KR0173766B1 - 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치 - Google Patents

Abstract

국부청정실에 공급하기 위한 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치의 목적은 공조장치의 구조적인 깊이를 줄이고, 덧붙여서 단순한 장치에 의하여 공기흐름 발생장치로부터 공급되어질 설비유니트로의 진동전달을 광범위하게 방지하는 것이다. 본 발명에 따라서, 강제순환실의 출고개구에 반대편에 위치하는 강제순환실의 벽이 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 측면에서 강제순환실 내에 내장된 여과기와 인접한다. 벽과 여과기 사이에 공간이 개방된 상태로 남아있게 된다. 이 공간은 강제순환실 내의 나머지 공간과 연통하고 주로 강제순환을 형성하는 역할을 한다. 본 발명은 직접회로의 제작에 적용가능하다.

Description

국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치

제1도는 국부청정실을 가지는 설비유니트에 연결된 여과기-팬 유니트를 도시하며,

제2도는 국부청정실을 가지는 설비유니트와의 진동격리 연결부를 가지는 여과기-팬 유니트를 도시하며,

제3도는 한 쌍의 팬을 가지는 여과기-팬 유니트를 도시한다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 16 : 강제순환실 2 : 기초후레임

3,22,23 : 팬 4 : 여과기

9, 19 :출구개구 10 : 설비유니트

22,23 : 한쌍의 팬 30 : 시스템

본 발명은 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치에 관한 것으로서 이 장치 안에는 팬 그리고 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 일단부 및 정화된 공기흐름의 출구를 위한 반대쪽 단부를 가진 여과기가 강제 순환실 벽에 의하여 둘러 쌓여 있으며, 한쪽 벽에는 입구개구를 가지며, 상기의 팬은 공기를 흡입하기 위하여 상기의 입구개구에 연결되고, 다른 쪽 벽에는 출구개구를 가지며, 상기의 여과기는 정화된 공기흐름의 출구를 위한 단부면 쪽으로 이 벽과 접하고 있다.

이러한 종류의 기술적인 해결방안은 직접회로의 생산에 적용가능하며 예컨대 DE 35 13 902 A1으로부터 공지되어 있다.

감소하고 있는 구조 상의 폭과 증가하는 생산성에 대한 요구의 결과로 가공되어질 대상물을 둘러싸고 있는 환경은 청정실 조건이어야 한다는 요청이 꾸준히 늘어나고 있다. 예를 들면 SMIF(표준형 기계 인터페이스) 체제의 사용과 같은, 신기술의 도입은 여러 가지 설비유니트들과 결부된 국부 청정실의 이용과 결부되어 있다. 수직 층류인 공기흐름이 청정실 조건을 유지하는데 사용되는 대형 청정실로부터 자주 수평 층류인 공기 흐름을 가지고 작동하는 소형 국부청정실로의 전환은, 공지된 기술적 해결수단들을 사용할 경우에는 치수가 과대한 장치가 되어 버린다.

여과기와 팬을 포함하고 있는 공조설비가 종래에는 수직 공기흐름의 발생을 목적으로 천정이나 또는 설비를 위에 배열되어진 반면에, 국부적인 수평방향의 공기흐름은 이 흐름이 설비 내에 일체화되는 것이 요구된다. 이는 자주 증가된 설치면적에 대한 요구를 초래한다.

공조목적으로 DE 35 13 902 A1에서 공개된 해결방안은 예를 들면 강제 순환실에 일체화된 원심식 팬을 이용하며, 그 공기는 전적으로 여과기 요소들의 표면에 평행하게 공급되고 있다. 원심식 팬을 둘러싸고 있는 반사표면들은 가장자리 표면으로부터 여과기의 중앙까지 공기흐름을 생성한다.

독일특허 제 DE 42 36 031 A1에서, 입구개구와 축방향 팬은 여과기 표면에 대한 난류량이 적은 균일한 공기 흐름에 의해 효율은 증가시키기 위하여 흐름방향으로 강제 순환실에서부터 공기 출구방향으로 튜브모양 하우징에 의하여 분리되어진다. 공기흐름 내에 삽입된 공기굴절판들은 공기 흐름의 회전방향 성분을 약화시킨다.

이러한 해결방안의 양자 모두에게 구조적인 깊이가 많은 적용에서 지나치게 크다는 사실 외에, 공기굴절판들의 사용은 설계 및 제작비용을 상당히 증가시키는데, 이는 한편으로는 진동을 방지하기 위하여 공기굴절장치들의 충분한 안정성이 달성되어야 하기 때문이며 다른 한편으로는 공기굴절판들의 박리 단부에서 발생되는 추가적인 소음 때문이다. 반경방향의 팬 대신 축방향의 팬의 사용을 통하여 달성되는 구조상의 깊이에서의 부분적인 감소느 일반적으로 증대된 소음수준과 결부되며 이는 당연히 작업자에게 방해효과를 갖는다.

추가적인 단점은 종래의 국부청정실에서 같이 설비유니트들에 공조장치를 결합하는 결과로 나타나는 진동의 전달 가능성에 있다. 이 진동의 전달은 영상발생 또는 영상처리설비에 특히 나쁜 영향을 미친다. 이러한 설비를 이용하는 작동은 설비유니트의 하우징과의 결합 그리고 주위를 밀폐된 청정실과 격리시켜야 하는 문제들을 가지는 진동격리를 위한 비용이 드는 단계들이 없이는 보증되어질 수 없다.

그러므로 본 발명의 목적은 공조설비의 구조적 깊이를 더욱 감소시키는 것을 달성하고, 이에 더하여 간단한 장치에 의하여 공기흐름발생장치로부터 공급받을 설비유니트로의 진동전달을 광범위하게 방지하는 것이다.

하나의 팬 그리고 정화되지 않은 공기의 입구를 일단부와 정화된 공기흐름의 출구를 위한 반대쪽 단부를 갖는 여과기가 강제 순환실의 벽돌에 의하여 둘러 쌓여 있으며, 한쪽 벽에는 입구 개구를 가지며, 상기 팬은 공기를 흡입하기 위하여 입구 개구에 연결되어 있으며, 그리고 다른쪽 벽에는 출구 개구를 가지며, 상기 여과기는 정화된 공기흐름의 출구를 위한 단부면쪽으로 이 벽과 접촉하고 있는, 그러한 국부청정실에 공급하기 위한 정화된 난류량이 적은 공기흐름을 생성시키기 위한 장치를 수단으로 하여, 상기의 목적은 출구 개구의 반대쪽에 위치하는 강제 순환실의 벽이 정화되지 않는 공기의 입구를 위한 쪽에 인접하는 것 및 강제 순환실의 다른 공간과 연통하는 소정의 공간을 개방상태로 남겨두는 것에 의하여 실현된다.

상기 팬은 정화된 공기흐름의 방향에 대하여 수직인 방향으로 상기 여과기에 인접하고 있다. 한 개의 팬을 사용하는 대신, 적어도 한 쌍의 팬들이 정화된 공기흐름의 방향에 대하여 수직방향으로 여과기에 역시 인접하고 있을 수 있다. 만약 두 개 또는 그 이상의 팬들이 사용된다면, 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 쪽으로 개방된 상태로 놓여있는 공간이 유리하게도 팬들의 수에 상응하는 부분공간들로 분할되며, 이들 부분공간들은 강제 순환실의 벽과 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 쪽의 일부에 의하여 형성되어지며, 여기서 이 분할은 정화된 공기 흐름의 출구를 위한 쪽에서는 생략되어진다.

공기의 흐름을 발생시키는 장치로부터 이를 공급받는 설비유니트로의 진동의 전달을 방지하기 위하여, 밀봉되고 진동에 관련하여 격리되도록 하기 위하여 강제순환실로부터 나오도록 이 강제순환실 외측의 기저부 프레임상에 고정되는 파지 및 고정요소들은 각각의 팬에 유리하게 배열되어진다. 동시에, 이 기저부 프레임은 국부청정실을 포함하는 설비유니트를 위한 지지부로서 역할을 할 수 있고, 이 기저부 프레임과 설비유니트 사이에 진동 격리 시스템이 제공되어진다.

