JPH0315104B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0315104B2 JPH0315104B2 JP61022395A JP2239586A JPH0315104B2 JP H0315104 B2 JPH0315104 B2 JP H0315104B2 JP 61022395 A JP61022395 A JP 61022395A JP 2239586 A JP2239586 A JP 2239586A JP H0315104 B2 JPH0315104 B2 JP H0315104B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- airflow
- air
- blind plate
- fan
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、空気を浄化する空気清浄装置に関
し、特に軽量・薄型であつて、塵埃の捕集効率に
優れ、さらには浄化された空気が層流となつて排
出される空気清浄装置に関する。
し、特に軽量・薄型であつて、塵埃の捕集効率に
優れ、さらには浄化された空気が層流となつて排
出される空気清浄装置に関する。
（従来の技術）
半導体工業、電子工業、精密機械工業、バイオ
テクノロジー、製薬工業などの分野においては、
超高度の清浄空間が必要とされる。清浄空間に
は、作業環境全域を清浄化するクリーンルーム、
作業環境を局部的に清浄化するクリーンベンチや
クリーンブースなどがある。このような清浄空間
を形成するために、フアンとエアーフイルターと
を組合わせた空気清浄装置が用いられる。
テクノロジー、製薬工業などの分野においては、
超高度の清浄空間が必要とされる。清浄空間に
は、作業環境全域を清浄化するクリーンルーム、
作業環境を局部的に清浄化するクリーンベンチや
クリーンブースなどがある。このような清浄空間
を形成するために、フアンとエアーフイルターと
を組合わせた空気清浄装置が用いられる。
従来の空気清浄装置では、フアンから送出され
る空気流の動圧が不均一であるため、このような
状態で空気流がエアーフイルターを通過すると、
エアーフイルターから排出される空気は乱流とな
る。該乱流が、例えばクリーンルーム内に吹出さ
れると、塵埃が対流するので高度の清浄度が得ら
れない。
る空気流の動圧が不均一であるため、このような
状態で空気流がエアーフイルターを通過すると、
エアーフイルターから排出される空気は乱流とな
る。該乱流が、例えばクリーンルーム内に吹出さ
れると、塵埃が対流するので高度の清浄度が得ら
れない。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記従来の問題点を解決するものであ
り、その目的は、エアーフイルターから排出され
る空気の乱流の発生を確実に防止して、風速分布
の均一な層流を形成せしめることができ、例えば
クリーンルーム内を高い清浄度に保持し得る空気
清浄装置を提供することにある。本発明の他の目
的は、軽量・簿型であり、しかも低騒音である空
気清浄装置を提供することにある。
り、その目的は、エアーフイルターから排出され
る空気の乱流の発生を確実に防止して、風速分布
の均一な層流を形成せしめることができ、例えば
クリーンルーム内を高い清浄度に保持し得る空気
清浄装置を提供することにある。本発明の他の目
的は、軽量・簿型であり、しかも低騒音である空
気清浄装置を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明の空気清浄装置は、ケーシング内を、気
流流入側と気流流出側との二室に分割すると共
に、両室を連通する連通口を有する盲板と、ケー
シング内の気流流入側の室内に配設されて気流を
盲板に沿つて送出するフアンと、ケーシング内の
気流流出側の室内に、盲板とは間隙を有して該盲
板に沿うように配設されたエアーフイルターと、
前記連通口に配設されており、気流流入側のフア
ン室に配設されたフアンから盲板に沿つて送出さ
れる気体を、該盲板とフイルター室に配設された
エアーフイルターとの間へと導くように略平行に
なつた弧状の一対のガイドベーンにより構成さ
れ、内側のガイドベーンには透孔が形成された気
流案内具と、を具備してなりそのことにより上記
目的が達成される。
流流入側と気流流出側との二室に分割すると共
に、両室を連通する連通口を有する盲板と、ケー
シング内の気流流入側の室内に配設されて気流を
盲板に沿つて送出するフアンと、ケーシング内の
気流流出側の室内に、盲板とは間隙を有して該盲
板に沿うように配設されたエアーフイルターと、
前記連通口に配設されており、気流流入側のフア
ン室に配設されたフアンから盲板に沿つて送出さ
れる気体を、該盲板とフイルター室に配設された
エアーフイルターとの間へと導くように略平行に
なつた弧状の一対のガイドベーンにより構成さ
れ、内側のガイドベーンには透孔が形成された気
流案内具と、を具備してなりそのことにより上記
目的が達成される。
また、本発明の空気清浄装置は、ケーシング内
を、気流流入側と気流流出側との二室に分割する
と共に、両室を連通する連通口を有する盲板と、
ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて気
流を盲板に沿つて送出するフアンと、ケーシング
内の気流流出側の室内に、盲板とは間隙を有して
該盲板に沿うように配設されたエアーフイルター
と、前記連通口に連通する気流流入側のフアン室
における気流通流方向下流側部分を閉塞する遮蔽
板と、を具備してなり、そのことにより上記目的
が達成される。
を、気流流入側と気流流出側との二室に分割する
と共に、両室を連通する連通口を有する盲板と、
ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて気
流を盲板に沿つて送出するフアンと、ケーシング
内の気流流出側の室内に、盲板とは間隙を有して
該盲板に沿うように配設されたエアーフイルター
と、前記連通口に連通する気流流入側のフアン室
における気流通流方向下流側部分を閉塞する遮蔽
板と、を具備してなり、そのことにより上記目的
が達成される。
さらに本発明の空気清浄装置はケーシング内
を、気流流入側と気流流出側との二室に分割する
と共に、両室を連通する連通口を有する盲板と、
ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて気
流を盲板に沿つて送出するフアンと、ケーシング
内の気流流出側の室内に、盲板とは間隙を有して
該盲板に沿うように配設されたエアーフイルター
と、前記連通口に配設されており、気流流入側の
フアン室に配設されたフアンから盲板に沿つて送
出される気体を、該盲板とフイルター室に配設さ
れたエアーフイルターとの間へと導くように略平
行になつた弧状の一対のガイドベーンにより構成
され、内側のガイドベーンには透孔が形成された
気流案内具と、 前記連通口に連通するフアン室側の気流通流方
向下流側部分を閉塞する遮蔽板と、を具備してな
り、そのことにより上記目的が達成される。
を、気流流入側と気流流出側との二室に分割する
と共に、両室を連通する連通口を有する盲板と、
ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて気
流を盲板に沿つて送出するフアンと、ケーシング
内の気流流出側の室内に、盲板とは間隙を有して
該盲板に沿うように配設されたエアーフイルター
と、前記連通口に配設されており、気流流入側の
フアン室に配設されたフアンから盲板に沿つて送
出される気体を、該盲板とフイルター室に配設さ
れたエアーフイルターとの間へと導くように略平
行になつた弧状の一対のガイドベーンにより構成
され、内側のガイドベーンには透孔が形成された
気流案内具と、 前記連通口に連通するフアン室側の気流通流方
向下流側部分を閉塞する遮蔽板と、を具備してな
り、そのことにより上記目的が達成される。
（実施例）
以下に本発明の実施例について説明する。
本発明の空気清浄装置は、ケーシング１内に配
設されたフアン２と、エアーフイルター３と、盲
板６と、気流案内具５と、遮蔽板６とを有する。
設されたフアン２と、エアーフイルター３と、盲
板６と、気流案内具５と、遮蔽板６とを有する。
ケーシング１は薄型直方体状をしており、フア
ンの軸心に沿つて気流が通過し、該ケーシング内
を通過する間に空気は浄化される。該ケーシング
１内は、盲板４により、気流流入側のフアン室１
１と気流排出側のフイルター室１２との二室に分
割されている。盲板４の４つの周側面のうち３側
面は、ケーシング１の３つの側面に当接している
が、他の１つの側面は、ケーシング１の側面から
離隔してフアン室１１とフイルター室１２を連通
する連通口１３を形成している。
ンの軸心に沿つて気流が通過し、該ケーシング内
を通過する間に空気は浄化される。該ケーシング
１内は、盲板４により、気流流入側のフアン室１
１と気流排出側のフイルター室１２との二室に分
割されている。盲板４の４つの周側面のうち３側
面は、ケーシング１の３つの側面に当接している
が、他の１つの側面は、ケーシング１の側面から
離隔してフアン室１１とフイルター室１２を連通
する連通口１３を形成している。
ケーシング１内のフアン室１１内には、フアン
２が配設されている。該フアン２は、その軸心に
沿つて空気を吸引し、その吸引方向とは直交する
面に沿つて空気を送出する。該フアン２の送出口
２１は、送出される気流が該フアン室１１を盲板
４の平面に沿つて略1/4周して連通口１３内に導
入されるように配設されている。
２が配設されている。該フアン２は、その軸心に
沿つて空気を吸引し、その吸引方向とは直交する
面に沿つて空気を送出する。該フアン２の送出口
２１は、送出される気流が該フアン室１１を盲板
４の平面に沿つて略1/4周して連通口１３内に導
入されるように配設されている。
連通口１３の周縁部を形成する盲板４の側縁部
には遮蔽板６が立設されている。該遮蔽板６は、
連通口の一側部、すなわちフアン２から送出され
る気流の移動方向下流側部分に立設されており、
この部分のフアン室１１と連通口１３との連通部
を閉塞している。該遮蔽板６はフアン２とは気密
に接しており、フアン２から送出される気流は、
フアン室内を略1/4周して連通口１３内に導入さ
れ、フアン２から周回することはない。
には遮蔽板６が立設されている。該遮蔽板６は、
連通口の一側部、すなわちフアン２から送出され
る気流の移動方向下流側部分に立設されており、
この部分のフアン室１１と連通口１３との連通部
を閉塞している。該遮蔽板６はフアン２とは気密
に接しており、フアン２から送出される気流は、
フアン室内を略1/4周して連通口１３内に導入さ
れ、フアン２から周回することはない。
ケーシング１のフイルター室１２内には、盲板
４とは所定間隔をあけてエアーフイルター３が設
けられている。該エアーフイルター３は、ケーシ
ング１の四周面に対し気密状に取付けられてい
る。
４とは所定間隔をあけてエアーフイルター３が設
けられている。該エアーフイルター３は、ケーシ
ング１の四周面に対し気密状に取付けられてい
る。
フアン室１１とフイルター室１２とを連通する
連通口１３には、気流案内具５が配設されてい
る。該気流案内具５は、弧状に屈曲した２枚のガ
イドベーン５１，５２と、両ガイドベーン５１，
５２の両端部に取付けられ、両ガイドベーン５
１，５２を所定長離隔させて略平行状態に固定す
る固定板５３とを有する。内側に位置するガイド
ベーン５１は、例えばパンチングメタルを用いた
網状に形成されており、外側に位置するガイドベ
ーン５２は、例えば金属板にて構成される。該気
流案内具５は、連通口１３の全域にわたつて嵌合
されており、内側のガイドベーン５１のフアン室
１１内に延出する側部はケーシング１の気流流入
側面に達しており、他方の側部は盲板４に当接し
ている。外側のガイドベーン５２は内側のガイド
ベーン５１に対してフイルター室１２側にずれて
配置されており、フアン室１１内に延出した側部
は、ケーシング１の気流流入側面とは若干離隔
し、他方の側部はフイルター室１２のエアーフイ
ルター３の近傍に位置している。
連通口１３には、気流案内具５が配設されてい
る。該気流案内具５は、弧状に屈曲した２枚のガ
イドベーン５１，５２と、両ガイドベーン５１，
５２の両端部に取付けられ、両ガイドベーン５
１，５２を所定長離隔させて略平行状態に固定す
る固定板５３とを有する。内側に位置するガイド
ベーン５１は、例えばパンチングメタルを用いた
網状に形成されており、外側に位置するガイドベ
ーン５２は、例えば金属板にて構成される。該気
流案内具５は、連通口１３の全域にわたつて嵌合
されており、内側のガイドベーン５１のフアン室
１１内に延出する側部はケーシング１の気流流入
側面に達しており、他方の側部は盲板４に当接し
ている。外側のガイドベーン５２は内側のガイド
ベーン５１に対してフイルター室１２側にずれて
配置されており、フアン室１１内に延出した側部
は、ケーシング１の気流流入側面とは若干離隔
し、他方の側部はフイルター室１２のエアーフイ
ルター３の近傍に位置している。
このような構成の空気清浄装置は、フアン２に
より、その軸方向に沿つて空気をフアン２内に吸
引し、該フアン２は、その送出口２１から、吸引
方向とは直交する面に沿つて気流をフアン室１１
内に送出する。フアン２の送出口２１から送出さ
れる気流は、ケーシング１の側面に沿つてフアン
室１１内を略1/4周し、遮蔽板６にて閉塞された
部分以外の連通口１３とフアン室１１の連通部を
通つて連通口１３内に導入され、気流案内具５の
内側の網状のガイドベーン５１を通過して、外側
のガイドベーン５２に案内され、フイルター室１
２内に導入される。
より、その軸方向に沿つて空気をフアン２内に吸
引し、該フアン２は、その送出口２１から、吸引
方向とは直交する面に沿つて気流をフアン室１１
内に送出する。フアン２の送出口２１から送出さ
れる気流は、ケーシング１の側面に沿つてフアン
室１１内を略1/4周し、遮蔽板６にて閉塞された
部分以外の連通口１３とフアン室１１の連通部を
通つて連通口１３内に導入され、気流案内具５の
内側の網状のガイドベーン５１を通過して、外側
のガイドベーン５２に案内され、フイルター室１
２内に導入される。
フアン２の送出口２１から送出される回転気流
は、フアン室１１の内側が遅く、外側が速いた
め、該気流の動圧は不均一になつている。このよ
うな不均一な動圧を有する気流は、フアン室１１
を略1/4周する間にその動圧が平均化される。そ
して、動圧が平均化された気流は、気流案内具５
の内側に位置する網状のガイドベーン５１を通過
する間に、その動圧がさらに均一化されると共に
整流化され、外側のガイドベーン５２に案内され
て、フイルター室１２に導入される。フイルター
室１２内に導入された気流はエアーフイルター３
を通つてケーシング１外へ排出される。排出され
る気流は、フイルター室１２内にその動圧が均一
化されて導入されているため層流となり、エアー
フイルター３を通過する間に浄化される。
は、フアン室１１の内側が遅く、外側が速いた
め、該気流の動圧は不均一になつている。このよ
うな不均一な動圧を有する気流は、フアン室１１
を略1/4周する間にその動圧が平均化される。そ
して、動圧が平均化された気流は、気流案内具５
の内側に位置する網状のガイドベーン５１を通過
する間に、その動圧がさらに均一化されると共に
整流化され、外側のガイドベーン５２に案内され
て、フイルター室１２に導入される。フイルター
室１２内に導入された気流はエアーフイルター３
を通つてケーシング１外へ排出される。排出され
る気流は、フイルター室１２内にその動圧が均一
化されて導入されているため層流となり、エアー
フイルター３を通過する間に浄化される。
（発明の効果）
本発明の空気清浄装置は、このように、フアン
から送出される気流の流路が長く、また該気流は
気流案内具に案内されてエアーフイルターに導入
されるため、エアーフイルターに導入される気流
は、その動圧が均一化された整流となる。従つ
て、該気流は均一な風速分布をもつてゆるやかに
エアーフイルター内に導入され、エアーフイルタ
ーからは、浄化された気流が乱流を発生すること
なく、均一な動圧を有する層流として排出され
る。エアーフイルターから排出される気流が層流
であるため、クリーンルーム内の塵埃の滞留を防
止し、高い清浄度が確実に得られる。
から送出される気流の流路が長く、また該気流は
気流案内具に案内されてエアーフイルターに導入
されるため、エアーフイルターに導入される気流
は、その動圧が均一化された整流となる。従つ
て、該気流は均一な風速分布をもつてゆるやかに
エアーフイルター内に導入され、エアーフイルタ
ーからは、浄化された気流が乱流を発生すること
なく、均一な動圧を有する層流として排出され
る。エアーフイルターから排出される気流が層流
であるため、クリーンルーム内の塵埃の滞留を防
止し、高い清浄度が確実に得られる。
また、本発明の空気清浄装置は、遮蔽板により
フアン室から送出される気流が、フアンを周回す
ることなく、フアン室内を略1/4周して連通口に
導入されるため、気流は確実に整流される。
フアン室から送出される気流が、フアンを周回す
ることなく、フアン室内を略1/4周して連通口に
導入されるため、気流は確実に整流される。
さらに、遮蔽板と気流案内具とを組合わせるこ
とにより、さらに一層整流された層流が得られ、
クリーンルーム内の塵埃の滞留が確実に防止され
る。
とにより、さらに一層整流された層流が得られ、
クリーンルーム内の塵埃の滞留が確実に防止され
る。
第１図は本発明の空気清浄装置の一例を示す一
部破断斜視図、第２図はその横断面図である。 １……ケーシング、２……フアン、３……エア
ーフイルター、４……盲板、５……気流案内具、
６……遮蔽板、１１……フアン室、１２……フイ
ルター室、１３……連通口、５１，５２……ガイ
ドベーン。
部破断斜視図、第２図はその横断面図である。 １……ケーシング、２……フアン、３……エア
ーフイルター、４……盲板、５……気流案内具、
６……遮蔽板、１１……フアン室、１２……フイ
ルター室、１３……連通口、５１，５２……ガイ
ドベーン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ケーシング内を、気流流入側と気流流出側と
の二室に分割すると共に、両室を連通する連通口
を有する盲板と、 ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて
気流を盲板に沿つて送出するフアンと、 ケーシング内の気流流出側の室内に、盲板とは
間隙を有して該盲板に沿うように配設されたエア
ーフイルターと、 前記連通口に配設されており、気流流入側のフ
アン室に配設されたフアンから盲板に沿つて送出
される気体を、該盲板とフイルター室に配設され
たエアーフイルターとの間へと導くように略平行
になつた弧状の一対のガイドベーンにより構成さ
れ、内側のガイドベーンには透孔が形成された気
流案内具と、 を具備する空気清浄装置。 ２ ケーシング内を、気流流入側と気流流出側と
の二室に分割すると共に、両室を連通する連通口
を有する盲板と、 ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて
気流を盲板に沿つて送出するフアンと、 ケーシング内の気流流出側の室内に、盲板とは
間隙を有して該盲板に沿うように配設されたエア
ーフイルターと、 前記連通口に連通する気流流入側のフアン室に
おける気流通流方向下流側部分を閉塞する遮蔽板
と、 を具備する空気清浄装置。 ３ ケーシング内を、気流流入側と気流流出側と
の二室に分割すると共に、両室を連通する連通口
を有する盲板と、 ケーシング内の気流流入側の室内に配設されて
気流を盲板に沿つて送出するフアンと、 ケーシング内の気流流出側の室内に、盲板とは
間隙を有して該盲板に沿うように配設されたエア
ーフイルターと、 前記連通口に配設されており、気流流入側のフ
アン室に配設されたフアンから盲板に沿つて送出
される気体を、該盲板とフイルター室に配設され
たエアーフイルターとの間へと導くように略平行
になつた弧状の一対のガイドベーンにより構成さ
れ、内側のガイドベーンには透孔が形成された気
流案内具と、 前記連通口に連通するフアン室側の気流通流方
向下流側部分を閉塞する遮蔽板と、 を具備する空気清浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61022395A JPS62182540A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 空気清浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61022395A JPS62182540A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 空気清浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62182540A JPS62182540A (ja) | 1987-08-10 |
| JPH0315104B2 true JPH0315104B2 (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=12081467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61022395A Granted JPS62182540A (ja) | 1986-02-04 | 1986-02-04 | 空気清浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62182540A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2585307B2 (ja) * | 1987-10-23 | 1997-02-26 | 株式会社日立製作所 | 空気清浄装置 |
| DE8805774U1 (ja) * | 1988-04-30 | 1988-06-23 | Babcock-Bsh Ag Vormals Buettner-Schilde-Haas Ag, 4150 Krefeld, De | |
| JPH0733857Y2 (ja) * | 1990-04-17 | 1995-08-02 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム等用ファンフィルタユニット |
| JPH0775650B2 (ja) * | 1990-05-22 | 1995-08-16 | ニッタ株式会社 | 空気清浄装置 |
| JP5343318B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2013-11-13 | パナソニック株式会社 | 超薄型ファンフィルターユニット |
| CN104368201A (zh) * | 2013-12-25 | 2015-02-25 | 刘宏志 | 高效率空气过滤器的使用方法和空气净化器 |
| CN106642491A (zh) * | 2016-09-23 | 2017-05-10 | 天津必创科技有限责任公司 | 一种壁挂式圆形通风净化器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071833A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 分解式送風装置 |
| JPS60196535A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-05 | Nec Corp | 天井移動型局所空気高清浄装置 |
-
1986
- 1986-02-04 JP JP61022395A patent/JPS62182540A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071833A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 分解式送風装置 |
| JPS60196535A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-05 | Nec Corp | 天井移動型局所空気高清浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62182540A (ja) | 1987-08-10 |
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