JP3091412B2 - ローカル・クリーン・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置 - Google Patents
ローカル・クリーン・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置Info
- Publication number
- JP3091412B2 JP3091412B2 JP08145635A JP14563596A JP3091412B2 JP 3091412 B2 JP3091412 B2 JP 3091412B2 JP 08145635 A JP08145635 A JP 08145635A JP 14563596 A JP14563596 A JP 14563596A JP 3091412 B2 JP3091412 B2 JP 3091412B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- filter
- wall
- fan
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/007—Ventilation with forced flow
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/20—Casings or covers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はローカル・クリーン
・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい
流動を形成する装置であって、不純空気を吸入する１つ
の側部及び純空気の流動を送出する反対側側部を有する
フィルタと、ファンとがプレナム・チャンバの複数の壁
によって囲まれ、吸気口が壁の１つに設けられ、ファン
が吸気口に対して結合され、排気口が別の壁に設けら
れ、フィルタが純空気の流動を送出する側部を介して排
気口に対して結合されている装置に関する。
・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい
流動を形成する装置であって、不純空気を吸入する１つ
の側部及び純空気の流動を送出する反対側側部を有する
フィルタと、ファンとがプレナム・チャンバの複数の壁
によって囲まれ、吸気口が壁の１つに設けられ、ファン
が吸気口に対して結合され、排気口が別の壁に設けら
れ、フィルタが純空気の流動を送出する側部を介して排
気口に対して結合されている装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】この種
の装置は集積回路の製造に使用可能であり、同装置の例
はドイツ特許出願公開第ＤＥ３５１３９０２Ａ１号に開
示されている。
の装置は集積回路の製造に使用可能であり、同装置の例
はドイツ特許出願公開第ＤＥ３５１３９０２Ａ１号に開
示されている。
【０００３】装置の幅が減少したことと、生産性向上の
要求とに起因して、加工品を囲む環境のクリーン・ルー
ム条件の基準が徐々に高まっている。ＳＭＩＦ（Standa
rd mechanical interface）システム等の新たな技術の
導入は各種の装置ユニットに接続されたローカル・クリ
ーン・ルームの使用と結び付いている。クリーン・ルー
ム条件を維持すべく垂直方向に流れる空気の層流を使用
する大型クリーン・ルームから、多くの場合において水
平方向の層流を使用する小型ローカル・クリーン・ルー
ムへの移行のために周知の解決策を用いても、装置ユニ
ットの寸法は大きくならざるを得ない。
要求とに起因して、加工品を囲む環境のクリーン・ルー
ム条件の基準が徐々に高まっている。ＳＭＩＦ（Standa
rd mechanical interface）システム等の新たな技術の
導入は各種の装置ユニットに接続されたローカル・クリ
ーン・ルームの使用と結び付いている。クリーン・ルー
ム条件を維持すべく垂直方向に流れる空気の層流を使用
する大型クリーン・ルームから、多くの場合において水
平方向の層流を使用する小型ローカル・クリーン・ルー
ムへの移行のために周知の解決策を用いても、装置ユニ
ットの寸法は大きくならざるを得ない。
【０００４】フィルタ及びファンを有する空気処理装置
は、垂直方向に流れる空気の流動を形成すべく天井に設
置されているか、または装置ユニットより上方に設置さ
れている。その一方、水平方向に流れる局所的な空気の
流動は空気処理装置を装置ユニット内に設置することを
必要とする。多くの場合、これにより装置ユニットの設
置は更に大きな床面積が必要になる。
は、垂直方向に流れる空気の流動を形成すべく天井に設
置されているか、または装置ユニットより上方に設置さ
れている。その一方、水平方向に流れる局所的な空気の
流動は空気処理装置を装置ユニット内に設置することを
必要とする。多くの場合、これにより装置ユニットの設
置は更に大きな床面積が必要になる。
【０００５】ドイツ特許出願公開第ＤＥ３５１３９０２
Ａ１号は空気を処理すべくプレナム・チャンバ内に配置
された遠心ファンを使用する解決策を開示している。遠
心ファンから送出される空気はフィルタ・エレメントへ
向かって平行に流れる。遠心ファンを囲む複数の転向面
はフィルタの端面から同フィルタの中心へ向かって流れ
る空気の流動を形成する。
Ａ１号は空気を処理すべくプレナム・チャンバ内に配置
された遠心ファンを使用する解決策を開示している。遠
心ファンから送出される空気はフィルタ・エレメントへ
向かって平行に流れる。遠心ファンを囲む複数の転向面
はフィルタの端面から同フィルタの中心へ向かって流れ
る空気の流動を形成する。
【０００６】ドイツ特許出願公開第ＤＥ４２３６０３１
Ａ１号では、フィルタ面に向かって流れる乱れの小さい
空気の等流を形成して効率を高めるべく、吸気口及び軸
流ファンはプレナム・チャンバから排気口まで空気の流
動方向に延びる円筒ハウジングによって互いに分離され
ている。空気の流れの中に配置された空気転向プレート
は、回転して流動する空気の成分を打ち消す。
Ａ１号では、フィルタ面に向かって流れる乱れの小さい
空気の等流を形成して効率を高めるべく、吸気口及び軸
流ファンはプレナム・チャンバから排気口まで空気の流
動方向に延びる円筒ハウジングによって互いに分離され
ている。空気の流れの中に配置された空気転向プレート
は、回転して流動する空気の成分を打ち消す。
【０００７】前記の両解決策に基づく装置の奥行は多く
の用途において長過ぎる。更に、振動の発生と、空気転
向プレートの剥離エッジにおけるノイズの発生とを防止
すべく空気転向装置を十分に安定させる必要がある。従
って、空気転向プレートの使用は設計コスト及び製造コ
ストの増加を招来する。また、ラジアル・ファンに代え
て軸流ファンを使用して装置の奥行を部分的に短くした
場合、ノイズ・レベルが増大する。ノイズ・レベルの増
大はオペレータの作業を阻害する。
の用途において長過ぎる。更に、振動の発生と、空気転
向プレートの剥離エッジにおけるノイズの発生とを防止
すべく空気転向装置を十分に安定させる必要がある。従
って、空気転向プレートの使用は設計コスト及び製造コ
ストの増加を招来する。また、ラジアル・ファンに代え
て軸流ファンを使用して装置の奥行を部分的に短くした
場合、ノイズ・レベルが増大する。ノイズ・レベルの増
大はオペレータの作業を阻害する。
【０００８】別の問題点としては、空気処理装置を装置
ユニットに対して結合した際に生じる空気処理装置から
装置ユニットへの振動の伝搬が挙げられる。振動の伝搬
は画像形成装置、即ち画像処理装置に対して悪影響を及
ぼす。空気処理装置を使用するオペレーションは装置ユ
ニットのハウジングに対する空気処理装置の連結の問題
と、内包されたクリーン・ルームを周囲環境から分離す
る問題とに関連してコストの高い振動絶縁処理を必要と
する。
ユニットに対して結合した際に生じる空気処理装置から
装置ユニットへの振動の伝搬が挙げられる。振動の伝搬
は画像形成装置、即ち画像処理装置に対して悪影響を及
ぼす。空気処理装置を使用するオペレーションは装置ユ
ニットのハウジングに対する空気処理装置の連結の問題
と、内包されたクリーン・ルームを周囲環境から分離す
る問題とに関連してコストの高い振動絶縁処理を必要と
する。
【０００９】本発明の目的は空気処理装置の奥行を更に
短くするとともに、空気の流動を形成する手段から装置
ユニットへの振動の伝搬を簡単な手段を用いて防止する
ことにある。
短くするとともに、空気の流動を形成する手段から装置
ユニットへの振動の伝搬を簡単な手段を用いて防止する
ことにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願における発明の目的
は以下の手段により達成される。即ち、ローカル・クリ
ーン・ルームに提供するための純空気からなる乱れの小
さい流動を形成する装置であって、前記装置は複数の壁
により包囲されて空間を有するプレナム・チャンバと、
前記複数の壁は互いに対向する第１の壁及び第２の壁を
有することと、前記プレナム・チャンバは外部の不純空
気を空間内に導入するための吸気口を第１の壁に備える
とともに、空間からローカル・クリーン・ルームに純化
された空気を導出するための排気口を第２の壁に備える
ことと、前記プレナム・チャンバ内に配置され、前記外
部の不純空気を吸入すべく前記吸気口に結合されたファ
ンと、前記プレナム・チャンバ内に配置され、前記純化
された空気が排出されるとともに、第２の壁の排気口に
接触する第１の側部と、前記排気口に対向する第１の壁
に間隙をおいて近接して配置された第２の側部とを有す
るフィルタと、前記第１の壁と第２の側部との間の間隙
はプレナム・チャンバの他の部分と連通してプレナムと
して機能し、前記フィルタを通過する空気流を等流とす
ることと、密閉され、かつ振動から絶縁された状態でプ
レナム・チャンバから延出するとともに、プレナム・チ
ャンバの外側において下部架台に対して固定された保持
及び固定エレメントは各ファンに対して取付けられてい
ることとからなる。
は以下の手段により達成される。即ち、ローカル・クリ
ーン・ルームに提供するための純空気からなる乱れの小
さい流動を形成する装置であって、前記装置は複数の壁
により包囲されて空間を有するプレナム・チャンバと、
前記複数の壁は互いに対向する第１の壁及び第２の壁を
有することと、前記プレナム・チャンバは外部の不純空
気を空間内に導入するための吸気口を第１の壁に備える
とともに、空間からローカル・クリーン・ルームに純化
された空気を導出するための排気口を第２の壁に備える
ことと、前記プレナム・チャンバ内に配置され、前記外
部の不純空気を吸入すべく前記吸気口に結合されたファ
ンと、前記プレナム・チャンバ内に配置され、前記純化
された空気が排出されるとともに、第２の壁の排気口に
接触する第１の側部と、前記排気口に対向する第１の壁
