JPS61175834U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61175834U JPS61175834U JP6004785U JP6004785U JPS61175834U JP S61175834 U JPS61175834 U JP S61175834U JP 6004785 U JP6004785 U JP 6004785U JP 6004785 U JP6004785 U JP 6004785U JP S61175834 U JPS61175834 U JP S61175834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air blowing
- clean air
- punch metal
- coated
- stainless steel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
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- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第1図は本考案を適用したクリーンベンチの正
面図、第2図は第1図の―線による断面図で
ある。 1……クリーンベンチ、2……クリーン領域、
4……プレフイルタ、5……フアン、6……HE
PAフイルタ、7……吹出し部、8……パンチメ
タル。
面図、第2図は第1図の―線による断面図で
ある。 1……クリーンベンチ、2……クリーン領域、
4……プレフイルタ、5……フアン、6……HE
PAフイルタ、7……吹出し部、8……パンチメ
タル。
Claims (1)
- クリーンエアの吹出し部にステンレス鋼製のパ
ンチメタルを用いた装置において、パンチメタル
の表面に透明な塗装を施こしたことを特徴とする
クリーンエアの吹出し装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6004785U JPS61175834U (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6004785U JPS61175834U (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61175834U true JPS61175834U (ja) | 1986-11-01 |
Family
ID=30587036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6004785U Pending JPS61175834U (ja) | 1985-04-22 | 1985-04-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61175834U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09126511A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-05-16 | Jenoptik Ag | ローカル・クリーン・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置 |
JP2006200839A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Daikin Ind Ltd | 処理装置 |
-
1985
- 1985-04-22 JP JP6004785U patent/JPS61175834U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09126511A (ja) * | 1995-10-13 | 1997-05-16 | Jenoptik Ag | ローカル・クリーン・ルームを提供するための純空気からなる乱れの小さい流動を形成する装置 |
JP2006200839A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Daikin Ind Ltd | 処理装置 |