JP2006275311A - ファンフィルターユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバー101内部に複数の遠心ファン102を有することによって、ファン1つあたりの軸方向高さ、及び、ファン外径が小さくなるので、チャンバーの高さを低くでき、ファン裏側の低風速の領域を小さくして風速分布を均一にすることができるファンフィルターユニットが得られる。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1におけるファンフィルターユニットの斜視図であり、フィルターを取り外した下流側からの視点のものである。また図2は、図1におけるファンフィルターユニット対角線A-Aにおける垂直断面図である。
図3は本発明の実施の形態2におけるファンフィルターユニットの斜視図であり、フィルターを取り外した上流側からの視点のものである。また図4は、図3におけるB-Bにおける垂直断面図である。
図5は本発明の実施の形態3におけるファンフィルターユニットの斜視図であって、下流側が開放されている長方形のチャンバー101を有し、チャンバー101内部に電動機1を下流側に備えた3つのによって駆動される3つの遠心ファン102を有し、その各々の電動機1が、各々の固定台4に固定された構成となっている。
2 電動機軸
3 チャンバー吸込み口を有する面
4 固定台
5 整流板
6 チャンバー側面
7 オリフィス
8 フィルター取付位置
101 チャンバー
102 ファン
103 フィルター
104 吸音材
105 第一遮蔽板
106 第二遮蔽板
Claims (9)
- 上流側にベルマウス状のオリフィスを形成した下流側が開放されているチャンバーを有し、前記チャンバーの下流側にフィルターが取り付けられ、前記チャンバー内部に電動機を下流側に備えた複数の遠心ファンを有し、その各々の前記電動機が、前記チャンバーの側面または吸込口を有する面に取り付けられた各々の固定台に固定されたファンフィルターユニット。
- 上流側にベルマウス状のオリフィスを形成した下流側が開放されているチャンバーを有し、前記チャンバーの下流側にフィルターが取り付けられ、前記チャンバー内部に電動機を上流側に備えた複数の遠心ファンを有し、その各々の前記電動機が、前記チャンバーの吸込口を有する面に取り付けられたファンフィルターユニット。
- 遠心ファンの羽根出口角の向きが後向きである請求項1または2のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 遠心ファンの数が2つであり、かつ、下流側が開口しているチャンバー形状が、正方形または長方形であり、2つの前記ファンの回転軸が前記チャンバー形状の正方形または長方形の対角線上に配置された請求項3に記載のファンフィルターユニット。
- チャンバー内に内部流れの整流手段を備えた請求項1〜4のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- チャンバー内壁面に取り付けた板状の整流手段である請求項5に記載のファンフィルターユニット。
- 回転している複数のファンから起こるうなり音防止手段を備えた請求項1から6いずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 複数のファンは各々または二種類以上の異なる枚数を持つ請求項1〜7のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 複数のファンは各々または二種類以上の異なる定格回転数とした請求項1〜7のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005090914A JP2006275311A (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005090914A JP2006275311A (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | ファンフィルターユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006275311A true JP2006275311A (ja) | 2006-10-12 |
Family
ID=37210258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005090914A Pending JP2006275311A (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006275311A (ja) |
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- 2005-03-28 JP JP2005090914A patent/JP2006275311A/ja active Pending
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