に間隙をおいて近接して配置された第２の側部とを有す
るフィルタと、前記第１の壁と第２の側部との間の間隙
はプレナム・チャンバの他の部分と連通してプレナムと
して機能し、前記フィルタを通過する空気流を等流とす
ることと、密閉され、かつ振動から絶縁された状態でプ
レナム・チャンバから延出するとともに、プレナム・チ
ャンバの外側において下部架台に対して固定された保持
及び固定エレメントは各ファンに対して取付けられてい
ることとからなる。
【００１１】ファンはフィルタに隣接して純空気の流動
方向に直交する方向へ延びている。１つのファンを使用
する代わりに、少なくとも一対のファンをフィルタに隣
接して純空気の流動方向に直交する方向へ延びるように
配置し得る。２つ以上のファンを使用する場合、不純空
気を吸入する側部に隣接する空間はファンの数と同じ数
の部分空間に分割され、同複数の部分空間はプレナム・
チャンバの壁と、不純空気を吸入する側部の一部とによ
ってそれぞれ形成され、部分空間は純空気の流動を送出
する側部において開放されている。
方向に直交する方向へ延びている。１つのファンを使用
する代わりに、少なくとも一対のファンをフィルタに隣
接して純空気の流動方向に直交する方向へ延びるように
配置し得る。２つ以上のファンを使用する場合、不純空
気を吸入する側部に隣接する空間はファンの数と同じ数
の部分空間に分割され、同複数の部分空間はプレナム・
チャンバの壁と、不純空気を吸入する側部の一部とによ
ってそれぞれ形成され、部分空間は純空気の流動を送出
する側部において開放されている。
【００１２】空気の流動を形成する手段から装置ユニッ
トへの振動の伝搬を防止すべく、密閉され、かつ振動か
ら絶縁された状態でプレナム・チャンバから延出すると
ともに、プレナム・チャンバの外側において下部架台に
対して固定された保持及び固定エレメントは各ファンに
対して取付けられている。下部架台はローカル・クリー
ン・ルームを内包する装置ユニットに対する支持体とし
ても使用可能であり、下部架台及び装置ユニットの間に
は振動絶縁装置が配置されている。
トへの振動の伝搬を防止すべく、密閉され、かつ振動か
ら絶縁された状態でプレナム・チャンバから延出すると
ともに、プレナム・チャンバの外側において下部架台に
対して固定された保持及び固定エレメントは各ファンに
対して取付けられている。下部架台はローカル・クリー
ン・ルームを内包する装置ユニットに対する支持体とし
ても使用可能であり、下部架台及び装置ユニットの間に
は振動絶縁装置が配置されている。
【００１３】本発明の装置は大きな出費を伴うことなく
ファンの振動からローカル・クリーン・ルーム及びその
内部に配置された装置ユニットを絶縁可能であり、振動
から絶縁された装置ユニットの一部の相対的移動に起因
して必要とされる自由空間を空気処理装置としてのフィ
ルタ・ファン・ユニットの幾何学的寸法の増大を伴うこ
となく提供できる。
ファンの振動からローカル・クリーン・ルーム及びその
内部に配置された装置ユニットを絶縁可能であり、振動
から絶縁された装置ユニットの一部の相対的移動に起因
して必要とされる自由空間を空気処理装置としてのフィ
ルタ・ファン・ユニットの幾何学的寸法の増大を伴うこ
となく提供できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１において、下部架台２によっ
て支持されたプレナム・チャンバ１の複数の壁はファン
３及び高性能微粒子エア・フィルタ４を囲んでいる。プ
レナム・チャンバ１は自身の複数の壁のうち、図１にお
いて互いに対向する一対の壁の一方に形成された吸気口
５に至るまで周囲環境に対して気密的に密閉されてい
る。ファン３は吸気口５に対して結合されており、同吸
気口５は周囲空間からの空気の供給を可能にする。高性
能微粒子エア・フィルタ４は他方の壁に形成された排気
口９を被覆し、不純空気を吸入する第１の側部６と、純
空気の流動８を送出する反対側の第２の側部７とを有す
る。この結果、純空気は高い濾過効率を有する高性能微
粒子フィルタ３のみを通って装置ユニット１０内へ流入
し得る。装置ユニット１０はローカル・クリーン・ルー
ムを形成し、かつ同クリーン・ルームを維持するととも
に、シーリング・エレメント１１を介してプレナム・チ
ャンバ１に結合されている。
て支持されたプレナム・チャンバ１の複数の壁はファン
３及び高性能微粒子エア・フィルタ４を囲んでいる。プ
レナム・チャンバ１は自身の複数の壁のうち、図１にお
いて互いに対向する一対の壁の一方に形成された吸気口
５に至るまで周囲環境に対して気密的に密閉されてい
る。ファン３は吸気口５に対して結合されており、同吸
気口５は周囲空間からの空気の供給を可能にする。高性
能微粒子エア・フィルタ４は他方の壁に形成された排気
口９を被覆し、不純空気を吸入する第１の側部６と、純
空気の流動８を送出する反対側の第２の側部７とを有す
る。この結果、純空気は高い濾過効率を有する高性能微
粒子フィルタ３のみを通って装置ユニット１０内へ流入
し得る。装置ユニット１０はローカル・クリーン・ルー
ムを形成し、かつ同クリーン・ルームを維持するととも
に、シーリング・エレメント１１を介してプレナム・チ
ャンバ１に結合されている。
【００１５】本実施の形態において、ラジアル・ファン
の形態をなすファン３はフィルタ・ファン・ユニットの
奥行を更に短くすべく高性能微粒子エア・フィルタ４に
隣接して純空気の流動方向８に直交する方向に延びてい
