JPS63298839A - 光ディスク原盤の作成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光ディスク原盤の作成装置に関する。

（従来の技術） 光ディスク原盤（以下、単に原盤という）は、表面を研
磨したガラス等の基板にフォトレジスト（以下、単にレ
ジストと略す）を塗布し、これを記録すべき情報信号に
より強度変調したレーザ光を用いて感光させ、その感光
度に対応した情報記録を原盤に形成する。

第９図はそのような従来の原盤の作成装置の構成を、レ
ーザ光の照射構成を主にして示したもので、レジストを
塗布した基板１は、スピンドル２によって回転駆動され
るとともに、−軸径送台３によって基板１の径方向に移
送される。Ａｒ（アルゴン）レーザ４の発するレーザ光
は、ミラー５を経て強度変調器（Ｅ−０変調器という）
６によって記録すべき信号強度に応する強度変調をうけ
、ミラー７．８．フィルタミラー９を経てレンズアクチ
ュエータ（以下、単にアクチュエータという）１０によ
って基板１に照射される。Ｈｅ　−Ｎ　ｅ　（ヘリウム
ネオン）レーザ１１によるレーザ光は基板１に照射され
、その戻り光がハーフミラ−１２を経て光検出器１３に
送られ、その検出出力によって、上記アクチュエータ１
０が前記Ａｒレーザ４のレーザ光の焦点を基板１に結ぶ
ように制御する。なお、基板１のレジストはＡｒレーザ
光には感光し、Ｈｅ　−Ｎ　ｅレーザ光には感光しない
レジストが使用される。

（発明が解決しようとする問題点） 従来の光ディスク原盤は上記のように作成されるので、
記録用および焦点の調整制御用の２つのレーザ光（それ
ぞれを記録光、制御光と略す）をそれぞれ発振するレー
ザ装＠（上記の例ではＡｒレーザ装置、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ装置￥）２つが必要で、そのため、原盤の作成装置が
大型になり、また、トラッキング制御を行いながらトラ
ック溝（以下、記録溝または溝という）を設けた基板の
記録信号で強度変調したレーザ光を照射する場合には、
記録光と制御光の焦点スポットが相対的にずれる等の欠
点がある。

本発明は、上記の欠点を排除した光ディスク原盤の作成
装置の提供を目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記の目的を、２つ以上の波長で同時に発振す
る１つのレーザ装置を設けて、その発振レーザ光の１つ
を記録光として、それを強度変調して信号の記録に用い
、他の発振レーザ光を記録光等の焦点を調整制御する制
御光とすることにより達成する。

（作　用） 本発明は、記録、制御の両レーザ光を１個のレーザ装置
から供給するから、装置として小型に構成でき、また、
それら記録、制御のレーザ光のスポットの相対位置は容
易には崩れないので、優れた光ディスクの原盤の作成が
可能になる。

（実施例） 以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。

第１図は本発明の一実施例の光ディスク原盤作成装置の
構成を示す図で、以下説明しない符号は前回までの説明
を援用し、その他の符号１４は２波長の発振が可能な２
波長発振Ａｒレーザであり、その発振光はフィルタミラ
ー１５によって２つに分けられ、その一方のレーザ光は
、Ｅ−０変調器６によって記録すべき信号に応じた強度
変調をうけ、アクチュエータ１０によりレジストを塗布
した基板１上に、レーザビームスポット（焦点）を照射
するレジストを感光する記録光となされ、また、他方の
レーザ光は、アクチュエータｌＯを経て基板１に照射さ
れ、それが反射した戻り光をフィルタミラー９．ハーフ
ミラ−１２を経て光検出器１３によって検出し、その検
出出力信号にはアクチュエータｌＯと基板１との距離に
応する変化が得られるから、それは上記記録光のスポッ
トを基板１上に結ばせる、アクチュエータ１０の制御に
用いられる。

このような制御光の形成方法は、非点収差法。

ナイフェツジ法等が知られており１例えばナイフェツジ
法では、基板からの戻り光をレンズ等で収束させ、その
レンズと焦点面間の収束光路中にナイフェツジを配置し
て光路の半分を遮断し、焦点面には２分割した光検出器
が置かれる。このようにすると、基板とアクチュエータ
との距離に応じて２分割した光検出器の出力差が得られ
、それがアクチュエータの焦点制御のための信号に用い
ることができる。本発明では、このような焦点制御が可
能な光検出器を一括して光検出器として表わしている。

基板１はスピンドル２によって回転駆動され、−軸径送
台３によって基板１の半径方向に移送される等は従来の
通りである。

なお、２波長発振のＡｒレーザ１４は、その発振波長の
特定の２波長に高い反射率を有するレーザ共振器のミラ
ーを用いて構成でき、さらに、それら発振する２つのレ
ーザ光の強度比は同様に、共振器の反射率の差を調整し
て実現可能で、発振波長は、例えば記録光に４５７．９
ｎｍ、制御用には５１４．５ｎｌｌの組合せができる。

また、２波長発振レーザには、Ａｒレーザの他にクリプ
トンレーザ、Ｈａレーザが利用でき、また、レジストは
記録光には高く、制御光には低い感度を有するものが任
意に選択できるが、一般にはレジストの感度は長波長よ
りも短波長のレーザ光に対して高いため、記録光に短波
長、制御用には長波長のレーザ光を用いることが有利で
ある。

さらに、基板１は一般には表面を研磨したガラス板が使
用されるが、これは、例えば銅板等、他のものであって
もよい。

第２図はマルチモード発振のＡｒレーザから２波長のレ
ーザ光を作出する実施例を示し、以下説明しない前回ま
でと同一の符号は、それらと同一または同等の機能を有
し、１６はマルチモード発振のＡｒレーザで、その発振
する複数のレーザ光の１つをフィルタミラー１５を経て
選出し、制御光とし、また、フィルタミラー１７で他の
レーザ光を選出して記録光とすることにより、第１図と
全く同様に信号の記録を基板１に行うことができる。な
お、マルチモード発振１６としては、Ａｒレーザの他に
クリプトンレーザ、Ｈｅ−Ｎｅレーザが使用できる。

第３図は他の実施例の構成図である。１８は予め記録溝
が形成されレジストを塗布した溝付基板である。光検出
器１３は焦点信号の他に溝付基板１８の記録溝によるト
ラッキング信号を検出する。　１９はガルバノミラ−で
、上記トラッキング信号によって制御され、紙面に垂直
な軸の回りに微小角度の振れを可能にして、記録光を溝
付基板１８の記録溝にトラッキングするものである。

ここで、溝付基板１８の記録溝は断面がＵまたはＶの一
般の溝でよく、これは機械切削により形成可能であるが
、番地切削と同時の切削は困難である。そのため、予め
記録溝を設けた基板を用いて番地を記録することになり
、したがって、トラッキングをかけることになる。

制御光および記録光は、アクチュエータ１０によって溝
付基板１８上に焦点スポットを結び、それらのスポット
は同一点にあって記録溝上にあってもよく、また、第４
図（ａ）のように、溝方向直線上にあってもよい。同じ
く（ｂ）図のように、制御光スポット２１は溝上にあり
、記録光スポット２０は溝間にあるようにすると、その
溝間に信号の記録ができる。

■溝のときは記録光および制御光の両スポット２０、２
１は、第５図（ａ）のように溝方向の谷に直線状にあっ
てもよく、また、（ｂ）図のように溝の山にあるように
してもよい。また、それら両スポット２０．２１が同一
点にあり、■溝の底または山にあってもよく、いずれの
場合もＶ溝の底または山に信号の記録が可能である。ま
た、第６図（ａ）ないしくｂ）のように、制御光のスポ
ット２１をＶ溝の底または山におき、記録光のスポット
をＶ溝の斜面におくと、その斜面に記録ができるから、
両斜面に記録させると従来の２倍の情報を記録した光デ
ィスクを提供する原盤ができる。

一般に、光ディスク原盤の作成装置では、記録光、制御
光の両スポットの位置関係が一定でないときは、記録信
号がトラックずれを生じ、再生時にクロストークを生ず
る。

両スポットの位置ずれの主要な原因は、レーザ共振器の
温度による揺らぎであるが、本発明では記録光、制御光
の両スポットとも同一レーザ装置から作成しているから
、温度による揺ら□ぎがあっても、それらの相対位置は
変化せず、したがって。

クロストーク等の発生は少ない。また、制御光のスポッ
トが揺らいでも、それによってトラッキングを行ってい
るから、信号記録には全く影響がない。

第７図は本発明のさらに他の実施例を示し、■溝の両斜
面に信号を記録する場合の実施例である。

記録光を２波長発振Ａｒレーザ１４からフィルタミラー
１５によって２波長に分離して取り出し、記録光とする
一方のレーザ光をハーフミラ−２２によって２分割させ
、それぞれをＥ−０変調器６゜６′によって記録信号強
度に応じて強度変調させ、その一方を１／２波長板２３
により偏波面を１７２波長ずらせであるので、ＰＢＳ（
偏光ビームスプリッタ）２４によって１つの記録光にな
され、記録光と制御光はガルバノミラ−１９，アクチュ
エータ１０を経てレジストを塗布したＶ溝を有する基板
２５に絞られたビームが照射され、それらのスポットは
第８図（ａ）のように、制御光のスポット２１をＶ溝の
山におき、２つの記録光のスポット２０．２０’を上記
の山の両斜面にそれぞれおくか、または同図（ｂ）のよ
うに、制御光のスポットｚ１をＶ溝の谷におき、２つの
記録光のスポット２０．２０’をそれぞれＶ溝の谷の両
斜面にあるようにして、制御光２１でＶ溝の山または谷
にトラッキングをかけながら、異なった信号により強度
変調された記録光２０゜２０′により、同時にＶ溝の両
斜面に信号を記録させることができる。

（発明の効果） 以上、詳細に説明して明らかなように１本発明は、１つ
のレーザ装置から記録光および制御光を得て信号を記録
するから、従来必要であった２つのレーザ装置の一方を
省略して小型に構成できると同時に、レジストを塗布し
た基板に記録溝を予め形成してトラッキングをかけなが
ら信号を記録することにより、記録光のスポットと制御
光のスポットとの相対位置がずれにくいため、記録品質
が大幅に向上した原盤を作成できることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図および第７図はそれぞれ本発明
の実施例を示す図、第４図、第５図、第６図および第８
図は説明補助図で、本発明の記録光、制御光の基板上に
結ぶスポットを説明する図、第９図は従来例の説明図で
ある。 １・・・ガラス基板、　２・・・スピンドル、　３・・
・−線移送台、　４・・・Ａ　ｒ　（アルゴン）レーザ
、　　５，７．８・・・ミラー、　　６，６′・・・強
度変調器（Ｅ−０変調器）、　９，１５．１７・・・フ
ィルタミラー、　ｌＯ・・・レンズアクチュエータ（ア
クチュエータと略す）、　１１・・・Ｈｅ　−Ｎ　ｅ　
（ヘリウムネオン）レーザ、　１２゜２２・・・ハーフ
ミラ−１１３・・・光検出器、　１４・・・２波長発振
Ａｒレーザ、　１６・・・マルチモード発振アルゴンレ
ーザ、　１８・・・溝付基板、１９・・・ガルバノミラ
−１２０，２０’・・・記録光スポット、　２１・・・
制御光スポット、　２３・・・１７２波長板、　２４・
・・ＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ）、２５・・・Ｖ溝
付基板。 特許出願人　松下電器産業株式会社 第１図 １　・　力゛ラス茅方殴２　　２°・スピンドｙし　　
　　　３・・−軸ｊＬ送台９・・・フ４．レタ　ミラ−
１０・・レンズアクチュエータ１２・・ハーフミラ−１
５・・フィルタミラー第２図 第３図 １日・・・　溝待基檄 第４図 （ａ） （ｂ） ２０・・・　Ｓこ硅しウス汀ζット ２１　・・桐）′＃丸のスポット 第５図 （ａ） （ｂ） ２０　・　お脣尤のスダット ２１　・・　鼻“３神２丸　つ　スポット第６図 （（＋）　　　　　　　　　　　　　　　　（ｂ）（ｃ
）　　　　　（ｄ） ２０　・・詫硅范　クスポット ２Ｉ　　・・ン）御′ＬＩ）スキζット第７図 １７゛°フイＩレタミラー １９°゛γルバノミラー ２３・・・１／２傭長棟 ２４・・ＰＢＳ ２５・・Ｖ瀉４１趙 第８図 （ａ） （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. フォトレジストを塗布した光ディスク基板に、記録信号
   により強度変調したレーザ光を照射する工程を有する、
   記録信号を記録した光ディスク原盤の作成装置において
   、上記記録信号により強度変調される記録レーザ光と、
   その記録レーザ光の基板上の焦点スポットの形成を制御
   するための制御レーザ光とを、少なくとも２つ以上の異
   なる波長でレーザ光を発振する１つのレーザ装置から供
   給することを特徴とする光ディスク原盤の作成装置。