JPH07145971A - 空気清浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ファン効率の向上，施工性の容易，パッキン保
護を図ること。 【構成】本体ケース３の側板３ｂ，３ｂにより、羽根車
６のシュラウド側の上方での旋回流れａが存在しなくな
り、吸い込んだ空気を有効に吐き出しので、ファン効率
を確実に向上させることができる。また、側板３ｂを傾
斜させるのみならず、送風機５の吐き出し空気を整流さ
せ、フィルタ９のほぼ全面方向に可及的に導くので、フ
ィルタ９のほぼ全面から空気が吹き出すこととなり、吐
き出し空気の風速分布を改善することできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体や液晶等を製造
するクリーンルームに設置される空気清浄装置に係り、
特に構造の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の空気清浄装置の従来技術として
は、風量や据え付け構造を改善したものが種々提案さ
れ、実用に供されている。その第一の従来技術は、送風
機を構成する羽根車の形状を変えたり、送風機を効率の
良好なポイントで使用する等を行うことによってファン
効率を向上させるものがある。或いはファンのモータと
して、効率の良いものを選択し、そのモータをモータ効
率の高いポイントで使用するものがある。また第二の従
来技術は、図１６に示すように、格子状に組み込まれた
天井枠Ｂに空気清浄器具Ａを夫々設置している。その
際、器具Ａを天井枠Ｂの開口部に対し下方から上方に挿
通させた後、器具下面の吹出口の周囲を形成する四辺の
シール部（図示せず）を、天井枠Ｂに載置させることに
より設置している。また、天井枠Ｂの上方に挿通した器
具Ａのフィルタにあっては、天井枠Ｂにパッキンを介し
てセットし、それをボルト，ナット，締付金具を用いて
固定するようにし、或いは、天井枠Ｂにフィルタをセッ
トし、該フィルタと天井枠Ｂとの間の隙間に硬化性シー
ル材を充填している。なお、器具Ａのフィルタは、輸送
時等に下向きの状態にあると、器具Ａの重量によって変
形するので、変形しないようにするために工夫されたも
のが開発され、特願平５−８１４１号，同５−２７８２
６号として出願している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記に示す
第一の従来技術は、ファン効率を向上させるため、送風
機を構成する羽根車の形状を変更したり、送風機の他の
構成部品を変更したりしているが、それらの変更にはコ
ストアップを伴うばかりでなく、開発に時間がかかって
容易に行うことが難しい問題がある。上記に示す第二の
従来技術は、図１６に示すように、器具Ａを設置するた
めの天井枠Ｂが格子状に枠組され、その枠組された部分
に複数の器具Ａが設置されているので、枠組された部分
の分だけ器具Ａのフィルタを設けることができず、従っ
て、格子状の天井枠Ｂではそれだけデットスペースが大
きい問題があり、例えば図１６に示す従来例の構成では
器具Ａの面積に対しフィルタの面積が８０％程度の占有
率であった。また、器具Ａを設置する場合、上述の如
く、器具Ａを天井枠Ｂの開口部に下から上へ向かい挿通
することによって行っているが、開口部の寸法に比較し
器具Ａの寸法が若干大きくなっているので、器具Ａを開
口部に挿通するのに手間がかかる問題があるばかりでな
く、器具Ａをボルト，ナット，締付金具によって天井枠
Ｂに取付け、或いは器具Ａのフィルタと天井枠との間の
隙間に硬化性シール材を充填して取付けているので、さ
らに手間がかかると云う問題もある。本発明の目的は、
上記従来技術の問題点に鑑み、簡単でかつ確実にファン
効率を向上し得る空気清浄装置を提供することにあり、
他の目的は、天井枠に器具を簡単かつ容易に設置するこ
とができると共に、フィルタのデッドスペースを極力小
さくしてフィルタを有効に活用し得る空気清浄装置を提
供することにあり、さらに他の目的は、器具の輸送時は
勿論のこと、据え付け時に至るまでパッキンを容易に保
護し得る空気清浄装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の一番目の発明で
は、本体ケースの周囲を構成する一部の側板を傾斜板で
形成し、かつ該傾斜板は、送風機の吸い込み側から空気
吐き出し側に至るに従い次第にケース内部の断面積を大
きくする形状をなしていることを特徴とするものであ
る。本発明の二番目の発明では、外部空気を吸い込んで
吐き出す送風機を内蔵する本体ケースと、該本体ケース
の空気吐き出し側に取付けられ、フィルタ，該フィルタ
を支持しかつパッキンを介し天井枠に載置される長方形
状のフィルタ支持枠を設けたフィルタ部とを有して空気
清浄器具を構成し、該空気清浄器具のフィルタ部のフィ
ルタ支持枠をパッキンを介し天井枠に載置するようにし
た空気清浄装置において、前記フィルタ支持枠を構成す
る長手方向のフレームの底面部に該フレームに沿って第
一のパッキンを取付けると共に、前記フィルタ支持枠を
構成する短手方向のフレームの側面部に両端が第一のパ
ッキンと密接する第二のパッキンを取付ける一方、前記
天井枠が、互いに対向しかつフィルタ支持枠の長手方向
のフレームを載置する二本の縦枠で形成すると共に、該
二本の縦枠間に、縦枠の断面形状より小さい断面形状を
なす補強用の補助フレームを架装したことを特徴とする
ものである。本発明の三番目の発明においては、前記フ
ィルタ支持枠を構成する長手方向のフレームと短手方向
のフレームとの何れか一方の側面に、先端がフレームの
底面に取付けられたパッキンより下方に突出し得る大き
さのパッキン保護金具を上下方向にスライド可能に取付
けたことを特徴とするものである。

【０００５】

【作用】本発明の一番目の発明では、上述の如く、本体
ケースの周囲を構成する一部の側板を傾斜板で形成し、
かつ該傾斜板が、送風機の吸い込み側から空気吐き出し
側に至るに従い次第にケース内部の断面積を大きくする
形状をなして構成したので、送風機が空気を吸い込んで
吐き出したとき、該送風機の羽根車のシュラウド側上方
の旋回流れが存在しなくなり、吸い込んだ空気を有効に
吐き出すこととなる。従って、吸い込んだ空気を有効に
吐き出すことにより、ファン効率を簡単かつ確実に向上
させることができ、またそれだけ省力化を図ることもで
きる。また本発明の二番目の発明では、上述の如く、フ
ィルタ支持枠の長手方向のフレームがその底面部に取付
けたパッキンを介し、天井枠の互いに対向する縦枠に載
置され、また隣接する空気清浄器具が短手方向のフレー
ムの側面部に設けたパッキンを介し互いに密接して配置
されるので、格子状の天井枠に器具を設置する従来技術
に比較すると、天井枠の開口部の面積を各フィルタ部の
面積と同程度の大きさに近づけることができる。しか
も、補助フレームが、縦枠の断面形状より小さい形状を
なしているので、吐き出される空気が補助フレームによ
って悪影響を受けることがない。そのため、天井枠のフ
ィルタ部に対するデットスペースを極力小さくすること
ができる。また天井枠が上述の如き対向する縦枠で構成
すると、空気清浄器具の設置時、該器具を縦枠の間から
容易に挿通することができるので、空気清浄器具の設置
作業を簡単に行うことができる。本発明の三番目の発明
では、空気清浄器具のフィルタ支持枠に取付けられたパ
ッキン保護金具の先端が、フィルタ支持枠より下方に突
出した状態にしておくと、該空気清浄器具の輸送時や、
空気清浄器具を設置する前に現地の床等に置いた場合、
パッキンが破損するのを確実に防止することができ、し
かもパッキン保護金具をスライドさせるとによって空気
清浄器具の天井枠への設置作業が容易となるので、信頼
性を高め得る効果がある。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１乃至図１５によ
り説明する。図１乃至図４は本発明による空気清浄装置
の第一の実施例を示している。この実施例の空気清浄装
置は大別すると、空気清浄器具Ａと図示しない天井枠と
からなっており、空気清浄器具Ａは、図１に示すよう
に、送風部１とその下部に配置されるフィルタ部２とを
有して構成され、これらが天井枠に設置されることによ
り使用される。即ち、送風部１は、図１（ａ）〜（ｃ）
に示す如く、加圧室を画成する本体ケース３の内部にモ
ータベース４を介し送風機（モータ）５が取付けられ、
該モータ５の上部に突出する出力軸に羽根車６が装着さ
れている。そして、モータ５の駆動によって羽根車６が
回転すると、本体ケース３の上部に設けられた金網部分
７から外部空気を吸い込み、羽根車６の吹出口６ａから
吹き出されてフィルタ部２を通過する。フィルタ部２は
本体ケース３の開口部とほぼ対応する大きさにフィルタ
支持枠８が形成され、該フィルタ支持枠８内に例えばＨ
ＥＰＡフィルタ等のような高性能のフィルタ９が収納さ
れている。なお、前記本体ケース３は、図１に示すよう
に、長手方向に配置される二枚の側板３ａと、幅方向
（短手方向）に配置される二枚の側板３ｂとで前記送風
機５を収容し得る箱形形状をなしている。本実施例で
は、本体ケース３の幅方向の側板３ｂが、送風機５の吸
い込み側から吹き出し側へ至るに従い次第にケース内部
の断面積が大きくなるように傾斜して形成されている。
即ち、側板３ｂ，３ｂの各々は、図１（ａ）及び（ｂ）
に明示するように、本体ケース３の上部に位置しかつ送
風機５の吸い込み側を形成する天板３ｃの両側に上端が
固定され、その下端が本体ケース３の開口部を形成する
開口縁部３ｄに固定され、本体ケース３における羽根車
６のシュラウド側の空間部を小さく形成すると共に、該
羽根車６のシュラウド側からハブ側に至るに従って空間
部を次第に拡開させている。また、本体ケース３内に
は、送風機５によって吹き出される空気を整流させるた
めに整流板１０が設けられている。該整流板１０は、図
１（ｂ）に示すように、本体ケース内に羽根車６の吐き
出し部に沿うよう傾斜して配置され、送風機５から吐き
出された空気をフィルタ９のほぼ全面に導くようにして
いる。

【０００７】実施例の空気清浄装置は、上記の如き構成
よりなるので、次にその作用を従来技術の空気清浄装置
と比較して述べる。まず、図２に示すように、長手方向
の側板３１と幅方向の側板３２とで直方体を形成する本
体ケース３０を有する従来技術の空気清浄器具にあって
は、送風機３３が駆動すると、羽根車３４のシュラウド
側とハブ側とでは図２及び図３に示す如き空気の流れと
なる。即ち、送風機３３によって吸い込まれた空気はシ
ュラウド側において、図２の側面断面である図３（ａ）
に示すように羽根車３４の回転に伴って回転し、図３
（ｂ）に示す如きハブ側での空気の流れａ′に比較する
と、旋回流れａを形成することとなり、かつ該旋回流れ
ａはシュラウド側の外周側である本体ケース３０の上部
の隅々では図２に示す矢印ａのように渦流となってしま
う。しかも、このような空気は、シュラウド側での流れ
の場合、羽根車３４の吸い込み側から吹き出し側に至る
間に急減速となってしまい、シュラウド側が低速で、か
つハブ側が速いＣｍ分布となり、またシュラウド側の旋
回速度Ｃｕ２ｓが圧倒的に大きくなる。なお、図４
（ａ）は送風機におけるシュラウド側の空気流の速度成
分を示し、同図（ｂ）は同じくハブ側の空気流の速度成
分を示している。このような旋回速度Ｃｕ₂ｓをもつ空
気流は、加圧室内（本体ケース内）の全空間を満たすよ
うに流れ、その流れは、羽根車吹き出し口の角運動量
（ｒ・Ｃｕ）が一定に保たれるので径が小さい部分では
ｒが小さく、結果的に旋回速度（Ｃｕ）が大きくなり、
減速による圧力上昇が期待できず、主に旋回のために費
やされることとなる。

【０００８】実施例では、上述の如く、本体ケース３の
幅方向の側板３ｂ，３ｂが送風機５の吸い込み部から吐
き出し部に至るに従って断面積が次第に大きくなるよう
に傾斜して形成されているので、羽根車６のシュラウド
側より上方（吸い込み部）へ向かう流れを防止すること
ができ、その部分での損失となる旋回流れが存在しなく
なるばかりでなく、側板３ｂに沿って開口部側へ導かれ
る。しかも、その際、導かれた空気は、羽根車６の吹き
出し部では本体ケースの開口部側まで次第に通路が広が
っているので、次第に減速して圧力回復する。その結
果、実施例のように本体ケース３の側板３ｂ，３ｂによ
り、羽根車６のシュラウド側の上方での旋回流れａが存
在しなくなり、吸い込んだ空気を有効に吐き出しので、
ファン効率を確実に向上させることができる。また、側
板３ｂを傾斜させるのみならず、送風機５の吐き出し空
気を整流させ、フィルタ９のほぼ全面方向に可及的に導
くので、フィルタ９のほぼ全面から空気が吹き出すこと
となり、吐き出し空気の風速分布を改善することでき
る。因みに、実施例の本体ケース３と従来技術の本体ケ
ース３０とを用いた空気清浄器具のファン効率を測定し
た実験結果を下記の表１に示す。

【０００９】

【表１】

【００１０】上記に示す表１は、従来技術，実施例の双
方とも、同一仕様の送風機を用い、また本体ケース３の
開口部及び高さを同一寸法のものを仕様した。なおこの
場合、整流板１０は用いていない。表１によれば、従来
技術に比較し、実施例の方が風量及びファン効率の何れ
もアップしており、また全効率，平均流速もアップして
ことがわかる。

【００１１】図５は本発明による空気清浄装置の第二の
実施例を示している。この場合は、空気清浄器具Ａの本
体ケース３′が直方体状をなして形成され、該本体ケー
ス３′の幅方向の内部に側板３ｂが傾斜して取付けられ
ている。該側板３ｂは前記第一の実施例と同様であるの
で、ここではその説明を省略する。そして本実施例で
は、前記側板３ｂの内壁面に吸音材１１が貼着されてい
る。該、吸音材１１は、送風機５が空気を吸い込みかつ
吐き出すときに発生する音を吸音し得る材質からなって
いる。従って、この実施例では、側板３ｂに貼着した吸
音材１１によって空気流の音を吸音させると、それだけ
低騒音化を図ることができる。なお本例では、吸音材１
１を側板３ｂに貼着することによって低騒音化を図って
いるが、幅方向の側板３ｂのみならず、長手方向の側板
３ａの内壁にも吸音材１１を設けると、吸音効果をいっ
そう上げることができ、さらには本体ケース３′の内壁
面全面に設けても良い。また、吸音機能をさらに上げる
ため、吸音材１１の貼付け面を多孔状に形成してもよ
い。

【００１２】図６乃至図１０は本発明による空気清浄装
置の第三の実施例を示す。この実施例では、空気清浄器
具Ａを設置する天井枠Ｂが、図６に示す如く互いに対向
する縦枠１１を有している。該縦枠１１はアルミ材から
なっていて、断面箱形形状をなす上部中央に凸部１１ａ
を有し、図示しない吊持手段によって天井に吊り下げら
れる。またこの対向する縦枠１１，１１との間には適宜
の間隔をもって補助フレーム１２が設けられ、該補助フ
レーム１２についての詳細は後述する。一方、上記天井
枠Ｂに設置される空気清浄器具Ａのフィルタ部２につい
て述べると、該フィルタ部２を支持するフィルタ支持枠
８は、図６及び図７に示すように、長手方向に配置され
るフレーム８ａと、幅方向に配置されるフレーム８ｂと
で長方形状をなしており、フレーム８ａの底面の外側端
部には図７（ａ）及び図８（ｂ）に示すように下方に垂
下するフランジ８ｃが設けられている。フランジ８ｃ
は、空気清浄器具Ａを天井枠Ｂに載置したとき、図８
（ｂ）に示すように、天井枠Ｂの縦枠１１の上部中央に
突出した凸部１１ａより内方に位置する。フィルタ支持
枠８のフレーム８ａの下面には図６乃至図８に示す如く
前記フランジ８ｃより下方に突出する長さを有する隙間
防止用のパッキン４３ａが取付けられ、またフレーム８
ｂの側面部にも隙間防止用のパッキン４３ｂが取付けら
れている。その場合、パッキン４３ｂの両端はパッキン
４３ａの一部と密接している。従って、これらのパッキ
ン４３ａ，４３ｂがフィルタ支持枠８の外周に配設され
ている。そして、空気清浄器具Ａを天井枠Ｂに載置した
とき、図８（ｂ）に示す如くパッキン４３ａが空気清浄
器具Ａの重みで圧縮され、天井枠Ｂの縦枠１１に密着す
ることにより、フィルタ部２と縦枠１１間を長手方向で
気密保持するようにしている。また、空気清浄器具Ａは
図９（ａ），（ｂ）に示すように、縦枠１１，１１，間
に複数台並べて載置されるが、図１０に示すように、一
方の空気清浄器具Ａにおけるフレーム８ｂのパッキン４
３ｂと、これと隣接する空気清浄器具Ａにおけるフレー
ム８ｂのパッキン４３ｂとが互いに気密状態をほぼ保つ
ように当接するようにしている。従って、パッキン４３
ａ，４３ｂは、互いに密接したり、縦枠１１に密着した
りすることによって気密を保持するものであり、例えば
ネオプレンスポンジ，エチレンプロピレンゴムスポンジ
等の単独気泡のものからなっている。他方、前記補助フ
レーム１２は図６及び図８に示すように、縦枠１１の側
面にねじ止めすることによって双方の縦枠１１，１１間
に架装されている。この補助フレーム１２は、フィルタ
部２から吐き出される空気の流れを阻害することがない
よう縦枠１１の断面形状よりかなり小さい断面形状をな
しており、本例では楕円形状をなしている。そして補助
フレーム１２の縦枠１１への取付けは、空気清浄器具Ａ
を設置する前でも、また後でも可能であり、またねじ止
めすることにより、取付け後に容易に取り外せるように
している。

【００１３】そして、補助フレーム１２にはクリーンル
ームを照明するための照明器具が取付けられている。該
照明器具は、図８（ａ），（ｂ）及び図９（ｂ），
（ｃ）に示すように、補助フレーム１２の内部に設けら
れた蛍光ランプ１３と、補助フレーム１２の下半分の部
分に取付けられ、該補助フレーム１２と共に楕円形状を
なすアクリルカバー１４とを有している。そのため、補
助フレーム１２の下半分の部分にはアクリルカバー１４
を配置するための切り欠きが設けられている。なお、ア
クリルカバー１４と補助フレーム１２とは図８（ａ）に
示す如く、アクリルカバー１４に突設された係合片１４
ａによって互いに着脱可能に係合している。また、蛍光
ランプ１３に電力を供給する接続線１５は、図８（ｂ）
に示すように、縦枠１１を通りかつ該縦枠の凸部１１ａ
を経ることにより配線される。

【００１４】上記の如き構成の空気清浄器具Ａは、フィ
ルタ９を支持するフィルタ支持枠８が長手方向のフレー
ム８ａと幅方向のフレーム８ｂとからなり、しかも長手
方向のフレーム８ａがその底面部に取付けたパッキン４
３ａを介し、天井枠Ｂの互いに対向する縦枠１１，１１
に載置され、また隣接する双方の空気清浄器具Ａのフレ
ーム８ｂがその側面部に取付けたパッキンを介し互いに
密接して配置されるようにしたので、図８に示すように
格子状に組み込まれた天井枠Ｂに器具Ａを設置する従来
技術に比較すると、天井枠Ｂの開口部の面積を各フィル
タ部の面積と同程度の大きさに近づけることができる。
しかも、縦枠１１を支持する補助フレーム１２が、縦枠
１１の断面形状より小さい形状をなしているので、吐き
出される空気が補助フレーム１２によって悪影響を受け
ることがない。そのため、天井枠Ｂのフィルタ部２に対
するデットスペースを極力小さくすることができ、従来
技術に比較した場合、フィルタ占有率が約１０％向上し
て９０％程度となることが確認できた。なお、クリーン
ルーム外である天井裏とクリーンルーム内との空気圧を
比較した場合、天井裏側ではクリーンルーム内に比べ一
般に２〜８ｍｍＡｑ程度の負圧となるので、仮に空気清
浄器具Ａの長手方向側のパッキン４３ａが、万一縦枠１
１に完全に密着しないことがあっても、また各器具Ａ間
のパッキン４３ｂと４３ｂとが互いに密着しないことが
あっても、器具周辺の外部空気がクリーンルームに流入
することがなく、清浄度上の問題がない。また天井枠Ｂ
が上述の如き対向する縦枠１１で構成すると、空気清浄
器具Ａの設置時、該器具Ａを縦枠１１から容易に挿通す
ることができるので、空気清浄器具Ａの設置作業を簡単
に行うことができる。さらに天井枠Ｂの縦枠１１，１１
にはこれらに架装された補助フレーム１２によって強度
を保つので、器具Ａを複数台にわたり並べても剛性が損
なうこともない。しかも縦枠１１に対する補助フレーム
１２の位置は、図９（ｂ）では送風機５と対応する位置
になっているが、それ以外として、器具Ａを複数台並べ
たとき、クリーンルームに供給される清浄空気の流れを
極力損なうことがないようにすると共に、フィルタ部２
のデッドスペースを作ることがないようにするため、隣
接する器具Ａにおける幅方向のパッキン４３ｂと対応す
ることが好ましい。そして、縦枠１１より小さい断面形
状の補助フレーム１２を用いるので、従来技術のような
格子状に形成された天井枠に比較すると、それだけ材料
費を低減することもできると共に、天井枠Ｂ自体の据え
付けも容易となる。またさらに、補助フレーム１２に照
明器具を取付け、該照明器具のアクリルカバー１４が縦
枠１１の下面から突出していないので、照明器具が破損
するおそれがなく、またクリーンルーム内のスペースを
有効に利用することができる。これに加え、照明器具の
アクリルカバー１４が補助フレーム１２と共に楕円形状
をなし、クリーンルームに送風される清浄空気の流れを
いっそう損なうことがないようにしているので、空気流
について微細な点まで配慮した空気清浄器具Ａを得るこ
とができる。

【００１５】図１１は本発明による空気清浄装置の第三
の実施例を示している。この実施例は、空気清浄器具Ａ
にパッキン保護金具４４を設けたものであり、即ち図１
１に示すように、パッキン保護金具４４がフィルタ部２
のフィルタ支持枠８を構成する長手方向のフレーム８ａ
の側面に取付けられている。該パッキン保護金具４４
は、空気清浄器具Ａを輸送したり床においたりしたと
き、該空気清浄器具Ａのフィルタ支持枠８に装着された
パッキン４３ａが床等に擦って破損するのを防ぐための
ものであり、従って、空気清浄器具Ａを支えるのに十分
な強度をもつ鋼材からなっていて、かつねじ４５を挿通
孔４４ａからフレーム８ａの孔（図示せず）にねじ込む
ことにより、図１１及び図１２に示す如くフレーム８ａ
の側面に取付けられる。その場合、パッキン保護金具４
４の下部先端がフレーム支持枠８の下部より下方に突出
し、フレーム支持枠８の下部が床等に直接触れることが
ないようにしている。そして、空気清浄器具Ａの据え付
け時、パッキン保護金具４４が図１３（ａ）に示す如く
フィルタ支持枠８から下方に突出した状態のままで、か
つその空気清浄器具Ａを縦枠１１の所定位置に載置した
とき、ねじ４５を緩めると、空気清浄器具Ａが自重で縦
枠１１，１１上に沈み込むと共に、同図（ｂ）に示すよ
うにねじ４５が挿通孔４４ａをスライドする如くパッキ
ン保護金具４４が上昇移動することにより、空気清浄器
具Ａを縦枠１１，１１間に設置するようにしている。そ
のため、パッキン保護金具４４の挿通孔４４ａはねじ４
５がスライドし得るように長孔形状をなしている。ねじ
４５は図１３に示すように座金４６を有している。

【００１６】上述の如き構成のパッキン保護金具４４を
フィルタ支持枠８に取付けておき、かつパッキン保護金
具４４の先端がフィルタ支持枠８より下方に突出した状
態にしておくと、該空気清浄器具Ａの輸送時や、空気清
浄器具Ａを現地天井枠１１に設置する前に現地の床等に
置いた場合には、フィルタ支持枠８のパッキン４３ａ，
４３ｂが擦ったりすることがないので、パッキンが破損
するのを確実に防止することができる。しかも、縦枠１
１，１１上の所定位置に空気清浄器具Ａを置いたとき、
ねじ４５を緩めるだけで空気清浄器具Ａが自重で下がっ
て該器具を設置することができるので、施工時の設置作
業も容易となる。また、器具の設置後、パッキン保護金
具４４をそのまま器具に付けたままにしておけば、パッ
キン保護金具４４を廃材にする必要がなくなるばかりで
なく、レイアウト変更等が発生しても、そのパッキン保
護金具４４を再利用できるので、変更時にもパッキン４
３ａ，４３ｂが破損するのを防止することができ、また
変更作業をスムースに行うことができる。なお本例で
は、パッキン保護金具４４をフレーム支持枠８の長手方
向のフレーム８ａに取付けた例を示したが、短手方向の
フレーム８ｂにのみ取付けると、パッキン保護金具４４
をより小さく形成することができるのは勿論である。ま
た、ねじ４５を緩めることによって空気清浄器具Ａが縦
枠１１，１１上に設置し、その後、パッキン保護金具４
４をそのままの状態に放置した例を示したが、設置した
後で図１３（ｂ）に示すように、パッキン保護金具４４
の下部先端が縦枠１１から数ミリ程度上に位置するよう
にねじ１５で固定すれば、空気清浄器具Ａが地震などの
際に揺れても、パッキン保護金具４４ががたついたりす
るのを防ぐことができる。しかも、その際、パッキン保
護金具４４の下部先端が縦枠１１から数ミリ程度上に位
置すると、パッキン４３ａ，４３ｂが空気清浄器具Ａの
重みによって経年劣化で縮んだ場合、パッキン保護金具
４４と縦枠１１間の隙間が小さくなるので、その隙間を
目安にしてパッキンの保守点検が可能となり、メインテ
ナンスも容易となる。さらに図示実施例では、空気清浄
器具Ａの輸送時、設置状態のままで輸送する場合につい
て述べたが、器具Ａを上下逆の形態で輸送するときにも
パッキン４３ａ，４３ｂを保護することができる。即
ち、図１４に示すように、梱包台４７と梱包箱４８との
中に空気清浄器具Ａを逆形態で輸送した場合、パッキン
保護金具４４によって梱包箱４８がパッキン４３ａ，４
３ｂに直接当たらないので、振動があっても、それに拘
ることがない。

【００１７】図１５は本発明による空気清浄装置の他の
実施例を示している。一般に空気清浄器具に内蔵されて
いる送風機５は、送風機の駆動によって発生した振動が
天井枠Ｂに伝わるのを極力抑えるため、その取付け部分
に防震機構を有している。本実施例では、送風機５を内
蔵する本体ケース３を周囲の側部で上下に分割すること
によって上ケース３Ａと下ケース３Ｂとに形成し、該上
ケース３Ａと下ケース３Ｂ間に防震機構５０が設けられ
ている。該防震機構５０は、図１５に示すように、上ケ
ース３Ａ及び下ケース３Ｂの互いに対応する位置に設け
られた防震ゴム５１と、双方の防震ゴム５１の間に架装
された防震ばね５２と、これら５２，５１を包囲すると
共に、本体ケース内の加圧空気が外部に漏洩するのを防
止し得るよう、上ケース３Ａ，下ケース３Ｂ間に設けら
れた蛇腹状のキャンバス５３とを有している。通常で
は、送風機５による加圧空気の気流によって加圧室外板
がその固有振動数、または空気の脈流により振動し、こ
の振動が天井枠Ｂ側へ伝達する。本例では上述の如く、
上ケース３Ａと下ケース３Ｂ間に防震機構５０を設けて
いるので、送風機５によって上ケース３Ａに振動が伝達
しても、その振動が防震機構５０によって吸収しかつ遮
断することとなり、下ケース３Ｂに振動が伝達すること
がない。従って、防震効果に優れた空気清浄器具Ａを得
ることができる。なお図示実施例では、これまでに前述
した第一〜第三の実施例と送風機が異なり、モータが上
にかつ羽根車６が下に配置される送風機５を用いた例を
示したが、両者の位置が第一〜第三の実施例と同様の形
態となるものに適用しても同様の効果が得られるのは勿
論である。

【００１８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１に
よれば、本体ケースの周囲を構成する一部の側板を傾斜
板で形成し、かつ該傾斜板が、送風機の吸い込み側から
空気吐き出し側に至るに従い次第にケース内部の断面積
を大きくする形状をなすことにより、羽根車のシュラウ
ド側上方の旋回流れが存在しなくなり、吸い込んだ空気
を有効に吐き出すように構成したので、ファン効率を簡
単かつ確実に向上させることができ、またそれだけ省力
化を図ることもできる効果がある。また請求項２によれ
ば、天井枠の互いに対向する縦枠間に複数台の器具を設
置したとき、フィルタ支持枠の長手方向のフレームがそ
の底面部に取付けたパッキンを介し天井枠の互いに対向
する縦枠に載置され、また隣接する空気清浄器具が短手
方向のフレームの側面部に設けたパッキンを介し互いに
密接して配置されるので、天井枠の開口部の面積を各フ
ィルタ部の面積と同程度の大きさに近づけることがで
き、しかも補助フレームが縦枠の断面形状より小さい形
状をなしていることにより、吐き出される空気が補助フ
レームによって悪影響を受けることがなく、天井枠のフ
ィルタ部に対するデットスペースを極力小さくすること
ができる結果、また天井枠が対向する縦枠で構成し、両
縦枠間に空気清浄器具を容易に挿通できることにより、
該器具の設置作業を簡単に行うことができる結果、清浄
度及び施工性の向上を図ることができる効果がある。特
に極めて小さい半導体素子を扱う大型のクリーンルーム
にあっては、空気清浄器具の設置台数が多いので、より
いっそう顕著な効果を得ることができる。さらに請求項
３によれば、空気清浄器具のフィルタ支持枠に取付けら
れたパッキン保護金具の先端が、フィルタ支持枠より下
方に突出した状態にしておくと、該空気清浄器具の輸送
時や、空気清浄器具を設置する前に現地の床等に置いた
場合、パッキンが破損するのを確実に防止することがで
き、しかもパッキン保護金具をスライドさせるとによっ
て空気清浄器具の天井枠への設置作業が容易となる結
果、信頼性を高め得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による空気清浄装置の第一の実施例を示
す平面図（ａ），正面縦断面図（ｂ），側面縦断面図
（ｃ）。

【図２】従来技術の空気清浄装置における空気の流れを
示す説明用断面図。

【図３】図２のＸ−Ｘ線断面に相当する送風機のシュラ
ウド側の空気の流れを示す説明図（ａ），図２のＹ−Ｙ
線断面に相当する送風機のハブ側の空気の流れを示す説
明図（ｂ）。

【図４】従来技術の送風機におけるシュラウド側の空気
流の速度成分を示す説明図（ａ），同じくハブ側の空気
流の速度成分を示す説明図（ｂ）。

【図５】本発明による空気清浄装置の第二の実施例を示
す平面図（ａ），正面縦断面図（ｂ）。

【図６】本発明による空気清浄装置の第三の実施例を示
す空気清浄器具と天井枠との関係を示す説明用斜視図。

【図７】フィルタ支持枠とパッキンとの関係を示す図６
のＶ矢視図（ａ），同じく図６のＷ−Ｗ線断面図
（ｂ）。

【図８】天井枠における縦枠と補助フレームと照明器具
との関係を示す一部断面の説明図（ａ），天井枠におけ
る縦枠と補助フレームと照明器具と空気清浄器具のフィ
ルタ支持枠との関係を示す一部断面の説明用側面図
（ｂ）。

【図９】天井枠に空気清浄器具を二台設置したときの平
面図（ａ），同じく正面断面図（ｂ），同じく側面断面
図（ｃ）。

【図１０】空気清浄器具を二台設置したときのパッキン
の位置関係を示す図９（ｂ）のＺ部に相当する説明用拡
大図。

【図１１】本発明による空気清浄装置の第三の実施例を
示し、空気清浄器具のフィルタ部にパッキン保護金具を
取付けた状態を示す一部破断の説明用斜視図。

【図１２】フィルタ支持枠のパッキンとパッキン保護金
具とを示す要部の拡大斜視図。

【図１３】図１２のＴ−Ｔ線断面に相当する空気清浄器
具を設置する前のパッキン保護金具とパッキンとの状態
を示す説明図（ａ），同じく空気清浄器具を設置したと
きのパッキン保護金具とパッキンとの状態を示す説明図
（ｂ）。

【図１４】空気清浄器具を上下逆形態で梱包した状態を
示す説明図。

【図１５】本発明による空気清浄装置の他の実施例を示
す縦断面図。

【図１６】従来技術の空気清浄器具を天井枠に設置した
状態を示す斜視図。

【符号の説明】

Ａ…空気清浄器具、１…送風部、２…フィルタ部、３…
本体ケース、３Ａ…飢えケース、３Ｂ…下ケース、５…
送風機、８…フィルタ支持枠、９…フィルタ、Ｂ…天井
枠、１１…縦枠、１２…補助枠、４３ａ，４３ｂ…パッ
キン、４４…パッキン保護金具、４４ａ…挿通孔、４５
…ねじ、５０…防震機構、５１…防震ゴム、５２…防震
ばね、５３…キャンバス。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高田 芳廣 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 本間 圭一 東京都千代田区神田駿河台四丁目３番地 日立テクノエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 諏訪 俊彦 東京都千代田区神田駿河台四丁目３番地 日立テクノエンジニアリング株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部空気を吸い込んで吐き出す送風機を
   内蔵する本体ケースと、該本体ケースの空気吐き出し側
   に取付けられ、かつフィルタを内蔵すると共に、天井枠
   に設置されるフィルタ部とを有して空気清浄器具を構成
   する空気清浄装置において、空気清浄器具の本体ケース
   の周囲を構成する一部の側板を傾斜板で形成し、かつ該
   傾斜板は、送風機の吸い込み側から空気吐き出し側に至
   るに従い次第にケース内部の断面積を大きくする形状を
   なしていることを特徴とする空気清浄装置。
2. 【請求項２】 外部空気を吸い込んで吐き出す送風機を
   内蔵する本体ケースと、該本体ケースの空気吐き出し側
   に取付けられ、フィルタ，該フィルタを支持しかつパッ
   キンを介し天井枠に載置される長方形状のフィルタ支持
   枠を設けたフィルタ部とを有して空気清浄器具を構成
   し、該空気清浄器具のフィルタ部のフィルタ支持枠をパ
   ッキンを介し天井枠に載置するようにした空気清浄装置
   において、前記空気清浄器具のフィルタ支持枠を構成す
   る長手方向のフレームの底面部に該フレームに沿って第
   一のパッキンを取付けると共に、前記フィルタ支持枠を
   構成する短手方向のフレームの側面部に両端が第一のパ
   ッキンと密接する第二のパッキンを取付ける一方、前記
   天井枠が、互いに対向しかつフィルタ支持枠の長手方向
   のフレームを載置する二本の縦枠で形成すると共に、該
   二本の縦枠間に、縦枠の断面形状より小さい断面形状を
   なす補強用の補助フレームを架装したことを特徴とする
   空気清浄装置。
3. 【請求項３】 外部空気を吸い込んで吐き出す送風機を
   内蔵する本体ケースと、該本体ケースの空気吐き出し側
   に取付けられ、フィルタ，該フィルタを支持しかつパッ
   キンを介し天井枠に載置される長方形状のフィルタ支持
   枠を設けたフィルタ部とを有して空気清浄器具を構成
   し、該空気清浄器具のフィルタ部のフィルタ支持枠をパ
   ッキンを介し天井枠に載置するようにした空気清浄装置
   において、前記空気清浄器具のフィルタ支持枠を構成す
   る長手方向のフレームと短手方向のフレームとの何れか
   一方の側面に、先端がフレームの底面に取付けられたパ
   ッキンより下方に突出し得る大きさのパッキン保護金具
   を上下方向にスライド可能に取付けたことを特徴とする
   空気清浄装置。