る。排気口９の反対側に位置するプレナム・チャンバ１
の一方の壁は不純空気を吸入する第１の側部６に隣接し
て空間１２を形成している。空間１２はプレナム・チャ
ンバ１内の残りの空間に対して連通されている。空間１
２はプレナム・チャンバ１の領域である。同領域は保持
空間であり、高性能微粒子エア・フィルタ４内を通過す
る局所的な等流を保証するプレナムの形成に使用され
る。この結果、純空気の流動の送出側において乱れの小
さい、矢印で示した水平の流動が形成される。
の形態をなすファン３はフィルタ・ファン・ユニットの
奥行を更に短くすべく高性能微粒子エア・フィルタ４に
隣接して純空気の流動方向８に直交する方向に延びてい
る。排気口９の反対側に位置するプレナム・チャンバ１
の一方の壁は不純空気を吸入する第１の側部６に隣接し
て空間１２を形成している。空間１２はプレナム・チャ
ンバ１内の残りの空間に対して連通されている。空間１
２はプレナム・チャンバ１の領域である。同領域は保持
空間であり、高性能微粒子エア・フィルタ４内を通過す
る局所的な等流を保証するプレナムの形成に使用され
る。この結果、純空気の流動の送出側において乱れの小
さい、矢印で示した水平の流動が形成される。
【００１６】本発明の装置の奥行を決定する要因として
は、高性能微粒子エア・フィルタ４の厚さと、必要とさ
れる空間１２の幅とが挙げられる。必要とされる空間１
２の幅はプレナムを維持し得るよう設定する必要があ
る。本発明の装置は従来の装置と比較して、装置の奥行
きを最大で４０％削減可能である。
は、高性能微粒子エア・フィルタ４の厚さと、必要とさ
れる空間１２の幅とが挙げられる。必要とされる空間１
２の幅はプレナムを維持し得るよう設定する必要があ
る。本発明の装置は従来の装置と比較して、装置の奥行
きを最大で４０％削減可能である。
【００１７】ローカル・クリーン・ルームの要件を満た
す寸法及び幾何学的形状を有するファン及びフィルタを
適切に選択することにより、フィルタ・ファン・ユニッ
トを広範にわたって変更し得る。
す寸法及び幾何学的形状を有するファン及びフィルタを
適切に選択することにより、フィルタ・ファン・ユニッ
トを広範にわたって変更し得る。
【００１８】図２に示す構造において、プレナム・チャ
ンバ１の壁はファン３の振動から絶縁されている。この
絶縁を実現すべく、振動減衰シーリング・エレメント１
３は吸気口５と、ファン３のホルダ１５のアウトレット
１４とに取付られている。ホルダ１５は下部架台２に対
して固定されている。アウトレット１４は振動から絶縁
されるとともに、プレナム・チャンバ１内の圧力損失を
防止すべく周囲環境に対する気密性を有する。フィルタ
・ファン・ユニットは排気口９の領域内において、装置
ユニット１０に対して直接またはシーリング・エレメン
ト１１を介して結合されている。装置ユニット１０は下
部架台２上に支持された自身の振動絶縁装置３０を有す
る。
ンバ１の壁はファン３の振動から絶縁されている。この
絶縁を実現すべく、振動減衰シーリング・エレメント１
３は吸気口５と、ファン３のホルダ１５のアウトレット
１４とに取付られている。ホルダ１５は下部架台２に対
して固定されている。アウトレット１４は振動から絶縁
されるとともに、プレナム・チャンバ１内の圧力損失を
防止すべく周囲環境に対する気密性を有する。フィルタ
・ファン・ユニットは排気口９の領域内において、装置
ユニット１０に対して直接またはシーリング・エレメン
ト１１を介して結合されている。装置ユニット１０は下
部架台２上に支持された自身の振動絶縁装置３０を有す
る。
【００１９】図３に示す構造において、プレナム・チャ
ンバ１６は吸気口１７，１８及び排気口１９を有する。
更に、プレナム・チャンバ１６内には、一対のファン２
２，２３がフィルタ２０に隣接して純空気の流動方向２
１に直交する方向にそれぞれ延びている。各ファン２
２，２３によって吸引された空気は複数の部分空間２
６，２７内へそれぞれ案内される。複数の部分空間２
６，２７は隔壁２４，２５によって互いに分離されてい
る。更に、部分空間２６，２７はプレナム・チャンバ１
６の壁と、不純空気を吸入する側部の一部２８，２９と
によってそれぞれ形成されている。この構造において、
各ファン２２，２３はプレナムを対応する部分空間２
６，２７内に形成する。但し、この構造では、ファンの
数は一対に限定されるものではなく、ファンの数及びそ
れに対応する部分空間の数を任意に変更し得る。純空気
側における分離の必要がないため、乱れの小さい個別の
層流が形成される。
ンバ１６は吸気口１７，１８及び排気口１９を有する。
更に、プレナム・チャンバ１６内には、一対のファン２
２，２３がフィルタ２０に隣接して純空気の流動方向２
１に直交する方向にそれぞれ延びている。各ファン２
２，２３によって吸引された空気は複数の部分空間２
６，２７内へそれぞれ案内される。複数の部分空間２
６，２７は隔壁２４，２５によって互いに分離されてい
る。更に、部分空間２６，２７はプレナム・チャンバ１
６の壁と、不純空気を吸入する側部の一部２８，２９と
によってそれぞれ形成されている。この構造において、
各ファン２２，２３はプレナムを対応する部分空間２
６，２７内に形成する。但し、この構造では、ファンの
数は一対に限定されるものではなく、ファンの数及びそ
れに対応する部分空間の数を任意に変更し得る。純空気
側における分離の必要がないため、乱れの小さい個別の
層流が形成される。
【００２０】以上詳述したように、本発明の装置は大き
な出費を伴うことなくファンの振動からローカル・クリ
ーン・ルーム及びその内部に配置された装置ユニットを
絶縁可能である。また、ファンがフィルタに隣接して純
空気の流動方向に直交する方向へ延びていることによ
り、空気処理装置の奥行きを短くし得る。
な出費を伴うことなくファンの振動からローカル・クリ
ーン・ルーム及びその内部に配置された装置ユニットを
絶縁可能である。また、ファンがフィルタに隣接して純
空気の流動方向に直交する方向へ延びていることによ
り、空気処理装置の奥行きを短くし得る。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、空気処理装置の奥行を
更に短くするとともに、空気の流動を形成する手段から
装置ユニットへの振動の伝搬を簡単に防止し得るという
優れた効果を発揮する。
更に短くするとともに、空気の流動を形成する手段から
装置ユニットへの振動の伝搬を簡単に防止し得るという
優れた効果を発揮する。
【図１】ローカル・クリーン・ルームを備えた装置ユニ
ットに対して連結されたフィルタ・ファン・ユニットを
示す側面図。
ットに対して連結されたフィルタ・ファン・ユニットを
示す側面図。
【図２】ローカル・クリーン・ルームを備えた装置ユニ
ットに対する防振結合をともなうフィルタ・ファン・ユ
ニットを示す側面図。
ットに対する防振結合をともなうフィルタ・ファン・ユ
ニットを示す側面図。
【図３】一対のファンを有するフィルタ・ファン・ユニ
ットを示す側面図。
ットを示す側面図。
１，１６…プレナム・チャンバ、２…下部架台、３，２
２，２３…ファン、４，２０…フィルタ、６…第１の側
部、７…第２の側部、８，２１…純空気の流動方向、
９，１９…排気口、１０…ローカル・クリーン・ルーム
としての装置ユニット、１２，２６，２７…空間、１５
…保持及び固定エレメント、２８，２９…不純空気を吸
入する側部の一部、３０…振動絶縁装置。
２，２３…ファン、４，２０…フィルタ、６…第１の側
部、７…第２の側部、８，２１…純空気の流動方向、
９，１９…排気口、１０…ローカル・クリーン・ルーム
としての装置ユニット、１２，２６，２７…空間、１５
…保持及び固定エレメント、２８，２９…不純空気を吸
入する側部の一部、３０…振動絶縁装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハインツ シュナイダー ドイツ連邦共和国 デー−07747 イェ ナ ヴェルナー−ゼーレンビンダー−シ ュトラーセ ９ (72)発明者 クラウス シュルツ ドイツ連邦共和国 デー−07745 イェ ナ シュロスベルクガッセ ２ (56)参考文献 特開 昭62−183832（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−261840（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−76837（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−51647（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−175834（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−16937（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 1/00,7/00,7/06
Claims (5)
- 【請求項１】 ローカル・クリーン・ルームに提供する
ための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置
であって、 複数の壁により包囲されて空間を有するプレナム・チャ
ンバ（１，１６）と、前記複数の壁は互いに対向する第
１の壁及び第２の壁を有することと、 前記プレナム・チャンバは外部の不純空気を空間内に導
入するための吸気口（５，１７，１８）を第１の壁に備
えるとともに、空間からローカル・クリーン・ルームに
純化された空気を導出するための排気口（９，１９）を
第２の壁に備えることと、 前記プレナム・チャンバ（１，１６）内に配置され、前
記外部の不純空気を吸入すべく前記吸気口（５，１７，
１８）に結合されたファン（３，２２，２３）と、 前記プレナム・チャンバ（１，１６）内に配置され、前
記純化された空気が排出されるとともに、第２の壁の排
気口に接触する第１の側部と、前記排気口に対向する第
１の壁に間隙をおいて近接して配置された第２の側部と
を有するフィルタ（４，２０）と、 前記第１の壁と第２の側部との間の間隙はプレナム・チ
ャンバ（１，１６）の他の部分と連通してプレナムとし
て機能し、前記フィルタ（４，２０）を通過する空気流
を等流とすることと、 密閉され、かつ振動から絶縁された状態でプレナム・チ
ャンバ（１，１６）から延出するとともに、プレナム・
チャンバ（１，１６）の外側において下部架台（２）に
対して固定された保持及び固定エレメント（１５）は各
ファン（３，２２，２３）に対して取付けられているこ
とと、 からなる装置。 - 【請求項２】 前記ファン（３）はフィルタ（４）に隣
接して純空気の流動方向（８）に直交する方向へ延びて
いる請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 少なくとも一対のファン（２２，２３）
はフィルタ（２０）に隣接して純空気の流動方向（２
１）に直交する方向へ延びている請求項１に記載の装
置。 - 【請求項４】 前記不純空気を吸入する側部に隣接する
空間はファン（２２，２３）の数と同じ数の部分空間
（２６，２７）に分割され、同複数の部分空間（２６，
２７）はプレナム・チャンバ（１６）の壁と、前記不純
空気を吸入する側部の一部（２８，２９）とによってそ
れぞれ形成され、前記部分空間は純空気の流動を送出す
る側部において開放されている請求項３に記載の装置。 - 【請求項５】 前記下部架台（２）はローカル・クリー
ン・ルームを内包する装置ユニット（１０）に対する支
持体としても使用され、前記下部架台（２）及び装置ユ
ニット（１０）の間には振動絶縁装置（３０）が配置さ
れている請求項１乃至４に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19538040-1 | 1995-10-13 | ||
| DE19538040A DE19538040C2 (de) | 1995-10-13 | 1995-10-13 | Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09126511A JPH09126511A (ja) | 1997-05-16 |
| JP3091412B2 true JP3091412B2 (ja) | 2000-09-25 |
Family
ID=7774679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08145635A Expired - Fee Related JP3091412B2 (ja) | 1995-10-13 | 1996-06-07 | ローカル・クリーン・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5814116A (ja) |
| EP (1) | EP0768498A3 (ja) |
| JP (1) | JP3091412B2 (ja) |
| KR (1) | KR0173766B1 (ja) |
| DE (1) | DE19538040C2 (ja) |
| SG (1) | SG88724A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010113901A (ko) | 1999-04-28 | 2001-12-28 | 스트라토테크 코포레이션 | 조정 가능한 청정 공기 유동 환경 |
| US20020071954A1 (en) * | 2000-12-08 | 2002-06-13 | Nelson Christopher R. | Cellulose gypsum based substrate with increased water resistance and strength by surface application of polymeric diphenylmethane diisocyanate |
| DE10351848A1 (de) | 2003-11-06 | 2005-06-09 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | System zur Detektion von Makrodefekten |
| DE102004062592B3 (de) * | 2004-12-24 | 2006-06-08 | Leica Microsystems Jena Gmbh | System zur Untersuchung eines scheibenförmigen Substrats |
| JP5427833B2 (ja) | 2011-05-18 | 2014-02-26 | パナソニック株式会社 | クリーンルームの逆流防止装置 |
| CN107883508A (zh) * | 2016-09-29 | 2018-04-06 | 殷晓冬 | 装配式和组装式弱湍流集中送风装置 |
| CN111271870A (zh) * | 2020-02-24 | 2020-06-12 | 东莞市利人净化科技有限公司 | 一种带有静压箱的风机过滤器机组 |
Family Cites Families (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3251177A (en) * | 1963-05-15 | 1966-05-17 | Arthur K Baker | Dust-free bench |
| US3301167A (en) * | 1964-05-04 | 1967-01-31 | Ray Products Company Inc | Anticontaminant work bench |
| US3290866A (en) * | 1964-08-26 | 1966-12-13 | Schonrock Verlie | Evaporative cooler |
| US3284148A (en) * | 1965-02-24 | 1966-11-08 | Ramniceanu Tiberiu Justinian | Blower-contained vibration-free work bench |
| DE2138985A1 (de) * | 1971-08-04 | 1973-02-15 | Buettner Schilde Haas Ag | Belueftungseinrichtung |
| US3828530A (en) * | 1971-09-01 | 1974-08-13 | M Peters | Filter system |
| US3935803A (en) * | 1972-10-12 | 1976-02-03 | Flanders Filters, Inc. | Air filtration apparatus |
| CA988357A (en) * | 1973-01-26 | 1976-05-04 | Her Majesty The Queen, In Right Of Canada, As Represented By The Minister Of National Defence | Back table clean station |
| US3838556A (en) * | 1973-04-06 | 1974-10-01 | Med Assists Inc | Air filtration device with oriented output |
| JPS5520886B2 (ja) * | 1974-04-26 | 1980-06-05 | ||
| JPS51136570A (en) * | 1975-05-22 | 1976-11-26 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Coarse packed bed |
| JPS52142851A (en) * | 1976-05-22 | 1977-11-29 | Hosokawa Kankiyou Enjiniaringu | Distribution controlled air feeder assembled in interior building structure |
| US4412849A (en) * | 1981-04-09 | 1983-11-01 | Klenzaids Engineers Private Limited | Method and apparatus for control of gas-borne particulates |
| EP0147143B1 (en) * | 1983-12-16 | 1991-04-17 | Nitta Co., Ltd. | Air cleaner |
| US4560395A (en) * | 1984-04-17 | 1985-12-24 | Environmental Air Control, Inc. | Compact blower and filter assemblies for use in clean air environments |
| JPS6171829A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-12 | Fuji Electric Co Ltd | 移動磁界式処理装置 |
| JPS61175834A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Toshiba Corp | マイクロプログラムデバツグ機能付きデ−タ処理装置 |
| JPS61175834U (ja) * | 1985-04-22 | 1986-11-01 | ||
| JPS62183832A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-08-12 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置 |
| DE8805774U1 (de) * | 1988-04-30 | 1988-06-23 | Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld | Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik |
| US5053065A (en) * | 1988-05-16 | 1991-10-01 | Garay Charles J | Low-profile blower and filter apparatus for supplying clean air |
| JPH02183832A (ja) * | 1989-01-11 | 1990-07-18 | Nec Corp | 推論処理装置 |
| DE9116423U1 (de) * | 1991-07-08 | 1992-09-17 | Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld | Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke |
| DE4303805A1 (en) * | 1992-02-12 | 1993-09-09 | Helios Klima Kaelte | Supporting frame for air conditioning plant - comprises inner frame attached to outer frame by continuous rubber bead or by six rocker bolts |
| JP3309416B2 (ja) * | 1992-02-13 | 2002-07-29 | 松下電器産業株式会社 | 連結式クリーン空間装置 |
| KR970006728B1 (ko) * | 1992-08-31 | 1997-04-29 | 마쯔시다 덴기 산교 가부시끼가이샤 | 환경제어장치 |
| DE4236031C2 (de) * | 1992-10-24 | 1996-07-11 | Jenoptik Jena Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines Reinluftstromes |
| DE4238895C1 (de) * | 1992-11-19 | 1993-12-16 | Howatherm Klimatech Gmbh | Ventilatoraggregat zum Einbau in einen Luftkanal eines raumlufttechnischen Gerätes |
| US5413524A (en) * | 1993-02-09 | 1995-05-09 | Kabushiki Kaisha Nikko | Method of taking out viscera of fish and apparatus thereof |
-
1995
- 1995-10-13 DE DE19538040A patent/DE19538040C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-05-07 EP EP96107219A patent/EP0768498A3/de not_active Withdrawn
- 1996-06-01 SG SG9609946A patent/SG88724A1/en unknown
- 1996-06-07 JP JP08145635A patent/JP3091412B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-06-13 US US08/663,486 patent/US5814116A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-03 KR KR1019960026826A patent/KR0173766B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19538040A1 (de) | 1997-04-17 |
| KR0173766B1 (ko) | 1999-03-20 |
| EP0768498A3 (de) | 1999-11-24 |
| US5814116A (en) | 1998-09-29 |
| KR970022014A (ko) | 1997-05-28 |
| DE19538040C2 (de) | 1998-08-13 |
| EP0768498A2 (de) | 1997-04-16 |
| SG88724A1 (en) | 2002-05-21 |
| JPH09126511A (ja) | 1997-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0147143B1 (en) | Air cleaner | |
| EP0705412B1 (en) | Air purifying apparatus | |
| US6217281B1 (en) | Low-noise fan-filter unit | |
| JP3091412B2 (ja) | ローカル・クリーン・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置 | |
| KR20180076117A (ko) | 공기청정기 | |
| JP2003204183A (ja) | ダクトおよびラック | |
| JPH06281194A (ja) | 送風装置 | |
| JPS61202028A (ja) | 除塵装置内蔵の壁部材 | |
| WO2023020049A1 (zh) | 水洗空气装置、空调室内机和空调 | |
| JPS6127435A (ja) | 空気清浄化システムに於る汚染空気の誘引混入防止装置 | |
| JPH06323616A (ja) | クリーンルームの給気吹出ユニット | |
| JP3066804U (ja) | 低騒音ファンフィルタ装置 | |
| JPH0315104B2 (ja) | ||
| JP2590917Y2 (ja) | 天井システム用フィルタユニット | |
| JP3855991B2 (ja) | ファンフィルターユニット | |
| JP2597853B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JPS62258722A (ja) | 空気清浄装置 | |
| CN218833888U (zh) | 一种通风橱柜 | |
| JPH0213063Y2 (ja) | ||
| JPH06178907A (ja) | クリーンベンチ及びその配列構造 | |
| CN212900958U (zh) | 氮气循环系统 | |
| JPH09280614A (ja) | 空気清浄装置 | |
| JPH0144086B2 (ja) | ||
| JPH10170043A (ja) | ファンフィルタユニット | |
| JPH0752795B2 (ja) | 電子機器の冷却構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |