JP3206402B2 - 吸着ヘッド - Google Patents
吸着ヘッドInfo
- Publication number
- JP3206402B2 JP3206402B2 JP30258195A JP30258195A JP3206402B2 JP 3206402 B2 JP3206402 B2 JP 3206402B2 JP 30258195 A JP30258195 A JP 30258195A JP 30258195 A JP30258195 A JP 30258195A JP 3206402 B2 JP3206402 B2 JP 3206402B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- suction head
- horizontal portion
- conductive ball
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半田ボールなどの
導電性ボールを吸着する吸着ヘッドに関するものであ
る。
導電性ボールを吸着する吸着ヘッドに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、基板上に形成された電極に、複数
の導電性ボールを吸着し、移載する工程において吸着ヘ
ッドが使用されている。
の導電性ボールを吸着し、移載する工程において吸着ヘ
ッドが使用されている。
【０００３】次に、図３〜図４を参照しながら、従来の
吸着ヘッド及びそれを用いた導電性ボールの移載装置に
ついて説明する。図３は、従来の導電性ボールの移載装
置の側面図である。
吸着ヘッド及びそれを用いた導電性ボールの移載装置に
ついて説明する。図３は、従来の導電性ボールの移載装
置の側面図である。
【０００４】図３中、１は半田ボールなどの導電性ボー
ル２を多数収納するボール溜であり、ボール溜１の上部
は開口され、この上部より吸着ヘッド６が出入りしてボ
ール溜１内の導電性ボール２を吸着し、ピックアップで
きるようになっている。
ル２を多数収納するボール溜であり、ボール溜１の上部
は開口され、この上部より吸着ヘッド６が出入りしてボ
ール溜１内の導電性ボール２を吸着し、ピックアップで
きるようになっている。
【０００５】３はボール溜１の横に配置される保持部材
である。保持部材３には、基板５に形成された電極５ａ
が上向きになる姿勢で、電子部品４が保持されている。
である。保持部材３には、基板５に形成された電極５ａ
が上向きになる姿勢で、電子部品４が保持されている。
【０００６】また、６は吸着ヘッドであり、吸着ヘッド
６の内部には、吸引系統としての吸引管Ｐが連通してい
る。なお、吸着ヘッド６の詳細な構成については、後述
する。７は吸着ヘッド６が固定されたホルダ、８は、Ｚ
モータ９が駆動されることにより、ホルダ７を昇降させ
るＺテーブルである。したがって、Ｚモータ９を駆動す
れば、吸着ヘッド６を昇降させることができる。
６の内部には、吸引系統としての吸引管Ｐが連通してい
る。なお、吸着ヘッド６の詳細な構成については、後述
する。７は吸着ヘッド６が固定されたホルダ、８は、Ｚ
モータ９が駆動されることにより、ホルダ７を昇降させ
るＺテーブルである。したがって、Ｚモータ９を駆動す
れば、吸着ヘッド６を昇降させることができる。
【０００７】また、Ｚテーブル８の上端部には、送りナ
ット１０が回転自在に固定され、送りナット１０には、
送りモータ１２より回転し軸方向が図３左右方向を向く
送りネジ１１が螺合している。したがって、モータ１２
を駆動すると、吸着ヘッド６を図３左右方向に移動させ
ることができる。
ット１０が回転自在に固定され、送りナット１０には、
送りモータ１２より回転し軸方向が図３左右方向を向く
送りネジ１１が螺合している。したがって、モータ１２
を駆動すると、吸着ヘッド６を図３左右方向に移動させ
ることができる。
【０００８】さて図４（ａ）は、従来の吸着ヘッドの縦
断面図である。上述したように、吸着ヘッド６の内部に
は、吸引系統としての吸引管Ｐが接続され、吸引ヘッド
６の内部空間Ｓは、吸着動作時にほぼ真空圧に近い状態
となり、外部との圧力差が大きい。このときの変形を防
止するため、吸着ヘッド６自体の剛性を高めるべく、吸
着ヘッド６は全体的に肉厚に形成される。
断面図である。上述したように、吸着ヘッド６の内部に
は、吸引系統としての吸引管Ｐが接続され、吸引ヘッド
６の内部空間Ｓは、吸着動作時にほぼ真空圧に近い状態
となり、外部との圧力差が大きい。このときの変形を防
止するため、吸着ヘッド６自体の剛性を高めるべく、吸
着ヘッド６は全体的に肉厚に形成される。
【０００９】図４（ａ）において、Ｆは吸着ヘッド６の
底部である水平部であり、Ｂは水平部Ｆのうち吸引管Ｐ
に連通する内部空間Ｓ側に臨む内面、Ａは内面Ｂの反対
側に位置し、外部に露呈し、導電性ボール２に接触する
外面である。そして、内部空間Ｓの真空圧を利用して、
外面Ａに導電性ボール２を吸着するため、水平部Ｆに
は、電極５ａの配置にあわせて、内面Ｂから外面Ａまで
水平部Ｆを貫通する吸引孔６ａが開けられている。
底部である水平部であり、Ｂは水平部Ｆのうち吸引管Ｐ
に連通する内部空間Ｓ側に臨む内面、Ａは内面Ｂの反対
側に位置し、外部に露呈し、導電性ボール２に接触する
外面である。そして、内部空間Ｓの真空圧を利用して、
外面Ａに導電性ボール２を吸着するため、水平部Ｆに
は、電極５ａの配置にあわせて、内面Ｂから外面Ａまで
水平部Ｆを貫通する吸引孔６ａが開けられている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】さて上述したように、
吸着ヘッド６の内部空間Ｓは、外部に対して圧力差がか
なり大きいので、吸着ヘッド６、特に水平部Ｆの中央付
近は、圧力差に負けて内部空間Ｓ側へへこみやすい。
吸着ヘッド６の内部空間Ｓは、外部に対して圧力差がか
なり大きいので、吸着ヘッド６、特に水平部Ｆの中央付
近は、圧力差に負けて内部空間Ｓ側へへこみやすい。
【００１１】このような変形を生ずると、導電性ボール
を基板の電極へ移載する際に平行度が不足し、搭載の位
置ずれが発生する。したがって、図４（ｂ）に示すよう
に、水平部Ｆの剛性を大きくするため板厚ｔ１をかなり
大きくせざるを得ない。
を基板の電極へ移載する際に平行度が不足し、搭載の位
置ずれが発生する。したがって、図４（ｂ）に示すよう
に、水平部Ｆの剛性を大きくするため板厚ｔ１をかなり
大きくせざるを得ない。
【００１２】しかしながら、図４（ｂ）に示すように全
体を均一に厚くすると、深い穴加工を行わねばならな
い。殊に最近狭ピッチで電極５ａが形成される傾向にあ
り、また導電性ボール２もより小径になってきている。
その結果、非常に小径の吸引孔を深く、しかも狭ピッチ
で開けねばならず、加工が極めて困難であるという問題
点があった。
体を均一に厚くすると、深い穴加工を行わねばならな
い。殊に最近狭ピッチで電極５ａが形成される傾向にあ
り、また導電性ボール２もより小径になってきている。
その結果、非常に小径の吸引孔を深く、しかも狭ピッチ
で開けねばならず、加工が極めて困難であるという問題
点があった。
【００１３】そこで本発明は、圧力差による変形を防止
できるだけでなく加工が容易な吸着ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
できるだけでなく加工が容易な吸着ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の吸着ヘッドは、
導電性ボールを真空圧により吸着してピックアップし、
基板に移載する導電性ボールの移載装置における吸着ヘ
ッドであって、吸引系統に接続され、吸引系統側に位置
する上面である内面と導電性ボールに接触し内面に対し
て上下反対側に位置する下面である外面とを有する肉厚
の底部である水平部と、前記水平部を前記内面から前記
外面まで貫通する吸引孔とを備え、吸引孔は、内面側が
外面側よりも巾広に形成されている。
導電性ボールを真空圧により吸着してピックアップし、
基板に移載する導電性ボールの移載装置における吸着ヘ
ッドであって、吸引系統に接続され、吸引系統側に位置
する上面である内面と導電性ボールに接触し内面に対し
て上下反対側に位置する下面である外面とを有する肉厚
の底部である水平部と、前記水平部を前記内面から前記
外面まで貫通する吸引孔とを備え、吸引孔は、内面側が
外面側よりも巾広に形成されている。
【００１５】
【発明の実施の形態】上記構成において、吸引孔の巾が
内面側で広く外面側で狭くしたことにより、水平部に肉
