JP2537454Y2 - ファン・フィルタユニット - Google Patents
ファン・フィルタユニットInfo
- Publication number
- JP2537454Y2 JP2537454Y2 JP9740991U JP9740991U JP2537454Y2 JP 2537454 Y2 JP2537454 Y2 JP 2537454Y2 JP 9740991 U JP9740991 U JP 9740991U JP 9740991 U JP9740991 U JP 9740991U JP 2537454 Y2 JP2537454 Y2 JP 2537454Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impeller
- fan
- chamber
- casing
- partition wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、半導体工場、食品工
場のクリーンルーム等で使用されるファン・フィルタユ
ニットに関する。
場のクリーンルーム等で使用されるファン・フィルタユ
ニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のファン・フィルタユニットとし
ては、図４に示されているように、頂壁に吸込口61を、
底壁に吹出口62をそれぞれ有するケーシング63内に、水
平仕切壁64が設けられてその上下に上吹出チャンバ65お
よび下吹出チャンバ66が形成され、遠心型ファン67が、
その羽根車68を上吹出チャンバ65内上部に位置させるよ
うに配置され、フィルタ69が、下吹出チャンバ66内上部
にプレナムチャンバ71を形成するように下吹出チャンバ
66内下部に配置され、仕切壁64が一定の開孔率をもつパ
ンチングメタルで形成され、パンチングメタルの孔が連
通孔72となされているものが知られている。
ては、図４に示されているように、頂壁に吸込口61を、
底壁に吹出口62をそれぞれ有するケーシング63内に、水
平仕切壁64が設けられてその上下に上吹出チャンバ65お
よび下吹出チャンバ66が形成され、遠心型ファン67が、
その羽根車68を上吹出チャンバ65内上部に位置させるよ
うに配置され、フィルタ69が、下吹出チャンバ66内上部
にプレナムチャンバ71を形成するように下吹出チャンバ
66内下部に配置され、仕切壁64が一定の開孔率をもつパ
ンチングメタルで形成され、パンチングメタルの孔が連
通孔72となされているものが知られている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】上記ファン・フィルタ
ユニットでは、連通孔72に風を通過させることにより、
流れの均一化を図ろうとするものであるが、プレナムチ
ャンバ71の大きさに対して、ファン67から吹出される風
の速度が速すぎると、均一化をすることが困難で、渦流
が発生して仕切壁64が振動する等の原因により騒音が発
生する。均一化をするには、プレナムチャンバ71を大き
くすればよいが、そうすると、ケーシング63が大きくな
ってユニット全体が嵩高となるため、好ましくない。
ユニットでは、連通孔72に風を通過させることにより、
流れの均一化を図ろうとするものであるが、プレナムチ
ャンバ71の大きさに対して、ファン67から吹出される風
の速度が速すぎると、均一化をすることが困難で、渦流
が発生して仕切壁64が振動する等の原因により騒音が発
生する。均一化をするには、プレナムチャンバ71を大き
くすればよいが、そうすると、ケーシング63が大きくな
ってユニット全体が嵩高となるため、好ましくない。
【０００４】この考案の目的は、ユニット全体の大型化
を極力抑制し、騒音の小さい静粛なファン・フィルタユ
ニットを提供することにある。
を極力抑制し、騒音の小さい静粛なファン・フィルタユ
ニットを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この考案によるファン・
フィルタユニットは、頂壁に吸込口を、底壁に吹出口を
それぞれ有するケーシング内に、水平仕切壁が設けられ
てその上下に上吹出チャンバおよび下吹出チャンバが形
成され、遠心型ファンが、その上向き羽根車を吸込口に
臨ませて上吹出チャンバ内上部に位置させるように配置
され、フィルタが、下吹出チャンバ内上部にプレナムチ
ャンバを形成するように下吹出チャンバ内下部に配置さ
れているファン・フィルタユニットにおいて、ケーシン
グが、平面より見て羽根車の外径より長い長辺をもつ長
方形に形成され、仕切壁に、平面より見て羽根車よりそ
れぞれ外方の位置で開口した一対の連通口が形成され、
上吹出チャンバ内に、羽根車を挾んでその両側から同じ
側の連通口までそれぞれのびる一対の垂直断面略逆Ｌ字
状風通路が形成されていることを特徴とするものであ
る。
フィルタユニットは、頂壁に吸込口を、底壁に吹出口を
それぞれ有するケーシング内に、水平仕切壁が設けられ
てその上下に上吹出チャンバおよび下吹出チャンバが形
成され、遠心型ファンが、その上向き羽根車を吸込口に
臨ませて上吹出チャンバ内上部に位置させるように配置
され、フィルタが、下吹出チャンバ内上部にプレナムチ
ャンバを形成するように下吹出チャンバ内下部に配置さ
れているファン・フィルタユニットにおいて、ケーシン
グが、平面より見て羽根車の外径より長い長辺をもつ長
方形に形成され、仕切壁に、平面より見て羽根車よりそ
れぞれ外方の位置で開口した一対の連通口が形成され、
上吹出チャンバ内に、羽根車を挾んでその両側から同じ
側の連通口までそれぞれのびる一対の垂直断面略逆Ｌ字
状風通路が形成されていることを特徴とするものであ
る。
【０００６】
【作用】この考案によるファン・フィルタユニットで
は、ケーシングが、平面より見て羽根車の外径より長い
長辺をもつ長方形に形成され、仕切壁に、平面より見て
羽根車よりそれぞれ外方の位置で開口した一対の連通口
が形成され、上吹出チャンバ内に、羽根車を挾んでその
両側から同じ側の連通口までそれぞれのびる一対の垂直
断面略逆Ｌ字状風通路が形成されているから、羽根車か
ら送出された風が、風通路を通じて連通口まで導かれ、
連通口からプレナムチャンバに開放されるが、風通路内
の風の流れは、一方向であるため、乱流を伴うことなく
スムーズである。
は、ケーシングが、平面より見て羽根車の外径より長い
長辺をもつ長方形に形成され、仕切壁に、平面より見て
羽根車よりそれぞれ外方の位置で開口した一対の連通口
が形成され、上吹出チャンバ内に、羽根車を挾んでその
両側から同じ側の連通口までそれぞれのびる一対の垂直
断面略逆Ｌ字状風通路が形成されているから、羽根車か
ら送出された風が、風通路を通じて連通口まで導かれ、
連通口からプレナムチャンバに開放されるが、風通路内
の風の流れは、一方向であるため、乱流を伴うことなく
スムーズである。
【０００７】
【実施例】この考案の実施例を、図１〜図３を参照して
つぎに説明する。
つぎに説明する。
【０００８】ファン・フィルタユニットは、ケーシング
11と、ケーシング11内に収められている遠心型ファン12
およびフィルタ13とを備えている。
11と、ケーシング11内に収められている遠心型ファン12
およびフィルタ13とを備えている。
【０００９】ケーシング11は、平面より見て、前後方向
を短辺とし、左右方向を長辺とする長方形状のものであ
る。短辺の２倍の長さが、ほぼ長辺の長さに等しい。ケ
ーシング11の頂壁中央部には、ケーシング11の短辺の長
さにほぼ等しい円形の吸込口21が設けられている。ケー
シング11の底壁はそのほぼ全体が開口されて吹出口22と
されている。ケーシング11内には水平仕切壁23が設けら
れてその上下に上吹出チャンバ24および下吹出チャンバ
25が形成されている。
を短辺とし、左右方向を長辺とする長方形状のものであ
る。短辺の２倍の長さが、ほぼ長辺の長さに等しい。ケ
ーシング11の頂壁中央部には、ケーシング11の短辺の長
さにほぼ等しい円形の吸込口21が設けられている。ケー
シング11の底壁はそのほぼ全体が開口されて吹出口22と
されている。ケーシング11内には水平仕切壁23が設けら
れてその上下に上吹出チャンバ24および下吹出チャンバ
25が形成されている。
【００１０】ファン12は、上向き羽根車31およびモータ
32を備えている。羽根車31は、上面吸込側を吸込口21に
臨ませて上吹出チャンバ24内上部に位置させられてい
る。モータ32は、ケーシング11の前後側壁に渡し止めら
れた横材33にブラケット34を介して取付けられている。
32を備えている。羽根車31は、上面吸込側を吸込口21に
臨ませて上吹出チャンバ24内上部に位置させられてい
る。モータ32は、ケーシング11の前後側壁に渡し止めら
れた横材33にブラケット34を介して取付けられている。
【００１１】フィルタ13は、下吹出チャンバ25の高さの
３分の２程度の厚みを有しかつケーシング11内面にほぼ
合致する周面を有する板状のものであって、下吹出チャ
ンバ25の上部にプレナムチャンバ41を形成しかつ吹出口
22の全体を被覆するように下吹出チャンバ25内下部に配
置されている。
３分の２程度の厚みを有しかつケーシング11内面にほぼ
合致する周面を有する板状のものであって、下吹出チャ
ンバ25の上部にプレナムチャンバ41を形成しかつ吹出口
22の全体を被覆するように下吹出チャンバ25内下部に配
置されている。
【００１２】仕切壁23の左右両端近くには、一対の連通
口42が仕切壁23のほぼ左右方向全長にわたって設けられ
ている。そして、下吹出チャンバ25内の羽根車31の左右
両側には、内外で対をなす風通路形成板43，44が一対ず
つ設けられ、これにより、上吹出チャンバ25内に、羽根
車31を挾んでその両側から同じ側の連通口42までそれぞ
れのびる垂直断面略逆Ｌ字状に湾曲した一対の風通路45
が形成されている。すなわち、内外の風通路形成板43，
44は、ともにパンチングメタルで垂直横断面逆Ｌ字状に
形成されたものであって、風通路45を挾んで相対しかつ
ケーシング11の内外側壁にまたがるように配置されてい
る。詳しくは、内通路形成板43は、羽根車31の下端レベ
ルから連通口42の内縁部までのび、外通路形成板44は、
羽根車31の上端レベルから連通口42の外縁部までのびて
いる。また、内通路形成板43の内縁部には垂下状遮風板
46が一体的に設けられている。
口42が仕切壁23のほぼ左右方向全長にわたって設けられ
ている。そして、下吹出チャンバ25内の羽根車31の左右
両側には、内外で対をなす風通路形成板43，44が一対ず
つ設けられ、これにより、上吹出チャンバ25内に、羽根
車31を挾んでその両側から同じ側の連通口42までそれぞ
れのびる垂直断面略逆Ｌ字状に湾曲した一対の風通路45
が形成されている。すなわち、内外の風通路形成板43，
44は、ともにパンチングメタルで垂直横断面逆Ｌ字状に
形成されたものであって、風通路45を挾んで相対しかつ
ケーシング11の内外側壁にまたがるように配置されてい
る。詳しくは、内通路形成板43は、羽根車31の下端レベ
ルから連通口42の内縁部までのび、外通路形成板44は、
羽根車31の上端レベルから連通口42の外縁部までのびて
いる。また、内通路形成板43の内縁部には垂下状遮風板
46が一体的に設けられている。
【００１３】内通路形成板43とこれと相対する仕切壁23
の間には吸音材47が詰められるとももに、外通路形成板
44とこれと相対するケーシング11の頂壁および側壁の間
に吸音材48が詰められている。さらに、羽根車31下方の
仕切壁23上には吸音材49が敷かれている。
の間には吸音材47が詰められるとももに、外通路形成板
44とこれと相対するケーシング11の頂壁および側壁の間
に吸音材48が詰められている。さらに、羽根車31下方の
仕切壁23上には吸音材49が敷かれている。
【００１４】さらに、連通口42の直下には、水平状パン
チングメタル製整流板51がフィルタ13の上面の左右両端
近くの部分を被覆するように配置されている。
チングメタル製整流板51がフィルタ13の上面の左右両端
近くの部分を被覆するように配置されている。
【００１５】ファン12の駆動により、吸込口21からケー
シング11内に吸込まれた風は、羽根車31からその半径方
向に送出されるが、羽根車31の前後方向には行き場が無
いため、大部分の風は左右の風通路45に分れて導入さ
れ、風通路45内を連通口42まで導かれ、連通口42からプ
レナムチャンバ41に開放される。風が風通路45内を流れ
る際、流れに伴う騒音は、吸音材47，48に吸音されて減
衰される。また、風通路45が湾曲していて比較的長い
（例えば同一大きさのケーシング内に形成された直線状
風通路と比較して）ため、同減衰作用が効果的に行わ
れ、風通路45内の流れが一方向であるため、乱流を伴う
ことなく風がスムーズに流れる。そして、プレナムチャ
ンバ41内に流入した風は、整流板51に衝突し、その一部
は整流板51を通過してそのままフィルタ13に通される
が、残りの風はその流れの方向が内向きに変えられて、
フィルタ13の整流板51で被覆されていない部分を通され
る。その結果、フィルタ13の全体をくまなく風が通り抜
け、局部的な圧力のばらつきや乱流を生じる恐れがな
い。
シング11内に吸込まれた風は、羽根車31からその半径方
向に送出されるが、羽根車31の前後方向には行き場が無
いため、大部分の風は左右の風通路45に分れて導入さ
れ、風通路45内を連通口42まで導かれ、連通口42からプ
レナムチャンバ41に開放される。風が風通路45内を流れ
る際、流れに伴う騒音は、吸音材47，48に吸音されて減
衰される。また、風通路45が湾曲していて比較的長い
（例えば同一大きさのケーシング内に形成された直線状
風通路と比較して）ため、同減衰作用が効果的に行わ
れ、風通路45内の流れが一方向であるため、乱流を伴う
ことなく風がスムーズに流れる。そして、プレナムチャ
ンバ41内に流入した風は、整流板51に衝突し、その一部
は整流板51を通過してそのままフィルタ13に通される
が、残りの風はその流れの方向が内向きに変えられて、
フィルタ13の整流板51で被覆されていない部分を通され
る。その結果、フィルタ13の全体をくまなく風が通り抜
け、局部的な圧力のばらつきや乱流を生じる恐れがな
い。
【００１６】
【考案の効果】この考案によれば、羽根車から送出され
た風が、風通路を通じて連通口まで導かれ、連通口から
プレナムチャンバに開放されるが、風通路内の風の流れ
は、一方向であるため、乱流を伴うことなくスムーズで
あるから、ユニット全体の大型化を極力抑制し、騒音の
小さい静粛なファン・フィルタユニットを提供すること
ができる。
た風が、風通路を通じて連通口まで導かれ、連通口から
プレナムチャンバに開放されるが、風通路内の風の流れ
は、一方向であるため、乱流を伴うことなくスムーズで
あるから、ユニット全体の大型化を極力抑制し、騒音の
小さい静粛なファン・フィルタユニットを提供すること
ができる。
【図１】この考案によるファン・フィルタユニットの垂
直縦断面図である。
直縦断面図である。
【図２】同ファン・フィルタユニットの垂直横断面図で
ある。
ある。
【図３】同ファン・フィルタユニットの破砕断面を含む
平面図である。
平面図である。
【図４】従来のファン・フィルタユニットの垂直縦断面
図である。
図である。
11 ケーシング 12 ファン 13 フィルタ 21 吸込口 22 吹出口 23 仕切壁 24 上吹出チャンバ 25 下吹出チャンバ 31 羽根車 41 プレナムチャンバ 42 連通口 45 風通路
Claims (1)
- 【請求項１】 頂壁に吸込口21を、底壁に吹出口22をそ
れぞれ有するケーシング11内に、水平仕切壁23が設けら
れてその上下に上吹出チャンバ24および下吹出チャンバ
25が形成され、遠心型ファン12が、その上向き羽根車31
を吸込口21に臨ませて上吹出チャンバ24内上部に位置さ
せるように配置され、フィルタ13が、下吹出チャンバ25
内上部にプレナムチャンバ41を形成するように下吹出チ
ャンバ25内下部に配置されているファン・フィルタユニ
ットにおいて、 ケーシング11が、平面より見て羽根車31の外径より長い
長辺をもつ長方形に形成され、仕切壁23に、平面より見
て羽根車31よりそれぞれ外方の位置で開口した一対の連
通口42が形成され、上吹出チャンバ24内に、羽根車31を
挾んでその両側から同じ側の連通口42までそれぞれのび
る一対の垂直断面略逆Ｌ字状風通路45が形成されている
ことを特徴とするファン・フィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9740991U JP2537454Y2 (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | ファン・フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9740991U JP2537454Y2 (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | ファン・フィルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547732U JPH0547732U (ja) | 1993-06-25 |
| JP2537454Y2 true JP2537454Y2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=14191699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9740991U Expired - Lifetime JP2537454Y2 (ja) | 1991-11-27 | 1991-11-27 | ファン・フィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2537454Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102379371B1 (ko) * | 2021-07-26 | 2022-03-28 | 주식회사 세기공조 | 공기 균일화 기반의 공장용 수직형 냉난방기 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020065061A (ko) * | 2001-02-05 | 2002-08-13 | 주식회사 센추리 | 팬 필터 유니트 |
| JP2006263688A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | ファン・フィルタユニットおよびこれを備えたクリーンブース |
| DE102014012870A1 (de) * | 2013-09-05 | 2015-03-05 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Luftreiniger unter Verwendung von ultravioletten Strahlen |
| FI20165583A (fi) | 2016-07-13 | 2018-01-14 | Framery Oy | Ilmastointijärjestelmä ja -menetelmä |
-
1991
- 1991-11-27 JP JP9740991U patent/JP2537454Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102379371B1 (ko) * | 2021-07-26 | 2022-03-28 | 주식회사 세기공조 | 공기 균일화 기반의 공장용 수직형 냉난방기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0547732U (ja) | 1993-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961119 |
|
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |