JP3051393B1 - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】光ファイバ母材の多孔質体に残留するガスをＨ
ｅで効率的に置換し気泡のない光ファイバ母材を製造す
る方法を提供する。 【解決手段】光ファイバのコアになるべき部分の基材ガ
ラス棒の側面にガラス微粒子を堆積させた多孔質体４を
脱水焼結してガラス化し、クラッドになるべき部分を形
成するものであって、密封容器８内に、多孔質体４を収
納してから不活性でかつ分子径の小さなガスを導入して
大気と置換し、さらに該ガスを加圧導入して該多孔質体
４の空間に該ガスを充填した後、前記脱水焼結する。
ｅで効率的に置換し気泡のない光ファイバ母材を製造す
る方法を提供する。 【解決手段】光ファイバのコアになるべき部分の基材ガ
ラス棒の側面にガラス微粒子を堆積させた多孔質体４を
脱水焼結してガラス化し、クラッドになるべき部分を形
成するものであって、密封容器８内に、多孔質体４を収
納してから不活性でかつ分子径の小さなガスを導入して
大気と置換し、さらに該ガスを加圧導入して該多孔質体
４の空間に該ガスを充填した後、前記脱水焼結する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバーの原
材料として使用されるガラス母材を製造する方法に関す
るものである。
材料として使用されるガラス母材を製造する方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバーは、大径なガラス母材から
成形した小径なガラスロッド、いわゆる光ファイバープ
リフォームを線曳きして製造される。この大径なガラス
母材は、軸付け法によって光ファイバのコアになるべき
部分の基材ガラス棒を形成し、その基材ガラス棒に、図
２に示すように、外付け法により、クラッドになるべき
部分ガラス微粒子を堆積させる。基材ガラス棒１の長手
方向に往復動を繰り返すバーナー２から火炎７によりガ
ラス微粒子（スート）３を生成させながら基材ガラス棒
１の側面に噴きつけて堆積させ径方向に成長させる。こ
のようにして得られたた多孔質体４を加熱処理して透明
ガラス化し、光ファイバー用ガラス母材が得られてい
た。
成形した小径なガラスロッド、いわゆる光ファイバープ
リフォームを線曳きして製造される。この大径なガラス
母材は、軸付け法によって光ファイバのコアになるべき
部分の基材ガラス棒を形成し、その基材ガラス棒に、図
２に示すように、外付け法により、クラッドになるべき
部分ガラス微粒子を堆積させる。基材ガラス棒１の長手
方向に往復動を繰り返すバーナー２から火炎７によりガ
ラス微粒子（スート）３を生成させながら基材ガラス棒
１の側面に噴きつけて堆積させ径方向に成長させる。こ
のようにして得られたた多孔質体４を加熱処理して透明
ガラス化し、光ファイバー用ガラス母材が得られてい
た。
【０００３】上記のようにして得られたガラス母材は、
クラッド部分に時として気泡を生じることがある。かか
る気泡が発生する原因は以下のとおりと考えられる。外
付け法によりガラス微粒子を堆積する工程で、設備の内
面、例えば図２に示すハウジング５や排気フード６の内
面に付着している異物やススが飛散し堆積中の多孔質体
の表面に付着する。この多孔質体を加熱処理して透明ガ
ラス化する際、前記の異物やススが原因物質となってガ
スが発生し泡となる。最近では、生産効率を上げるため
高速合成が採用され、多量の酸、水素、原料ガスをバー
ナーに供給し、火炎が巨大化しているため、設備の内面
に付着する余剰な異物やススも多くなっている。設備は
強制排気しておりその乱流により異物やススが飛散落下
し多孔質体の表面に付着する。
クラッド部分に時として気泡を生じることがある。かか
る気泡が発生する原因は以下のとおりと考えられる。外
付け法によりガラス微粒子を堆積する工程で、設備の内
面、例えば図２に示すハウジング５や排気フード６の内
面に付着している異物やススが飛散し堆積中の多孔質体
の表面に付着する。この多孔質体を加熱処理して透明ガ
ラス化する際、前記の異物やススが原因物質となってガ
スが発生し泡となる。最近では、生産効率を上げるため
高速合成が採用され、多量の酸、水素、原料ガスをバー
ナーに供給し、火炎が巨大化しているため、設備の内面
に付着する余剰な異物やススも多くなっている。設備は
強制排気しておりその乱流により異物やススが飛散落下
し多孔質体の表面に付着する。
【０００４】この光ファイバ母材をプリフォームにする
と泡の影響により光学特性が劣化したり、加工工程の作
業性が悪くなる。このような泡の発生を抑制するため、
特開昭６４−７２９３６号公報には、多孔質母材内に残
留するガスをＨｅで置換した後に透明ガラス化する発明
が記載されている。多孔質母材内に残留するガスのＨｅ
での置換は、多孔質母材を収納する容器内を減圧にし、
しかる後その容器内にＨｅを供給して行う旨が開示され
ている。
と泡の影響により光学特性が劣化したり、加工工程の作
業性が悪くなる。このような泡の発生を抑制するため、
特開昭６４−７２９３６号公報には、多孔質母材内に残
留するガスをＨｅで置換した後に透明ガラス化する発明
が記載されている。多孔質母材内に残留するガスのＨｅ
での置換は、多孔質母材を収納する容器内を減圧にし、
しかる後その容器内にＨｅを供給して行う旨が開示され
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記公報に記載された
ように、多孔質母材内に残留するガスを減圧で排出して
からＨｅを供給しても、残留ガスをＨｅで充分に置換で
きないことが解明された。それに加え、減圧したことに
より異物やススの付着している周辺でガラス微粒子が剥
離する傾向が見られ、気泡が却って広がって観察され
た。多孔質母材の空孔には空気を構成するＮ2やＯ2の
他、異物やススから発生するガスが残留している。Ｎ2
やＯ2は分子径が比較的小さいことから空孔から潤沢に
排出されるが、異物やススから発生するガスは、ＳｉＯ
−系の昇華物や原料ガスの残留ＳｉＣｌ４ 、派生するＨ
Ｃｌ、Ｃｌ2など分子径が比較的大きいものもある。そ
のため多孔質母材のガラス微粒子の相互に連結して形成
された空間が、これらの大きな残留ガス分子を潤沢に排
出でき大きさを持っているとは限らないためと考えられ
る。
ように、多孔質母材内に残留するガスを減圧で排出して
からＨｅを供給しても、残留ガスをＨｅで充分に置換で
きないことが解明された。それに加え、減圧したことに
より異物やススの付着している周辺でガラス微粒子が剥
離する傾向が見られ、気泡が却って広がって観察され
た。多孔質母材の空孔には空気を構成するＮ2やＯ2の
他、異物やススから発生するガスが残留している。Ｎ2
やＯ2は分子径が比較的小さいことから空孔から潤沢に
排出されるが、異物やススから発生するガスは、ＳｉＯ
−系の昇華物や原料ガスの残留ＳｉＣｌ４ 、派生するＨ
Ｃｌ、Ｃｌ2など分子径が比較的大きいものもある。そ
のため多孔質母材のガラス微粒子の相互に連結して形成
された空間が、これらの大きな残留ガス分子を潤沢に排
出でき大きさを持っているとは限らないためと考えられ
る。
【０００６】このようにガラス微粒子を堆積させた多孔
質体を加熱処理して透明ガラス化する際に、多孔質体に
残留するガスをＨｅで置換することが好ましいことは知
られていたが、置換を効率的にかつ障害なく実施できる
具体的方法は知られてない。
質体を加熱処理して透明ガラス化する際に、多孔質体に
残留するガスをＨｅで置換することが好ましいことは知
られていたが、置換を効率的にかつ障害なく実施できる
具体的方法は知られてない。
【０００７】本発明はこのような問題点を解消するため
になされたもので、気泡のない光ファイバ母材を効率的
に製造する方法を提供するものである。
になされたもので、気泡のない光ファイバ母材を効率的
に製造する方法を提供するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めになされた本発明の光ファイバ母材の製造方法は、光
ファイバのコアになるべき部分の基材ガラス棒の側面に
ガラス微粒子を堆積させた多孔質体を脱水焼結してガラ
ス化し、クラッドになるべき部分を形成するものであっ
て、密封容器内に、該多孔質体を収納してから不活性で
かつ分子径の小さなガスを導入して大気と置換し、さら
に加圧導入した該ガスによる加圧と常圧への復元とを複
数回繰り返して該多孔質体の空間に該ガスを充填した
後、前記脱水焼結することを特徴としている。
めになされた本発明の光ファイバ母材の製造方法は、光
ファイバのコアになるべき部分の基材ガラス棒の側面に
ガラス微粒子を堆積させた多孔質体を脱水焼結してガラ
ス化し、クラッドになるべき部分を形成するものであっ
て、密封容器内に、該多孔質体を収納してから不活性で
かつ分子径の小さなガスを導入して大気と置換し、さら
に加圧導入した該ガスによる加圧と常圧への復元とを複
数回繰り返して該多孔質体の空間に該ガスを充填した
後、前記脱水焼結することを特徴としている。
【０００９】
【００１０】該ガスは、Ｈｅ、Ｎｅが使用できる。好ま
しくはHeである。
しくはHeである。
【００１１】該ガスを加圧導入する圧力は０．１〜９．
９kg/cm2であることがこのましい。
９kg/cm2であることがこのましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を説明する。本発明の光ファイバ母材の製造方法で
は、光ファイバ母材を完成する前工程の中間体であるガ
ラス微粒子を堆積させた多孔質体は、常法により製造さ
れたものを使用する。図１に示す加工装置で、ガラス微
粒子３の多孔質体４は耐圧密閉容器８の中に吊具９で吊
し、排気バルブ１１を当初開けておき、吸入バルブ１０
を開けてＨｅを耐圧密閉容器８に導入する。Ｈｅの導入
量から耐圧密閉容器８内の気体がＨｅに充分置き換わっ
たのを確認したら、排気バルブ１１を閉める。圧力ゲー
ジ１２が４kg/cm2を示したら吸入バルブ１０を閉め、そ
の圧力を保ちながら２０分放置してから、排気バルブ１
１を開けて耐圧密閉容器８内を大気圧に戻す。上記のＨ
ｅ導入加圧、排気を３回繰り返す。終了したら多孔質体
４を耐圧密閉容器８から取り出し、常法にしたがって次
工程に移し、脱水焼結して透明ガラス化することによ
り、泡の残留してない光ファイバ母材が得られる。
態を説明する。本発明の光ファイバ母材の製造方法で
は、光ファイバ母材を完成する前工程の中間体であるガ
ラス微粒子を堆積させた多孔質体は、常法により製造さ
れたものを使用する。図１に示す加工装置で、ガラス微
粒子３の多孔質体４は耐圧密閉容器８の中に吊具９で吊
し、排気バルブ１１を当初開けておき、吸入バルブ１０
を開けてＨｅを耐圧密閉容器８に導入する。Ｈｅの導入
量から耐圧密閉容器８内の気体がＨｅに充分置き換わっ
たのを確認したら、排気バルブ１１を閉める。圧力ゲー
ジ１２が４kg/cm2を示したら吸入バルブ１０を閉め、そ
の圧力を保ちながら２０分放置してから、排気バルブ１
１を開けて耐圧密閉容器８内を大気圧に戻す。上記のＨ
ｅ導入加圧、排気を３回繰り返す。終了したら多孔質体
４を耐圧密閉容器８から取り出し、常法にしたがって次
工程に移し、脱水焼結して透明ガラス化することによ
り、泡の残留してない光ファイバ母材が得られる。
【００１３】本発明を適用する製造方法により光ファイ
バ母材を試作した実施例、および本発明を適用外の製造
方法により光ファイバ母材を試作した比較例を以下に記
載する。
バ母材を試作した実施例、および本発明を適用外の製造
方法により光ファイバ母材を試作した比較例を以下に記
載する。
【００１４】実施例１ 光ファイバ母材を完成する前工程の中間体であるガラス
微粒子の多孔質体は、図２に示す装置で製造された。
尚、光ファイバのコアになるべき部分の基材ガラス棒１
は、外径が２５mmφ、長さ１２００mmのシングルモード
光ファイバ用に屈折率を調整した石英系ガラスである。
基材ガラス棒１を密閉型ハウジング５の中に取り付け４
０rpmで回転させながら、図示しない原料ガス源から酸
素ガス７５L/Min、水素ガス１５０L/Min、キャリアーガ
スとして酸素ガス９L/Minに同伴して原料ガスのSiCl4
３８ｇ/Minをバーナー２に導入した。バーナー２を１５
０mm/Minの速度で１６００mmの範囲で往復運動させなが
ら、酸水素火炎７によりSiCl4の火炎加水分解で発生し
たガラス微粒子３を基材ガラス棒１に堆積させた。堆積
が進むにつれて更に原料ガスの供給量を増量してゆき、
最終的には酸素ガス１５０L/Min、水素ガス３００L/Mi
n、キャリアーガスの酸素ガス１５L/Min 、原料ガスのS
iCl4 ８０ｇ/Min、がバーナーに供給され平均堆積速度
２８ｇ/minという高速合成をし、２４時間後に外径が２
３０mmφの多孔質体４を得た。同一の装置を使用して上
記の工程を１０回繰り返し、ロット１から１０まで合計
１０本の多孔質体を試作した。
微粒子の多孔質体は、図２に示す装置で製造された。
尚、光ファイバのコアになるべき部分の基材ガラス棒１
は、外径が２５mmφ、長さ１２００mmのシングルモード
光ファイバ用に屈折率を調整した石英系ガラスである。
基材ガラス棒１を密閉型ハウジング５の中に取り付け４
０rpmで回転させながら、図示しない原料ガス源から酸
素ガス７５L/Min、水素ガス１５０L/Min、キャリアーガ
スとして酸素ガス９L/Minに同伴して原料ガスのSiCl4
３８ｇ/Minをバーナー２に導入した。バーナー２を１５
０mm/Minの速度で１６００mmの範囲で往復運動させなが
ら、酸水素火炎７によりSiCl4の火炎加水分解で発生し
たガラス微粒子３を基材ガラス棒１に堆積させた。堆積
が進むにつれて更に原料ガスの供給量を増量してゆき、
最終的には酸素ガス１５０L/Min、水素ガス３００L/Mi
n、キャリアーガスの酸素ガス１５L/Min 、原料ガスのS
iCl4 ８０ｇ/Min、がバーナーに供給され平均堆積速度
２８ｇ/minという高速合成をし、２４時間後に外径が２
３０mmφの多孔質体４を得た。同一の装置を使用して上
記の工程を１０回繰り返し、ロット１から１０まで合計
１０本の多孔質体を試作した。
【００１５】この多孔質体４を図１の耐圧密閉容器８に
入れ、排気バルブ１１を開けたまま、吸入バルブ１０を
開けてＨｅを耐圧密閉容器８に６０L/Minで導入する。
耐圧密閉容器８の容積分に余るＨｅを導入したら、排気
バルブ１１を閉める。さらにHeを３０L/Minで、圧力ゲ
ージ１２が４kg/cm2を示すまで導入したら、吸入バルブ
１０を閉め、その圧力を保ちながら２０分放置した。そ
の後、排気バルブ１１を徐々に開け耐圧密閉容器８内を
３０分かけて降圧し大気圧に戻した。このＨｅ導入加
圧、排気を３回繰り返した。終了したら多孔質体４を耐
圧密閉容器８から取り出し、常法にしたがって次工程に
移し、脱水焼結して透明ガラス化することにより、実施
例１の光ファイバ母材の試作品１０本を得た。
入れ、排気バルブ１１を開けたまま、吸入バルブ１０を
開けてＨｅを耐圧密閉容器８に６０L/Minで導入する。
耐圧密閉容器８の容積分に余るＨｅを導入したら、排気
バルブ１１を閉める。さらにHeを３０L/Minで、圧力ゲ
ージ１２が４kg/cm2を示すまで導入したら、吸入バルブ
１０を閉め、その圧力を保ちながら２０分放置した。そ
の後、排気バルブ１１を徐々に開け耐圧密閉容器８内を
３０分かけて降圧し大気圧に戻した。このＨｅ導入加
圧、排気を３回繰り返した。終了したら多孔質体４を耐
圧密閉容器８から取り出し、常法にしたがって次工程に
移し、脱水焼結して透明ガラス化することにより、実施
例１の光ファイバ母材の試作品１０本を得た。
【００１６】実施例２ 実施例１で使用した図２の装置を清浄してから、新たに
実施例１と同様に多孔質体４を、ロット１から１０まで
１０本製造した。多孔質体４を耐圧密閉容器８に入れ、
排気バルブ１１を開けたまま、吸入バルブ１０を開けて
Ｈｅを耐圧密閉容器８に６０L/Minで導入する。耐圧密
閉容器８の容積分に余るＨｅを導入したら、排気バルブ
１１を閉める。さらにHeを３０L/Minで、圧力ゲージ１
２が４kg/cm2を示すまで導入したら、吸入バルブ１０を
閉め、その圧力を保ちながら２０分放置した。その後、
排気バルブ１１を徐々に開け耐圧密閉容器８内を６０分
かけて降圧し大気圧に戻した。このＨｅ導入加圧、排気
を５回繰り返した。終了したら多孔質体４を耐圧密閉容
器８から取り出し、常法にしたがって次工程に移し、脱
水焼結して透明ガラス化することにより、実施例２の光
ファイバ母材の試作品１０本を得た。
実施例１と同様に多孔質体４を、ロット１から１０まで
１０本製造した。多孔質体４を耐圧密閉容器８に入れ、
排気バルブ１１を開けたまま、吸入バルブ１０を開けて
Ｈｅを耐圧密閉容器８に６０L/Minで導入する。耐圧密
閉容器８の容積分に余るＨｅを導入したら、排気バルブ
１１を閉める。さらにHeを３０L/Minで、圧力ゲージ１
２が４kg/cm2を示すまで導入したら、吸入バルブ１０を
閉め、その圧力を保ちながら２０分放置した。その後、
排気バルブ１１を徐々に開け耐圧密閉容器８内を６０分
かけて降圧し大気圧に戻した。このＨｅ導入加圧、排気
を５回繰り返した。終了したら多孔質体４を耐圧密閉容
器８から取り出し、常法にしたがって次工程に移し、脱
水焼結して透明ガラス化することにより、実施例２の光
ファイバ母材の試作品１０本を得た。
【００１７】比較例 実施例１、２で使用した図２の装置を清浄してから、新
たに実施例１、２と同様に多孔質体４を、ロット１から
１０まで１０本製造した。この多孔質体については、Ｈ
ｅによる処理をすることなく直接、脱水焼結して透明ガ
ラス化することにより、比較例の光ファイバ母材の試作
品１０本を得た。
たに実施例１、２と同様に多孔質体４を、ロット１から
１０まで１０本製造した。この多孔質体については、Ｈ
ｅによる処理をすることなく直接、脱水焼結して透明ガ
ラス化することにより、比較例の光ファイバ母材の試作
品１０本を得た。
【００１８】実施例１、２、比較例で得られた各１０本
の光ファイバ母材中の泡を拡大投置で観察し、径が０.5
mm以上の泡を計数した。実施例１、２、比較例につい
て、多孔質体の試作ロットが１本目、５本目、１０本目
の光ファイバ母材の泡の数、および合計１０本中の泡の
数を表１に示してある。
の光ファイバ母材中の泡を拡大投置で観察し、径が０.5
mm以上の泡を計数した。実施例１、２、比較例につい
て、多孔質体の試作ロットが１本目、５本目、１０本目
の光ファイバ母材の泡の数、および合計１０本中の泡の
数を表１に示してある。
【００１９】
【表１】
【００２０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明を適
用する光ファイバ母材の製造方法によれば、従来、非常
に困難であった多孔質体に残留するガスを不活性でかつ
分子径の小さなガスで置換することが実現可能になっ
た。かかる置換を効率的にかつ障害なく実施できるた
め、気泡のない光ファイバ母材を効率的に製造すること
ができるようになった。特に高速合成により余剰な異物
やススが多量に生成するような条件下で多孔質体が製造
されている場合でも、泡の少ない光ファイバ用母材を製
造することができる。
用する光ファイバ母材の製造方法によれば、従来、非常
に困難であった多孔質体に残留するガスを不活性でかつ
分子径の小さなガスで置換することが実現可能になっ
た。かかる置換を効率的にかつ障害なく実施できるた
め、気泡のない光ファイバ母材を効率的に製造すること
ができるようになった。特に高速合成により余剰な異物
やススが多量に生成するような条件下で多孔質体が製造
されている場合でも、泡の少ない光ファイバ用母材を製
造することができる。
【図１】本発明を適用する製造方法を実施するための加
工装置の概略正面図である。
工装置の概略正面図である。
【図２】光ファイバ母材を完成する前工程の中間体であ
る多孔質体を製造する装置の概略側面図である。
る多孔質体を製造する装置の概略側面図である。
１は基材ガラス棒、２はバーナー、３はガラス微粒子、
４は多孔質体、５はハウジング、６は排気フード、７は
火炎、８は耐圧密閉容器、９は吊具、１０は吸入バル
ブ、１１は排気バルブ、１２は圧力ゲージである。
４は多孔質体、５はハウジング、６は排気フード、７は
火炎、８は耐圧密閉容器、９は吊具、１０は吸入バル
ブ、１１は排気バルブ、１２は圧力ゲージである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社精密機能材料研究所内 (56)参考文献 特開 平11−1336（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−151642（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−63833（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−72936（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−81962（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 37/012 C03B 8/00
Claims (3)
- 【請求項１】 光ファイバのコアになるべき部分の基
材ガラス棒の側面にガラス微粒子を堆積させた多孔質体
を脱水焼結してガラス化し、クラッドになるべき部分を
形成する光ファイバ母材の製造方法において、密封容器
内に、該多孔質体を収納してから不活性でかつ分子径の
小さなガスを導入して大気と置換し、さらに加圧導入し
た該ガスによる加圧と常圧への復元とを複数回繰り返し
て該多孔質体の空間に該ガスを充填した後、前記脱水焼
結することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 - 【請求項２】 該ガスがHeであることを特徴とする請
求項１に記載のガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】 該ガスを加圧導入する圧力が０．１〜
９．９kg/cm2であることを特徴とする請求項１に記載の
ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980799A JP3051393B1 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980799A JP3051393B1 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3051393B1 true JP3051393B1 (ja) | 2000-06-12 |
| JP2000219531A JP2000219531A (ja) | 2000-08-08 |
Family
ID=12009617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980799A Expired - Fee Related JP3051393B1 (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3051393B1 (ja) |
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1999
- 1999-01-28 JP JP1980799A patent/JP3051393B1/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2000219531A (ja) | 2000-08-08 |
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