せる方法が知られている。
検出して加工を停止させても、機械は直ちに停止するこ
とはできないので、加工ヘッドが完全に停止するまでに
未加工部分が残ってしまう。上記従来技術では、この状
態から加工を再開することになる。このため、異常発生
原因がそのまま継続していて、うまくレーザ加工を再開
できなかったり、再開できても未加工部分を残す結果に
なったりしていた。
のであり、未加工部分を残すことなくレーザ加工を的確
に再開することができるレーザ加工装置を提供すること
を目的とする。
決するために、レーザ加工時に加工が中断したとき前記
レーザ加工の再開を行うレーザ加工装置において、レー
ザ加工中に加工異常を検出したとき前記レーザ加工を中
断する手段と、前記加工異常検出時の加工位置を記憶す
る手段と、前記加工位置から加工ヘッドを所定距離だけ
リトラクトさせる手段と、前記リトラクトの完了時に前
記レーザ加工中断までに実行してきた加工パスに沿って
前記加工ヘッドを所定距離だけ逆行させる手段と、前記
逆行の完了時に前記加工ヘッドをワークに接近させる手
段と、前記接近の完了時に前記レーザ加工を再開して前
記加工ヘッドを前記レーザ加工中断までに実行してきた
加工パスに沿って順行させる手段と、前記加工異常検出
時の加工位置を通過したか否かを判別する手段と、前記
加工異常検出時の加工位置通過前に前記加工異常を再度
検出したとき、前記レーザ加工中断から前記レーザ加工
再開による順行までのリトライ処理を繰り返し行う手段
と、前記リトライ処理の繰り返し回数が所定回数に達し
たとき、当該加工ブロックをスキップして次の加工開始
点からレーザ加工を再開する手段とを備えたことを特徴
とするレーザ加工装置が、提供される。
加工再開のためのリトライ処理に入る。すなわち、先
ず、加工異常の検出信号を受けてレーザ加工を中断し、
そのときの加工位置を記憶すると共に、加工ヘッドを所
定距離だけリトラクトさせる。そのリトラクトが完了し
た時点でレーザ加工中断時までに実行してきた加工パス
に沿って加工ヘッドを所定距離だけ逆行させ、その逆行
が完了した時点で加工ヘッドをワークに接近させる。接
近完了時にレーザ加工を再開し、加工ヘッドをレーザ加
工中断時までに実行してきた加工パスに沿って順行させ
る。その際に、加工異常検出時の加工位置を通過したか
否かを判別し、加工異常検出時の加工位置通過前に加工
異常を再度検出したとき、上記のレーザ加工中断からレ
ーザ加工再開による順行までのリトライ処理を繰り返
す。リトライ処理の繰り返し回数が所定回数に達したと
き、当該加工ブロックをスキップして次の加工ブロック
からレーザ加工を開始する。加工異常検出時の加工位置
をそのまま通過したときは、プログラム指令に従って加
工を継続する。
明する。図1は本発明のレーザ加工装置が行うレーザ加
工再開方法の説明図である。図において、レーザ加工装
置の加工ヘッドは、加工点P1から加工点P2までの経
路(加工パス)Lに沿って移動し、さらに加工点P2か
ら矢印A方向に移動し、レーザ加工を実行する。この加
工ヘッドの移動制御及びレーザ加工制御は、数値制御装
置(CNC)が、そのメモリ内に格納されている加工プ
ログラムによって行う。
ザ加工を進め、加工点P3において、加工異常が検出さ
れた場合を想定する。この加工異常検出は、例えば光セ
ンサが加工点でのバーニング発生時の光量を検出して行
なう。CNCは、加工異常検出信号を受けると、レーザ
加工再開のためのリトライ処理に入る。すなわち、先
ず、レーザ加工を停止(中断)し、そのときの加工点P
3の位置を記憶する。レーザ加工停止は、レーザビーム
とアシストガスの双方をオフすることで行なう。
けリトラクトさせる。点P5でリトラクトが完了する
と、それまでに実行してきた加工パスLに沿って加工ヘ
ッドを距離L2 だけ逆行させる。点P6で逆行が完了す
ると、加工ヘッドを−Z軸方向に移動させて加工点P7
に接近させ、ノズルとワークとの間のギャップ制御を行
なう。接近完了時にレーザ加工を再開し、加工点P3を
終点として移動指令を作り出して順行を開始する。レー
ザ加工再開は、レーザビームとアシストガスの双方をオ
ンして行なう。
パスLに沿って順行させ、加工ヘッドが加工点P3まで
戻ると、レーザ加工中断時までに実行していた加工ブロ
ックを呼出して、その加工ブロックの実行を再開する。
当該加工ブロックの実行を再開し、加工ヘッドが加工ブ
ロックの最終点である加工点P2に達すると、そのまま
次の加工ブロックを実行し、矢印A方向にレーザ加工を
継続する。
P3に順行させている途中で、CNCが再度加工異常検
出信号を受けると、上記のレーザ加工停止、リトラク
ト、逆行、ギャップ制御及び順行からなるリトライ処理
を再度行なう。また、加工パスL上には、加工点P3か
ら距離L1 (以下、「通過距離L1 」という)だけ離れ
た点P4が予め設定してあり、加工ヘッドが加工点P3
を通過した後、通過距離L1 内を移動しているときに、
CNCが再度加工異常検出信号を受けた場合も、上記リ
トライ処理を行なう。
る加工点P3に対して通過距離L1を設定したのは、加
工異常検出位置近傍では、通常、同様の加工異常が発生
する可能性があり、その部分に通過距離L1 を設定して
確実にレーザ加工をクリアさせるためである。
4までの再度のレーザ加工時に加工異常検出信号が発生
すると、CNCはリトライ処理を繰り返し行なうが、そ
の繰り返し回数が所定回数n0 回、例えば3回を越える
とその加工ブロックの実行を停止してスキップし、次の
加工ブロックの実行に移る。例えば、図において、3回
目のリトライ処理を実行中に、加工点P8で加工異常が
検出されると、CNCは、それ以降のレーザ加工を停止
し、点P9、点P10を経由して加工点P2まで加工ヘ
ッドをスキップさせ、加工点P2から新たなレーザ加工
を開始する。
と、加工ヘッドをZ軸方向にリトラクトさせるように構
成したが、ワークの加工状態によっては、このリトラク
ト量を0に設定するようにしてもよい。
ローチャートである。図中Sに続く数字はステップ番号
を表す。 〔S1〕先ず、光センサ等から加工異常検出信号を受け
取る。 〔S2〕レーザビーム及びアシストガスをオフしてレー
ザ加工を停止する。 〔S3〕加工異常検出位置を記憶する。 〔S4〕加工ヘッドを所定距離h0 だけリトラクトす
る。 〔S5〕加工ヘッドを加工パスLに沿って所定距離L2
だけ逆行させる。 〔S6〕加工ヘッドをワークに接近させ、ギャップ制御
を行なう。 〔S7〕レーザビーム及びアシストガスをオンしてレー
ザ加工を再開する。 〔S8〕加工ヘッドを加工パスLに沿って順行させる。 〔S9〕通過距離L1 経過までに再度加工異常を検出し
たか否かを判別する。再度加工異常を検出したときはス
テップS10に、そうでなければステップS12にそれ
ぞれ進む。 〔S10〕加工異常検出が所定回数n0 回目か否かを判
別する。n0 回目であればステップS11に進み、そう
でなければステップS2に戻り、再度リトライ処理を実
行する。 〔S11〕加工異常検出がn0 回目なので、当該加工ブ
ロックの実行を停止し、スキップして次の加工ブロック
を実行する。 〔S12〕加工異常を検出していないので、そのままレ
ーザ加工を継続する。
出したとき、レーザ加工再開のためのリトライ処理に入
り、所定距離L2 だけ戻ってレーザ加工を再開するよう
にした。このため、加工異常発生時に生じる未加工部分
を残すことなくレーザ加工を的確に再開することができ
る。
返しても加工異常が発生するときは、次の加工ブロック
にスキップするようにしたので、無人運転時でも、レー
ザ加工を停止させることなく、継続して行なうことがで
きる。
初の加工異常検出位置を通過してもなお、同様の加工異
常が発生する可能性がある部分もリトライ処理の対象に
含まれることになる。このため、加工異常発生近傍での
レーザ加工を確実にクリアさせることができる。
を示す図である。図において、プロセッサ10はメモリ
31に格納されたレーザ加工再開方法を実行するプログ
ラムを読み出し、レーザ加工装置全体の動作を制御す
る。このメモリ31は加工プログラム、各種のパラメー
タ等を格納する不揮発性メモリであり、バッテリバック
アップされたCMOSが使用される。
タを内蔵しており、プロセッサ10から出力された出力
指令値を電流指令値に変換して出力する。励起用電源1
2は商用電源を整流した後、スイッチング動作を行なっ
て高周波の電圧を発生し、電流指令値に応じた高周波電
流をレーザ発振器の放電管17に供給する。放電管17
の内部にはレーザガス16が循環しており、励起用電源
12から高周波電圧が印加されると放電を生じてレーザ
ガス16が励起される。リア鏡15及び出力鏡18はフ
ァブリペロー型共振器を構成し、レーザガス分子を励起
してレーザビーム19を外部に出力する。パワーセンサ
14は熱電あるいは光電変換素子等で構成され、リア鏡
15から一部透過して出力されたレーザ光を入力してレ
ーザビーム19の出力パワーを測定する。A/D変換器
13はパワーセンサ14の出力をディジタル値に変換し
てプロセッサ10に入力する。
ド20で集光されてワーク46の表面に照射され、レー
ザ加工が行われる。また、加工ヘッド20には、光セン
サ22が設けられている。光センサ22は、ワーク加工
時のバーニング等の加工異常に発生する異常光22aを
検出し、それを加工異常検出信号としてインタフェース
70を経由してプロセッサ10に送る。
によってサーボアンプ41を介してサーボモータ42を
回転制御し、ボールスクリュー44及びナット43によ
ってテーブル45の移動を制御し、ワーク46の位置を
制御する。このサーボモータ42はテーブル45のX軸
方向の位置制御を行なう。なお、Y軸の位置制御回路、
サーボアンプ、サーボモータ等は省略してある。
によってサーボアンプ51を介してサーボモータ21を
回転制御し、加工ヘッド20のZ軸方向の位置制御を行
う。また、表示装置60にはCRTあるいは液晶表示装
置等が使用される。
加工中に加工異常を検出したとき、レーザ加工再開のた
めのリトライ処理に入り、所定距離だけ戻ってレーザ加
工を再開するようにした。このため、加工異常発生時に
生じる未加工部分を残すことなくレーザ加工を的確に再
開することができる。
も加工異常が発生するときは、次の加工ブロックにスキ
ップするようにしたので、無人運転時でも、レーザ加工
を停止させることなく、継続して行なうことができる。
方法の説明図である。
る。
る。
ある。
Claims (4)
- 【請求項1】 レーザ加工時に加工が中断したとき前記
レーザ加工の再開を行うレーザ加工装置において、 レーザ加工中に加工異常を検出したとき前記レーザ加工
を中断する手段と、 前記加工異常検出時の加工位置を記憶する手段と、 前記加工位置から加工ヘッドを所定距離だけリトラクト
させる手段と、 前記リトラクトの完了時に前記レーザ加工中断までに実
行してきた加工パスに沿って前記加工ヘッドを所定距離
だけ逆行させる手段と、 前記逆行の完了時に前記加工ヘッドをワークに接近させ
る手段と、 前記接近の完了時に前記レーザ加工を再開して前記加工
ヘッドを前記レーザ加工中断までに実行してきた加工パ
スに沿って順行させる手段と、 前記加工異常検出時の加工位置を通過したか否かを判別
する手段と、 前記加工異常検出時の加工位置通過前に前記加工異常を
再度検出したとき、前記レーザ加工中断から前記レーザ
加工再開による順行までのリトライ処理を繰り返し行う
手段と、 前記リトライ処理の繰り返し回数が所定回数に達したと
き、当該加工ブロックをスキップして次の加工開始点か
らレーザ加工を再開する手段とを備えたことを特徴とす
るレーザ加工装置。 - 【請求項2】 レーザ加工時に加工が中断したとき前記
レーザ加工の再開を行うレーザ加工装置において、 レーザ加工中に加工異常を検出したとき前記レーザ加工
を中断する手段と、 前記加工異常検出時の加工位置を記憶する手段と、 前記加工異常検出位置からの通過距離を設定する手段と
前記加工位置から加工ヘッドを所定距離だけリトラクト
させる手段と、 前記リトラクトの完了時に前記レーザ加工中断までに実
行してきた加工パスに沿って前記加工ヘッドを所定距離
だけ逆行させる手段と、 前記逆行の完了時に前記加工ヘッドをワークに接近させ
る手段と、 前記接近の完了時に前記レーザ加工を再開して前記加工
ヘッドを前記レーザ加工中断までに実行してきた加工パ
スに沿って順行させる手段と、 前記加工異常検出時の加工位置に設定された前記通過距
離を加算した位置を通過したか否かを判別する手段と、 前記加工異常検出時の加工位置に前記通過距離が加算さ
れた位置を通過前に前記加工異常を再度検出したとき、
前記レーザ加工中断から前記レーザ加工再開による順行
までのリトライ処理を繰り返し行う手段と、 前記リトライ処理の繰り返し回数が所定回数に達したと
き、当該加工ブロックをスキップして次の加工開始点か
らレーザ加工を再開する手段とを備えたことを特徴とす
るレーザ加工装置。 - 【請求項3】 前記加工異常検出時のレーザ加工中断を
レーザビーム及びアシストガスのオフによって実行し、
前記レーザ加工の再開をレーザビーム及びアシストガス
のオンによって実行することを特徴とする請求項1又は
請求項2記載のレーザ加工装置。 - 【請求項4】 前記加工ヘッドをリトラクトさせる際の
所定距離は0の設定も許すことを特徴とする請求項1乃
至請求項3の内の1項記載のレーザ加工装置。
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US08/290,737 US5852276A (en) | 1992-12-28 | 1993-12-07 | Laser machining resuming method |
DE69318144T DE69318144T2 (de) | 1992-12-28 | 1993-12-07 | Verfahren zur wiederfortsetzung einer laserstrahlbearbeitung |
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006329947A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Shimadzu Corp | 自動x線検査装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3185580B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2001-07-11 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置および加工方法 |
US6325697B1 (en) | 1999-11-24 | 2001-12-04 | Glassline Corporation | CNC machine tools |
JP2001287059A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-16 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機の加工不良検出方法およびその装置 |
US7423734B1 (en) * | 2000-04-25 | 2008-09-09 | Ilmar Luik | Combined video camera and toolholder with triangulation sensing |
US6455807B1 (en) | 2000-06-26 | 2002-09-24 | W.A. Whitney Co. | Method and apparatus for controlling a laser-equipped machine tool to prevent self-burning |
JP4502494B2 (ja) * | 2000-11-01 | 2010-07-14 | 新日本製鐵株式会社 | オンライン圧延ロール研削装置異常時の研削装置の操作方法 |
JP4758019B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2011-08-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 溶接ロボット装置の自動運転方法 |
JP2003019581A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-21 | Tanaka Engineering Works Ltd | レーザ切断機及びレーザ切断方法 |
JP5048978B2 (ja) * | 2006-07-14 | 2012-10-17 | 株式会社ディスコ | レーザ加工装置 |
JP2010120071A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-06-03 | Amada Co Ltd | 加工機及びその加工機の未加工製品特定方法 |
JP5902747B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2016-04-13 | ファナック株式会社 | 加工再開準備機能を有するレーザ加工システム |
JP2016019997A (ja) * | 2014-07-15 | 2016-02-04 | ファナック株式会社 | 被加工物をレーザ加工するレーザ加工システム |
JP6276234B2 (ja) * | 2015-10-15 | 2018-02-07 | ファナック株式会社 | オーバライドスイッチによるプログラムチェック機能を備えた数値制御装置 |
JP6387436B1 (ja) * | 2017-05-16 | 2018-09-05 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ溶接方法及びレーザ溶接装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61189891A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ加工装置 |
JP2820939B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1998-11-05 | ファナック 株式会社 | Ncレーザ装置 |
JPH02142688A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レーザー装置の光学部品熱レンズ監視方法 |
JP2684107B2 (ja) * | 1990-02-28 | 1997-12-03 | 松下電器産業株式会社 | レーザ加工機用数値制御装置 |
JP2649283B2 (ja) * | 1990-08-08 | 1997-09-03 | 新明和工業株式会社 | ロボットの加工制御方法 |
JP2817749B2 (ja) * | 1991-10-07 | 1998-10-30 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34818392A patent/JP3244319B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-12-07 DE DE69318144T patent/DE69318144T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-12-07 US US08/290,737 patent/US5852276A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1993-12-07 WO PCT/JP1993/001778 patent/WO1994014566A1/ja active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006329947A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Shimadzu Corp | 自動x線検査装置 |
JP4530162B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2010-08-25 | 株式会社島津製作所 | 自動x線検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0633092A1 (en) | 1995-01-11 |
US5852276A (en) | 1998-12-22 |
DE69318144D1 (de) | 1998-05-28 |
DE69318144T2 (de) | 1998-08-13 |
JPH06202722A (ja) | 1994-07-22 |
EP0633092B1 (en) | 1998-04-22 |
EP0633092A4 (en) | 1995-08-02 |
WO1994014566A1 (en) | 1994-07-07 |
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