厚の部分を十分残して、実質的なリブに相当する高剛性
の部分を残すことができる。このため、圧力差に負けな
いように、水平部全体としての剛性を高くすることがで
きる。
内面側で広く外面側で狭くしたことにより、水平部に肉
厚の部分を十分残して、実質的なリブに相当する高剛性
の部分を残すことができる。このため、圧力差に負けな
いように、水平部全体としての剛性を高くすることがで
きる。
【００１６】また、吸引孔の内面側が巾広になっている
ので、吸引孔のうち小径の部分を水平部の肉厚よりもず
っと薄くでき、小径の穴開け加工は、従来の吸着ヘッド
のように深く行う必要がない。これにより、穴開け加工
をより簡単に行うことができる。
ので、吸引孔のうち小径の部分を水平部の肉厚よりもず
っと薄くでき、小径の穴開け加工は、従来の吸着ヘッド
のように深く行う必要がない。これにより、穴開け加工
をより簡単に行うことができる。
【００１７】次に図面を参照しながら、本発明の実施の
形態を説明する。図１は、本発明の第１実施の形態にお
ける吸着ヘッドの水平部の拡大図である。
形態を説明する。図１は、本発明の第１実施の形態にお
ける吸着ヘッドの水平部の拡大図である。
【００１８】第１実施の形態では、吸着ヘッド１３の底
部である水平部Ｆの板厚ｔ２を十分な剛性を有するよう
に厚くしてある。
部である水平部Ｆの板厚ｔ２を十分な剛性を有するよう
に厚くしてある。
【００１９】そして、吸引孔１３ａを形成するにあた
り、まず内面Ｂ側から深さｈ１（＜ｔ２）だけ巾広（直
径Ｄ２）の穴を開ける。この穴開け加工は、大径の穴開
けであるから簡単に行える。
り、まず内面Ｂ側から深さｈ１（＜ｔ２）だけ巾広（直
径Ｄ２）の穴を開ける。この穴開け加工は、大径の穴開
けであるから簡単に行える。
【００２０】大径の穴が開けられると、次に小径（直径
Ｄ１＜＜Ｄ２）の穴を深さｈ２（＝ｔ２−ｈ１）だけ開
けて、水平部（底部）Ｆの上面である内面Ｂから下面で
ある外面Ａまで貫通する吸引孔１３ａとする。このと
き、小径の穴開け加工は、板厚ｔ２に比べてずっと浅く
行えば良いので、簡単に実現できる。
Ｄ１＜＜Ｄ２）の穴を深さｈ２（＝ｔ２−ｈ１）だけ開
けて、水平部（底部）Ｆの上面である内面Ｂから下面で
ある外面Ａまで貫通する吸引孔１３ａとする。このと
き、小径の穴開け加工は、板厚ｔ２に比べてずっと浅く
行えば良いので、簡単に実現できる。
【００２１】その結果、内面Ｂ側は巾広（直径Ｄ２）
で、外面Ａ側が巾狭（直径Ｄ１）の、吸引孔１３ａを形
成できる。ここで、第１実施の形態では、隣接する吸引
孔１３ａ同士の間に、一部巾広の壁のような部分が残
り、この部分は実質的なリブのように、補強材的に作用
を奏するので、吸着ヘッド１３の全体として十分な剛性
が得られる。
で、外面Ａ側が巾狭（直径Ｄ１）の、吸引孔１３ａを形
成できる。ここで、第１実施の形態では、隣接する吸引
孔１３ａ同士の間に、一部巾広の壁のような部分が残
り、この部分は実質的なリブのように、補強材的に作用
を奏するので、吸着ヘッド１３の全体として十分な剛性
が得られる。
【００２２】図２は、本発明の第２実施の形態における
吸着ヘッドの水平部の拡大図である。第２実施の形態で
は、吸着ヘッド１４の水平部Ｆにおいて、隣接する複数
の吸引孔１４ａの巾広な部分（内面Ｂ側）を水平に連続
させたものである。第２実施の形態では、第１実施の形
態に対して剛性に欠けるが、小径の穴開け加工をより簡
単に行うことができる。したがって、第２実施の形態
は、吸着ヘッド１４自体の材料をより剛性の高いものに
する場合などに好適である。
吸着ヘッドの水平部の拡大図である。第２実施の形態で
は、吸着ヘッド１４の水平部Ｆにおいて、隣接する複数
の吸引孔１４ａの巾広な部分（内面Ｂ側）を水平に連続
させたものである。第２実施の形態では、第１実施の形
態に対して剛性に欠けるが、小径の穴開け加工をより簡
単に行うことができる。したがって、第２実施の形態
は、吸着ヘッド１４自体の材料をより剛性の高いものに
する場合などに好適である。
【００２３】
【００２４】
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【発明の効果】本発明の吸着ヘッドは、吸引系統に接続
され、吸引系統側に位置する内面と、導電性ボールに接
