JP3173909B2 - 電子部品の組立方法 - Google Patents
電子部品の組立方法Info
- Publication number
- JP3173909B2 JP3173909B2 JP03172793A JP3172793A JP3173909B2 JP 3173909 B2 JP3173909 B2 JP 3173909B2 JP 03172793 A JP03172793 A JP 03172793A JP 3172793 A JP3172793 A JP 3172793A JP 3173909 B2 JP3173909 B2 JP 3173909B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- sprocket
- vacuum suction
- semiconductor chip
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フレームの搬送技術に
関し、特に電子部品のレジン封止などの組立工程におい
て、フレームの振動の抑制による安定した搬送が可能と
されるフレームの搬送方法に適用して有効な技術に関す
る。
関し、特に電子部品のレジン封止などの組立工程におい
て、フレームの振動の抑制による安定した搬送が可能と
されるフレームの搬送方法に適用して有効な技術に関す
る。
【0002】
【従来の技術】たとえば、ダイオードなどの電子部品の
組立工程においては、フレームの所定の位置に複数の半
導体チップが実装され、さらにこれらの半導体チップの
電極パッドとフレームのインナーリードとが金線などの
ワイヤでボンディングされ、その後のレジン封止工程に
送られる。
組立工程においては、フレームの所定の位置に複数の半
導体チップが実装され、さらにこれらの半導体チップの
電極パッドとフレームのインナーリードとが金線などの
ワイヤでボンディングされ、その後のレジン封止工程に
送られる。
【0003】そして、レジン封止工程では、たとえばエ
ポキシ樹脂などの樹脂材料により半導体チップとその周
辺がレジンモールドされ、その後のリード切断およびリ
ード成形による工程を経て電子部品が完成される。
ポキシ樹脂などの樹脂材料により半導体チップとその周
辺がレジンモールドされ、その後のリード切断およびリ
ード成形による工程を経て電子部品が完成される。
【0004】この場合に、レジン封止位置には、ワイヤ
ボンディング後のフレームが回転されるスプロケットに
巻き付けられ、フレームに開孔された送り孔にスプロケ
ットの送りピンが嵌合される構造によって搬送されるよ
うになっている。
ボンディング後のフレームが回転されるスプロケットに
巻き付けられ、フレームに開孔された送り孔にスプロケ
ットの送りピンが嵌合される構造によって搬送されるよ
うになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
な従来技術においては、スプロケットの送りピンでフレ
ームを送る際、フレームのリード部分が振動などの影響
で曲がり、そのために半導体チップとインナーリードと
の相対位置が変化してワイヤボンディングのワイヤに応
力が働くという問題が発生する。
な従来技術においては、スプロケットの送りピンでフレ
ームを送る際、フレームのリード部分が振動などの影響
で曲がり、そのために半導体チップとインナーリードと
の相対位置が変化してワイヤボンディングのワイヤに応
力が働くという問題が発生する。
【0006】従って、従来の構造においては、半導体チ
ップとインナーリード間のワイヤループが変形したり、
最悪の場合には半導体チップまたはインナーリードとの
ボンディング位置においてワイヤ切断が生じ、電子部品
の不良発生の大きな要因となっている。
ップとインナーリード間のワイヤループが変形したり、
最悪の場合には半導体チップまたはインナーリードとの
ボンディング位置においてワイヤ切断が生じ、電子部品
の不良発生の大きな要因となっている。
【0007】そこで、本発明の目的は、スプロケットに
巻き付けてフレームを搬送する際、フレームのリード部
分に対する振動などの影響を抑制し、素子配線の変形ま
たは切断などによる不良を低減することができるフレー
ムの搬送方法を提供することにある。
巻き付けてフレームを搬送する際、フレームのリード部
分に対する振動などの影響を抑制し、素子配線の変形ま
たは切断などによる不良を低減することができるフレー
ムの搬送方法を提供することにある。
【0008】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0010】すなわち、本発明の電子部品の組立方法
は、回転されるスプロケットにフレームを巻き付けて搬
送するフレームの搬送方法を用いる電子部品の組立方法
であって、フレームは半導体チップが実装され、かつ半
導体チップの電極パッドとフレームのインナーリードと
がワイヤボンディングされたものであり、スプロケット
