JPH0384753A - カッテングマシン - Google Patents
カッテングマシンInfo
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- JPH0384753A JPH0384753A JP1221019A JP22101989A JPH0384753A JP H0384753 A JPH0384753 A JP H0384753A JP 1221019 A JP1221019 A JP 1221019A JP 22101989 A JP22101989 A JP 22101989A JP H0384753 A JPH0384753 A JP H0384753A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/125—Optical beam sources therefor, e.g. laser control circuitry specially adapted for optical storage devices; Modulators, e.g. means for controlling the size or intensity of optical spots or optical traces
- G11B7/126—Circuits, methods or arrangements for laser control or stabilisation
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- G—PHYSICS
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- G11B7/004—Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
- G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
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- Manufacture Or Reproduction Of Printing Formes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
以下の順序で本発明を説明する。
Ａ 産業上の利用分野
Ｂ 発明の概要
Ｃ従来の技術
Ｄ 発明が解決しようとする課題
Ｅ 課題を解決するための手段
Ｆ 作用
Ｇ 実施例
Ｇ＋第１の実施例（第１図）
Ｇ２第２の実施例（第２図）
Ｈ
Ｇ、第３の実施例（第３図）
Ｇ４第４の実施例（第４図）
Ｇ５第５及び第６の実施例（第５図及び第６図）Ｇ、第
７の実施例（第７図） 発明の効果 Ａ 産業上の利用分野 本発明はレーザ源を用いてビデオディスクのマスター盤
を得るためのカッテングマシンに関する。
７の実施例（第７図） 発明の効果 Ａ 産業上の利用分野 本発明はレーザ源を用いてビデオディスクのマスター盤
を得るためのカッテングマシンに関する。
Ｂ 発明の概要
本発明はレーザ源を用いてビデオディスクのマスター盤
を得るためのカンテングマシンに関し、第１の発明では
映像ＦＭ波信号が音声ＦＭ波信号によってパルス幅変調
された方形波出力信号によリレーザ源からの記録用レー
ザ光を“オン”オフ”させ原盤上に露光ピットを形成さ
せる様にしたカッテングマシンに於いて、原盤上に照射
される光を受光する光検出器又は原盤上からの反射光を
受光する光検出器と、この光検出器からの電気信号出力
を平均化する低域通過濾波器とを具備し、低域通過濾波
器からのモニタ出力によってレーザ源からの出力光強度
を制御する様にし音響光学効果又は電気光学効果光変調
器のバラツキを補償し、常に均一なパワーでカッテング
を行う様にしたものであり、第２の発明では映像ＦＭ波
信号が音声ＦＭ波信号によってパルス幅変調された方形
波出力信号によりレーザ源からの記録用レーザ光を“オ
ン”“オフ”させ原盤上に露光ピットを形成させる様に
したカッテングマシンに於いて、原盤上に照射される光
を受光する光検出器又はこの原盤上からの反射光を受光
する光検出器を具備し、これら光検出器からの電気信号
出力中のＦＭ映像搬送波信号中の主搬送波の２次高調波
戒分が最小になる様にソース変調系路のオフセットを調
整することでカッテング状態でデユーティ管理を自動的
に行なってビットの安定な最適状態を維持させる様にし
たものである。
を得るためのカンテングマシンに関し、第１の発明では
映像ＦＭ波信号が音声ＦＭ波信号によってパルス幅変調
された方形波出力信号によリレーザ源からの記録用レー
ザ光を“オン”オフ”させ原盤上に露光ピットを形成さ
せる様にしたカッテングマシンに於いて、原盤上に照射
される光を受光する光検出器又は原盤上からの反射光を
受光する光検出器と、この光検出器からの電気信号出力
を平均化する低域通過濾波器とを具備し、低域通過濾波
器からのモニタ出力によってレーザ源からの出力光強度
を制御する様にし音響光学効果又は電気光学効果光変調
器のバラツキを補償し、常に均一なパワーでカッテング
を行う様にしたものであり、第２の発明では映像ＦＭ波
信号が音声ＦＭ波信号によってパルス幅変調された方形
波出力信号によりレーザ源からの記録用レーザ光を“オ
ン”“オフ”させ原盤上に露光ピットを形成させる様に
したカッテングマシンに於いて、原盤上に照射される光
を受光する光検出器又はこの原盤上からの反射光を受光
する光検出器を具備し、これら光検出器からの電気信号
出力中のＦＭ映像搬送波信号中の主搬送波の２次高調波
戒分が最小になる様にソース変調系路のオフセットを調
整することでカッテング状態でデユーティ管理を自動的
に行なってビットの安定な最適状態を維持させる様にし
たものである。
Ｃ従来の技術
従来のビデオディスクでは映像信号及び音声信号は第８
図の周波数アロケーションに示す様に記録されている。
図の周波数アロケーションに示す様に記録されている。
即ち、第８図で先ず映像信号及び２チヤンネルの音声信
号はＦＭ変調器によってＦＭ信号に変換される。映像信
号は中心周波数８．５Ｍ抱（周波数偏移１．７ＭＨｚ）
の映像ＦＭ搬送波信号（３０に、そしてステレオの２チ
ヤンネル音声信号は１チヤンネルの中心周波数２．３Ｍ
Ｈｚ及び２チヤンネルの２．８ＭＨｚ （周波数偏移±
１００ｋＨｚ）の音声ＦＭ搬送波信号（以下、アナログ
音声信号と記す） （３１）に変換される。更に２チヤ
ンネルの音声信号を１６ビツトでパルスコード変ｍＭｃ
ＰｃＭ）化し、ＥＦＭ（Ｅｉｇｈｔ ｔｏ Ｆｏｕｒｔ
ｅｅｎ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）符号変換したデジタル
音声信号（３３）を第８図に示す様に２ＭＨｚ以下の低
域に挿入している。
号はＦＭ変調器によってＦＭ信号に変換される。映像信
号は中心周波数８．５Ｍ抱（周波数偏移１．７ＭＨｚ）
の映像ＦＭ搬送波信号（３０に、そしてステレオの２チ
ヤンネル音声信号は１チヤンネルの中心周波数２．３Ｍ
Ｈｚ及び２チヤンネルの２．８ＭＨｚ （周波数偏移±
１００ｋＨｚ）の音声ＦＭ搬送波信号（以下、アナログ
音声信号と記す） （３１）に変換される。更に２チヤ
ンネルの音声信号を１６ビツトでパルスコード変ｍＭｃ
ＰｃＭ）化し、ＥＦＭ（Ｅｉｇｈｔ ｔｏ Ｆｏｕｒｔ
ｅｅｎ Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）符号変換したデジタル
音声信号（３３）を第８図に示す様に２ＭＨｚ以下の低
域に挿入している。
第９図は上述の如く映像信号及び音声信号をガラス原盤
上に塗布したフォトレジスト上に記録する場合の従来の
カッテングマシンの系統図を示すものである。
上に塗布したフォトレジスト上に記録する場合の従来の
カッテングマシンの系統図を示すものである。
第９図で記録しようとする映像信号はＶ Ｔ Ｒ（３５
）に記録され、同様に音声信号はテープレコーダ（３６
）等に記録され、映像信号はスイッチ（２８）を介して
映像信号処理回路内のビデオモジュレータ（２５）でＦ
Ｍ変調波とされ、２チヤンネルの第１の音声信号もスイ
ッチ（２９）を介して音声信号処理回路内のオーデオモ
ジュレータ（２６）でＦＭ変調波とされる。
）に記録され、同様に音声信号はテープレコーダ（３６
）等に記録され、映像信号はスイッチ（２８）を介して
映像信号処理回路内のビデオモジュレータ（２５）でＦ
Ｍ変調波とされ、２チヤンネルの第１の音声信号もスイ
ッチ（２９）を介して音声信号処理回路内のオーデオモ
ジュレータ（２６）でＦＭ変調波とされる。
映像ＦＭ変調波と音声ＦＭ変調は混合回路（２４）に供
給される。テープレコーダ（３６）に記録された第２の
音声信号はスイッチを介し図示しないがＡ／Ｄ変換回路
でデジタル信号に変換され、ＥＦＭエンコーダ（２７）
でデジタル信号はＰＣＭ処理を行なって約２ＭＨｚ以上
を図示しないＬＰＦでカットしたのち、プリエンファシ
ス回路で低域を持ち上げて混合回路（２４）で映像信号
及び第１の音声信号とミックスさせる。混合回路（２４
）の出力側は作動アンプ（２２）の正相入力端子に接続
され、一端が接地された可変抵抗器（２３）の他端は作
動アンプ（２２）の逆相入力端子に接続され、作動アン
プ（２２）と可変抵抗器（２３）とでオフセット調整が
行なわれる。作動アンプ（２２）の出力はリミッタ（２
１）に供給されて、音響光学効果光変調器（以下ＡＯＭ
と記す）ドライバー（１９）とスペクトルアナライザ（
２ｏ）に供給される。即ち、映像ＦＭ１ａ送波信号はス
ペクトルアナライザ（２０）に供給観測され、主搬送波
の２次高調波戒分が最小になる様に、可変抵抗器（２３
）を手動調整する。リミッタ（２１）からの最終出力は
方形波としてＡ ＯＭ （８）に供給される。
給される。テープレコーダ（３６）に記録された第２の
音声信号はスイッチを介し図示しないがＡ／Ｄ変換回路
でデジタル信号に変換され、ＥＦＭエンコーダ（２７）
でデジタル信号はＰＣＭ処理を行なって約２ＭＨｚ以上
を図示しないＬＰＦでカットしたのち、プリエンファシ
ス回路で低域を持ち上げて混合回路（２４）で映像信号
及び第１の音声信号とミックスさせる。混合回路（２４
）の出力側は作動アンプ（２２）の正相入力端子に接続
され、一端が接地された可変抵抗器（２３）の他端は作
動アンプ（２２）の逆相入力端子に接続され、作動アン
プ（２２）と可変抵抗器（２３）とでオフセット調整が
行なわれる。作動アンプ（２２）の出力はリミッタ（２
１）に供給されて、音響光学効果光変調器（以下ＡＯＭ
と記す）ドライバー（１９）とスペクトルアナライザ（
２ｏ）に供給される。即ち、映像ＦＭ１ａ送波信号はス
ペクトルアナライザ（２０）に供給観測され、主搬送波
の２次高調波戒分が最小になる様に、可変抵抗器（２３
）を手動調整する。リミッタ（２１）からの最終出力は
方形波としてＡ ＯＭ （８）に供給される。
Ａ ＯＭ （８）は圧電材料（ＬｉＮｂＯｉ）に周波数
ｆの電圧を加え、媒質（例えばＴｅガラス）中に音速Ｖ
波長のＡの疎密波を発生させ、これを回折格子として波
長λの光ビームを作用させると光はブラッグ反射を起す
。この反射解析光は媒質を駆動する電圧に変化するので
この電圧を振幅変調すると変調されたレーザビームを得
ることが出来る様に威されている。この為に、このＡ
ＯＭ （８）はアルゴンサーザ或はＨｅ−Ｃｄレーザ等
のレーザ源（１）からの出射光路中に置かれる。レーザ
源（１）からの出射光は電気光学効果光変調器（以下Ｒ
ＯＭと記す）（２）に供給される。このＥ ＯＭ （２
）はＫＨｚＰＯｎ （Ｋ Ｄ Ｐ ）やＮＨ４Ｈ！ＰＯ
４（Ａ Ｄ Ｐ ）等の単軸結晶であり、この単軸結晶
に電界を供給すると結晶の内を進む二つの直線偏波面間
に電界強度に比例した位相速度の差を生ずるので、この
結晶に直線偏波光を入射させれば印加された電界に応じ
た楕円偏光となるので、この結晶の後方にアナライザ（
３）を配設することで振幅変調されたレーザ光を得るこ
とが出来る。この振幅変調されたレーザ光は第１のビー
ムスペリツタ（以下Ｂ Ｓ ｒ と記す）（４）に導か
れる。ＢＳ。
ｆの電圧を加え、媒質（例えばＴｅガラス）中に音速Ｖ
波長のＡの疎密波を発生させ、これを回折格子として波
長λの光ビームを作用させると光はブラッグ反射を起す
。この反射解析光は媒質を駆動する電圧に変化するので
この電圧を振幅変調すると変調されたレーザビームを得
ることが出来る様に威されている。この為に、このＡ
ＯＭ （８）はアルゴンサーザ或はＨｅ−Ｃｄレーザ等
のレーザ源（１）からの出射光路中に置かれる。レーザ
源（１）からの出射光は電気光学効果光変調器（以下Ｒ
ＯＭと記す）（２）に供給される。このＥ ＯＭ （２
）はＫＨｚＰＯｎ （Ｋ Ｄ Ｐ ）やＮＨ４Ｈ！ＰＯ
４（Ａ Ｄ Ｐ ）等の単軸結晶であり、この単軸結晶
に電界を供給すると結晶の内を進む二つの直線偏波面間
に電界強度に比例した位相速度の差を生ずるので、この
結晶に直線偏波光を入射させれば印加された電界に応じ
た楕円偏光となるので、この結晶の後方にアナライザ（
３）を配設することで振幅変調されたレーザ光を得るこ
とが出来る。この振幅変調されたレーザ光は第１のビー
ムスペリツタ（以下Ｂ Ｓ ｒ と記す）（４）に導か
れる。ＢＳ。
の後方にはフォトダイオードの如き第１の光検出器（以
下ＰＤ、と記す）（５）が配されＢＳＩ（４）を通過し
た光を受光し、電気信号に変換し、ＡＰＣ（自動電力制
御回路）（６）を介してＰＤ、の通過光量が例えば、一
定量となる様にＲＯＭ （２）の電界を制御する様に威
されている。ＢＳＩ（４）で反射されたレーザ光はレン
ズ（７）及びレンズ（９）間に配されたＡ ＯＭ （８
）を通して情報信号が変調され第２のビームスプリッタ
（以下ＢＳ、と記す） （１０）に入射される。ＢＳ、
（１０）で反射されたレーザ光はレンズ（１１）→λ
／４板（１２）→ミラー（１３）→対物レンズ（１４）
を介してガラス原盤（１５）上に塗布したフォトレジス
ト（１６）を露光させて、ピットを形成することでマス
ター盤が構成される。このマスター盤ヲ基ニニッケル電
鋳したスタンパ−からインジェクションでビデオディス
クが複製される。
下ＰＤ、と記す）（５）が配されＢＳＩ（４）を通過し
た光を受光し、電気信号に変換し、ＡＰＣ（自動電力制
御回路）（６）を介してＰＤ、の通過光量が例えば、一
定量となる様にＲＯＭ （２）の電界を制御する様に威
されている。ＢＳＩ（４）で反射されたレーザ光はレン
ズ（７）及びレンズ（９）間に配されたＡ ＯＭ （８
）を通して情報信号が変調され第２のビームスプリッタ
（以下ＢＳ、と記す） （１０）に入射される。ＢＳ、
（１０）で反射されたレーザ光はレンズ（１１）→λ
／４板（１２）→ミラー（１３）→対物レンズ（１４）
を介してガラス原盤（１５）上に塗布したフォトレジス
ト（１６）を露光させて、ピットを形成することでマス
ター盤が構成される。このマスター盤ヲ基ニニッケル電
鋳したスタンパ−からインジェクションでビデオディス
クが複製される。
尚（１７）はガラス原盤（１５）を載置して回転させる
ターンテーブル、（１８）は駆動モータであり、ガラス
原盤（１５）は図示されていないが送り台によってガラ
ス原盤（１５）の輻方向に送りモータによって移動出来
る様に威されている。
ターンテーブル、（１８）は駆動モータであり、ガラス
原盤（１５）は図示されていないが送り台によってガラ
ス原盤（１５）の輻方向に送りモータによって移動出来
る様に威されている。
Ｄ 発明が解決しようとする課題
上述した従来のカッテングマシンに於いてカッテング時
のレーザ源（１）から出射されるカッテングバワーはカ
ッテングされるディスクがＣＬＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ
Ｌｉｎｅａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）であれば、その線速
に応じて一定のパワーを維持する様に、又、ＣＡ Ｖ
（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ａｎｇｕｌａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔ
ｙ）のものでは外周に向かうにつれてパワーが上昇する
様にＡＰＣ（６）をコントロールしていた。
のレーザ源（１）から出射されるカッテングバワーはカ
ッテングされるディスクがＣＬＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ
Ｌｉｎｅａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）であれば、その線速
に応じて一定のパワーを維持する様に、又、ＣＡ Ｖ
（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ａｎｇｕｌａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔ
ｙ）のものでは外周に向かうにつれてパワーが上昇する
様にＡＰＣ（６）をコントロールしていた。
即ち、レーザ源（１）からの出射光がＡ ＯＭ （８）
でオン、オフ変調を受ける前に調整されている。この為
にレーザ源（１）からの出射光がＡ ＯＭ （８）を通
る際にＡ ＯＭ （８）の温度特性等によって経時的又
は環境要因により更には設定条件により、微少変化し、
実際に原盤（１５）上に形成されるピットの一様性が損
われる問題があった。
でオン、オフ変調を受ける前に調整されている。この為
にレーザ源（１）からの出射光がＡ ＯＭ （８）を通
る際にＡ ＯＭ （８）の温度特性等によって経時的又
は環境要因により更には設定条件により、微少変化し、
実際に原盤（１５）上に形成されるピットの一様性が損
われる問題があった。
更に従来のカッテングマシンは混合回路（２４）で混合
されリミッタ〈２１）で振幅制限された方形波、即ち、
映像ＦＭ波形信号が音声ＦＭ波形信号によってＰＷＭを
受けた方形波の繰返し同波数が映像信号を表わす。これ
をピッチ列でみれば映像ＦＭ変調信号の周波数が高くな
るほど、ピット長は短くなりピット間の間隔も狭くなっ
て記録される。
されリミッタ〈２１）で振幅制限された方形波、即ち、
映像ＦＭ波形信号が音声ＦＭ波形信号によってＰＷＭを
受けた方形波の繰返し同波数が映像信号を表わす。これ
をピッチ列でみれば映像ＦＭ変調信号の周波数が高くな
るほど、ピット長は短くなりピット間の間隔も狭くなっ
て記録される。
この方形波の１サイクルの時間Ｔに対する方形波パルス
幅Ｗの比Ｗ／Ｔ （デユーティ−比）即ち、“オン”オ
フ”比はリミッタ（２１）の最終出力をスペクトルアナ
ライザ（２０）で観測し、ここで主搬送波の二次高調波
成分を最小にする様に調整している。所がＡ ＯＭ （
８）の非線型特性等でＡ ＯＭ （８）の出力を最適状
態にしても、必ずしも、“オン”“オフ”変調されたレ
ーザのデイ−ティ比が最適とはならずピットデユーティ
を狂わせる問題があった。
幅Ｗの比Ｗ／Ｔ （デユーティ−比）即ち、“オン”オ
フ”比はリミッタ（２１）の最終出力をスペクトルアナ
ライザ（２０）で観測し、ここで主搬送波の二次高調波
成分を最小にする様に調整している。所がＡ ＯＭ （
８）の非線型特性等でＡ ＯＭ （８）の出力を最適状
態にしても、必ずしも、“オン”“オフ”変調されたレ
ーザのデイ−ティ比が最適とはならずピットデユーティ
を狂わせる問題があった。
本発明は叙上の問題点を解決するために威されたもので
、その目的とするところはＡ ＯＭ （８）にバラツキ
、温度特性、経時変化があってもこれを補償する様にレ
ーザ源（１）のパワー制御を行なう様にし、常に均一で
安定したカッテングを行なう様にしたものである。
、その目的とするところはＡ ＯＭ （８）にバラツキ
、温度特性、経時変化があってもこれを補償する様にレ
ーザ源（１）のパワー制御を行なう様にし、常に均一で
安定したカッテングを行なう様にしたものである。
本発明の第２の目的はカッテングビームの“オン″ “
オフ”状態でのデユーティを制御して形成されるピット
デユーティを安定に最適状態に維持させる様にしたもの
である。
オフ”状態でのデユーティを制御して形成されるピット
デユーティを安定に最適状態に維持させる様にしたもの
である。
Ｅ 課題を解決するための手段
第１の発明のカッテングマシンはその１例が第１図、第
２図並に第７図に示されている様に映像ＦＭ波信号が音
声ＦＭ波信号によってパルス幅変調された方形波出力信
号によりレーザ源（１）からの記録用レーザ光を“オン
” “オフ”させ原盤（１５）上に露光ピットを形成さ
せる様にしたカッテングマシンに於いて、原盤（１５）
上に照射される光を受光する光検出器（３８）又は原盤
（１５）上からの反射光を受光する光検出器（３８ａ）
と、この光検出器（３８）（３８ａ）からの電気信号出
力を平均化する低域通過濾波器（３９）とを具備し、こ
の低域通過濾波器（３９）からの出力信号によってレー
ザ源（１）からの出力光強度を制御する様にしたもので
あり、第２の発明のカッテングマシンはその１例が第３
図乃至第７図に示されている様に映像ＦＭ波信号が音声
ＦＭ波信号によってパルス幅変調された方形波出力信号
によりレーザ源（１）からの記録用レーザ光を“オン”
オフ”させ原盤（１５）上に露光ピットを形成させる様
にしたカッテングマシンに於いて、原盤（１５）上に照
射される光を受光する光検出器（３８）又は原盤（１５
）上からの反射光を受光するビデオカメラ検出器（３８
ａ）を具備し、この光検出器（３８） （３８ａ）から
の電気信号出力中の映像搬送波信号中の主搬送波の２次
高調波威分が最小になる様にソース変調系路のオフセッ
トを調整する様にしたものである。
２図並に第７図に示されている様に映像ＦＭ波信号が音
声ＦＭ波信号によってパルス幅変調された方形波出力信
号によりレーザ源（１）からの記録用レーザ光を“オン
” “オフ”させ原盤（１５）上に露光ピットを形成さ
せる様にしたカッテングマシンに於いて、原盤（１５）
上に照射される光を受光する光検出器（３８）又は原盤
（１５）上からの反射光を受光する光検出器（３８ａ）
と、この光検出器（３８）（３８ａ）からの電気信号出
力を平均化する低域通過濾波器（３９）とを具備し、こ
の低域通過濾波器（３９）からの出力信号によってレー
ザ源（１）からの出力光強度を制御する様にしたもので
あり、第２の発明のカッテングマシンはその１例が第３
図乃至第７図に示されている様に映像ＦＭ波信号が音声
ＦＭ波信号によってパルス幅変調された方形波出力信号
によりレーザ源（１）からの記録用レーザ光を“オン”
オフ”させ原盤（１５）上に露光ピットを形成させる様
にしたカッテングマシンに於いて、原盤（１５）上に照
射される光を受光する光検出器（３８）又は原盤（１５
）上からの反射光を受光するビデオカメラ検出器（３８
ａ）を具備し、この光検出器（３８） （３８ａ）から
の電気信号出力中の映像搬送波信号中の主搬送波の２次
高調波威分が最小になる様にソース変調系路のオフセッ
トを調整する様にしたものである。
Ｆ 作用
本発明のカッテングマシンは光検出器（３８）又は（３
８ａ）を設け、これら光検出器〈３８）又は（３８ａ）
からの出力信号によってカッテングするレーザ源（１）
のパワーを制御し、またこの光検出器（３８）又は（３
８ａ）からの出力信号によって“オン”オフ”変調され
たレーザ源（１）からのレーザ光を制御し、カッテング
の安定化とピットの一様性を保つ様になされる。
８ａ）を設け、これら光検出器〈３８）又は（３８ａ）
からの出力信号によってカッテングするレーザ源（１）
のパワーを制御し、またこの光検出器（３８）又は（３
８ａ）からの出力信号によって“オン”オフ”変調され
たレーザ源（１）からのレーザ光を制御し、カッテング
の安定化とピットの一様性を保つ様になされる。
Ｇ 実施例
以下図面を参照しながら本発明のカッテングマシンの実
施例を説明する。
施例を説明する。
ＧＩ第１の実施例（第１図）
以下、本発明のカッテングマシンの一実施例を第１図に
ついて説明する。尚この第１図に於いて、第９図との対
応部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
ついて説明する。尚この第１図に於いて、第９図との対
応部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
第１図でカッテング信号系路の符号（１９）乃至（２９
）及び（３４）乃至（３７）並にカッテングマシン光学
系路の符号（１）（２）（４）（７）乃至（１５）で示
される部分は第９図と同様の構成である。
）及び（３４）乃至（３７）並にカッテングマシン光学
系路の符号（１）（２）（４）（７）乃至（１５）で示
される部分は第９図と同様の構成である。
本例に於いてはカッテングに供される“オン“パ°オフ
”変調されたレーザ光を反射又は透過させるＢＳ、の透
過光を受光する第２の光検出器（以下ＰＤｚと記す）
（３８）を設ける。
”変調されたレーザ光を反射又は透過させるＢＳ、の透
過光を受光する第２の光検出器（以下ＰＤｚと記す）
（３８）を設ける。
上述のＰＤ、の出力信号は電気信号に変換され、Ｌ Ｐ
Ｆ （３９）に供給される。このＬ Ｐ Ｆ （３９
）は“オン”オフ”変調された矩形波信号成分を平均化
し、レーザ光のカッテングパワーを表す様に威す。
Ｆ （３９）に供給される。このＬ Ｐ Ｆ （３９
）は“オン”オフ”変調された矩形波信号成分を平均化
し、レーザ光のカッテングパワーを表す様に威す。
Ｌ Ｐ Ｆ （３９）の出力端子は差動アンプ（４１）
の逆相入力端子に接続される。この差動アンプ（４１）
の正相入力端子には基準信号発生器（４０）の出力端子
が接続される。この基準信号発生器（４０）からはパワ
ー指示値、ＣＡＶ／ＣＬＶの区別等が差動アンプ（４１
）に与えられる。
の逆相入力端子に接続される。この差動アンプ（４１）
の正相入力端子には基準信号発生器（４０）の出力端子
が接続される。この基準信号発生器（４０）からはパワ
ー指示値、ＣＡＶ／ＣＬＶの区別等が差動アンプ（４１
）に与えられる。
差動アンプ（４１）ではこの指示値と、Ｌ Ｐ Ｆ （
３９）からのカッテングレーザビームのパワーの変動出
力信号との差がとられ、その誤差信号が得られる端子は
ループフィルタ（４２）に接続され、ループフィルター
（４２）の出力端はドライバー（４３）に接続され、ド
ライバー（４３）の出力端はＲＯＭ （２）の電界を変
化させる結晶端子に供給されてＲＯＭ （２）の光量調
整が行なわれる。尚、このＲＯＭ（２）とアナライザ（
３）の組合せによる光量調整手段はＡＯＭでもよいこと
は明らかである。
３９）からのカッテングレーザビームのパワーの変動出
力信号との差がとられ、その誤差信号が得られる端子は
ループフィルタ（４２）に接続され、ループフィルター
（４２）の出力端はドライバー（４３）に接続され、ド
ライバー（４３）の出力端はＲＯＭ （２）の電界を変
化させる結晶端子に供給されてＲＯＭ （２）の光量調
整が行なわれる。尚、このＲＯＭ（２）とアナライザ（
３）の組合せによる光量調整手段はＡＯＭでもよいこと
は明らかである。
上述の構成に於けるカッテングマシンの動作を説明する
。
。
レーザ源（１）からのレーザ光はＲＯＭ （２）とアナ
ライザ（３）を介してＢＳＩ（４）に入射しその一部は
反射される。ＢＳＩ（４）で反射されたレーザ光はレン
ズ（７）を介してＡ ＯＭ （８）に導かれる。
ライザ（３）を介してＢＳＩ（４）に入射しその一部は
反射される。ＢＳＩ（４）で反射されたレーザ光はレン
ズ（７）を介してＡ ＯＭ （８）に導かれる。
一方、カッテングすべき映像信号及び第１及び第２の音
声信号はＶ Ｔ Ｒ（３５）やテープレコーダ（３６）
（３７）等のソースから夫々のスイッチ（２８） （２
９） （３４）とモジュレータ（２５） （２６）並に
エンコーダ（２７）を介しＦＭ変調或はＰＣＭ変調され
て混合回路（２４）で混合され、スペクトルアナライザ
（２０）を観測し、差動アンプ（２２）の可変抵抗器（
２３）を調整して主搬送波の二次高調波を最小にする様
にオフセット調整し、リミッタ（２１）で振幅制限した
出力信号をＡＯＭドライバー（１９）に供給しＡ ＯＭ
（８）に供給されるのでレーザ源（１）からのレーザ
光は映像ＦＭ波信号が音声ＦＭ波信号によってＰＷＭさ
れた方形波信号で“オン”オフ”変調される。この変調
レーザ光はレンズ（９）を介してＢＳｚ（１０）に導か
れ、このＢＳ、（１０）によって反射及び透過光に分割
される。Ｂｓｚ（１０）で反射され、“オン”オフ”変
調されたレーザ光はレンズ（１１）→λ／４板（１２）
→ごラー（１３）→対物レンズ（１４）を通じて原盤（
１５）上のフォトレジスト（１６）をカッテング信号に
応じて露光する− ＢＳＩ （１０）を透過したレーザ
光はＰＤ！に導かれ実際にカッテングに供される“オン
”“オフ”変調されたレーザ光がＰ Ｄｔ （３８）で
電気信号に変換される。
声信号はＶ Ｔ Ｒ（３５）やテープレコーダ（３６）
（３７）等のソースから夫々のスイッチ（２８） （２
９） （３４）とモジュレータ（２５） （２６）並に
エンコーダ（２７）を介しＦＭ変調或はＰＣＭ変調され
て混合回路（２４）で混合され、スペクトルアナライザ
（２０）を観測し、差動アンプ（２２）の可変抵抗器（
２３）を調整して主搬送波の二次高調波を最小にする様
にオフセット調整し、リミッタ（２１）で振幅制限した
出力信号をＡＯＭドライバー（１９）に供給しＡ ＯＭ
（８）に供給されるのでレーザ源（１）からのレーザ
光は映像ＦＭ波信号が音声ＦＭ波信号によってＰＷＭさ
れた方形波信号で“オン”オフ”変調される。この変調
レーザ光はレンズ（９）を介してＢＳｚ（１０）に導か
れ、このＢＳ、（１０）によって反射及び透過光に分割
される。Ｂｓｚ（１０）で反射され、“オン”オフ”変
調されたレーザ光はレンズ（１１）→λ／４板（１２）
→ごラー（１３）→対物レンズ（１４）を通じて原盤（
１５）上のフォトレジスト（１６）をカッテング信号に
応じて露光する− ＢＳＩ （１０）を透過したレーザ
光はＰＤ！に導かれ実際にカッテングに供される“オン
”“オフ”変調されたレーザ光がＰ Ｄｔ （３８）で
電気信号に変換される。
電気信号に変換されたＰＤ、（３８）の出力は略“オン
”オフ”状の矩形波であるが、Ａ ＯＭ （８）又はＲ
ＯＭの消光比が悪ければそれが“オフ”部分に表われ、
Ａ ＯＭ （８）の線型性がくずれていれば、その状態
も出力に表れてくる。又、ＡＯＭ（８）の温度特性等に
より変換効率が変化すれば、実際のカッテングパワーも
影響を受けｐＤｔ（３８）の信号振幅にも変化が表れる
。この様にＰＤ、（３８）の出力は実際のカッテングビ
ームの様子を正確に表わしている。この様なＰＤ、（３
８）の出力はＬ Ｐ Ｆ （３９）によって信号成分が
平滑化され、カンテングビームのパワー変動がＬ Ｐ
Ｆ （３９）の出力に得られる。
”オフ”状の矩形波であるが、Ａ ＯＭ （８）又はＲ
ＯＭの消光比が悪ければそれが“オフ”部分に表われ、
Ａ ＯＭ （８）の線型性がくずれていれば、その状態
も出力に表れてくる。又、ＡＯＭ（８）の温度特性等に
より変換効率が変化すれば、実際のカッテングパワーも
影響を受けｐＤｔ（３８）の信号振幅にも変化が表れる
。この様にＰＤ、（３８）の出力は実際のカッテングビ
ームの様子を正確に表わしている。この様なＰＤ、（３
８）の出力はＬ Ｐ Ｆ （３９）によって信号成分が
平滑化され、カンテングビームのパワー変動がＬ Ｐ
Ｆ （３９）の出力に得られる。
この出力を従来のＰＤＩ（５）の出力の代りに用いる。
レーザ源（１）のパワー制御系の指示値は基準信号発生
器（４０）からパワーの設定値、ＣＡＶ／ＣＬＶの区別
、ＣＡＶの場合は半径位置、ＣＬＶの場合は線速か設定
され、この基準設定値とＬ Ｐ Ｆ （３９）の出力差
が差動アンプ（４１）の出力に誤差出力として得られ、
ループフィルタ（４２）とドライバー（４３）を介して
ＲＯＭ （２）の印加電圧を変化させる。印加電圧によ
ってＲＯＭ （２）の透過光の偏光角が回転し、ＲＯＭ
（２）の出力側に配設したアナライザ（３）によって
光量調整が威される。
器（４０）からパワーの設定値、ＣＡＶ／ＣＬＶの区別
、ＣＡＶの場合は半径位置、ＣＬＶの場合は線速か設定
され、この基準設定値とＬ Ｐ Ｆ （３９）の出力差
が差動アンプ（４１）の出力に誤差出力として得られ、
ループフィルタ（４２）とドライバー（４３）を介して
ＲＯＭ （２）の印加電圧を変化させる。印加電圧によ
ってＲＯＭ （２）の透過光の偏光角が回転し、ＲＯＭ
（２）の出力側に配設したアナライザ（３）によって
光量調整が威される。
本例では上述の様に動作させたので実際にカッテングに
供給されるレーザビームを抽出し、そのパワーが所定の
値に設定される様に制御したので、例えば、Ａ ＯＭ
（８）に温度特性で変換効率の変化があってもレーザ源
（１）からの入力光量を変化させることでこれを補償し
、常にカッテングレーザビームのパワーを所定の値に保
つことが出来て、安定なカッテングを行なうことが出来
る。
供給されるレーザビームを抽出し、そのパワーが所定の
値に設定される様に制御したので、例えば、Ａ ＯＭ
（８）に温度特性で変換効率の変化があってもレーザ源
（１）からの入力光量を変化させることでこれを補償し
、常にカッテングレーザビームのパワーを所定の値に保
つことが出来て、安定なカッテングを行なうことが出来
る。
Ｇ２第２の実施例（第２図）
第２図は第１図と同様にカッテングバヮーを制御する方
法を説明するためのカッテングマシンの系統図を示すも
のである。
法を説明するためのカッテングマシンの系統図を示すも
のである。
第２図で第１図との対応部分には同一符号を付して示し
重複説明を省略する。
重複説明を省略する。
第２図ではＢＳ、（１０）で反射されたカッテングに供
されるレーザ源（１）からの“オン”オフ”されたレー
ザビームは原盤（１５）のフォトレジスト（１６）面で
反射され、対物レンズ（１２）→ごラー（１３）→λ／
４板（１２）→レンズ（１１）→ＢＳ、（１０）の光路
でＢＳｔ （１０）を透過して得られる反射光を第３の
光検出器（以下ＰＤ３と記す） （３８ａ）で受光する
様に構成させる。このＰ Ｄｌ（３８ａ）の出力端は第
１図で説明したと同様のＰ Ｄｓ （３８ａ）の出力信
号成分を平滑化してカッテングレーザビームの戻りの光
のパワーエネルギーを表わす様にしたＬ Ｐ Ｆ （３
９ａ）を設け、このＬ Ｐ Ｆ （３９ａ）の出力端子
を差動アンプ（４１）の逆相入力端子に接続させたもの
であり、差動アンプ（４１）の正相入力端子には基準信
号発生器（４０）からの基準値が指示される様に接続さ
れ、これらの誤差信号がループフィルタ（４２）とドラ
イバー（４３）を介してＲＯＭ （２）に供給される様
に威されている。
されるレーザ源（１）からの“オン”オフ”されたレー
ザビームは原盤（１５）のフォトレジスト（１６）面で
反射され、対物レンズ（１２）→ごラー（１３）→λ／
４板（１２）→レンズ（１１）→ＢＳ、（１０）の光路
でＢＳｔ （１０）を透過して得られる反射光を第３の
光検出器（以下ＰＤ３と記す） （３８ａ）で受光する
様に構成させる。このＰ Ｄｌ（３８ａ）の出力端は第
１図で説明したと同様のＰ Ｄｓ （３８ａ）の出力信
号成分を平滑化してカッテングレーザビームの戻りの光
のパワーエネルギーを表わす様にしたＬ Ｐ Ｆ （３
９ａ）を設け、このＬ Ｐ Ｆ （３９ａ）の出力端子
を差動アンプ（４１）の逆相入力端子に接続させたもの
であり、差動アンプ（４１）の正相入力端子には基準信
号発生器（４０）からの基準値が指示される様に接続さ
れ、これらの誤差信号がループフィルタ（４２）とドラ
イバー（４３）を介してＲＯＭ （２）に供給される様
に威されている。
この様な構成によればＰ Ｄ ３ （３８ａ）に得られ
るカッテングに供されるビームはフォトレジスト（１６
）面で反射されたものであるから、更にフォトレジスト
（１６）表面の各種情報を含んでいて、よりカッテング
時のビームパワーに近い値のものが得られることになる
。
るカッテングに供されるビームはフォトレジスト（１６
）面で反射されたものであるから、更にフォトレジスト
（１６）表面の各種情報を含んでいて、よりカッテング
時のビームパワーに近い値のものが得られることになる
。
Ｇ、第３の実施例（第３図）
第３図はＡ ＯＭ （８）に供給するソース信号のビッ
トデユーティ制御を行なう為のカッテングマシンの系統
図を示すものである。第３図で第１図及び第２図並に第
９図との対応部分には同一符号を付して重複説明を省略
する。
トデユーティ制御を行なう為のカッテングマシンの系統
図を示すものである。第３図で第１図及び第２図並に第
９図との対応部分には同一符号を付して重複説明を省略
する。
第３図でカッテングマシン光学系の符号（１）乃至（１
８）は第９図と同一構成である。
８）は第９図と同一構成である。
第３図でＢＳｔ（１０）を透過したカッテングに供され
る“オン”オフ”変調されたビームはＰＤ２（３８）に
受光される。 Ｐ Ｄｘ （３８）の出力端はスペクト
ルアナライザ（２０）に接続され、スペクトルアナライ
ザ（２０）の出力端はマイクロコンピュータ（以下ＣＰ
Ｕ、と記す） （４５）に接続されている。ＣＰＩＪｔ
（４５）はカッテング用のマイクロコンピュータ（以
下ｃｐｕ、と記す） （４６）とデータ受授が行なわれ
る。 ＣＰ Ｕｚ （４５）の出力端はパスラインを介
して制御回路（４４）に接続されると共にスイッチ群（
２Ｂ） （２９） （３４） （４７） （４Ｂ）を制
御する。制御回路（４４）の出力端はカッテング信号系
に配したオフセット調整用の差動アンプ（２２）の逆相
入力端子に接続されている。
る“オン”オフ”変調されたビームはＰＤ２（３８）に
受光される。 Ｐ Ｄｘ （３８）の出力端はスペクト
ルアナライザ（２０）に接続され、スペクトルアナライ
ザ（２０）の出力端はマイクロコンピュータ（以下ＣＰ
Ｕ、と記す） （４５）に接続されている。ＣＰＩＪｔ
（４５）はカッテング用のマイクロコンピュータ（以
下ｃｐｕ、と記す） （４６）とデータ受授が行なわれ
る。 ＣＰ Ｕｚ （４５）の出力端はパスラインを介
して制御回路（４４）に接続されると共にスイッチ群（
２Ｂ） （２９） （３４） （４７） （４Ｂ）を制
御する。制御回路（４４）の出力端はカッテング信号系
に配したオフセット調整用の差動アンプ（２２）の逆相
入力端子に接続されている。
一方ソース源であるデジタル音声信号とアナログ音声信
号源のテープレコーダ（３５）及び（３６）の出力端は
例えば夫々スイッチ（３４）と（４７）並にスイッチ（
２９）と（４８）が直列接続され、その出力端がＥＦＭ
エンコーダ（２７）とオーデオモジュレータ（２６）に
接続されている。他のカッテング信号経路の構成はスペ
クトルアナライザ（２０）がＰＩｈ（３８）の出力端に
接続されている以外第１図及び第２図と同−構成である
。
号源のテープレコーダ（３５）及び（３６）の出力端は
例えば夫々スイッチ（３４）と（４７）並にスイッチ（
２９）と（４８）が直列接続され、その出力端がＥＦＭ
エンコーダ（２７）とオーデオモジュレータ（２６）に
接続されている。他のカッテング信号経路の構成はスペ
クトルアナライザ（２０）がＰＩｈ（３８）の出力端に
接続されている以外第１図及び第２図と同−構成である
。
上述の構成に於ける動作を説明する。
ＰＤ、（３８）の出力はスペクトルアナライザ（２０）
に接続されているので、このスペクトルアナライザ（２
０）によって映像信号中の主搬送波と２次高調波が測定
出来る様に威されている。この主搬送波と２次高調波の
比が測定されてＣＰＵｔ（４５）に供給される。
に接続されているので、このスペクトルアナライザ（２
０）によって映像信号中の主搬送波と２次高調波が測定
出来る様に威されている。この主搬送波と２次高調波の
比が測定されてＣＰＵｔ（４５）に供給される。
カッテング用のＣＰＵＩ（４６）とＣＰ Ｕｚ （４５
）とはパスラインを介してデータの受授が行なわれてい
るのでＣＰ Ｕ ｔ （４５）からはカッテング開始前
に例えば、スイッチ群（２８） （２９） （３４）を
“オフ”状態にしてＶ Ｔ Ｒ（３５）から映像信号が
ビデオモジュレータ（２５）に供給されない無変調状態
にし、スペクトルアナライザ（２０）で測定が行なわれ
る。ＣＰＵ２（４５）からは制御回路（４４）を介して
オフセット調整用の差動アンプ（２２）に制御信号が供
給されているのでスペクトルアナライザ（２０）で測定
を行ないながら２次高調波が最小になる様にオフセット
が自動調整される。勿論オフセットの極端なずれは搬送
波間の相互干渉を増加させるので調整範囲は微小量に限
定する必要がある。
）とはパスラインを介してデータの受授が行なわれてい
るのでＣＰ Ｕ ｔ （４５）からはカッテング開始前
に例えば、スイッチ群（２８） （２９） （３４）を
“オフ”状態にしてＶ Ｔ Ｒ（３５）から映像信号が
ビデオモジュレータ（２５）に供給されない無変調状態
にし、スペクトルアナライザ（２０）で測定が行なわれ
る。ＣＰＵ２（４５）からは制御回路（４４）を介して
オフセット調整用の差動アンプ（２２）に制御信号が供
給されているのでスペクトルアナライザ（２０）で測定
を行ないながら２次高調波が最小になる様にオフセット
が自動調整される。勿論オフセットの極端なずれは搬送
波間の相互干渉を増加させるので調整範囲は微小量に限
定する必要がある。
本例によれば“オン”“オフ゛変調された後のビームで
ビットデユーティを制御出来るのでＡＯＭ（８）の特性
を合せて補償が行なわれ、ビットデユーティを常に安定
に最適状態に保持出来るのでビットデユーティずれで生
ずる各搬送波間の干渉増加によるモアレの発生等の品質
劣化を防ぐことが出来るカッテングマシンが得られる。
ビットデユーティを制御出来るのでＡＯＭ（８）の特性
を合せて補償が行なわれ、ビットデユーティを常に安定
に最適状態に保持出来るのでビットデユーティずれで生
ずる各搬送波間の干渉増加によるモアレの発生等の品質
劣化を防ぐことが出来るカッテングマシンが得られる。
Ｇ４第４の実施例（第４図）
第４図は第３図と同様にピットデユーティ制御を行なう
ためのカッテングマシンの系統図を示すものである。
ためのカッテングマシンの系統図を示すものである。
第４図で第３図との対応部分には同一符号を付し重複説
明を省略する。
明を省略する。
第４図では第２図で説明したと同様にＢＳ、（１０）で
反射され、カッテングに供されるレーザ源（１）からの
レーザビームはレジスト（１６）面で反射され往光路と
逆の戻り光路を通ってＢＳ、（１０）を透過した透過光
をＰ Ｄｓ （３３ａ）で受光し、この受光出力をスペ
クトルアナライザ（２０）に供給する様にしたものであ
る。
反射され、カッテングに供されるレーザ源（１）からの
レーザビームはレジスト（１６）面で反射され往光路と
逆の戻り光路を通ってＢＳ、（１０）を透過した透過光
をＰ Ｄｓ （３３ａ）で受光し、この受光出力をスペ
クトルアナライザ（２０）に供給する様にしたものであ
る。
本例の構成によれば“オン”“オフ”変調され、原盤（
１５）のフォトレジスト（１６）表面で反射した反射光
でピットデユーテイ制御が出来るのでＡＯＭ（８）及び
原盤（１５）上のフォトレジスト（１６）露光時の特性
を合せた補償が出来てピントデユーティをよりカッテン
グ特性に近い型で管理し得る。
１５）のフォトレジスト（１６）表面で反射した反射光
でピットデユーテイ制御が出来るのでＡＯＭ（８）及び
原盤（１５）上のフォトレジスト（１６）露光時の特性
を合せた補償が出来てピントデユーティをよりカッテン
グ特性に近い型で管理し得る。
Ｇ、第５及び第６の実施例（第５図及び第６図）第５図
及び第６図は第３図及び第４図と同様にピットデユーテ
ィ制御を行うためのカッテングマシンの系統図を示すも
のであり、ＰＤ、（３８）又は（３８ａ）の出力をＬ
Ｐ Ｆ （３９）又は（３９ａ）に供給し、Ｌ Ｐ Ｆ
（３９）又は（３９ａ）の出力を用いてピットデユー
ティ調整を行なう様にしたものであり、他の構成は第３
図及び第４図と同一である。
及び第６図は第３図及び第４図と同様にピットデユーテ
ィ制御を行うためのカッテングマシンの系統図を示すも
のであり、ＰＤ、（３８）又は（３８ａ）の出力をＬ
Ｐ Ｆ （３９）又は（３９ａ）に供給し、Ｌ Ｐ Ｆ
（３９）又は（３９ａ）の出力を用いてピットデユー
ティ調整を行なう様にしたものであり、他の構成は第３
図及び第４図と同一である。
この構成の場合は予めスペクトルアナライザを用いて、
Ｌ Ｐ Ｆ （３９）又は（３９ａ）の出力が光“オン
゛状態が連続する時の何％の値になれば２次高調波が最
小になるかを調べておき、その既知の値になる様に調整
する様にしたもので、この調整はＣＰＵ！ （４５）で
自動調整してもよいし、手動調整してもよい。
Ｌ Ｐ Ｆ （３９）又は（３９ａ）の出力が光“オン
゛状態が連続する時の何％の値になれば２次高調波が最
小になるかを調べておき、その既知の値になる様に調整
する様にしたもので、この調整はＣＰＵ！ （４５）で
自動調整してもよいし、手動調整してもよい。
更にＬ Ｐ Ｆ （３９）又は（３９ａ）の出力を上記
した所定の値で東なく、所望のピットデユーティを得る
ために意図的にずらす様にしてもよい。
した所定の値で東なく、所望のピットデユーティを得る
ために意図的にずらす様にしてもよい。
この様な構成でもビットデユーティを安定に且つ最適状
態で管理し得る。
態で管理し得る。
Ｇ、第７の実施例
第７図は第１図に示したＰＤ！（３８）を用いてカッテ
ングバワーを制御すると共に、第３図に示すピットデユ
ーティ制御を行なう糸路を組合せたカッテングマシンの
系統図を示すものであり、これらの動作は第１図と第３
で説明したと同様であるのでその説明は省略する。
ングバワーを制御すると共に、第３図に示すピットデユ
ーティ制御を行なう糸路を組合せたカッテングマシンの
系統図を示すものであり、これらの動作は第１図と第３
で説明したと同様であるのでその説明は省略する。
第７図と同様に第２図で示したＰ Ｄ３ （３８ａ）と
第４図で示した構成を組合せることも、又第１図と第５
図並に第２図と第６図を組合せることも出来る。更にＰ
Ｄ！ （３４）とＰ Ｄ３ （３８ａ）を用いて、第
１図と第４図或は第１図と第６図並に第２図と第３図或
は第２図と第５図とを組合せることも出来る。
第４図で示した構成を組合せることも、又第１図と第５
図並に第２図と第６図を組合せることも出来る。更にＰ
Ｄ！ （３４）とＰ Ｄ３ （３８ａ）を用いて、第
１図と第４図或は第１図と第６図並に第２図と第３図或
は第２図と第５図とを組合せることも出来る。
これらの構成によればパワー制御及びピットデユーティ
制御を同時に行なうことが出来る。
制御を同時に行なうことが出来る。
Ｈ発明の効果
本発明のカッテングマシンによればＡＯＭにバラツキが
あり、温度特性や経時変化があっても、これを補償する
様にパワー制御が働き、常に均一で安定したカッテング
を行なうことが出来る。更に本発明によれば、カッテン
グを行なう“オン”“オフ”変調ビームでピットデユー
ティの管理が出来るのでカッテングされるピットデユー
ティを常に安定した最適状態に維持させることが出来る
。
あり、温度特性や経時変化があっても、これを補償する
様にパワー制御が働き、常に均一で安定したカッテング
を行なうことが出来る。更に本発明によれば、カッテン
グを行なう“オン”“オフ”変調ビームでピットデユー
ティの管理が出来るのでカッテングされるピットデユー
ティを常に安定した最適状態に維持させることが出来る
。
第１図は本発明のカッテングマシンの一実施例を示す系
統図、第２図乃至第７図は本発明のカッテングマシンの
他の実施例を示す系統図、第８図はビデオディスクの周
波数アロケーション、第９図は従来のカッテングマシン
の系統図である。 （１）はレーザ源、（２）はＲＯＭ、（４）及び（１ｏ
）はＢＳ。 及びＢ Ｓｔ 、（８）＆！ＡＯＭ、 （１５）は原盤
、（２ｏ）はスペクトルアナライザ、（２２）は差動ア
ンプ、（３ｏ）及び（３８ａ）はＰＤ２及びｐ Ｄ、
、（３９）はＬ Ｐ Ｆ、 Ｃ４４）は制御回路、（４
５）はＣＰＵ、である。
統図、第２図乃至第７図は本発明のカッテングマシンの
他の実施例を示す系統図、第８図はビデオディスクの周
波数アロケーション、第９図は従来のカッテングマシン
の系統図である。 （１）はレーザ源、（２）はＲＯＭ、（４）及び（１ｏ
）はＢＳ。 及びＢ Ｓｔ 、（８）＆！ＡＯＭ、 （１５）は原盤
、（２ｏ）はスペクトルアナライザ、（２２）は差動ア
ンプ、（３ｏ）及び（３８ａ）はＰＤ２及びｐ Ｄ、
、（３９）はＬ Ｐ Ｆ、 Ｃ４４）は制御回路、（４
５）はＣＰＵ、である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、映像ＦＭ波信号が音声ＦＭ波信号によってパルス幅
変調された方形波出力信号によりレーザ源からの記録用
レーザ光を“オン”“オフ”させ原盤上に露光ピットを
形成させる様にしたカッテングマシンに於いて、 上記原盤上に照射される光を受光する光検出器又は該原
盤上からの反射光を受光する光検出器と、 上記光検出器からの電気信号出力を平均化する低域通過
濾波器とを具備し、 上記低域通過濾波器からの出力信号によって上記レーザ
源からの出力光強度を制御する様にしたことを特徴とす
るカッテングマシン。 ２、映像ＦＭ波信号が音声ＦＭ波信号によってパルス幅
変調された方形波出力信号によりレーザ源からの記録用
レーザ光を“オン”“オフ”させ原盤上に露光ピットを
形成させる様にしたカッテングマシンに於いて、 上記原盤上に照射される光を受光する光検出器又は該原
盤上からの反射光を受光する光検出器を具備し、 上記光検出器からの電気信号出力中のＦＭ映像搬送波信
号中の主搬送波の２次高調波成分が最小になる様にソー
ス変調系路のオフセットを調整する様にしたことを特徴
とするカッテングマシン。
Priority Applications (10)
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|---|---|---|---|
| JP1221019A JP2984004B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | カッテングマシン |
| AU61160/90A AU636905B2 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-21 | Cutting apparatus for an optical disc |
| US07/571,152 US5084856A (en) | 1989-08-28 | 1990-08-23 | Cutting apparatus for an optical disc |
| EP90116269A EP0415289B1 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Cutting apparatus for an optical disc |
| AT90116269T ATE138489T1 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum gravieren auf eine optische platte |
| AT94110769T ATE197744T1 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum gravieren einer optischen platte |
| DE69027073T DE69027073T2 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum Gravieren auf eine optische Platte |
| DE69033665T DE69033665T2 (de) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Gerät zum Gravieren einer optischen Platte |
| EP94110769A EP0626680B1 (en) | 1989-08-28 | 1990-08-24 | Apparatus for cutting an optical disc |
| KR1019900013253A KR0176708B1 (ko) | 1989-08-28 | 1990-08-28 | 광디스크용 컷팅장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1221019A JP2984004B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | カッテングマシン |
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|---|---|
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| JP2984004B2 JP2984004B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=16760211
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1221019A Expired - Fee Related JP2984004B2 (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | カッテングマシン |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (2) | EP0626680B1 (ja) |
| JP (1) | JP2984004B2 (ja) |
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| AU (1) | AU636905B2 (ja) |
| DE (2) | DE69033665T2 (ja) |
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1989
- 1989-08-28 JP JP1221019A patent/JP2984004B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-08-21 AU AU61160/90A patent/AU636905B2/en not_active Ceased
- 1990-08-23 US US07/571,152 patent/US5084856A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-08-24 DE DE69033665T patent/DE69033665T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-24 EP EP94110769A patent/EP0626680B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-08-24 AT AT94110769T patent/ATE197744T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-08-24 DE DE69027073T patent/DE69027073T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-24 EP EP90116269A patent/EP0415289B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-08-24 AT AT90116269T patent/ATE138489T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-08-28 KR KR1019900013253A patent/KR0176708B1/ko not_active IP Right Cessation
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| EP0415289B1 (en) | 1996-05-22 |
| US5084856A (en) | 1992-01-28 |
| ATE197744T1 (de) | 2000-12-15 |
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| EP0626680B1 (en) | 2000-11-22 |
| KR910005248A (ko) | 1991-03-30 |
| DE69027073T2 (de) | 1996-10-02 |
| DE69033665T2 (de) | 2001-03-15 |
| JP2984004B2 (ja) | 1999-11-29 |
| EP0415289A2 (en) | 1991-03-06 |
| KR0176708B1 (ko) | 1999-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |