JP2006327858A - 石英ガラス母材の処理方法及び光ファイバ用母材の製造方法 - Google Patents
石英ガラス母材の処理方法及び光ファイバ用母材の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006327858A JP2006327858A JP2005152053A JP2005152053A JP2006327858A JP 2006327858 A JP2006327858 A JP 2006327858A JP 2005152053 A JP2005152053 A JP 2005152053A JP 2005152053 A JP2005152053 A JP 2005152053A JP 2006327858 A JP2006327858 A JP 2006327858A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- quartz glass
- glass base
- optical fiber
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
【解決手段】 石英ガラス母材を酸水素火炎で火炎研磨した後、該石英ガラス母材を塩素系ガス含有雰囲気下で加熱することにより、石英ガラス母材の表面層に存在するOH基が減少した石英ガラス母材を得ることを特徴とする石英ガラス母材の処理方法。この石英ガラス母材の処理方法によって処理された石英ガラス母材を用い、該石英ガラス母材の表面に石英ガラスからなるスート微粒子を堆積し、さらに脱水焼結を行って光ファイバ用母材を製造することを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
【選択図】 図2
Description
しかし、この火炎研磨処理では、石英ガラス母材を酸水素火炎など、水素を含む雰囲気下、高温で処理を行うため、母材の表面層に高濃度のOH基が生成される。特許文献1には、前述したような加熱処理により、表面から0.2mmの深さまで高濃度のOH基が生成されるので、そのままオーバークラッド層を製造して光ファイバ用母材を製造し、更にその母材を紡糸して光ファイバを製造すると、OH基による損失、具体的には波長1.38μm帯の損失が増加することが記載されている。
特許文献1では、母材の表面近傍に形成されるOH基が高濃度の層をフッ酸でエッチングすることで取り除き、波長1.38μm帯の損失を低減する方法が開示されている。
また、石英ガラス母材の表面を除去するため、除去する分の石英ガラスをあらかじめ余分に製造しておく必要があり、製造コストの上昇を招く問題がある。
また、石英ガラス母材の表面をフッ酸によってエッチングすると、母材表面に凹凸を生じることがあり、石英ガラス母材の品質が低下する問題もある。
また、フッ酸は、エッチングを繰り返すと濃度が低下していくため、処理能力が変化する。そのため一定の削り量を維持することは難しかった。
また本発明の光ファイバ用母材の製造方法は、前述した本発明の石英ガラス母材の処理方法により得られた石英ガラス母材を用い、その表面に石英ガラスからなるスート微粒子を堆積し、さらに脱水焼結を行って光ファイバ用母材を製造するものなので、波長1383nm帯に現れるOH基による損失を低減させた高品質の光ファイバを作製可能な光ファイバ用母材を製造することができる。また、石英ガラス母材とスート堆積後の外付け母材の外径比率を大きくすることができるので、光ファイバ用母材の製造コストを大幅に低減することができる。
本発明による石英ガラス母材の処理方法において、処理対象とする石英ガラス母材としては、純水石英(SiO2)ガラスや石英ガラスに屈折率を変化させるドーパント(GeO2,F,B2O3など)をドープした材料を円柱状、丸棒状などの形状に成形した母材であればよく、例えば、光ファイバを紡糸するための光ファイバ用母材を製造する際に、スート微粒子を堆積させる石英ガラス母材、コリメートレンズなどが挙げられるが、これに限定されない。
本発明の光ファイバ用母材の製造方法は、前述した本発明の石英ガラス母材の処理方法により得られた石英ガラス母材を用い、その表面に石英ガラスからなるスート微粒子を堆積し、さらに脱水焼結を行って光ファイバ用母材を製造する。
図2に示す処理装置を用い、石英ガラス母材を炉内に設置し、回転させる。ヒータにより炉内を1500℃に加熱し、給気管より塩素ガス及びヘリウムガスを流した。塩素ガスの濃度は体積比で4.0%とした。
この状態で6時間石英ガラス母材を処理し、その後の母材表面近傍のOH基濃度を測定したところ、図3に示すように、OH基を除去することができた。
極表面近傍のOH基濃度が最も高い位置における濃度は、処理前が378ppmあったところが、7ppmまで低下した。
実施例1の処理条件において、塩素ガス濃度を4.0%に固定したまま、処理温度を、1220℃、1300℃、1500℃、1650℃及び1750℃に変化させて処理を実施した。各温度で処理した母材の極表面近傍におけるOH基濃度の最大値を測定した。その結果を図4に示す。
図4より、処理温度が高いほど、母材表面のOH基を短時間で除去できることがわかる。ただし、1750℃のときは、高温で母材が変形してしまった。また、1220℃のときは、14時間処理しても、OH基を除去することはできなかった。
図4に示した結果より、本発明における処理温度は1300℃〜1700℃の範囲とすることが好ましい。
実施例1の処理条件において、処理温度を1500℃に固定したまま、塩素ガス濃度を1%、2%、4%、45%、50%と変えて処理を実施した。各塩素ガス濃度で処理した母材の極表面近傍におけるOH基濃度の最大値を測定した。その結果を図5に示す。
図5より、塩素ガス濃度が高いほど、母材表面のOH基を短時間で除去できる。ただし、塩素ガス濃度を50%まで増加させると、母材表面に塩素が多く残存し、屈折率が変化する。そのため光学特性が変化するので、好ましくない。また、塩素ガス濃度が1%のときは、14時間処理しても、OH基を除去することはできなかった。
図5に示した結果より、本発明における塩素ガス濃度は2〜45%の範囲が好ましい。
実施例1の処理条件と同じく、塩素ガス濃度4%、処理温度1500℃、処理時間6時間の条件で処理した石英ガラス母材の外側に、SiO2からなるスート微粒子を堆積し、脱水処理を行った(外付け工程)。このとき外付け工程前の母材外径と外付け工程後の母材外径の比率は1:4.0とした。この母材の直径方向のOH基濃度分布を測定した結果、外付け前の母材と外付け後の母材の境界面のOH基濃度は1ppm以下であった。
外付け工程後、脱水、焼結(透明化)して光ファイバ用母材とし、さらにこの母材を紡糸して光ファイバを製造した。得られた光ファイバの波長1383nmにおける損失を測定したところ、損失は0.28dB/kmと低かった。
OH基を除去する処理を施さない石英ガラス母材を用い、それ以外は実施例4と同様にして外付け工程を行った。このとき外付け工程前の母材外径と外付け工程後の母材外径の比率は1:4.0とした。この母材の直径方向のOH基濃度分布を測定した結果、外付け前の母材と外付け後の母材の境界面のOH基濃度は110ppmであった。
外付け工程後、脱水、焼結(透明化)して光ファイバ用母材とし、さらにこの母材を紡糸して光ファイバを製造した。得られた光ファイバの波長1383nmにおける損失を測定したところ、損失は0.39dB/kmと高かった。
OH基を除去する処理を施さない石英ガラス母材を用い、それ以外は実施例4と同様にして外付け工程を行った。このとき外付け工程前の母材外径と外付け工程後の母材外径の比率は1:3.0とした。この母材の直径方向のOH基濃度分布を測定した結果、外付け前の母材と外付け後の母材の境界面のOH基濃度は114ppmであった。
外付け工程後、脱水、焼結(透明化)して光ファイバ用母材とし、さらにこの母材を紡糸して光ファイバを製造した。得られた光ファイバの波長1383nmにおける損失を測定したところ、損失は0.29dB/kmであった。
Claims (4)
- 石英ガラス母材を酸水素火炎で火炎研磨した後、該石英ガラス母材を塩素系ガス含有雰囲気下で加熱することにより、石英ガラス母材の表面層に存在するOH基が減少した石英ガラス母材を得ることを特徴とする石英ガラス母材の処理方法。
- 石英ガラス母材を塩素系ガス含有雰囲気下、1300℃〜1700℃の温度範囲で加熱することを特徴とする請求項1に記載の石英ガラス母材の処理方法。
- 塩素系ガス含有雰囲気が、塩素ガスとヘリウムガスなどの不活性ガスとの混合ガス雰囲気であり、かつその塩素ガス濃度が2〜45%の範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の石英ガラス母材の処理方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の石英ガラス母材の処理方法によって処理された石英ガラス母材を用い、該石英ガラス母材の表面に石英ガラスからなるスート微粒子を堆積し、さらに脱水焼結を行って光ファイバ用母材を製造することを特徴とする光ファイバ用母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005152053A JP4804796B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005152053A JP4804796B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006327858A true JP2006327858A (ja) | 2006-12-07 |
JP4804796B2 JP4804796B2 (ja) | 2011-11-02 |
Family
ID=37549942
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005152053A Expired - Fee Related JP4804796B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4804796B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102503115A (zh) * | 2011-11-08 | 2012-06-20 | 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 | 一种低羟基石英玻璃纤维的生产方法 |
JP2015006971A (ja) * | 2013-04-08 | 2015-01-15 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および光ファイバ用ガラス母材 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0421533A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-24 | Fujikura Ltd | 偏波保持光ファイバの製造方法 |
JPH0797228A (ja) * | 1993-05-24 | 1995-04-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 偏波面保存光ファイバの製造方法 |
JP2000264649A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多孔質ガラス母材の焼結装置および焼結方法 |
JP2001287925A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法及びその装置 |
JP2003146687A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-05-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2003246639A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-09-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及びガラス母材 |
-
2005
- 2005-05-25 JP JP2005152053A patent/JP4804796B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0421533A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-24 | Fujikura Ltd | 偏波保持光ファイバの製造方法 |
JPH0797228A (ja) * | 1993-05-24 | 1995-04-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 偏波面保存光ファイバの製造方法 |
JP2000264649A (ja) * | 1999-03-12 | 2000-09-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多孔質ガラス母材の焼結装置および焼結方法 |
JP2001287925A (ja) * | 2000-04-05 | 2001-10-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 多孔質ガラス母材の製造方法及びその装置 |
JP2003146687A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-05-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法 |
JP2003246639A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-09-02 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及びガラス母材 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102503115A (zh) * | 2011-11-08 | 2012-06-20 | 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 | 一种低羟基石英玻璃纤维的生产方法 |
JP2015006971A (ja) * | 2013-04-08 | 2015-01-15 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法および光ファイバ用ガラス母材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4804796B2 (ja) | 2011-11-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5922649B2 (ja) | 高純度合成シリカおよびその高純度合成シリカから製造されたジグなどの製品 | |
US6189342B1 (en) | Method of making segmented core optical waveguide preforms | |
JP5780952B2 (ja) | 光ファイバプリフォームを調製する方法 | |
JPWO2004101456A1 (ja) | 光ファイバとその製造方法 | |
US4648891A (en) | Optical fiber | |
JP5091111B2 (ja) | 光ファイバー用プリフォームの製造方法 | |
JPS5844619B2 (ja) | 光フアイバ母材の製造法 | |
JP2010064915A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JP2007063094A (ja) | 石英管の内面処理方法、光ファイバ母材製造方法及び光ファイバ製造方法 | |
JP4804796B2 (ja) | 光ファイバ用母材の製造方法 | |
CN106348584B (zh) | 通过蚀刻和塌缩沉积管制备初级预制品的方法 | |
JP4514748B2 (ja) | 保持デバイスを使っての合成石英ガラスの中空シリンダーの製造方法とこの方法を実施するために適切な保持デバイス | |
JP2008247740A (ja) | 光ファイバ母材及びその製造方法 | |
KR100545813B1 (ko) | 탈수 및 탈염소공정을 포함하는 수정화학기상증착공법을 이용한 광섬유 프리폼 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 광섬유 | |
CN106927686B (zh) | 蚀刻初级预制品的方法及由此得到的蚀刻初级预制品 | |
JP4179265B2 (ja) | 光ファイバ母材及びその製造方法 | |
JP2004002106A (ja) | 低損失光ファイバ母材とその製造方法 | |
JP4463605B2 (ja) | 光ファイバ母材およびその製造方法 | |
US20050000252A1 (en) | Method and apparatus for fabricating optical fiber preform using double torch in mcvd | |
JPH06263468A (ja) | ガラス母材の製造方法 | |
JPS6086047A (ja) | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 | |
JP2004338992A (ja) | ガラス母材の製造方法 | |
EP2481715B1 (en) | Method of manufacturing an optical fiber preform | |
JP6248517B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、光ファイバ、およびマルチモード光ファイバ | |
JPS6183639A (ja) | 高純度石英パイプの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101101 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110405 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110701 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110802 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110810 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4804796 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140819 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |