JP6118994B2 - 露光方法および露光装置 - Google Patents
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Description
図1に、本発明の実施の形態1の光ディスク原盤の露光装置の概略構成図を示す。本実施の形態において、原盤は、被露光物の一例であり、CCDカメラは、撮像素子の一例であり、凸レンズやミラーは、光学素子の一例である。
図6に、本発明の実施の形態2の光ディスク原盤の露光装置の概略模式図を示し、図7(a)、(b)に、そのフォーカス制御方法の概念図を示す。
図8に本発明の実施の形態3の光ディスク原盤の露光装置の概略模式図を示す。
前述の種々の実施の形態との比較として、本発明を使用せず、従来の光ディスク原盤の露光装置を用いて、BD−Rのマスタリングを行い、前述の実施の形態1同様のデータの評価を行ったところ、CCDディテクタ124bの信号変動は約8%、AFMを用いた溝幅の変動は約10%となった。また、マスタリングしたスタンパーをディスク化した後の、BD−Rディスクの電気特性のパラメータΔPPは、0.07であった。
101,201 パワーコントロール部
101a,201a パワーコントロールデバイス
101b,110,111,201b 一部透過ミラー
101c,201c パワーコントロールディテクタ
101d,201d パワーコントロールドライバー
102 信号変調部
103 信号偏向部
104 ビーム成形部
105,106,107,108,109,113,114 ミラー
112 ダイクロイックミラー
120 アクチュエータ
120a 対物レンズ
121 原盤
121a レジスト層
123 非点収差光学系
124 ビームモニター系
124a 凸レンズ
124b CCDディテクタ
125 補助フォーカスサーボ光学系
223 非点収差光学系
223a 凸レンズ
223b シリンドリカルレンズ
223c 4分割ディテクタ
226 フォーカス制御部
226a フォーカス差動アンプ
226b オフセット調整部
226c 光量制御部
227 フォーカス制御ユニット
228,232,233 偏光子
229,230 λ/2板
231 λ/4板
Claims (7)
- 光源から出射されたビームをパワーコントロール部でパワーコントロールすると共に変調及び偏向を施した後、対物レンズを介して被露光物に照射する露光方法であって、
前記被露光物に照射されて反射したビームを分岐し、分岐した一方のビームを撮像素子に入射させて前記対物レンズと前記被露光物とのフォーカス位置を評価し、分岐した他方のビームを非点収査法を用いて4分割ディテクタで受光し、
前記4分割ディテクタの出力と評価された前記フォーカス位置とに基づいて、前記対物レンズの位置を制御し、
前記4分割ディテクタが受光する光量の平均値に基づいて、前記パワーコントロール部内のパワーコントロールドライバーでパワーコントロールデバイスを制御してビームのパワーを調整すること、
を特徴とする露光方法。 - 前記4分割ディテクタで受光するビームの0.1秒以上前からの光量平均を、前記パワーコントロール部でのパワーコントロールに用いること、
を特徴とする請求項1記載の露光方法。 - 前記4分割ディテクタでの光量に応じて変化する各々のフォーカス位置の評価情報を直線補間することによりフォーカス制御を行うこと、
を特徴とする請求項1又は2記載の露光方法。 - 光源と、
前記光源から出射されたビームをパワーコントロールするパワーコントロール部と、
前記光源から出射されたビームを変調する信号変調部と、
前記光源から出射されたビームを偏向する信号偏向部と、
被露光物を保持する被露光物保持部と、
前記光源からの光を前記被露光物に照射する対物レンズと、
前記被露光物に照射されて反射したビームを分岐する光学素子と、
前記光学素子で分岐した一方のビームを撮像素子に入射させて前記対物レンズと前記被露光物とのフォーカス位置を評価するビームモニター部と、
前記光学素子で分岐した他方のビームを非点収査法を用いて受光する4分割ディテクタにて構成されるフォーカス制御部と、を備え、
前記被露光物保持部は、前記4分割ディテクタの出力と評価された前記フォーカス位置とに基づいて、前記対物レンズの位置を制御し、前記パワーコントロール部は、前記4分割ディテクタが受光する光量の平均値に基づいて、パワーコントロールドライバーでパワーコントロールデバイスを制御することでビームのパワーを調整すること、
を特徴とする露光装置。 - 前記光源から出射されたビームの光路上において、前記パワーコントロール部または前記信号偏向部の少なくとも一つの前に、偏光子を設置すること、
を特徴とする請求項4記載の露光装置。 - 前記光源から出射されたビームの光路上において、前記信号偏向部の後ろ、かつ、前記ビームモニター部と前記フォーカス制御部とに分岐する光学素子の前に、第2偏光子を設置すること、
を特徴とする請求項4又は5に記載の露光装置。 - 前記偏光子のp偏光及びs偏光の消光比が、0.001〜0.01であること、
を特徴とする請求項5記載の露光装置。
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