JPH09280614A - 空気清浄装置 - Google Patents

空気清浄装置

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Publication number
JPH09280614A
JPH09280614A JP8090777A JP9077796A JPH09280614A JP H09280614 A JPH09280614 A JP H09280614A JP 8090777 A JP8090777 A JP 8090777A JP 9077796 A JP9077796 A JP 9077796A JP H09280614 A JPH09280614 A JP H09280614A
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JP
Japan
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impeller
filter
air
housing
motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP8090777A
Other languages
English (en)
Inventor
Tominori Ishikawa
富則 石川
Yuji Toyama
雄二 遠山
Masayuki Terano
正幸 寺野
Yoshihiro Takada
芳廣 高田
Keiichi Honma
圭一 本間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Techno Engineering Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Techno Engineering Co Ltd
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Priority to PCT/JP1997/001216 priority patent/WO1997039286A1/ja
Publication of JPH09280614A publication Critical patent/JPH09280614A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】クリーンルームの天井等に設けられる空気清浄
装置において、省エネ,低騒音,風速分布平均化の機能
を実現する。 【解決手段】本体ハウジング1の内部にモータベース4
が固定され、モータベース4にモータ3が固定され、モ
ータ3に羽根車2が連結されている。本体ハウジング1
の下部にフィルタ6が連結される。モータベース4の下
側に仕切板5が設けられている。本体ハウジング1の上
面にはベルマウス7が連結される。 【効果】本発明によれば、高効率,低騒音,薄型,風速
分布の平均化に好適な空気清浄装置を得ることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体や液晶を製造
するクリーンルームの天井面に設置する空気清浄装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の空気清浄装置に関する出願として
は、特願平5−293444号、特願平7−17437
4号、特願平6−73413号等が挙げられる。これら
に記載されたものは、本体ハウジング内部に羽根車全体
を納め、羽根車吸い込み口と吹き出し口の双方がハウジ
ング内部に位置し、羽根車吹き出し口上面とハウジング
上板の裏面との距離空間を大きく有する構造、または羽
根車吸い込み口がハウジング外部に位置しながらも、羽
根車吹き出し口上面とハウジング上板の裏面との距離空
間を大きく有する構造であって、本体ハウジング内で羽
根車の吹出口からフィルタの上流側に至る空気流路が本
体ハウジング内全体を循環するように形成されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の空気清浄装置は
図7に示すように、本体ハウジング1内部に羽根車2の
全体を納め、羽根車2の吸い込み口2bと吹き出し口2
aの双方がハウジング内部に位置する構造であった。そ
のため、図3に示すように羽根車吹き出し口2aの上面
とハウジング1の上板1aの裏面との距離空間が大きく
なるため、羽根車2から水平方向に吹き出された空気が
上方向に流れて渦流が発生し、羽根車2からフィルタ6
に至る空気流路に空気抵抗による損失が生じ、送風機の
効率を低下させる。
【0004】また、図5に示すように、本体ハウジング
1内部の加圧室内は仕切が設けられていないので1つの
箱状の空間となり、羽根車2から吹き出された空気は羽
根車2の回転方向と同一方向の渦流8を形成し、圧力室
の中央部は渦流8の中心となるため、フィルタ6の中央
部を通過する風速が小さくなり、フィルタ6から吹き出
される気流の風速のばらつきが大きく、風速分布が悪い
という問題がある。
【0005】本発明の目的は送風機の効率を向上させる
とともにフィルタの風速分布を改善し、エネルギー消費
が少なく吹き出し風速のばらつきが少ない空気清浄装置
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、羽根車およびこの羽根車を回転させるモー
タから成るターボファンと、このターボファンから吹き
出された空気を清浄化するフィルタと、ターボファンを
格納するとともに羽根車から吹き出された空気を加圧し
てフィルタに導く加圧室を内部に有するハウジングを備
えた空気清浄装置において、ハウジングにフィルタが装
着される第1の面及びこの第1の面に対向する第2の面
を設け、ターボファンをハウジング内部で第2の面の近
傍に配設し、羽根車の吹き出し口の第2の面に対向する
側を第2の面に近接して設け、加圧室にその内部を仕切
る仕切り板を設けたことを特徴とするものである。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の1実施例を図1、図2、
図4及び図6により説明する。本実施例の空気清浄装置
は図1及び図2に示されるように、羽根車2と、この羽
根車2を回転させるモータ3と、この羽根車2およびモ
ータ3を内蔵するハウジング1と、このハウジング1の
第1の面としての底面側に設けられたフィルタ6を有し
ている。羽根車2は遠心形羽根車であり、モータ3との
組合せによりターボファンを構成している。ターボファ
ンはハウジング1内部で第2の面としての上面1aの近
傍に配設される。ハウジング1の底面はフィルタ6に連
通する開口部を有し、フィルタ6はこの開口部に装着さ
れてターボファンから吐き出された空気を浄化する。フ
ィルタ6としてはクリーンルーム用のHEPAフィルタ
あるいはULPAフィルタが用いられる。フィルタ6の
外周には空気清浄装置をクリーンルームに設置する際に
天井に格子状に設けられる保持枠(図示せず)に載置す
るためのフレーム6aが設けられ、フレーム6aの下端
には気密を保つためのパッキング29がその全周にわた
って設けられる。
【0008】ハウジング1は第1の面に対向する第2の
面としての上面1aに空気吸い込み用の開口部を有し、
この開口部にはベルマウス7が上面1aから突出するよ
うに設けられている。また、ハウジング1の内部にはフ
ィルタ6の上方にモータベース4が固定され、モータ3
はモータベース4に固定される。モータ3は本実施例で
はその軸方向の中間部分がモータベース4に固定され、
モータ3の回転軸には羽根車2が連結されている。羽根
車2はモータ3に面する側の芯板の中心部が絞り加工に
より円錐台状に形成され、この円錐台状の部分は羽根車
2の羽根が固着される側の面に突出してその内側はモー
タ3を収容するスペースとなる。羽根車2の吸込口部分
は上面1aの吸い込み用開口部を貫通してハウジング1
の外部に位置し、ハウジング1の上面1aから山形にふ
くらむよう形成されたベルマウス7の内部に収納され
る。更に、羽根車2の吹き出し口のハウジング1の上面
1aに対向する側(以下吹き出し口上面)2aは図4に
示すようにハウジング1の上面1aに近接して設けられ
る。好ましくは、羽根車2の吹き出し口上面2aとハウ
ジング1の上面1aの裏面との距離bが、羽根車2の吹
き出し口高さcの1/10以下にするとよい。これによ
り、羽根車吹き出し口2aの上面とハウジング1の上板
1aの裏面との距離空間が小さくなるため、羽根車2か
ら水平方向に吹き出された空気がハウジング1の上板1
aの裏面に沿って流れるので渦流の発生が防止され、羽
根車2からフィルタ6に至る空気流路の空気抵抗が少な
くなり、送風機の効率を向上させて省エネルギー化を図
ることができる。
【0009】本実施例ではさらに、風速分布の改善のた
めにモータベース4の下部に仕切板5を設けている。具
体的には、図6に示すようにモータベース4の下部で羽
根車2の中央下部となる位置に仕切板5を設け、加圧室
内を2つに仕切ってターボファンからフィルタ6に至る
空気流路9bを2つ形成することにより、フィルタ6の
中央部にも気流を供給してフィルタを通過する風速分布
を平均化するものである。本実施例では羽根車2の吹き
出し口上面2aはハウジング1の上面1aに近接して設
けられ、羽根車2の吹き出し口上面2aとハウジング1
の上面1aの裏面との距離bが羽根車2の吹き出し口高
さcの1/10以下となるよう設定されるので、ハウジ
ング1の高さ寸法を小さくでき、薄型化・軽量化を図る
ことができる。本実施例ではフィルタ6のフレーム6a
下端面からベルマウス7の上端面までの高さ寸法を29
8mmとすることができ、薄型化に有効である。また、
ターボファン下部とフィルタ6の上流側の面との距離を
従来のファンがハウジングの高さ寸法の略中央部に設け
られた構造に比べ大きくとることができるため、ターボ
ファン下部においても加圧室の高さの減少が少なく空気
流路の空気抵抗の極端な増大を防止でき、仕切板5を設
けた場合にターボファン下部にも吹き出し風速を維持す
るのに十分な量の空気が供給されてフィルタ中央部にお
ける風速分布を改善できる。仕切板5は、モータベース
4と別の部品でも、モータベース4と同一部品であって
もよい。また、加圧室内を2分割して空気循環路を2分
する範囲内であれば角度と取り付け位置を変えても良
く、さらには加圧室内を2以上に分割してもよい。この
場合、仕切り板の数が増えすぎると仕切り板に沿う気流
の摩擦抵抗が増大するので、加圧室内を8分割する程度
まで、すなわちターボファンからフィルタ6に至る空気
流路を8つ形成する程度までが望ましい。
【0010】本実施例ではモータ3として内側を回転
子、外側を固定子としたものが用いられているが、これ
に限ることはなく、内側を固定子、外側を回転子とした
アウターロータモータを用いて外側の回転子に羽根車を
一体に接続してもよい。さらに羽根車自体を回転子とし
てもよい。
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、送風機の効率を向上さ
せるとともにフィルタの風速分布を改善し、エネルギー
消費が少なく吹き出し風速のばらつきが少ない空気清浄
装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例における空気清浄装置の構成
を示す縦断面図である。
【図2】本発明の1実施例における空気清浄装置の構成
の横断面図である。
【図3】従来の空気清浄装置の本体ハウジングと羽根車
の距離空間aが大きい場合の気流の状態を示す主要部の
断面図である。
【図4】本発明の1実施例における空気清浄装置の本体
ハウジングと羽根車の距離空間bが小さい場合の気流の
状態を示す主要部の断面図である。
【図5】従来の空気清浄装置の気流状態を示す図で、同
図(a)は本体ハウジング内部に空気循環路が1つの場
合の加圧室内の空気の流れを示す平面図、同図(b)は
フィルタ下部の風速分布を示す側面図である。
【図6】本発明の1実施例における空気清浄装置の気流
状態を示す図で、同図(a)は本体ハウジング内部を2
分割して空気流路を2つ形成した場合の加圧室内の空気
の流れを示す平面図、同図(b)はフィルタ下部の風速
分布を示す側面図である。
【図7】従来の空気清浄装置の構成を示す縦断面図であ
る。
【符号の説明】
1…本体ハウジング,1a…第2の面,2…羽根車,2
a…羽根車吹き出し口上面,3…モータ,4…モータベ
ース,5…仕切板,6…フィルタ,7…ベルマウス,
8,9a,9b…空気循環路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺野 正幸 新潟県北蒲原郡中条町大字富岡46番1株式 会社日立製作所産業機器事業部内 (72)発明者 高田 芳廣 茨城県土浦市神立町502番地株式会社日立 製作所機械研究所内 (72)発明者 本間 圭一 東京都足立区中川4の13の17日立テクノエ ンジニアリング株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】羽根車およびこの羽根車を回転させるモー
    タから成るターボファンと、このターボファンから吹き
    出された空気を清浄化するフィルタと、上記ターボファ
    ンを格納するとともに上記羽根車から吹き出された空気
    を加圧して上記フィルタに導く加圧室を内部に有するハ
    ウジングを備えた空気清浄装置において、上記ハウジン
    グは上記フィルタが装着される第1の面及びこの第1の
    面に対向する第2の面を有し、上記ターボファンは上記
    ハウジング内部で上記第2の面の近傍に配設され、上記
    羽根車の吹き出し口の上記第2の面に対向する側は上記
    第2の面に近接して設けられ、上記加圧室はその内部を
    仕切る仕切り板を備えたことを特徴とする空気清浄装
    置。
JP8090777A 1996-04-12 1996-04-12 空気清浄装置 Pending JPH09280614A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8090777A JPH09280614A (ja) 1996-04-12 1996-04-12 空気清浄装置
PCT/JP1997/001216 WO1997039286A1 (fr) 1996-04-12 1997-04-09 Purificateur d'air

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JP8090777A JPH09280614A (ja) 1996-04-12 1996-04-12 空気清浄装置

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JPH09280614A true JPH09280614A (ja) 1997-10-31

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ID=14008043

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JP8090777A Pending JPH09280614A (ja) 1996-04-12 1996-04-12 空気清浄装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014066459A (ja) * 2012-09-26 2014-04-17 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd 空気清浄機

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3505066B2 (ja) * 1997-06-20 2004-03-08 株式会社日立産機システム 空気清浄装置

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WO1997039286A1 (fr) 1997-10-23

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