の円周平面の一端側に所定間隔で複数の送りピンを突設
し、この複数の送りピンの間でかつスプロケットの円周
平面の両端に位置する複数の真空吸着孔を設けるもので
ある。特に、前記フレームの搬送は、半導体チップが実
装されたフレームをレジン封止工程に搬送する時に用い
られるようにしたものである。さらに、前記フレームを
スプロケットに押さえる押さえローラを設けるものであ
る。
は、回転されるスプロケットにフレームを巻き付けて搬
送するフレームの搬送方法を用いる電子部品の組立方法
であって、フレームは半導体チップが実装され、かつ半
導体チップの電極パッドとフレームのインナーリードと
がワイヤボンディングされたものであり、スプロケット
の円周平面の一端側に所定間隔で複数の送りピンを突設
し、この複数の送りピンの間でかつスプロケットの円周
平面の両端に位置する複数の真空吸着孔を設けるもので
ある。特に、前記フレームの搬送は、半導体チップが実
装されたフレームをレジン封止工程に搬送する時に用い
られるようにしたものである。さらに、前記フレームを
スプロケットに押さえる押さえローラを設けるものであ
る。
【0011】
【0012】
【0013】
【作用】前記した電子部品の組立方法によれば、スプロ
ケットに複数の真空吸着孔が設けられ、さらに、フレー
ムの押さえローラが設けられることにより、フレームを
スプロケットに巻き付けて搬送する際、フレームをスプ
ロケットの複数の真空吸着孔を通じてスプロケットの円
周平面の両端において真空で吸着し、さらに、押さえロ
ーラによりフレームをスプロケットに押さえつけること
によりフレームの振動を抑えながら搬送することができ
る。
ケットに複数の真空吸着孔が設けられ、さらに、フレー
ムの押さえローラが設けられることにより、フレームを
スプロケットに巻き付けて搬送する際、フレームをスプ
ロケットの複数の真空吸着孔を通じてスプロケットの円
周平面の両端において真空で吸着し、さらに、押さえロ
ーラによりフレームをスプロケットに押さえつけること
によりフレームの振動を抑えながら搬送することができ
る。
【0014】
【0015】これにより、フレームの搬送を安定させ、
素子配線の変形または切断などによる製品不良の発生要
因となるリード部分に対する振動などの影響を抑制する
ことができる。特に、スプロケットへの真空吸着孔、お
よびフレームの押さえローラが設けられる場合には、よ
り一層、フレーム搬送の安定化が可能となる。
素子配線の変形または切断などによる製品不良の発生要
因となるリード部分に対する振動などの影響を抑制する
ことができる。特に、スプロケットへの真空吸着孔、お
よびフレームの押さえローラが設けられる場合には、よ
り一層、フレーム搬送の安定化が可能となる。
【0016】
【実施例】図1は本発明のフレームの搬送方法の一実施
例であるフレーム搬送装置の要部を示す部分断面側面
図、図2は本実施例のフレーム搬送装置におけるスプロ
ケットを示す概略平面図、図3は本実施例のフレーム搬
送装置に用いられるフレームの要部を示す平面図であ
る。
例であるフレーム搬送装置の要部を示す部分断面側面
図、図2は本実施例のフレーム搬送装置におけるスプロ
ケットを示す概略平面図、図3は本実施例のフレーム搬
送装置に用いられるフレームの要部を示す平面図であ
る。
【0017】まず、図1により本実施例のフレーム搬送
装置の構成を説明する。
装置の構成を説明する。
【0018】本実施例のフレーム搬送装置は、たとえば
ダイオードなどの電子部品のレジン封止工程に用いられ
るフレーム搬送装置とされ、中心部が開孔された円柱形
状に形成され、一定方向に回転されるスプロケット1な
どを備え、このスプロケット1にフレーム2が巻き付け
られて搬送される構造となっている。
ダイオードなどの電子部品のレジン封止工程に用いられ
るフレーム搬送装置とされ、中心部が開孔された円柱形
状に形成され、一定方向に回転されるスプロケット1な
どを備え、このスプロケット1にフレーム2が巻き付け
られて搬送される構造となっている。
【0019】スプロケット1は、たとえば図2に示すよ
うに、円周平面上の一端側にフレーム2の送りピン3が
所定の間隔で連続的に突設され、さらにこれらの連続的
に突設された送りピン3の間に、本発明の特徴であるフ
レーム2の真空吸着孔4が開孔されている。
うに、円周平面上の一端側にフレーム2の送りピン3が
所定の間隔で連続的に突設され、さらにこれらの連続的
に突設された送りピン3の間に、本発明の特徴であるフ
レーム2の真空吸着孔4が開孔されている。
【0020】フレーム2は、たとえば図3に示すよう
に、所定のパターンが連続的に形成され、それぞれのパ
ターンのダイパッド位置に半導体チップ5が実装され、
さらにこれらの半導体チップ5の電極パッドとフレーム
2のインナーリードとがそれぞれ金線などのワイヤ6で
ボンディング接続されている。
に、所定のパターンが連続的に形成され、それぞれのパ
ターンのダイパッド位置に半導体チップ5が実装され、
さらにこれらの半導体チップ5の電極パッドとフレーム
2のインナーリードとがそれぞれ金線などのワイヤ6で
ボンディング接続されている。
【0021】また、フレーム2の一端側には、所定のパ
ターン間隔に対応する送り孔7が開孔され、フレーム2
のスプロケット1に巻き付けて搬送する際、このフレー
ム2の送り孔7にスプロケット1の送りピン3が嵌合さ
れてフレーム2が搬送される構造となっている。
ターン間隔に対応する送り孔7が開孔され、フレーム2
のスプロケット1に巻き付けて搬送する際、このフレー
ム2の送り孔7にスプロケット1の送りピン3が嵌合さ
れてフレーム2が搬送される構造となっている。
【0022】次に、本実施例の作用について、実際にフ
レーム2をスプロケット1に巻き付けて搬送する場合を
説明する。
レーム2をスプロケット1に巻き付けて搬送する場合を
説明する。
【0023】まず、フレーム2を搬送する際には、スプ
ロケット1の送りピン3にフレーム2の送り孔7を嵌合
させてフレーム2を搬送する。同時に、フレーム2がス
プロケット1に接触している部分を、スプロケット1の
真空吸着孔4を通じて真空源(図示せず)により真空で
吸着する。
ロケット1の送りピン3にフレーム2の送り孔7を嵌合
させてフレーム2を搬送する。同時に、フレーム2がス
プロケット1に接触している部分を、スプロケット1の
真空吸着孔4を通じて真空源(図示せず)により真空で
吸着する。
【0024】これにより、フレーム2がスプロケット1
に密着し、フレーム2の振動、特にワイヤ6により半導
体チップ5とワイヤボンディングされたインナーリード
の振動を抑えることができる。
に密着し、フレーム2の振動、特にワイヤ6により半導
体チップ5とワイヤボンディングされたインナーリード
の振動を抑えることができる。
【0025】従って、本実施例のフレーム搬送装置によ
れば、スプロケット1の送りピン3の間に真空吸着孔4
が開孔されることにより、フレーム2をスプロケット1
に巻き付けて搬送する際、この真空吸着孔4を通じてフ
レーム2を真空で吸着し、フレーム2の振動を抑えなが
ら安定させて搬送することができる。
れば、スプロケット1の送りピン3の間に真空吸着孔4
が開孔されることにより、フレーム2をスプロケット1
に巻き付けて搬送する際、この真空吸着孔4を通じてフ
レーム2を真空で吸着し、フレーム2の振動を抑えなが
ら安定させて搬送することができる。
【0026】特に、半導体チップ5の実装、ワイヤ6に
よるワイヤボンディング後のフレーム2を搬送する場合
には、フレーム2に対する振動の影響を抑えることがで
きるので、ワイヤ6の変形または切断などを抑制し、製
品不良の発生を低減することができる。
よるワイヤボンディング後のフレーム2を搬送する場合
には、フレーム2に対する振動の影響を抑えることがで
きるので、ワイヤ6の変形または切断などを抑制し、製
品不良の発生を低減することができる。
【0027】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0028】たとえば、本実施例のフレーム搬送装置に
ついては、スプロケット1の円周平面上の一端側に真空
吸着孔4が開孔される場合について説明したが、本発明
は前記実施例に限定されるものではなく、図2に一点鎖
線で示すようにスプロケット1の片側のみならず、両端
側に真空吸着孔4,4aを設ける場合などについても広
く適用可能である。
ついては、スプロケット1の円周平面上の一端側に真空
吸着孔4が開孔される場合について説明したが、本発明
は前記実施例に限定されるものではなく、図2に一点鎖
線で示すようにスプロケット1の片側のみならず、両端
側に真空吸着孔4,4aを設ける場合などについても広
く適用可能である。
【0029】また、スプロケット1に真空吸着孔4を開
孔する代わりに、たとえば図1に一点鎖線で示すよう
に、フレーム2のスプロケット1に接触している部分を
押さえる押さえローラ8を設け、この押さえローラ8に
よってフレーム2の振動を抑えながら搬送することも可
能である。
孔する代わりに、たとえば図1に一点鎖線で示すよう
に、フレーム2のスプロケット1に接触している部分を
押さえる押さえローラ8を設け、この押さえローラ8に
よってフレーム2の振動を抑えながら搬送することも可
能である。
【0030】さらに、スプロケット1への真空吸着孔
4,4aの開孔と、押さえローラ8の設置の両方を併用
することも可能であり、この場合には、より一層、フレ
ーム2の搬送を安定させて行うことができる。
4,4aの開孔と、押さえローラ8の設置の両方を併用
することも可能であり、この場合には、より一層、フレ
ーム2の搬送を安定させて行うことができる。
【0031】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその利用分野であるダイオードなどの
電子部品のレジン封止工程に用いられるフレーム搬送装
置に適用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、他の電子部品についても適用でき、特
にフレームをスプロケットに巻き付けて搬送する装置、
工程などに広く適用可能である。
てなされた発明をその利用分野であるダイオードなどの
電子部品のレジン封止工程に用いられるフレーム搬送装
置に適用した場合について説明したが、これに限定され
るものではなく、他の電子部品についても適用でき、特
にフレームをスプロケットに巻き付けて搬送する装置、
工程などに広く適用可能である。
【0032】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0033】(1).スプロケットに真空吸着孔を設けるこ
とにより、フレームをスプロケットに巻き付けて搬送す
る際、フレームがスプロケットに接触している部分を真
空吸着孔を通じて真空で吸着し、フレームの振動を抑え
ることができるので、フレームを安定させて搬送するこ
とが可能となる。
とにより、フレームをスプロケットに巻き付けて搬送す
る際、フレームがスプロケットに接触している部分を真
空吸着孔を通じて真空で吸着し、フレームの振動を抑え
ることができるので、フレームを安定させて搬送するこ
とが可能となる。
【0034】(2).フレームの押さえローラを設けること
により、フレームのスプロケットに接触している部分を
押さえローラで押さえ、フレームの振動を抑えながら搬
送することができるので、前記(1) と同様にフレーム搬
送の安定化が可能となる。
により、フレームのスプロケットに接触している部分を
押さえローラで押さえ、フレームの振動を抑えながら搬
送することができるので、前記(1) と同様にフレーム搬
送の安定化が可能となる。
【0035】(3).スプロケットに真空吸着孔を設け、か
つフレームの押さえローラを設けることにより、より一
層、フレームに対する振動などの影響を抑え、さらに安
定したフレーム搬送が可能となる。
つフレームの押さえローラを設けることにより、より一
層、フレームに対する振動などの影響を抑え、さらに安
定したフレーム搬送が可能となる。
【0036】(4).前記(1) 〜(3) により、フレームを安
定させて搬送することができるので、特に半導体チップ
実装、配線接続後のフレームを搬送する場合には、配線
の変形または切断などによる製品不良の低減が可能とさ
れるフレームの搬送方法を得ることができる。
定させて搬送することができるので、特に半導体チップ
実装、配線接続後のフレームを搬送する場合には、配線
の変形または切断などによる製品不良の低減が可能とさ
れるフレームの搬送方法を得ることができる。
【図1】本発明のフレームの搬送方法の一実施例である
フレーム搬送装置の要部を示す部分断面側面図である。
フレーム搬送装置の要部を示す部分断面側面図である。
【図2】本実施例のフレーム搬送装置におけるスプロケ
ットを示す概略平面図である。
ットを示す概略平面図である。
【図3】本実施例のフレーム搬送装置に用いられるフレ
ームの要部を示す平面図である。
ームの要部を示す平面図である。
1 スプロケット 2 フレーム 3 送りピン 4,4a 真空吸着孔 5 半導体チップ 6 ワイヤ 7 送り孔 8 押さえローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−188897(JP,A) 特開 昭50−10100(JP,A) 特開 平4−368846(JP,A) 実開 平4−46058(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/50
Claims (2)
- 【請求項1】 回転されるスプロケットにフレームを巻
き付けて搬送するフレームの搬送方法を用いる電子部品
の組立方法であって、 前記フレームは半導体チップが実装され、かつ前記半導
体チップの電極パッドと前記フレームのインナーリード
とがワイヤボンディングされたものであり、 前記スプロケットの円周平面の一端側に所定間隔で複数
の送りピンを突設し、この複数の送りピンの間でかつ前
記スプロケットの円周平面の両端に位置する複数の真空
吸着孔を設け、 前記フレームを前記スプロケットの複数の真空吸着孔を
通じて前記スプロケットの円周平面の両端において真空
で吸着し、さらに、押さえローラにより前記フレームを
前記スプロケットに押さえつけることにより前記フレー
ムの振動を抑えながら搬送することを特徴とする電子部
品の組立方法。 - 【請求項2】 前記フレームの搬送は、前記半導体チッ
プが実装されたフレームをレジン封止工程に搬送する時
に用いられることを特徴とする請求項1記載の電子部品
の組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03172793A JP3173909B2 (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | 電子部品の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP03172793A JP3173909B2 (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | 電子部品の組立方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06244223A JPH06244223A (ja) | 1994-09-02 |
JP3173909B2 true JP3173909B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=12339080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP03172793A Expired - Fee Related JP3173909B2 (ja) | 1993-02-22 | 1993-02-22 | 電子部品の組立方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3173909B2 (ja) |
-
1993
- 1993-02-22 JP JP03172793A patent/JP3173909B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06244223A (ja) | 1994-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5549716A (en) | Process for manufacturing integrated circuits using an automated multi-station apparatus including an adhesive dispenser and apparatus therefor | |
US6903464B2 (en) | Semiconductor die package | |
JP2000223639A (ja) | 半導体パッケージボディの反りを防止するためのリードフレーム構造 | |
JP3173909B2 (ja) | 電子部品の組立方法 | |
US20080067643A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JPH08227964A (ja) | リードフレーム、半導体集積回路装置、半導体集積回路装置製造方法及び半導体集積回路装置製造装置 | |
JPH0730043A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JPH0294552A (ja) | リードフレームおよび半導体装置の製造方法 | |
JPH06236956A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2773553B2 (ja) | スタッドバンプ付きicチップの製造方法 | |
JP3192238B2 (ja) | 半導体装置の組立方法 | |
JPH09223767A (ja) | リードフレーム | |
JPH01243560A (ja) | 半導体装置 | |
JPS59152656A (ja) | 半導体装置 | |
JPH05251619A (ja) | 樹脂封止半導体装置およびその製造方法 | |
JPH1032219A (ja) | ワイヤ−ボンディング方法 | |
JPH03102859A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH02156660A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR200147420Y1 (ko) | 멀티 칩 모듈 반도체 장치 | |
JPH0645372A (ja) | 半導体組立ライン | |
JPH01123425A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2000164646A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH05109968A (ja) | 接合強度の大きい複合リードフレーム | |
JPS6384130A (ja) | ワイヤボンディング方法 | |
JPH0330345A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080330 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090330 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |