JPH0447535A - 光学的記録方法 - Google Patents

光学的記録方法

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JPH0447535A
JPH0447535A JP2155124A JP15512490A JPH0447535A JP H0447535 A JPH0447535 A JP H0447535A JP 2155124 A JP2155124 A JP 2155124A JP 15512490 A JP15512490 A JP 15512490A JP H0447535 A JPH0447535 A JP H0447535A
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JP
Japan
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spot
light beam
diameter
recording
diffracted light
Prior art date
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JP2155124A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Ohira
大平 博之
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Pioneer Video Corp
Pioneer Corp
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Pioneer Video Corp
Pioneer Electronic Corp
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Publication date
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/2407Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
    • G11B7/24073Tracks
    • G11B7/24079Width or depth

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、トランクの案内溝を有する追記型または書
き換え可能型の光学式の記録媒体において、案内溝を形
成する光学的記録方法に関するものである。
〔従来の技術〕
第5図は従来の光学的情報記録装置の一例の構成を示す
ブロック図である。
第5図において、1はアルゴンレーザまたはクリプトン
レーザなどの光ビーム(レーザビーム)Lを出力するレ
ーザ光源、2は光ビーム偏向器を示し、この光ビーム偏
向器2は、0次光ビームL0と、後述する増幅回路14
の出力に基づいた回折角のn次回折光ビームL、(n=
1.2、・・・)を出力するものである。
なお、光ビーム偏向器2は音響光学効果を利用した、い
わゆるA10偏向器であり、通常使用するn次回折光ビ
ームL7は1次回折光ビーム(書込ビーム)Llである
7は記録光学系を示し、光ビーム偏向器2が出力する1
次回指光ビームL、を反射するミラー7aと、このミラ
ー7aからの1次回折光ビームL1を記録盤Rの記録面
にスポット(書込ビームスポット)として供給する対物
レンズ7bで構成されている。
8は駆動機構を示し、記録盤Rを載置するターンテーブ
ル8aと、このターンテーブル8aを回転させるモータ
8bと、このモータ8bを駆動するモータ駆動回路8C
と、記録光学系7を記録盤Rの半径方向に移動させる送
り機構部分8dと、モータ駆動回路8Cおよび送り機構
部分8dに基準信号を出力する基準信号発生回路8eで
構成されている。
9は第1の信号発生回路を示し、光ビーム偏向器2が出
力するn次回折光ビームL7の回折角を決定する搬送波
信号fcを出力するものである。
12はゲート信号発生回路を示し、後述するゲート回路
13を制御するゲート信号Sを出力するものである。
13はゲート回路を示し、ゲート信号発生回路12がゲ
ート信号Sのオン信号を出力している期間は、第1の信
号発生回路9の搬送波信号f、を増幅回路14に出力す
る(通過させる)ものである。
14は増幅回路を示し、ゲート回路13が出力する搬送
波信号f、を増幅して光ビーム偏向器2に出力するもの
である。
第6図(al〜(C1は第5図に示した光学的情報記録
装置で案内溝(グループ)を形成するときの説明図であ
る。
第6図において、記録盤Rは、基板Bと、この基板Bに
設けられている厚さ1000人程度0ホトレジスト膜C
で構成されている。
L3はホトレジスト膜Cに照射されるスポット、dll
はスポットL、のスポット径、Gはホトレジスト膜Cに
形成されたグループを示す。
次に、動作について説明する。
まず、レーザ光源1から光ビームLを出力させた状態で
、第1の信号発生回路9から搬送波信号fcを出力させ
、ゲート信号発生回路12からゲート回路13にゲート
信号Sのオン信号を供給すると、ゲート回路13は供給
される搬送波信号fcを出力する。
そして、増幅回路14は供給される搬送波信号fcを増
幅して光ビーム偏向器2に出力するので、光ビーム偏向
器2はO次光ビームL0と、n次回折光ビームL、を出
力する。
さらに、光ビーム偏向器2が出力する1次回折光ビーム
L、を記録光学系7のミラー7aおよび対物レンズ7b
により、記録盤Rのホトレジスト膜(記録面)Cに照射
する。
なお、このように1次回折光ビームL、をホトレジスト
膜Cに照射するとき、駆動機構8の基準信号発生回路8
eから基準信号をモータ駆動回路8cおよび送り機構部
分8dに出力することにより、ターンテーブル8aに載
置した記録盤Rを回転させ、記録光学系7を記録盤Rの
回転に同期させて記録盤Rの半径方向に移動させること
ができる。
上述したようにホトレジスト膜Cに1次回折光ビームL
+を照射するときの対物レンズ7bを通過した1次回折
光ビームL、のガウスビーム強度分布は、第6図(a)
に示すようになる。
したがって、ホトレジスト膜Cに照射されるスポットL
、のスポット径dllは、第6図(alに示すガウスビ
ーム強度分布のピーク値の1/e2倍の部分の径になる
ので、第6図(b)に示すようになる。
そして、このスポットL5によって形成できるグループ
Gの幅は、光ビームLを波長458nmのアルゴンレー
ザとし、対物レンズ7bの開口数(NA)を0.9とし
、ビームパワーを変えてレーザ光源lの光ビームLの径
を調整することにより、0゜3μm〜0.8μm程度と
なる。
しかし、第5図に示した光学的情報記録装置において、
対物レンズ7bの開口数(NA)を0.9としたのでは
、グループGの幅を0.8μm以上とすることができな
いので、0.8μm以上の幅広のグループGを形成する
方法が提案されている。
第7図(a)〜(C)は第5図に示した光学的情報記録
装置で幅広のグループを形成するときの説明図である。
なお、この第7図のようにして幅広のグループGを形成
する場合、第5図に示した記録光学系7の対物レンズ7
bの実効開口数(NA’)を下げることになる。
次に、動作について説明する。
上述したように、対物レンズ7bの実効開口数(NA’
 )を下げることにより、ホトレジスト膜Cに照射され
るスポットし、のスポット径d、□は、第7図(a)に
示すガウスビーム強度分布のピーク値の1/e”倍の部
分の径になるので、第7図(b)に示すようになる。
したがって、このスポットL、によって形成できるグル
ープGの幅は、光ビームLを波長458nmのアルゴン
レーザとし、対物レンズ7bの実効開口数(NA’)を
0.45とし、ビームパワーを変えてレーザ光源1の光
ビームLの径を調整することにより、0.5μm〜1.
5μm程度となる。
第8図は従来の光学的情報記録装置の他の例の構成を示
すブロック図であり、第5図と同一または相当部分に同
一符号を付し、説明を省略する。
第8図において、3はハーフミラ−などの第1のビーム
スプリッタを示し、光ビーム偏向器2からの1次回折光
ビームL1を2分するものである。
4は第1のミラーを示し、第1のビームスプリッタ3を
通過した1次回折光ビームL、を、後述する第2のビー
ムスプリッタ6に反射するものである。
5は第2のミラーを示し、第1のビームスプリンタ3で
反射された1次回折光ビームLlを第2のビームスプリ
ッタ6に反射するものである。
6はハーフミラ−などの第2のビームスプリフタを示し
、第1のミラー4からの1次回折光ビームL、を反射す
るとともに、第2のミラー5からの1次回折光ビームL
、を通過させるものである。
なお、第2のビームスプリッタ6を通過する1次回折光
ビームL、と、第2のビームスプリッタ6で反射される
1次回折光ビームL、の中心距離は、形成するグループ
Gの幅に対応させた距離となるように、第1および第2
のビームスプリッタ3.6と、第1および第2のミラー
4,5が配置されている。
第9図(a)〜(C)は第8図に示した光学的情報記録
装置でグループを形成するときの説明図である。
なお、スポラ)Lsの短軸方向がグループGの形成方向
になる。
次に、動作について説明する。
前述したように、光ビーム偏向器2から出力される1次
回折光ビームL1は、第1および第2のビームスプリッ
タ3,6と、第1および第2のミラー4,5と、記録光
学系7によって第9図(δ)に示すようなガウスビーム
強度分布になるので、ホトレジスト膜Cに照射されるス
ポットし、のスポット径dlは、第9図(a)に示すガ
ウスビーム強度分布のピーク値の1/e2倍の部分の径
になるので、第9図(′b)に示すようになる。
したがって、このスポットL、によって形成できるグル
ープGの幅は、光ビームを波長458nmのアルゴンレ
ーザとし、対物レンズ7bの開口数(NA)を0.9と
し、ビームパワーを変えてレーザ光源1の光ビームLの
径および2つの1次回折光ビームL+の中心距離を調整
することにより、0゜3μm〜1.5μm程度となる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来は上記のようにして幅広のグループGを形成してい
るので、第7図に示すようにグループGを形成する場合
、第7図(b)に示すように、スポット径d、□を決定
する部分のガウスビーム強度分布の傾斜がなだらかにな
るため、グループGの断面形状は第7図(C)に示すよ
うにエツジ部分がなだらかになり、記録・再生特性が悪
くなるという不都合があった。
また、第9図に示すようにグループGを形成する場合、
第9図(b)に示すように、スポット径dllを決定す
る部分のガウスビーム強度分布の傾斜が急峻になるため
、グループGの断面形状は第9図(C1に示すようにエ
ツジ部分が急峻となり、記録・再生特性はよくなる。
しかし、グループGの幅に合わせて第1および第2のビ
ームスブリフタ3,6と、第1および第2のミラー4,
5を設定・配置するのが難しいという不都合があった。
この発明は、上記したような不都合を解消するためにな
されたもので、簡単に記録・再生特性のよい幅広のグル
ープを形成することのできる光学的記録方法を提供する
ものである。
〔課題を解決するための手段〕
この発明にかかる光学的記録方法は、記録媒体上におけ
る書込ビームスポットの偏移周期を書込ビームスポット
の径の半分以下とし、書込ビームスポットの径以上の一
定幅の案内溝を形成するものである。
〔作 用〕
この発明における光学的記録方法は、記録媒体上におけ
る書込ビームスポットの偏移周期を書込ビームスポット
の径の半分以下とすることにより書込ビームスポットの
径以上の一定幅の案内溝を形成することができる。
〔実施例〕
以下、この発明の実施例を図に基づいて説明する。
第1図はこの発明の一実施例による光学的情報記録装置
の構成を示すブロック図であり、第5図と同一または相
当部分に同一符号を付し、説明を省略する。
第1図において、10は第2の信号発生回路を示し、光
ビーム偏向器2が出力するn次回折光ビームL、を所定
の振幅で振動させるウォブル信号f、を出力するもので
ある。
したがって、1次回折光ビームL、のスポットは、記録
盤Rの記録面(ホトレジスト膜C)において所定の振幅
で振動する。
11はFM変調回路を示し、第1の信号発生回路9が出
力する搬送波信号fcを、第2の信号発生回路10が出
力するウォブル信号fvによってFM変調するものであ
る。
第2図(a)〜(elは第1図における各部の信号を示
す波形図である。
第3図(a) 、 (b)および第4図(a) 、 (
b)はこの発明でグループを形成するときの説明図であ
る。
次に、動作について説明する。
まず、レーザ光源lから光ビームLを出力させた状態で
、第1の信号発生回路9から第2図(a)に示す搬送波
信号fcを出力させ、第2の信号発生回路lOから第2
図(b)に示すウォブル信号fvを出力させると、FM
変調回路11は第2図(C1に示す変調信号f8を出力
する。
そして、ゲート信号発生回路12からゲート回路13に
、第2図(d)に示すゲート信号Sを出力すると、ゲー
ト回路13からは第2図18)に示す変調信号fFMが
出力されるので、増幅回路14は変調信号fFMを増幅
して光ビーム偏向器2に出力する。
したがって、変調信号f工が供給された光ビーム変調器
2は、0次光ビームL0と、搬送波信号fCに基づいた
回折角のn次回折光ビームL、、を出力するとともに、
このn次回折光ビームL、、をウォブル信号fvに基づ
いた振幅で振動させる。
そして、光ビーム偏向器2が出力する1次回折光ビーム
L、を記録光学系7により、記録盤Rのホトレジストl
lICに照射する。
なお、このように1次回折光ビームL1をホトレジスト
膜Cに照射するとき、駆動機構8の基準信号発生回路8
eから基準信号をモータ駆動回路8cおよび送り機構部
分8dに出力することにより、ターンテーブル8aに載
置した記録盤Rを回転させ、記録光学系7を記録盤Rの
回転に同期させて記録盤Rの半径方向に移動させること
ができる。
このように記録盤Rに1次回折光ビームL、を照射して
グループGを形成するとき、対物レンズ7bからの1次
回折光ビームL1のガウスビーム強度分布は、第3図(
alに示すようになる。
そして、ホトレジスト膜Cに照射されるスポットL8の
スポット径d21は、第3図(alに示すガウスビーム
強度分布のピーク値の1 / e ”倍の部分の径にな
るので、第3図(b)に示すようになる。
しかし、このスボントL、はウォブル信号fvに基づき
、駆動機構8との関係でスポット径dZIの半分以下の
偏移周期T (2T≦dz+)で振動するので、スポッ
トL3は第4図(alに示すように振動し、第4図(b
)に示すように、記録盤Rに幅広のグループGが形成で
きる。
上述したように記録盤Rに幅広のグループ(案内溝)G
を形成する一例として、レーザ光源1に波長458nm
のアルゴンレーザおよび開口数(NA)0.9の対物レ
ンズ7bを用い、スポット径(Ig+を0、4μmとし
、ターンテーブル8aの回転数が180Or、p、m、
で、記録盤R上の最大記録半径位置、例えば60sa+
の半径位置にグループGを形成する場合、搬送波信号f
cの周波数を200MI(Z、ウォブル信号fvの周波
数を40MHzとし、スポットL8の偏移周期Tをスポ
ット径dZ+の半分以下にし、がっ、変調信号fF、4
の周波数偏移を調整してスポット径aZ+の偏移量!を
066μmとすることにより、幅1.0μmのグループ
Gを形成することができる。
そして、レーザ光源1のビームパワーを変えてスポット
径dZ+を0.3μm −0,8μmの範囲で調整し、
変調信号fFMの周波数偏移を調整してスポット径d2
Iの偏移量lを0μm −0,6μmの範囲で調整すれ
ば、最小0.3μm(スポット径d21が0.3μmで
、偏移量lがoIJmの場合)がら最大1.4μm(ス
ポット径dzlが0.8.17 mで、偏移量lが0.
6μmの場合)の幅のグループGを形成することができ
る。
こ′のように、0.3μm〜1.4μm程度のグループ
Gを形成するとき、スポットL、のスポット径d□は0
.3μm〜0.8μmであるので、グループGのエツジ
は急峻になり、記録・再生特性のよいものになる。
したがって、この実施例によれば、記録・再生特性のよ
い幅広のグループGを単一のn次回折光ビームL、(ス
ポットL、)で蛇行させることなく形成することができ
る。
また、単一のn次回折光ビームLアの偏向角を電気的に
制御してスポットLsをその径の半分以下の偏移周期T
で振動させればよいので、幅広のグループGが比較的簡
単に精度よくできる。
さらに、グループGをウオブリングさせる場合、スボッ
)Lsの偏移量lをウォブル信号fcに応じて変化させ
ながら、偏移周期TによるスポットL、の偏移を重畳さ
せることによって対応することができる。
なお、上記した実施例では、記録盤Rの半径が601の
位置でターンテーブル8a(記録盤R)の回転数が18
00r、p、n+、の場合にウォブル信号fvの周波数
を40MHzとした例で説明したが、ウォブル信号fv
の周波数は、記録盤Rの最高記録回転速度および記録盤
Rの最大半径位置においても、スボッ)Lsの径の半分
以下でスポットLsが偏移(振動)する偏移周期の周波
数であればよい。
また、n次回折光ビームL7として1次回折光ビームL
1を用いた例で説明したが、2次回折光ビームL2.3
次回折光ビームL1、・・・であってもよい。
さらに、光ビーム偏向器2としてA10偏向器を用いた
光学的情報記録装置で説明したが、光ビーム偏向器2は
他の偏向器、例えば電気光学効果を利用した、いわゆる
E10偏向器を使用してもよい。
〔発明の効果〕
以上のように、この発明によれば、記録媒体上における
書込ビームスポットの偏移周期を書込ビームスポットの
径の半分以下とすることにより、書込ビームスポットの
掻取上の一定幅の案内溝が形成できるので、記録・再生
特性のよい幅広の案内溝が形成できるという効果がある
また、単一のn次回折光ビームの偏向角を電気的に制御
して書込ビームスポットをその径の半分以下の偏移周期
で振動させればよいので、幅広の案内溝が比較的簡単に
精度よく形成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例による光学的情報記録装置
の構成を示すブロック図、 第2図fa)〜(e)は第1図における各部の信号を示
す波形図、 第3図(al 、 (blおよび第4図(a) 、 (
b)はこの発明でグループを形成するときの説明図、 第5図は従来の光学的情報記録装置の一例の構成を示す
ブロック図、 第6図(al〜(C1は第5図に示した光学的情報記録
装置でグループを形成するときの説明図、第7図(a)
〜(C1は第5図に示した光学的情報記録装置で幅広の
グループを形成するときの説明図、 第8図は従来の光学的情報記録装置の他の例の構成を示
すブロック図、 第9図(a)〜(C)は第8図に示した光学的情報記録
装置でグループを形成するときの説明図である。 1・・・レーザ光源、2・・・光ビーム偏向器、7・・
・記録光学系、8・・・駆動機構、9・・・第1の信号
発生回路、10・・・第2の信号発生回路、11・・・
FM変調回路、12・・・ゲート信号発生回路、13・
・・ゲート回路、14・・・増幅回路、R・・・記録盤
、B・・・基板、C・・・ホトレジスト膜、L、・・・
スポット、dZl・・・スポット径、T・・・偏移周期
、l・・・偏移量、G・・・グループ。 第 図 第 図 s 第4 図 SCh+← 第6 図 −−d12→ 第7 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 案内溝の形成方向と直交する方向に書込ビームを一定幅
    で微少振動させながら記録媒体上に照射して前記案内溝
    を形成する光学的記録方法において、 前記記録媒体上における前記書込ビームスポットの偏移
    周期を前記書込ビームスポットの径の半分以下とし、前
    記書込ビームスポットの径以上の一定幅の前記案内溝を
    形成することを特徴とする光学的記録方法。
JP2155124A 1990-06-15 1990-06-15 光学的記録方法 Pending JPH0447535A (ja)

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