JP2984004B2 - カッテングマシン - Google Patents
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- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
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- G—PHYSICS
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- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/125—Optical beam sources therefor, e.g. laser control circuitry specially adapted for optical storage devices; Modulators, e.g. means for controlling the size or intensity of optical spots or optical traces
- G11B7/126—Circuits, methods or arrangements for laser control or stabilisation
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/004—Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
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- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
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Description
【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。
Ａ 産業上の利用分野 Ｂ 発明の概要 Ｃ 従来の技術 Ｄ 発明が解決しようとする課題 Ｅ 課題を解決するための手段 Ｆ 作用 Ｇ 実施例 G1第１の実施例（第１図） G2第２の実施例（第２図） G3第３の実施例（第３図） G4第４の実施例（第４図） G5第５及び第６の実施例（第５図及び第６図） G6第７の実施例（第７図） Ｈ 発明の効果 Ａ 産業上の利用分野 本発明はレーザ源を用いてビデオディスクのマスター
盤を得るためのカッテングマシンに関する。
盤を得るためのカッテングマシンに関する。
Ｂ 発明の概要 本発明はレーザ源を用いてビデオディスクのマスター
盤を得るためのカッテングマシンに関し、本発明は記録
用のレーザ光を発生するレーザ源と、このレーザ源から
出射されたレーザ光を信号源から出力される映像FM波信
号と音声信号とに基づくパルス幅変調された方形波信号
によって変調する光変調手段と、この光変調手段によっ
て変調された記録用のレーザ光を原盤に照射し、上記原
盤からの戻り光を受光する光検出器を有する光学系と、
光変調手段への信号源からの映像FM波信号と音声信号と
の供給を停止した状態で光検出器からの出力信号に基づ
いて信号源からの映像FM波信号の主搬送波の２次高調波
成分が最小になるように信号源のオフセット値を調整す
る調整手段とを備えていることを特徴とするカッテング
マシンとしたものである。
盤を得るためのカッテングマシンに関し、本発明は記録
用のレーザ光を発生するレーザ源と、このレーザ源から
出射されたレーザ光を信号源から出力される映像FM波信
号と音声信号とに基づくパルス幅変調された方形波信号
によって変調する光変調手段と、この光変調手段によっ
て変調された記録用のレーザ光を原盤に照射し、上記原
盤からの戻り光を受光する光検出器を有する光学系と、
光変調手段への信号源からの映像FM波信号と音声信号と
の供給を停止した状態で光検出器からの出力信号に基づ
いて信号源からの映像FM波信号の主搬送波の２次高調波
成分が最小になるように信号源のオフセット値を調整す
る調整手段とを備えていることを特徴とするカッテング
マシンとしたものである。
Ｃ 従来の技術 従来のビデオディスクでは映像信号及び音声信号は第
８図の周波数アロケーションに示す様に記録されてい
る。即ち、第８図で先ず映像信号及び２チャンネルの音
声信号はFM変調器によってFM信号に変換される。映像信
号は中心周波数8.5MHz（周波数偏移1.7MHz）の映像FM搬
送波信号（30）に、そしてステレオの２チャンネル音声
信号は１チャンネルの中心周波数2.3MHz及び２チャンネ
ルの2.8MHz（周波数偏移±100kHz）の音声FM搬送波信号
（以下、アナログ音声信号と記す）（31）に変換され
る。更に２チャンネルの音声信号を16ビットでパルスコ
ード変調（PCM）化し、EFM（Eight to Fourteen Modula
tion）符号変換したデジタル音声信号（33）を第８図に
示す様に2MHz以下の低域に挿入している。
８図の周波数アロケーションに示す様に記録されてい
る。即ち、第８図で先ず映像信号及び２チャンネルの音
声信号はFM変調器によってFM信号に変換される。映像信
号は中心周波数8.5MHz（周波数偏移1.7MHz）の映像FM搬
送波信号（30）に、そしてステレオの２チャンネル音声
信号は１チャンネルの中心周波数2.3MHz及び２チャンネ
ルの2.8MHz（周波数偏移±100kHz）の音声FM搬送波信号
（以下、アナログ音声信号と記す）（31）に変換され
る。更に２チャンネルの音声信号を16ビットでパルスコ
ード変調（PCM）化し、EFM（Eight to Fourteen Modula
tion）符号変換したデジタル音声信号（33）を第８図に
示す様に2MHz以下の低域に挿入している。
第９図は上述の如く映像信号及び音声信号をガラス原
盤上に塗布したフォトレジスト上に記録する場合の従来
のカッテングマシンの系統図を示すものである。
盤上に塗布したフォトレジスト上に記録する場合の従来
のカッテングマシンの系統図を示すものである。
第９図で記録しようとする映像信号はVTR（35）に記
録され、同様に音声信号はテープレコーダ（36）等に記
録され、映像信号はスイッチ（28）を介して映像信号処
理回路内のビデオモジュレータ（25）でFM変調波とさ
れ、２チャンネルの第１の音声信号もスイッチ（29）を
介して音声信号処理回路内のオーデオモジュレータ（2
6）でFM変調波とされる。映像FM変調波と音声FM変調は
混合回路（24）に供給される、テープレコーダ（37）に
記録された第２の音声信号はスイッチ（34）を介し図示
しないがA/D変換回路でデジタル信号に変換され、EFMエ
ンコーダ（27）でデジタル信号はPCM処理を行なって約2
MHz以上を図示しないLPFでカットしたのち、プリエンフ
ァシス回路で低域を持ち上げて混合回路（24）で映像信
号及び第１の音声信号とミックスさせる。混合回路（2
4）の出力側は作動アンプ（22）の正相入力端子に接続
され、一端が接地された可変抵抗器（23）の他端は作動
アンプ（22）の逆相入力端子に接続され、作動アンプ
（22）と可変抵抗器（23）とでオフセット調整が行なわ
れる。作動アンプ（22）の出力はリミッタ（21）に供給
されて、音響光学効果光変調器（以下AOMと記す）ドラ
イバー（19）とスペクトルアナライザ（20）に供給され
る。即ち、映像FM搬送波信号はスペクトルアナライザ
（20）に供給観測され、主搬送波の２次高調波成分が最
小になる様に、可変抵抗器（23）を手動調整する。リミ
ッタ（21）からの最終出力は方形波としてAOM（８）に
供給される。
録され、同様に音声信号はテープレコーダ（36）等に記
録され、映像信号はスイッチ（28）を介して映像信号処
理回路内のビデオモジュレータ（25）でFM変調波とさ
れ、２チャンネルの第１の音声信号もスイッチ（29）を
介して音声信号処理回路内のオーデオモジュレータ（2
6）でFM変調波とされる。映像FM変調波と音声FM変調は
混合回路（24）に供給される、テープレコーダ（37）に
記録された第２の音声信号はスイッチ（34）を介し図示
しないがA/D変換回路でデジタル信号に変換され、EFMエ
ンコーダ（27）でデジタル信号はPCM処理を行なって約2
MHz以上を図示しないLPFでカットしたのち、プリエンフ
ァシス回路で低域を持ち上げて混合回路（24）で映像信
号及び第１の音声信号とミックスさせる。混合回路（2
4）の出力側は作動アンプ（22）の正相入力端子に接続
され、一端が接地された可変抵抗器（23）の他端は作動
アンプ（22）の逆相入力端子に接続され、作動アンプ
（22）と可変抵抗器（23）とでオフセット調整が行なわ
れる。作動アンプ（22）の出力はリミッタ（21）に供給
されて、音響光学効果光変調器（以下AOMと記す）ドラ
イバー（19）とスペクトルアナライザ（20）に供給され
る。即ち、映像FM搬送波信号はスペクトルアナライザ
（20）に供給観測され、主搬送波の２次高調波成分が最
小になる様に、可変抵抗器（23）を手動調整する。リミ
ッタ（21）からの最終出力は方形波としてAOM（８）に
供給される。
AOM（８）は圧電材料（LiNbO3）に周波数ｆの電圧を
加え、媒質（例えばTeガラス）中に音速ｖ、波長Λの疎
密波を発生させ、これを回析格子として波長λの光ビー
ムを作用させると光はブラッグ反射を起す。この反射回
析光は媒質を駆動する電圧に変化するのでこの電圧を振
幅変調すると変調されたレーザビームを得ることが出来
る様に成されている。この為に、このAOM（８）はアル
ゴンサーザ或はHe−Cdレーザ等のレーザ源（１）からの
出射光路中に置かれる。レーザ源（１）からの出射光は
電気光学効果光変調器（以下EOMと記す）（２）に供給
される。このEOM（２）はKH2PO4（KDP）やNH4H2PO4（AD
P）等の単軸結晶であり、この単軸結晶に電界を供給す
ると結晶の内を進む二つの直線偏波面間に電界強度に比
例した位相速度の差を生ずるので、この結晶に直線偏波
光を入射させれば印加された電界に応じた楕円偏光とな
るので、この結晶の後方にアナライザ（３）を配設する
ことで振幅変調されたレーザ光を得ることが出来る。こ
の振幅変調されたレーザ光は第１のビームスプリッタ
（以下BS1と記す）（４）に導かれる。BS1（４）の後方
にはフォトダイオードの如き第１の光検出器（以下PD1
と記す）（５）が配されBS1（４）を通過した光を受光
し、電気信号に変換し、APC（自動電力制御回路）
（６）を介してPD1の通過光量が例えば、一定量となる
様にEOM（２）の電界を制御する様に成されている。BS1
（４）で反射されたレーザ光はレンズ（７）及びレンズ
（９）間に配されたAOM（８）を通して情報信号が変調
され第２のビームスプリッタ（以下BS2と記す）（10）
に入射される。BS2（10）で反射されたレーザ光はレン
ズ（11）→λ/4板（12）→ミラー（13）→対物レンズ
（14）を介してガラス原盤（15）上に塗布したフォトレ
ジスト（16）を露光させて、ピットを形成することでマ
スター盤が構成される。このマスター盤を基にニッケル
電鋳したスタンパーからインジェクションでビデオディ
スクが複製される。
加え、媒質（例えばTeガラス）中に音速ｖ、波長Λの疎
密波を発生させ、これを回析格子として波長λの光ビー
ムを作用させると光はブラッグ反射を起す。この反射回
析光は媒質を駆動する電圧に変化するのでこの電圧を振
幅変調すると変調されたレーザビームを得ることが出来
る様に成されている。この為に、このAOM（８）はアル
ゴンサーザ或はHe−Cdレーザ等のレーザ源（１）からの
出射光路中に置かれる。レーザ源（１）からの出射光は
電気光学効果光変調器（以下EOMと記す）（２）に供給
される。このEOM（２）はKH2PO4（KDP）やNH4H2PO4（AD
P）等の単軸結晶であり、この単軸結晶に電界を供給す
ると結晶の内を進む二つの直線偏波面間に電界強度に比
例した位相速度の差を生ずるので、この結晶に直線偏波
光を入射させれば印加された電界に応じた楕円偏光とな
るので、この結晶の後方にアナライザ（３）を配設する
ことで振幅変調されたレーザ光を得ることが出来る。こ
の振幅変調されたレーザ光は第１のビームスプリッタ
（以下BS1と記す）（４）に導かれる。BS1（４）の後方
にはフォトダイオードの如き第１の光検出器（以下PD1
と記す）（５）が配されBS1（４）を通過した光を受光
し、電気信号に変換し、APC（自動電力制御回路）
（６）を介してPD1の通過光量が例えば、一定量となる
様にEOM（２）の電界を制御する様に成されている。BS1
（４）で反射されたレーザ光はレンズ（７）及びレンズ
（９）間に配されたAOM（８）を通して情報信号が変調
され第２のビームスプリッタ（以下BS2と記す）（10）
に入射される。BS2（10）で反射されたレーザ光はレン
ズ（11）→λ/4板（12）→ミラー（13）→対物レンズ
（14）を介してガラス原盤（15）上に塗布したフォトレ
ジスト（16）を露光させて、ピットを形成することでマ
スター盤が構成される。このマスター盤を基にニッケル
電鋳したスタンパーからインジェクションでビデオディ
スクが複製される。
尚（17）はガラス原盤（15）を載置して回転させるタ
ーンテーブル、（18）は駆動モータであり、ガラス原盤
（15）は図示されていないが送り台によってガラス原盤
（15）の輻方向に送りモータによって移動出来る様に成
されている。
ーンテーブル、（18）は駆動モータであり、ガラス原盤
（15）は図示されていないが送り台によってガラス原盤
（15）の輻方向に送りモータによって移動出来る様に成
されている。
Ｄ 発明が解決しようとする課題 上述した従来のカッテングマシンに於いてカッテング
時のレーザ源（１）から出射されるカッテングパワーは
カッテングされるディスクCLV（Constant Linear Veloc
ity）であれば、その線速に応じて一定のパワーを維持
する様に、又、CAV（Constant Angular Velocity）のも
のでは外周に向かうにつれてパワーが上昇する様にAPC
（６）をコントロールしていた。
時のレーザ源（１）から出射されるカッテングパワーは
カッテングされるディスクCLV（Constant Linear Veloc
ity）であれば、その線速に応じて一定のパワーを維持
する様に、又、CAV（Constant Angular Velocity）のも
のでは外周に向かうにつれてパワーが上昇する様にAPC
（６）をコントロールしていた。
即ち、レーザ源（１）からの出射光がAOM（８）でオ
ン，オフ変調を受ける前に調整されている。この為にレ
ーザ源（１）からの出射光がAOM（８）を通る際にAOM
（８）の温度特性等によって経時的又は環境要因により
更には設定条件により、微小変化し、実際に原盤（15）
上に形成されるピットの一様性が損われる問題があっ
た。
ン，オフ変調を受ける前に調整されている。この為にレ
ーザ源（１）からの出射光がAOM（８）を通る際にAOM
（８）の温度特性等によって経時的又は環境要因により
更には設定条件により、微小変化し、実際に原盤（15）
上に形成されるピットの一様性が損われる問題があっ
た。
更に従来のカッテングマシンは混合回路（24）で混合
されリミッタ（21）で振幅制限された方形波、即ち、映
像FM波形信号が音声FM波形信号によってPWMを受けた方
形波の繰返し同波数が映像信号を表わす。これをピット
列でみれば映像FM変調信号の周波数が高くなるほど、ピ
ット長は短くなりピット間の間隔も狭くなって記録され
る。この方形波の１サイクルの時間Ｔに対する方形波パ
ルス幅Ｗの比W/T（デューティー比）即ち、“オン”
“オフ”比はリミッタ（21）の最終出力をスペクトルア
ナライザ（20）で観測し、ここで主搬送波の二次高調波
成分を最小にする様に調整している。所がAOM（８）の
非線型特性等でAOM（８）の出力を最適状態にしても、
必ずしも、“オン”“オフ”変調されたレーザのディー
ティ比が最適とはならずピットデューティを狂わせる問
題があった。
されリミッタ（21）で振幅制限された方形波、即ち、映
像FM波形信号が音声FM波形信号によってPWMを受けた方
形波の繰返し同波数が映像信号を表わす。これをピット
列でみれば映像FM変調信号の周波数が高くなるほど、ピ
ット長は短くなりピット間の間隔も狭くなって記録され
る。この方形波の１サイクルの時間Ｔに対する方形波パ
ルス幅Ｗの比W/T（デューティー比）即ち、“オン”
“オフ”比はリミッタ（21）の最終出力をスペクトルア
ナライザ（20）で観測し、ここで主搬送波の二次高調波
成分を最小にする様に調整している。所がAOM（８）の
非線型特性等でAOM（８）の出力を最適状態にしても、
必ずしも、“オン”“オフ”変調されたレーザのディー
ティ比が最適とはならずピットデューティを狂わせる問
題があった。
本発明は叙上の問題点を解決するために成されたもの
で、その目的とするところはAOM（８）にバラツキ，温
度特性，経時変化があってもこれを補償する様にレーザ
源（１）のパワー制御を行なう様にし、常に均一で安定
したカッテングを行なう様にしたものである。
で、その目的とするところはAOM（８）にバラツキ，温
度特性，経時変化があってもこれを補償する様にレーザ
源（１）のパワー制御を行なう様にし、常に均一で安定
したカッテングを行なう様にしたものである。
本発明の第２の目的はカッテングビームの“オン”
“オフ”状態でのデューティを制御して形成されるビッ
トデューティを安定に最適状態に維持させる様にしたも
のである。
“オフ”状態でのデューティを制御して形成されるビッ
トデューティを安定に最適状態に維持させる様にしたも
のである。
Ｅ 課題を解決するための手段 本発明は、記録用のレーザ光を発生するレーザ源
（１）と、このレーザ源（１）から出射されたレーザ光
を信号源から出力される映像FM波信号と音声信号とに基
づくパルス幅変調された方形波信号によって変調する光
変調手段（８）と、この光変調手段（８）によって変調
された記録用のレーザ光を原盤（15）に照射し、原盤
（15）からの戻り光を受光する光検出器（38a）を有す
る光学系（10）〜（14）と、光変調手段（８）への信号
源（35）〜（37）からの映像FM波信号と音声信号との供
給を停止した状態で光検出器（38a）からの出力信号に
基づいて信号源（35）〜（37）からの映像FM波信号の主
搬送波の２次高調波成分が最小になるように信号源のオ
フセット値を調整する調整手段（20）（44）〜（46）と
を備えていることを特徴とするカッテングマシンとした
ものである。
（１）と、このレーザ源（１）から出射されたレーザ光
を信号源から出力される映像FM波信号と音声信号とに基
づくパルス幅変調された方形波信号によって変調する光
変調手段（８）と、この光変調手段（８）によって変調
された記録用のレーザ光を原盤（15）に照射し、原盤
（15）からの戻り光を受光する光検出器（38a）を有す
る光学系（10）〜（14）と、光変調手段（８）への信号
源（35）〜（37）からの映像FM波信号と音声信号との供
給を停止した状態で光検出器（38a）からの出力信号に
基づいて信号源（35）〜（37）からの映像FM波信号の主
搬送波の２次高調波成分が最小になるように信号源のオ
フセット値を調整する調整手段（20）（44）〜（46）と
を備えていることを特徴とするカッテングマシンとした
ものである。
Ｆ 作用 本発明のカッテングマシンは光検出器からの出力信号
により、カッテングビームの“オン”“オフ”状態でデ
ューティを制御しビットデューティを安定に維持する様
に調整することが出来る様になされる。
により、カッテングビームの“オン”“オフ”状態でデ
ューティを制御しビットデューティを安定に維持する様
に調整することが出来る様になされる。
Ｇ 実施例 以下図面を参照しながら本発明のカッテングマシンの
実施例を説明する。
実施例を説明する。
G1第１の実施例（第１図） 以下、本発明のカッテングマシンの一実施例を第１図
について説明する。尚この第１図に於いて、第９図との
対応部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
について説明する。尚この第１図に於いて、第９図との
対応部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
第１図でカッテング信号系路の符号（19）乃至（29）
及び（34）乃至（37）並にカッテングマシン光学系路の
符号（１）乃至（４）と（７）乃至（18）で示される部
分は第９図と同様の構成である。
及び（34）乃至（37）並にカッテングマシン光学系路の
符号（１）乃至（４）と（７）乃至（18）で示される部
分は第９図と同様の構成である。
本例に於いてはカッテングに供される“オン”“オ
フ”変調されたレーザ光を反射又は透過させるBS2の透
過光を受光する第２の光検出器（以下PD2と記す）（3
8）を設ける。
フ”変調されたレーザ光を反射又は透過させるBS2の透
過光を受光する第２の光検出器（以下PD2と記す）（3
8）を設ける。
上述のPD2の出力信号は電気信号に変換され、LPF（3
9）に供給される。このLPF（39）は“オン”“オフ”変
調された矩形波信号成分を平均化し、レーザ光のカッテ
ングパワーを表す様に成す。LPF（39）の出力端子は差
動アンプ（41）の逆相入力端子に接続される。この差動
アンプ（41）の正相入力端子には基準信号発生器（40）
の出力端子が接続される。この基準信号発生器（40）か
らはパワー指示値,CAV/CLVの区別等が差動アンプ（41）
に与えられる。
9）に供給される。このLPF（39）は“オン”“オフ”変
調された矩形波信号成分を平均化し、レーザ光のカッテ
ングパワーを表す様に成す。LPF（39）の出力端子は差
動アンプ（41）の逆相入力端子に接続される。この差動
アンプ（41）の正相入力端子には基準信号発生器（40）
の出力端子が接続される。この基準信号発生器（40）か
らはパワー指示値,CAV/CLVの区別等が差動アンプ（41）
に与えられる。
差動アンプ（41）ではこの指示値と、LPF（39）から
のカッテングレーザビームのパワーの変動出力信号との
差がとられ、その誤差信号が得られる端子はループフィ
ルタ（42）に接続され、ループフィルター（42）の出力
端はドライバー（43）に接続され、ドライバー（43）の
出力端はEOM（２）の電界を変化させる結晶端子に供給
されてEOM（２）の光量調整が行なわれる。尚、このEOM
（２）とアナライザ（３）の組合せによる光量調整手段
はAOMでもよいことは明らかである。
のカッテングレーザビームのパワーの変動出力信号との
差がとられ、その誤差信号が得られる端子はループフィ
ルタ（42）に接続され、ループフィルター（42）の出力
端はドライバー（43）に接続され、ドライバー（43）の
出力端はEOM（２）の電界を変化させる結晶端子に供給
されてEOM（２）の光量調整が行なわれる。尚、このEOM
（２）とアナライザ（３）の組合せによる光量調整手段
はAOMでもよいことは明らかである。
上述の構成に於けるカッテングマシンの動作を説明す
る。
る。
レーザ源（１）からのレーザ光はEOM（２）とアナラ
イザ（３）を介してBS1（４）に入射しその一部は反射
される。BS1（４）で反射されたレーザ光はレンズ
（７）を介してAOM（８）に導かれる。
イザ（３）を介してBS1（４）に入射しその一部は反射
される。BS1（４）で反射されたレーザ光はレンズ
（７）を介してAOM（８）に導かれる。
一方、カッテングすべき映像信号及び第１及び第２の
音声信号はVTR（35）やテープレコーダ（36）（37）等
のソースから夫々のスイッチ（28）（29）（34）とモジ
ュレータ（25）（26）並にエンコーダ（27）を介しFM変
調或はPCM変調されて混合回路（24）で混合され、スペ
クトルアナライザ（20）を観測し、差動アンプ（22）の
可変抵抗器（23）を調整して主搬送波の二次高周波を最
小にする様にオフセット調整し、リミッタ（21）で振幅
制限した出力信号をAOMドライバー（19）に供給しAOM
（８）に供給されるのでレーザ源（１）からのレーザ光
は映像FM波信号が音声FM波信号によってPWMされた方形
波信号で“オン”“オフ”変調される。この変調レーザ
光はレンズ（９）を介してBS2（10）に導かれ、このBS2
（10）によって反射及び透過光に分割される。BS2（1
0）で反射され、“オン”“オフ”変調されたレーザ光
はレンズ（11）→λ/4板（12）→ミラー（13）→対物レ
ンズ（14）を通じて原盤（15）上のフォトレジスト（1
6）をカッテング信号に応じて露光する。BS2（10）を透
過したレーザ光はPD2に導かれ実際にカッテングに供さ
れる“オン”“オフ”変調されたレーザ光がPD2（38）
で電気信号に変換される。
音声信号はVTR（35）やテープレコーダ（36）（37）等
のソースから夫々のスイッチ（28）（29）（34）とモジ
ュレータ（25）（26）並にエンコーダ（27）を介しFM変
調或はPCM変調されて混合回路（24）で混合され、スペ
クトルアナライザ（20）を観測し、差動アンプ（22）の
可変抵抗器（23）を調整して主搬送波の二次高周波を最
小にする様にオフセット調整し、リミッタ（21）で振幅
制限した出力信号をAOMドライバー（19）に供給しAOM
（８）に供給されるのでレーザ源（１）からのレーザ光
は映像FM波信号が音声FM波信号によってPWMされた方形
波信号で“オン”“オフ”変調される。この変調レーザ
光はレンズ（９）を介してBS2（10）に導かれ、このBS2
（10）によって反射及び透過光に分割される。BS2（1
0）で反射され、“オン”“オフ”変調されたレーザ光
はレンズ（11）→λ/4板（12）→ミラー（13）→対物レ
ンズ（14）を通じて原盤（15）上のフォトレジスト（1
6）をカッテング信号に応じて露光する。BS2（10）を透
過したレーザ光はPD2に導かれ実際にカッテングに供さ
れる“オン”“オフ”変調されたレーザ光がPD2（38）
で電気信号に変換される。
電気信号に変換されたPD2（38）の出力は略“オン”
“オフ”状の矩形波であるが、AOM（８）又はEOMの消光
比が悪ければそれが“オフ”部分に表われ、OM（８）の
線形性がくずれていれば、その状態も出力に表れてく
る。又、AOM（８）の温度特性等により変換効率が変化
すれば、実際のカッテングパワーも影響を受けPD2（3
8）の信号振幅にも変化が表れる。この様にPD2（38）の
出力は実際のカッテングビームの様子を正確に表わして
いる。この様なPD2（38）の出力はLPF（39）によって信
号成分が平滑化され、カッテングビームのパワー変動が
LPF（39）の出力に得られる。この出力を従来のPD
1（５）の出力の代りに用いる。レーザ源（１）のパワ
ー制御系の指示値は基準信号発生器（40）からパワーの
設定値,CAV/CLVの区別,CAVの場合は半径位置,CLVの場合
は線速が設定され、この基準設定値とLPF（39）の出力
差が差動アンプ（41）の出力に誤差出力として得られ、
ループフィルタ（42）とドライバー（43）を介してEOM
（２）の印加電圧を変化させる。印加電圧によってEOM
（２）の透過光の偏光角が回転し、EOM（２）の出力側
に配設したアナライザ（３）によって光量調整が成され
る。
“オフ”状の矩形波であるが、AOM（８）又はEOMの消光
比が悪ければそれが“オフ”部分に表われ、OM（８）の
線形性がくずれていれば、その状態も出力に表れてく
る。又、AOM（８）の温度特性等により変換効率が変化
すれば、実際のカッテングパワーも影響を受けPD2（3
8）の信号振幅にも変化が表れる。この様にPD2（38）の
出力は実際のカッテングビームの様子を正確に表わして
いる。この様なPD2（38）の出力はLPF（39）によって信
号成分が平滑化され、カッテングビームのパワー変動が
LPF（39）の出力に得られる。この出力を従来のPD
1（５）の出力の代りに用いる。レーザ源（１）のパワ
ー制御系の指示値は基準信号発生器（40）からパワーの
設定値,CAV/CLVの区別,CAVの場合は半径位置,CLVの場合
は線速が設定され、この基準設定値とLPF（39）の出力
差が差動アンプ（41）の出力に誤差出力として得られ、
ループフィルタ（42）とドライバー（43）を介してEOM
（２）の印加電圧を変化させる。印加電圧によってEOM
（２）の透過光の偏光角が回転し、EOM（２）の出力側
に配設したアナライザ（３）によって光量調整が成され
る。
本例では上述の様に動作させたので実際にカッテング
に供給されるレーザビームを抽出し、そのパワーが所定
の値に設定される様に制御したので、例えば、AOM
（８）に温度特性で変換効率の変化があってもレーザ源
（１）からの入力光量を変化させることでこれを補償
し、常にカッテングレーザビームのパワーを所定の値に
保つことが出来て、安定なカッテングを行なうことが出
来る。
に供給されるレーザビームを抽出し、そのパワーが所定
の値に設定される様に制御したので、例えば、AOM
（８）に温度特性で変換効率の変化があってもレーザ源
（１）からの入力光量を変化させることでこれを補償
し、常にカッテングレーザビームのパワーを所定の値に
保つことが出来て、安定なカッテングを行なうことが出
来る。
G2第２の実施例（第２図） 第２図は第１図と同様にカッテングパワーを制御する
方法を説明するためのカッテングマシンの系統図を示す
ものである。
方法を説明するためのカッテングマシンの系統図を示す
ものである。
第２図で第１図との対応部分には同一符号を付して示
し重複説明を省略する。
し重複説明を省略する。
第２図ではBS2（10）で反射されたカッテングに供さ
れるレーザ源（１）からの“オン”“オフ”されたレー
ザビームは原盤（15）のフォトレジスト（16）面で反射
され、対物レンズ（12）→ミラー（13）→λ/4板（12）
→レンズ（11）→BS2（10）の光路でBS2（10）を透過し
て得られる反射光を第３の光検出器（以下PD3と記す）
（38a）で受光する様に構成させる。このPD3（38a）の
出力端は第１図で説明したと同様のPD3（38a）の出力信
号成分を平滑化してカッテングレーザビームの戻りの光
のパワーエネルギーを表わす様にしたLPF（39a）を設
け、このLPF（39a）の出力端子を差動アンプ（41）の逆
相入力端子に接続させたものであり、差動アンプ（41）
の正相入力端子には基準信号発生器（40）からの基準値
が指示される様に接続され、これらの誤差信号がループ
フィルタ（42）とドライバー（43）を介してEOM（２）
に供給される様に成されている。
れるレーザ源（１）からの“オン”“オフ”されたレー
ザビームは原盤（15）のフォトレジスト（16）面で反射
され、対物レンズ（12）→ミラー（13）→λ/4板（12）
→レンズ（11）→BS2（10）の光路でBS2（10）を透過し
て得られる反射光を第３の光検出器（以下PD3と記す）
（38a）で受光する様に構成させる。このPD3（38a）の
出力端は第１図で説明したと同様のPD3（38a）の出力信
号成分を平滑化してカッテングレーザビームの戻りの光
のパワーエネルギーを表わす様にしたLPF（39a）を設
け、このLPF（39a）の出力端子を差動アンプ（41）の逆
相入力端子に接続させたものであり、差動アンプ（41）
の正相入力端子には基準信号発生器（40）からの基準値
が指示される様に接続され、これらの誤差信号がループ
フィルタ（42）とドライバー（43）を介してEOM（２）
に供給される様に成されている。
この様な構成によればPD3（38a）に得られるカッテン
グに供されるビームはフォトレジスト（16）面で反射さ
れたものであるから、更にフォトレジスト（16）表面の
各種情報を含んでいて、よりカッテング時のビームパワ
ーに近い値のものが得られることになる。
グに供されるビームはフォトレジスト（16）面で反射さ
れたものであるから、更にフォトレジスト（16）表面の
各種情報を含んでいて、よりカッテング時のビームパワ
ーに近い値のものが得られることになる。
G3第３の実施例（第３図） 第３図はAOM（８）に供給するソース信号のピットデ
ューティ制御を行なう為のカッテングマシンの系統図を
示すものである。第３図で第１図及び第２図並に第９図
との対応部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。
ューティ制御を行なう為のカッテングマシンの系統図を
示すものである。第３図で第１図及び第２図並に第９図
との対応部分には同一符号を付して重複説明を省略す
る。
第３図でカッテングマシン光学系の符号（１）乃至
（18）は第９図と同一構成である。
（18）は第９図と同一構成である。
第３図でBS2（10）を透過したカッテングに供される
“オン”“オフ”変調されたビームはPD2（38）に受光
される。PD2（38）の出力端はスペクトルアナライザ（2
0）に接続され、スペクトルアナライザ（20）の出力端
はマイクロコンピュータ（以下CPU2と記す）（45）に接
続されている。CPU2（45）はカッテング用のマイクロコ
ンピュータ（以下CPU1と記す）（46）とデータ受授が行
なわれる。CPU2（45）の出力端はバスラインを介して制
御回路（44）に接続されると共にスイッチ群（28）（2
9）（34）（47）（48）を制御する。制御回路（44）の
出力端はカッテング信号系に配したオフセット調整用の
差動アンプ（22）の逆相入力端子に接続されている。
“オン”“オフ”変調されたビームはPD2（38）に受光
される。PD2（38）の出力端はスペクトルアナライザ（2
0）に接続され、スペクトルアナライザ（20）の出力端
はマイクロコンピュータ（以下CPU2と記す）（45）に接
続されている。CPU2（45）はカッテング用のマイクロコ
ンピュータ（以下CPU1と記す）（46）とデータ受授が行
なわれる。CPU2（45）の出力端はバスラインを介して制
御回路（44）に接続されると共にスイッチ群（28）（2
9）（34）（47）（48）を制御する。制御回路（44）の
出力端はカッテング信号系に配したオフセット調整用の
差動アンプ（22）の逆相入力端子に接続されている。
一方ソース源であるデジタル音声信号とアナログ音声
信号源のテープレコーダ（37）及び（36）の出力端は例
えば夫々スイッチ（34）と（47）並にスイッチ（29）と
（48）が直列接続され、その出力端がEFMエンコーダ（2
7）とオーデオモジュレータ（26）に接続されている。
他のカッテング信号経路の構成はスペクトルアナライザ
（20）がPD2（38）の出力端に接続されている以外第１
図及び第２図と同一構成である。
信号源のテープレコーダ（37）及び（36）の出力端は例
えば夫々スイッチ（34）と（47）並にスイッチ（29）と
（48）が直列接続され、その出力端がEFMエンコーダ（2
7）とオーデオモジュレータ（26）に接続されている。
他のカッテング信号経路の構成はスペクトルアナライザ
（20）がPD2（38）の出力端に接続されている以外第１
図及び第２図と同一構成である。
上述の構成に於ける動作を説明する。
PD2（38）の出力はスペクトルアナライザ（20）に接
続されているので、このスペクトルアナライザ（20）に
よって映像信号中の主搬送波と２次高調波が測定出来る
様に成されている。この主搬送波と２次高調波の比が測
定されてCPU2（45）に供給される。
続されているので、このスペクトルアナライザ（20）に
よって映像信号中の主搬送波と２次高調波が測定出来る
様に成されている。この主搬送波と２次高調波の比が測
定されてCPU2（45）に供給される。
カッテング用のCPU1（46）とCPU2（45）とはバスライ
ンを介してデータの受授が行なわれているのでCPU2（4
5）からはカッテング開始前に例えば、スイッチ群（2
8）（29）（34）を“オフ”状態にしてVTR（35）から映
像信号がビデオモジュレータ（25）に供給されない無変
調状態にし、スペクトルアナライザ（20）で測定が行な
われる。CPU2（45）からは制御回路（44）を介してオフ
セット調整用の差動アンプ（22）に制御信号が供給され
ているのでスペクトルアナライザ（20）で測定を行ない
ながら２次高調波が最小になる様にオフセットが自動調
整される。勿論オフセットの極端なずれは搬送波間の相
互干渉を増加させるので調整範囲は微小量に限定する必
要がある。
ンを介してデータの受授が行なわれているのでCPU2（4
5）からはカッテング開始前に例えば、スイッチ群（2
8）（29）（34）を“オフ”状態にしてVTR（35）から映
像信号がビデオモジュレータ（25）に供給されない無変
調状態にし、スペクトルアナライザ（20）で測定が行な
われる。CPU2（45）からは制御回路（44）を介してオフ
セット調整用の差動アンプ（22）に制御信号が供給され
ているのでスペクトルアナライザ（20）で測定を行ない
ながら２次高調波が最小になる様にオフセットが自動調
整される。勿論オフセットの極端なずれは搬送波間の相
互干渉を増加させるので調整範囲は微小量に限定する必
要がある。
本例によれば“オン”“オフ”変調された後のビーム
でピットデューティを制御出来るのでAOM（８）の特性
を合せて補償が行なわれ、ピットデューティを常に安定
に最適状態に保持出来るのでピットデューティずれで生
ずる各搬送波間の干渉増加によるモアレの発生等の品質
劣化を防ぐことが出来るカッテングマシンが得られる。
でピットデューティを制御出来るのでAOM（８）の特性
を合せて補償が行なわれ、ピットデューティを常に安定
に最適状態に保持出来るのでピットデューティずれで生
ずる各搬送波間の干渉増加によるモアレの発生等の品質
劣化を防ぐことが出来るカッテングマシンが得られる。
G4第４の実施例（第４図） 第４図は第３図と同様にピットデューティ制御を行な
うためのカッテングマシンの系統図を示すものである。
うためのカッテングマシンの系統図を示すものである。
第４図で第３図との対応部分には同一符号を付し重複
説明を省略する。
説明を省略する。
第４図では第２図で説明したと同様にBS2（10）で反
射され、カッテングに供されるレーザ源（１）からのレ
ーザビームはレジスト（16）面で反射され往光路と逆の
戻り光路を通ってBS2（10）を透過した透過光をPD3（38
a）で受光し、この受光出力をスペクトルアナライザ（2
0）に供給する様にしたものである。
射され、カッテングに供されるレーザ源（１）からのレ
ーザビームはレジスト（16）面で反射され往光路と逆の
戻り光路を通ってBS2（10）を透過した透過光をPD3（38
a）で受光し、この受光出力をスペクトルアナライザ（2
0）に供給する様にしたものである。
本例の構成によれば“オン”“オフ”変調され、原盤
（15）のフォトレジスト（16）表面で反射した反射光で
ピットデューティ制御が出来るのでAOM（８）及び原盤
（15）上のフォトレジスト（16）露光時の特性を合せた
補償が出来てピントデューティをよりカッテング特性に
近い型で管理し得る。
（15）のフォトレジスト（16）表面で反射した反射光で
ピットデューティ制御が出来るのでAOM（８）及び原盤
（15）上のフォトレジスト（16）露光時の特性を合せた
補償が出来てピントデューティをよりカッテング特性に
近い型で管理し得る。
G5第５及び第６の実施例（第５図及び第６図） 第５図及び第６図は第３図及び第４図と同様にピット
デューティ制御を行うためのカッテングマシンの系統図
を示すものであり、PD2（38）又は（38a）の出力をLPF
（39）又は（39a）に供給し、LPF（39）又は（39a）の
出力を用いてピットデューティ調整を行なう様にしたも
のであり、他の構成は第３図及び第４図と同一である。
デューティ制御を行うためのカッテングマシンの系統図
を示すものであり、PD2（38）又は（38a）の出力をLPF
（39）又は（39a）に供給し、LPF（39）又は（39a）の
出力を用いてピットデューティ調整を行なう様にしたも
のであり、他の構成は第３図及び第４図と同一である。
この構成の場合は予めスペクトルアナライザ（20）を
用いて、LPF（39）又は（39a）の出力が光“オン”状態
が連続する時の何％の値になれば２次高調波が最小にな
るかを調べておき、その既知の値になる様に調整する様
にしたもので、この調整はCPU2（45）で自動調整しても
よいし、手動調整してもよい。
用いて、LPF（39）又は（39a）の出力が光“オン”状態
が連続する時の何％の値になれば２次高調波が最小にな
るかを調べておき、その既知の値になる様に調整する様
にしたもので、この調整はCPU2（45）で自動調整しても
よいし、手動調整してもよい。
更にLPF（39）又は（39a）の出力を上記した所定の値
ではなく、所望のピットデューティを得るために意図的
にずらす様にしてもよい。
ではなく、所望のピットデューティを得るために意図的
にずらす様にしてもよい。
この様な構成でもピットデューティを安定に且つ最適
状態で管理し得る。
状態で管理し得る。
G6第７の実施例 第７図は第１図に示したPD2（38）を用いてカッテン
グパワーを制御すると共に、第３図に示すピットデュー
ティ制御を行なう系路を組合せたカッテングマシンの系
統図を示すものであり、これらの動作は第１図と第３で
説明したと同様であるのでその説明は省略する。
グパワーを制御すると共に、第３図に示すピットデュー
ティ制御を行なう系路を組合せたカッテングマシンの系
統図を示すものであり、これらの動作は第１図と第３で
説明したと同様であるのでその説明は省略する。
第７図と同様に第２図で示したPD3（38a）と第４図で
示した構成を組合せることも、又第１図と第５図並に第
２図と第６図を組合せることも出来る。更にPD2（34）
とPD3（38a）を用いて、第１図と第４図或は第１図と第
６図並に第２図と第３図或は第２図と第５図とを組合せ
ることも出来る。
示した構成を組合せることも、又第１図と第５図並に第
２図と第６図を組合せることも出来る。更にPD2（34）
とPD3（38a）を用いて、第１図と第４図或は第１図と第
６図並に第２図と第３図或は第２図と第５図とを組合せ
ることも出来る。
これらの構成によればパワー制御及びピットデューテ
ィ制御を同時に行なうことが出来る。
ィ制御を同時に行なうことが出来る。
Ｈ 発明の効果 本発明のカッテングマシンによればAOMにバラツキが
あり、温度特性や経時変化があっても、これを補償する
様にパワー制御が働き、常に均一で安定したカッテング
を行なうことが出来る。更に本発明によれば、カッテン
グを行なう“オン”“オフ”変調ビームでピットデュー
ティの管理が出来るのでカッテングされるピットデュー
ティを常に安定した最適状態に維持させることが出来
る。
あり、温度特性や経時変化があっても、これを補償する
様にパワー制御が働き、常に均一で安定したカッテング
を行なうことが出来る。更に本発明によれば、カッテン
グを行なう“オン”“オフ”変調ビームでピットデュー
ティの管理が出来るのでカッテングされるピットデュー
ティを常に安定した最適状態に維持させることが出来
る。
第１図は本発明のカッテングマシンの一実施例を示す系
統図、第２図乃至第７図は本発明のカッテングマシンの
他の実施例を示す系統図、第８図はビデオディスクの周
波数アロケーション、第９図は従来のカッテングマシン
の系統図である。 （１）はレーザ源、（２）はEOM、（４）及び（10）はB
S1及びBS2、（８）はAOM、（15）は原盤、（20）はスペ
クトルアナライザ、（22）は差動アンプ、（30）及び
（38a）はPD2及びPD3、（39）はLPF、（44）は制御回
路、（45）はCPU2である。
統図、第２図乃至第７図は本発明のカッテングマシンの
他の実施例を示す系統図、第８図はビデオディスクの周
波数アロケーション、第９図は従来のカッテングマシン
の系統図である。 （１）はレーザ源、（２）はEOM、（４）及び（10）はB
S1及びBS2、（８）はAOM、（15）は原盤、（20）はスペ
クトルアナライザ、（22）は差動アンプ、（30）及び
（38a）はPD2及びPD3、（39）はLPF、（44）は制御回
路、（45）はCPU2である。
Claims (1)
- 【請求項１】記録用のレーザ光を発生するレーザ源と、 上記レーザ源から出射されたレーザ光を信号源から出力
される映像FM波信号と音声信号に基づくパルス幅変調さ
れた方形波信号によって変調する光変調手段と、 上記光変調手段によって変調された記録用のレーザ光を
原盤に照射し、上記原盤からの戻り光を受光する光検出
器を有する光学系と、 上記光変調手段への上記信号源からの上記映像FM波信号
と音声信号との供給を停止した状態で上記光検出器から
の出力信号に基づいて上記信号源からの映像FM波信号の
主搬送波の２次高調波成分が最小になるように上記信号
源のオフセット値を調整する調整手段とを備えているこ
とを特徴とするカッテングマシン。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1221019A JP2984004B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | カッテングマシン |
| AU61160/90A AU636905B2 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-21 | Cutting apparatus for an optical disc |
| US07/571,152 US5084856A (en) | 1989-08-28 | 1990-08-23 | Cutting apparatus for an optical disc |
| DE69027073T DE69027073T2 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum Gravieren auf eine optische Platte |
| AT94110769T ATE197744T1 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum gravieren einer optischen platte |
| AT90116269T ATE138489T1 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum gravieren auf eine optische platte |
| EP94110769A EP0626680B1 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Apparatus for cutting an optical disc |
| DE69033665T DE69033665T2 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum Gravieren einer optischen Platte |
| EP90116269A EP0415289B1 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Cutting apparatus for an optical disc |
| KR1019900013253A KR0176708B1 (ko) | 1989-08-28 | 1990-08-28 | 광디스크용 컷팅장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1221019A JP2984004B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | カッテングマシン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0384753A JPH0384753A (ja) | 1991-04-10 |
| JP2984004B2 true JP2984004B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=16760211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1221019A Expired - Fee Related JP2984004B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | カッテングマシン |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5084856A (ja) |
| EP (2) | EP0626680B1 (ja) |
| JP (1) | JP2984004B2 (ja) |
| KR (1) | KR0176708B1 (ja) |
| AT (2) | ATE138489T1 (ja) |
| AU (1) | AU636905B2 (ja) |
| DE (2) | DE69033665T2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2798185B2 (ja) * | 1990-07-26 | 1998-09-17 | キヤノン株式会社 | 光磁気式情報再生装置用光学ヘッド |
| JPH0612833A (ja) * | 1992-06-29 | 1994-01-21 | Sony Corp | マスタリング装置 |
| US5606541A (en) * | 1992-11-13 | 1997-02-25 | International Business Machines Corporation | Switchable filter for modulating laser intensity and reducing laser feedback in an optical disk device |
| DE4402192A1 (de) * | 1994-01-26 | 1995-07-27 | Witco Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Biscyclopentadienyl-Verbindungen |
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