触し内面に対して上下反対側に位置する外面と、内面か
ら外面まで貫通し導電性ボールを吸着する吸引孔を有す
る肉厚の水平部を備え、吸引孔は、内面側が外面側より
も巾広に形成されているので、小径の穴開け加工を容易
にできるだけでなく、十分な剛性を確保して、圧力差に
よる変形を防止できる。
され、吸引系統側に位置する内面と、導電性ボールに接
触し内面に対して上下反対側に位置する外面と、内面か
ら外面まで貫通し導電性ボールを吸着する吸引孔を有す
る肉厚の水平部を備え、吸引孔は、内面側が外面側より
も巾広に形成されているので、小径の穴開け加工を容易
にできるだけでなく、十分な剛性を確保して、圧力差に
よる変形を防止できる。
【図１】本発明の第１実施の形態における吸着ヘッドの
水平部の拡大図
水平部の拡大図
【図２】本発明の第２実施の形態における吸着ヘッドの
水平部の拡大図
水平部の拡大図
【図３】従来の導電性ボールの移載装置の側面図
【図４】（ａ）従来の吸着ヘッドの縦断面図 （ｂ）従来の吸着ヘッドの拡大断面図
１３ａ 吸引孔 １４ａ 吸引孔 Ａ 外面 Ｂ 内面 Ｆ 水平部
Claims (1)
- 【請求項１】導電性ボールを真空圧により吸着してピッ
クアップし、基板に移載する導電性ボールの移載装置に
おける吸着ヘッドであって、吸引系統に接続され、前記
吸引系統側に位置する上面である内面と導電性ボールに
接触し前記内面に対して上下反対側に位置する下面であ
る外面とを有する底部である水平部と、前記水平部を前
記内面から前記外面まで貫通する吸引孔とを備え、前記
吸引孔は、前記内面側が前記外面側よりも巾広に形成さ
れていることを特徴とする吸着ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30258195A JP3206402B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 吸着ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30258195A JP3206402B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 吸着ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09148724A JPH09148724A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3206402B2 true JP3206402B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=17910708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30258195A Expired - Lifetime JP3206402B2 (ja) | 1995-11-21 | 1995-11-21 | 吸着ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3206402B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100604098B1 (ko) * | 2005-04-20 | 2006-07-24 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 패키지 픽업장치 |
| JP2008066753A (ja) * | 2007-11-22 | 2008-03-21 | Nippon Steel Materials Co Ltd | ボール配列板、ボール配列装置、及びボール配列方法 |
-
1995
- 1995-11-21 JP JP30258195A patent/JP3206402B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09148724A (ja) | 1997-06-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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