이러한 배열은 큰 비용이 들이지 않고 국부청정실과 그 안에 배열된 구성 유니트들에 관련된 팬의 진동을 격리할 수 있게 하며, 진동에 관련하여 격리된 설비부분의 상대적 운동 때문에 요구되어지는 자유공간이 여과기-팬 유니트의 외형적 확장없이 제공되어질 수 있다.

본 발명은 이하에서 대략적인 도면들을 참조하여 보다 상세히 설명된다. 제1도에 의하면, 강제순환실(1)의 벽이 팬(3)과 고성능 분진공기 여과기(4)를 둘러사며, 이 강제순환실(1)은 기초후레임(2)에 의하여 지지된다. 강제순환실(1)은 벽들 중의 하나에 설치된 입구개구(5)에 이르기까지 주위에 대하여 완전히 밀봉되어 있다. 팬(3)은 상기의 입구개구(5)에 연결되어 공기가 주위공간으로부터 공급되어질 수 있도록 한다. 고성능 분진공기 여과기(4)는 정화되지 않은 공기입구를 위한 한 측면(6)을 가지며 정화된 공기흐름(8)의 출구를 위한 반대측면(7)은 출구개구(9)를 둘러싼다. 따라서 정화된 공기는 설비유니트(10)로 들어갈 수 있으며, 이 설비유니트는 국부청정실을 생성하고 유지하기 위하여 사용되고 밀봉요소(11)를 경유하여, 오직 그것의 여과효율에 상응하는 고성능 분진공기 여과기(4)를 경유하여 강제순환실과 연결된다.

이 실시예에서 반경방향의 팬으로서 구성된 팬(3)의 배열은, 종래와 같이 여과기-팬 유니트의 구조적 깊이를 감소시키기 위하여 고성능 분진공기 여과기(4)에 인접하여 정화된 공기흐름(8)의 방향에 수직인 방향으로 형성된다. 출구개구(9)의 맞은편에 위치한 강제순환실(1)의 벽은 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 측면(6)쪽에 공간(12)를 개방된 상태로 남겨두며, 이 공간(12)은 강제순환실(1)의 공간의 잔여 부분과 연통한다. 개방된 공간(12)은 강제순환실(1)의 영역이며, 이 영역은 유지공간으로서 주로 고성능 분진공기 여과기(4)를 통과하는 국부적이고 폭넓게 균일한 흐름과 이에 따른 정화된 공기흐름(8)의 정화된 공기출구에서의 작은 난류량을 보장하도록 강제순환실을 형성시켜 주는 역할을 한다.

구조상의 깊이를 정의하는 특성은 고성능 분진공기 여과기(4)의 두께와 강제순화실의 특성이 유지되도록 하기 위하여 요구되는 공간(12)의 폭이다. 종래의 배열에 비하여 40%까지의 감축이 가능하다.

크기와 형상이 국부청정실이 갖추어야 하는 조건에 적합하게 될 수 있는 팬과 여과기를 적절히 선택함으로써, 여과기-팬 유니트는 넓은 한도 내에서 변동되어질 수 있다.

제2도에 의한 구성에서, 팬(3)은 진동과 관련하여 강제순환실(1)의 벽으로부터 격리되어 있다. 이러한 목적으로 입구개구(5)에 진동감쇄 밀봉요소들(13) 및 기초후레임(2)에 고정된 팬(3)의 파지부(15)의 출구(14)가 설치되어 있으며, 이 출구(14)는 진동에 대하여 격리되고 압력 손실을 방지하기 위하여 주위에 대하여 기밀이 유지되어 있다. 출구개구(9)의 영역에서, 여과기-팬 유니트는 직접 또는 밀봉요소(11)를 거쳐서 설비유니트(10)와 연결되어 있다. 이 설비유니트(10)는 기초후레임(2) 위에서 지지되는 자체의 진동격리 시스템(30)을 포함하고 있다.

제3도에 따른 구성에서, 한 쌍의 팬(22) 및 (23)은 입구개구(17,18)및 출구개구(19)를 갖춘 강제순환실(16)내에서 정화된 공기흐름(21) 방향에 수직인 방향으로 여과기(20)와 이웃하고 있다. 각 팬(22,23)에 의하여 흡입된 공기는 격벽(24,25)에 의하여 분리되고 강제순환실(16)의 벽과 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 측면의 일부(28,29)에 의하여 형성되는 부분공간(26,27)으로 향하여진다. 이러한 배열에 있어서는, 한 쌍의 팬으로 제한되어질 필요가 없으며, 각 팬은 그 자신의 강제순환실을 형성한다. 정화된 공기측에서는 박리가 없으므로, 개별적인 층류이자 난류량이 적은 흐름이 형성된다.

Claims (6)

1. 강제순환실을 생성시키기 위한 공간을 한정하며, 한 쌍의 평행한 제1및 제2벽을 포함하는 벽들에 의하여 수납되어 있고, 대기 중의 정화되지 않은 공기의 상기 공간으로의 입구로서 작용하는 제1벽 내의 입구개구와 상기 공간으로부터 국부청정실로의 출구로서 작용하는 제2벽 내의 출구개구를 구비하는 하나의 챔버와; 상기 챔버 내에 배치되고 대기 중의 정화되지 않은 공기를 흡입하기 위한 제1벽 내의 상기 입구개구와 연통되어 있는 하나의 팬과; 상기 챔버 내에 배치되고, 정화된 공기흐름의 출구로서 제공되는 제1여과기 측을 구비하고 상기 제2벽 내의 출구개구와 접촉하며, 출구개구의 반대편에 위치하는 상기 제1벽에 인접하게 배치된 제2여과기 측을 부기하고, 상기 제1벽과 상기 제2여과기 측과의 사이의 공간은 유지공간으로서 작용하고 공간의 잔여부분과 연통하는 하나의 여과기와; 그리고 상기 강제순환실의 외측에 놓인 기저프레임에 상기 팬을 고정시키기 위한, 강제순환실의 벽들에 의하여 지지됨이 없이 강제순환실로부터 돌출함으로써 상기 팬을 상기 여과기로부터 진동격리시키기 위한 수단을 포함하는 파지 및 고정요소와를 포함하여 구성되는 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 팬(3)은 정화된 공기흐름의 방향(8)에 수직인 방향으로 여과기(4)에 인접하고 있는 것을 특징으로 하느 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치.
3. 제1항에 있어서, 적어도 한쌍의 팬(22,23)이 정화된 공기흐름의 방향(21)에 수직인 방향으로 여과기(20)에 이웃하는 것을 특징으로 하는 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치.
4. 제3항에 있어서, 정화되지 않은 공기의 입구를 위한 측면에서 개방된 상태로 놓여진 공간은 팬들(22,23)의 수에 상응하는 부분공간들(26,27)로 분할되며, 이들 부분 공간들(26,27)은 강제순환실(16)의 벽과 정화도지 않은 공기의 입구를 위한 측면의 부분들(28,29)에 의하여 형성되어지며, 여기서 이 분할은 정화된 공기흐름의 출구를 위한 측면에서는 생략되어지는 것을 특징으로 하는 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 밀봉되고 진동에 관련하여 격리되도록 강제순환실(1,16)로부터 돌출하고 강제순환실(1,16) 외측의 기초후레임(2)에 고정되는 파지 및 고정요소(15)들이 각각의 팬(3,22,23)에 배열되는 것을 특징으로 하는 국부청정실에 공급되는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치.
6. 제5항에 있어서, 기초후레임(2)은 동시에 국부청정실을 포함하는 설비유니트(10)를 지지부로서 역할을 하고, 이 기초후레임(2)과 설비유니트(10) 사이에는 진동 격리 시스템(30)이 제공되어지는 것을 특징으로 하는 국부청정실에 공급하는 정화된 난류량이 적은 공기흐름 발생장치.