JP2969413B2 - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、並設された２台のワイ
ヤボンダでそれぞれ別個のリードフレームにワイヤボン
デイングを施してそれぞれのリードフレームのワイヤボ
ンデイングを完了させるワイヤボンデイング方法に関す
る。
ヤボンダでそれぞれ別個のリードフレームにワイヤボン
デイングを施してそれぞれのリードフレームのワイヤボ
ンデイングを完了させるワイヤボンデイング方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンデイング方法は、図３
に示すように、ＸＹテーブル２０上に搭載されたボンデ
イングヘッド２１を有する１台のワイヤボンダ２２と、
このワイヤボンダ２２の前方に配設されたフレーム搬送
ユニット２３と、このフレーム搬送ユニット２３の両側
に配設されたローダユニット２４及びアンローダユニッ
ト２５とを備え、ワイヤボンダ２２、フレーム搬送ユニ
ット２３、ローダユニット２４及びアンローダユニット
２５は１つの架台２６に装備されている。
に示すように、ＸＹテーブル２０上に搭載されたボンデ
イングヘッド２１を有する１台のワイヤボンダ２２と、
このワイヤボンダ２２の前方に配設されたフレーム搬送
ユニット２３と、このフレーム搬送ユニット２３の両側
に配設されたローダユニット２４及びアンローダユニッ
ト２５とを備え、ワイヤボンダ２２、フレーム搬送ユニ
ット２３、ローダユニット２４及びアンローダユニット
２５は１つの架台２６に装備されている。
【０００３】そこで、ローダユニット２４からリードフ
レーム（図示せず）がフレーム搬送ユニット２３に供給
され、このリードフレームはフレーム搬送ユニット２３
によって間欠的に送られてボンデイング部分が順次ワイ
ヤボンダ２２によるボンデイング位置に送られる。そし
て、ワイヤボンダ２２によって順次ワイヤボンデイング
が施され、ワイヤボンデイングが終了したリードフレー
ムはフレーム搬送ユニット２３によってアンローダユニ
ット２５に収納される。
レーム（図示せず）がフレーム搬送ユニット２３に供給
され、このリードフレームはフレーム搬送ユニット２３
によって間欠的に送られてボンデイング部分が順次ワイ
ヤボンダ２２によるボンデイング位置に送られる。そし
て、ワイヤボンダ２２によって順次ワイヤボンデイング
が施され、ワイヤボンデイングが終了したリードフレー
ムはフレーム搬送ユニット２３によってアンローダユニ
ット２５に収納される。
【０００４】前記したワイヤボンデイング装置において
は、半導体部品を大量生産する場合には、ワイヤボンデ
イング装置を複数台必要とし、各ワイヤボンデイング装
置にはそれぞれローダユニット２４及びアンローダユニ
ット２５を備える必要があるので、設備費が高くなると
共に、大設置スペースを必要とする。
は、半導体部品を大量生産する場合には、ワイヤボンデ
イング装置を複数台必要とし、各ワイヤボンデイング装
置にはそれぞれローダユニット２４及びアンローダユニ
ット２５を備える必要があるので、設備費が高くなると
共に、大設置スペースを必要とする。
【０００５】また図４に示すように、ワイヤボンダ２２
Ａ、フレーム搬送ユニット２３Ａ、ローダユニット２４
を架台２６Ａに装備し、ワイヤボンダ２２Ｂ、フレーム
搬送ユニット２３Ｂ、アンローダユニット２５を別の架
台２６Ｂに装備し、そして架台２６Ａ、２６Ｂを接続板
２７で接続し、更に一方のフレーム搬送ユニット２３Ａ
と他方のフレーム搬送ユニット２３Ｂとを接続するため
にベルト搬送ユニット２８Ａ、２８Ｂを配設したものが
知られている。このように、２台のワイヤボンダ２２
Ａ、２２Ｂでローダユニット２４及びアンローダユニッ
ト２５を兼用するので、設備費及び設置スペースの点で
は前記した図３の場合に比べて優れている。
Ａ、フレーム搬送ユニット２３Ａ、ローダユニット２４
を架台２６Ａに装備し、ワイヤボンダ２２Ｂ、フレーム
搬送ユニット２３Ｂ、アンローダユニット２５を別の架
台２６Ｂに装備し、そして架台２６Ａ、２６Ｂを接続板
２７で接続し、更に一方のフレーム搬送ユニット２３Ａ
と他方のフレーム搬送ユニット２３Ｂとを接続するため
にベルト搬送ユニット２８Ａ、２８Ｂを配設したものが
知られている。このように、２台のワイヤボンダ２２
Ａ、２２Ｂでローダユニット２４及びアンローダユニッ
ト２５を兼用するので、設備費及び設置スペースの点で
は前記した図３の場合に比べて優れている。
【０００６】このワイヤボンデイング装置では、ローダ
ユニット２４からフレーム搬送ユニット２３Ａに供給さ
れた１番目のリードフレームは、フレーム搬送ユニット
２３Ａ、ベルト搬送ユニット２８Ａ、２８Ｂを通ってフ
レーム搬送ユニット２３Ｂに搬送され、フレーム搬送ユ
ニット２３Ｂによってリードフレームのボンデイング部
分が順次ワイヤボンダ２２Ｂによるボンデイング位置に
送られる。次にローダユニット２４からフレーム搬送ユ
ニット２３Ａに供給された２番目のリードフレームは、
フレーム搬送ユニット２３Ａによってボンデイング部分
が順次ワイヤボンダ２２Ａによるボンデイング位置に送
られる。そして、ボンデイング位置に送られた１番目及
び２番目のリードフレームはそれぞれワイヤボンダ２２
Ａ、２２Ｂでワイヤボンデイングが施される。次にワイ
ヤボンダ２２Ｂでワイヤボンデイングが終了したリード
フレームがまずアンローダユニット２５に収納され、そ
の後ワイヤボンダ２２Ａでワイヤボンデイングが終了し
たリードフレームがベルト搬送ユニット２８Ａ、２８
Ｂ、フレーム搬送ユニット２３Ｂを通ってアンローダユ
ニット２５に収納される。
ユニット２４からフレーム搬送ユニット２３Ａに供給さ
れた１番目のリードフレームは、フレーム搬送ユニット
２３Ａ、ベルト搬送ユニット２８Ａ、２８Ｂを通ってフ
レーム搬送ユニット２３Ｂに搬送され、フレーム搬送ユ
ニット２３Ｂによってリードフレームのボンデイング部
分が順次ワイヤボンダ２２Ｂによるボンデイング位置に
送られる。次にローダユニット２４からフレーム搬送ユ
ニット２３Ａに供給された２番目のリードフレームは、
フレーム搬送ユニット２３Ａによってボンデイング部分
が順次ワイヤボンダ２２Ａによるボンデイング位置に送
られる。そして、ボンデイング位置に送られた１番目及
び２番目のリードフレームはそれぞれワイヤボンダ２２
Ａ、２２Ｂでワイヤボンデイングが施される。次にワイ
ヤボンダ２２Ｂでワイヤボンデイングが終了したリード
フレームがまずアンローダユニット２５に収納され、そ
の後ワイヤボンダ２２Ａでワイヤボンデイングが終了し
たリードフレームがベルト搬送ユニット２８Ａ、２８
Ｂ、フレーム搬送ユニット２３Ｂを通ってアンローダユ
ニット２５に収納される。
【０００７】ところで、かかるワイヤボンデイング装置
においては、従来、図５に示す方法でワイヤボンデイン
グを行なっている。リードフレーム３０に貼付けられた
半導体ペレット３１の電極３２とリードフレーム３０の
リード部３３とにワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂでワイヤ
３４をワイヤボンデイングする。この場合、ワイヤボン
ダ２２Ａは１Ａ、２Ａ、３Ａ・・・１６Ａの順序でワイ
ヤボンデイングを行い、ワイヤボンダ２２Ｂは１Ｂ、２
Ｂ、３Ｂ・・・１６Ｂの順序でワイヤボンデイングを行
う。即ち、まずワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂは、それぞ
れ同時に１Ａ、１Ｂのワイヤボンデイングを行い、次に
それぞれ同時に２Ａ、２Ｂのワイヤボンデイングを行な
う。以後、同様にしてワイヤボンデイングを行い、１デ
バイスのワイヤボンデイングを完了する。１デバイスの
ワイヤボンデイングが完了すると、次のデバイスがそれ
ぞれのワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂのボンデイング位置
に送られ、同様にしてワイヤボンデイングが行なわれ
る。
においては、従来、図５に示す方法でワイヤボンデイン
グを行なっている。リードフレーム３０に貼付けられた
半導体ペレット３１の電極３２とリードフレーム３０の
リード部３３とにワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂでワイヤ
３４をワイヤボンデイングする。この場合、ワイヤボン
ダ２２Ａは１Ａ、２Ａ、３Ａ・・・１６Ａの順序でワイ
ヤボンデイングを行い、ワイヤボンダ２２Ｂは１Ｂ、２
Ｂ、３Ｂ・・・１６Ｂの順序でワイヤボンデイングを行
う。即ち、まずワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂは、それぞ
れ同時に１Ａ、１Ｂのワイヤボンデイングを行い、次に
それぞれ同時に２Ａ、２Ｂのワイヤボンデイングを行な
う。以後、同様にしてワイヤボンデイングを行い、１デ
バイスのワイヤボンデイングを完了する。１デバイスの
ワイヤボンデイングが完了すると、次のデバイスがそれ
ぞれのワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂのボンデイング位置
に送られ、同様にしてワイヤボンデイングが行なわれ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、２台
のワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂでそれぞれ別個のリード
フレーム３０にワイヤボンデイングを行なってそれぞれ
のリードフレーム３０のワイヤボンデイングを完了させ
る場合、２台のワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂは対応した
部分（１Ａと１Ｂ、２Ａと２Ｂ・・・１６Ａと１６Ｂ）
のワイヤボンデイングを同時に行なうので、ワイヤボン
ダ２２Ａ、２２ＢのＸＹテーブル２０Ａ、２０Ｂの移動
時の振動が増幅され、大きな振動が発生するという問題
点があった。
のワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂでそれぞれ別個のリード
フレーム３０にワイヤボンデイングを行なってそれぞれ
のリードフレーム３０のワイヤボンデイングを完了させ
る場合、２台のワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂは対応した
部分（１Ａと１Ｂ、２Ａと２Ｂ・・・１６Ａと１６Ｂ）
のワイヤボンデイングを同時に行なうので、ワイヤボン
ダ２２Ａ、２２ＢのＸＹテーブル２０Ａ、２０Ｂの移動
時の振動が増幅され、大きな振動が発生するという問題
点があった。
【０００９】本発明の目的は、振動の軽減が図れるワイ
ヤボンデイング方法を提供することにある。
ヤボンデイング方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、共通のローダユニットから並設され
た２台のワイヤボンダにそれぞれリードフレームを送
り、それぞれのリードフレームに対応するワイヤボンダ
で同時にワイヤボンデイングを施し、ワイヤボンデイン
グが完了したリードフレームを共通のアンローダユニッ
トに順次収納するワイヤボンデイング方法において、前
記２台のワイヤボンダは、リードフレームへのワイヤボ
ンデイング時には１ワイヤづつタイミングを取り、同時
に逆位相でワイヤボンデイングを施すことを特徴とす
る。
の本発明の構成は、共通のローダユニットから並設され
た２台のワイヤボンダにそれぞれリードフレームを送
り、それぞれのリードフレームに対応するワイヤボンダ
で同時にワイヤボンデイングを施し、ワイヤボンデイン
グが完了したリードフレームを共通のアンローダユニッ
トに順次収納するワイヤボンデイング方法において、前
記２台のワイヤボンダは、リードフレームへのワイヤボ
ンデイング時には１ワイヤづつタイミングを取り、同時
に逆位相でワイヤボンデイングを施すことを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】２台のワイヤボンダは、１ワイヤづつタイミン
グを取り、同時に逆位相でワイヤボンデイングを行なう
ので、一方のワイヤボンダのＸＹテーブルの移動時の振
動と他方のワイヤボンダのＸＹテーブルの移動時の振動
が相殺され、振動が減少する。
グを取り、同時に逆位相でワイヤボンデイングを行なう
ので、一方のワイヤボンダのＸＹテーブルの移動時の振
動と他方のワイヤボンダのＸＹテーブルの移動時の振動
が相殺され、振動が減少する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１及び図２によ
り説明する。なお、図４及び図５と同じ装置又は部材に
は、同一符号を付して説明する。図２は本発明のワイヤ
ボンデイング方法を適用したワイヤボンデイング装置を
示す。図２に示すように、２台のワイヤボンダ２２Ａ、
２２Ｂは並設され、これらのワイヤボンダ２２Ａ、２２
Ｂの前方には１つのフレーム搬送ユニット４０が配設さ
れ、フレーム搬送ユニット４０の両側にはそれぞれロー
ダユニット２４及びアンローダユニット２５が配設され
ている。そして、ワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂ、フレー
ム搬送ユニット４０、ローダユニット２４及びアンロー
ダユニット２５は、１つの架台４１に装備されている。
なお、ワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂは、従来と同様に、
それぞれＸＹテーブル２０Ａ、２０Ｂと、このＸＹテー
ブル２０Ａ、２０Ｂ上に搭載されたボンデイングヘッド
２１Ａ、２１Ｂとを備えている。
り説明する。なお、図４及び図５と同じ装置又は部材に
は、同一符号を付して説明する。図２は本発明のワイヤ
ボンデイング方法を適用したワイヤボンデイング装置を
示す。図２に示すように、２台のワイヤボンダ２２Ａ、
２２Ｂは並設され、これらのワイヤボンダ２２Ａ、２２
Ｂの前方には１つのフレーム搬送ユニット４０が配設さ
れ、フレーム搬送ユニット４０の両側にはそれぞれロー
ダユニット２４及びアンローダユニット２５が配設され
ている。そして、ワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂ、フレー
ム搬送ユニット４０、ローダユニット２４及びアンロー
ダユニット２５は、１つの架台４１に装備されている。
なお、ワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂは、従来と同様に、
それぞれＸＹテーブル２０Ａ、２０Ｂと、このＸＹテー
ブル２０Ａ、２０Ｂ上に搭載されたボンデイングヘッド
２１Ａ、２１Ｂとを備えている。
【００１３】次に作用について説明する。ローダユニッ
ト２４よりフレーム搬送ユニット４０上に供給された１
番目のリードフレームは、フレーム搬送ユニット４０に
よって間欠的に送られる。このリードフレームがフレー
ム搬送ユニット４０上を一定量送られ、次にローダユニ
ット２４より供給されるリードフレームが干渉しない状
態となると、ローダユニット２４より２番目のリードフ
レームがフレーム搬送ユニット４０上に供給される。前
記１番目及び２番目のリードフレームがフレーム搬送ユ
ニット４０で間欠的に送られ、１番目のリードフレーム
のボンデイング部分が順次ワイヤボンダ２２Ｂによるボ
ンデイング位置に送られると、ワイヤボンダ２２Ｂで順
次ワイヤボンデイングが行なわれる。同様に、２番目の
リードフレームのボンデイング部分が順次ワイヤボンダ
２２Ａによるボンデイング位置に送られると、ワイヤボ
ンダ２２Ａで順次ワイヤボンデイングが行なわれる。ま
た前記した２番目のリードフレームがフレーム搬送ユニ
ット４０上を一定量送られ、次に供給されるリードフレ
ームが干渉しない状態となると、ローダユニット２４よ
り３番目のリードフレームがフレーム搬送ユニット４０
上に供給される。以後、同様にしてローダユニット２４
よりフレーム搬送ユニット４０上にリードフレームが供
給される。
ト２４よりフレーム搬送ユニット４０上に供給された１
番目のリードフレームは、フレーム搬送ユニット４０に
よって間欠的に送られる。このリードフレームがフレー
ム搬送ユニット４０上を一定量送られ、次にローダユニ
ット２４より供給されるリードフレームが干渉しない状
態となると、ローダユニット２４より２番目のリードフ
レームがフレーム搬送ユニット４０上に供給される。前
記１番目及び２番目のリードフレームがフレーム搬送ユ
ニット４０で間欠的に送られ、１番目のリードフレーム
のボンデイング部分が順次ワイヤボンダ２２Ｂによるボ
ンデイング位置に送られると、ワイヤボンダ２２Ｂで順
次ワイヤボンデイングが行なわれる。同様に、２番目の
リードフレームのボンデイング部分が順次ワイヤボンダ
２２Ａによるボンデイング位置に送られると、ワイヤボ
ンダ２２Ａで順次ワイヤボンデイングが行なわれる。ま
た前記した２番目のリードフレームがフレーム搬送ユニ
ット４０上を一定量送られ、次に供給されるリードフレ
ームが干渉しない状態となると、ローダユニット２４よ
り３番目のリードフレームがフレーム搬送ユニット４０
上に供給される。以後、同様にしてローダユニット２４
よりフレーム搬送ユニット４０上にリードフレームが供
給される。
【００１４】前記したようにして１番目のリードフレー
ムのワイヤボンデイングがワイヤボンダ２２Ｂによって
終了、また２番目のリードフレームのワイヤボンデイン
グがワイヤボンダ２２Ａによって終了すると、フレーム
搬送ユニット４０の送りによってまず１番目のリードフ
レームがアンローダユニット２５に収納され、その後２
番目のリードフレームがアンローダユニット２５に収納
される。２番目のリードフレームがアンローダユニット
２５に収納されると、３番目及び４番目のリードフレー
ムは、フレーム搬送ユニット４０による間欠的な送りに
より、３番目のリードフレームのボンデイング部分はワ
イヤボンダ２２Ｂのボンデイング位置に、また４番目の
リードフレームのボンデイング部分はワイヤボンダ２２
Ａのボンデイング位置に順次送られ、前記したようにワ
イヤボンデイングが行なわれ、ワイヤボンデイングが終
了したリードフレームは前記と同様にしてアンローダユ
ニット２５に収納される。
ムのワイヤボンデイングがワイヤボンダ２２Ｂによって
終了、また２番目のリードフレームのワイヤボンデイン
グがワイヤボンダ２２Ａによって終了すると、フレーム
搬送ユニット４０の送りによってまず１番目のリードフ
レームがアンローダユニット２５に収納され、その後２
番目のリードフレームがアンローダユニット２５に収納
される。２番目のリードフレームがアンローダユニット
２５に収納されると、３番目及び４番目のリードフレー
ムは、フレーム搬送ユニット４０による間欠的な送りに
より、３番目のリードフレームのボンデイング部分はワ
イヤボンダ２２Ｂのボンデイング位置に、また４番目の
リードフレームのボンデイング部分はワイヤボンダ２２
Ａのボンデイング位置に順次送られ、前記したようにワ
イヤボンデイングが行なわれ、ワイヤボンデイングが終
了したリードフレームは前記と同様にしてアンローダユ
ニット２５に収納される。
【００１５】ところで、本実施例においては、前記した
別個のリードフレーム３０へのそれぞれのワイヤボンダ
２２Ａ、２２Ｂによるワイヤボンデイングは図１に示す
方法によって行なわれる。まず、ワイヤボンダ２２Ａが
１Ａのワイヤボンデイングを行なう時、ワイヤボンダ２
２Ｂは１Ａと対称な部分に対応する１Ｂのワイヤボンデ
イングを同時に行なう。次にワイヤボンダ２２Ａが２Ａ
のワイヤボンデイングを行なう時、ワイヤボンダ２２Ｂ
は２Ａと対称な部分に対応する２Ｂのワイヤボンデイン
グを同時に行なう。以下、同様の順序でワイヤボンデイ
ングを行なう。
別個のリードフレーム３０へのそれぞれのワイヤボンダ
２２Ａ、２２Ｂによるワイヤボンデイングは図１に示す
方法によって行なわれる。まず、ワイヤボンダ２２Ａが
１Ａのワイヤボンデイングを行なう時、ワイヤボンダ２
２Ｂは１Ａと対称な部分に対応する１Ｂのワイヤボンデ
イングを同時に行なう。次にワイヤボンダ２２Ａが２Ａ
のワイヤボンデイングを行なう時、ワイヤボンダ２２Ｂ
は２Ａと対称な部分に対応する２Ｂのワイヤボンデイン
グを同時に行なう。以下、同様の順序でワイヤボンデイ
ングを行なう。
【００１６】このように、ワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂ
は、１ワイヤづつタイミングを取り、同時に逆位相でワ
イヤボンデイングを行なうので、ワイヤボンダ２２Ａの
ＸＹテーブル２０Ａの移動時の振動とワイヤボンダ２２
ＢのＸＹテーブル２０Ｂの移動時の振動が相殺され、振
動が減少する。
は、１ワイヤづつタイミングを取り、同時に逆位相でワ
イヤボンデイングを行なうので、ワイヤボンダ２２Ａの
ＸＹテーブル２０Ａの移動時の振動とワイヤボンダ２２
ＢのＸＹテーブル２０Ｂの移動時の振動が相殺され、振
動が減少する。
【００１７】なお、本実施例は、１つの架台４１にワイ
ヤボンダ２２Ａ、２２Ｂを装備した場合について説明し
たが、図４に示すように別個の架台２６Ａ、２６Ｂにそ
れぞれワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂを装備した場合につ
いて適用しても効果を有する。しかし、図４の場合は、
フレーム搬送ユニット２３Ａと２３Ｂ間にベルト搬送ユ
ニット２８Ａ、２８Ｂを配設する必要があるので、設備
費の上昇及び設置スペースが大きくなるという問題を有
する。また装置間、即ちワイヤボンダ２２Ａと２２Ｂ、
フレーム搬送ユニット２３Ａと２３Ｂ、ベルト搬送ユニ
ット２８Ａと２８Ｂの平行出しに難を有する。この点、
図２の場合は、１つの架台４１にワイヤボンダ２２Ａ、
２２Ｂ、フレーム搬送ユニット４０、ローダユニット２
４及びアンローダユニット２５が装備され、またリード
フレームは共通のフレーム搬送ユニット４０でワイヤボ
ンダ２２Ａ、２２Ｂに送られる構成よりなるので、省設
置スペース化が図れ、また設備費のコスト低減が図れる
と共に、ワイヤボンダ２２Ａと２２Ｂ、ローダユニット
２４とアンローダユニット２５及びフレーム搬送ユニッ
ト４０の平行出しを容易に行なうことができ好ましい。
ヤボンダ２２Ａ、２２Ｂを装備した場合について説明し
たが、図４に示すように別個の架台２６Ａ、２６Ｂにそ
れぞれワイヤボンダ２２Ａ、２２Ｂを装備した場合につ
いて適用しても効果を有する。しかし、図４の場合は、
フレーム搬送ユニット２３Ａと２３Ｂ間にベルト搬送ユ
ニット２８Ａ、２８Ｂを配設する必要があるので、設備
費の上昇及び設置スペースが大きくなるという問題を有
する。また装置間、即ちワイヤボンダ２２Ａと２２Ｂ、
フレーム搬送ユニット２３Ａと２３Ｂ、ベルト搬送ユニ
ット２８Ａと２８Ｂの平行出しに難を有する。この点、
図２の場合は、１つの架台４１にワイヤボンダ２２Ａ、
２２Ｂ、フレーム搬送ユニット４０、ローダユニット２
４及びアンローダユニット２５が装備され、またリード
フレームは共通のフレーム搬送ユニット４０でワイヤボ
ンダ２２Ａ、２２Ｂに送られる構成よりなるので、省設
置スペース化が図れ、また設備費のコスト低減が図れる
と共に、ワイヤボンダ２２Ａと２２Ｂ、ローダユニット
２４とアンローダユニット２５及びフレーム搬送ユニッ
ト４０の平行出しを容易に行なうことができ好ましい。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、２台のワイヤボンダ
は、１ワイヤづつタイミングを取り、同時に逆位相でワ
イヤボンデイングを行なうので、一方のワイヤボンダの
ＸＹテーブルの移動時の振動と他方のワイヤボンダのＸ
Ｙテーブルの移動時の振動が相殺され、振動が減少す
る。
は、１ワイヤづつタイミングを取り、同時に逆位相でワ
イヤボンデイングを行なうので、一方のワイヤボンダの
ＸＹテーブルの移動時の振動と他方のワイヤボンダのＸ
Ｙテーブルの移動時の振動が相殺され、振動が減少す
る。
【図１】本発明に成るワイヤボンデイング方法の一実施
例を示す平面説明図である。
例を示す平面説明図である。
【図２】図１のワイヤボンデイング方法を適用したワイ
ヤボンデング装置の概略構成を示す平面図である。
ヤボンデング装置の概略構成を示す平面図である。
【図３】従来のワイヤボンデイング装置の１例の概略構
成を示す平面図である。
成を示す平面図である。
【図４】従来のワイヤボンデイング装置の他の例の概略
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
【図５】従来のワイヤボンデイング方法の平面説明図で
ある。
ある。
２２Ａ、２２Ｂ ワイヤボンダ ２４ ローダユニット ２５ アンローダユニット ３０ リードフレーム １Ａ、２Ａ、３Ａ・・・１６Ａ 一方のワイヤボンダ
のワイヤボンデイング順序 １Ｂ、２Ｂ、３Ｂ・・・１６Ｂ 他方のワイヤボンダ
のワイヤボンデイング順序
のワイヤボンデイング順序 １Ｂ、２Ｂ、３Ｂ・・・１６Ｂ 他方のワイヤボンダ
のワイヤボンデイング順序
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 背黒 正行 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 平３−104245（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−76733（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/60 301
Claims (1)
- 【請求項１】 共通のローダユニットから並設された２
台のワイヤボンダにそれぞれリードフレームを送り、そ
れぞれのリードフレームに対応するワイヤボンダで同時
にワイヤボンデイングを施し、ワイヤボンデイングが完
了したリードフレームを共通のアンローダユニットに順
次収納するワイヤボンデイング方法において、前記２台
のワイヤボンダは、リードフレームへのワイヤボンデイ
ング時には１ワイヤづつタイミングを取り、同時に逆位
相でワイヤボンデイングを施すことを特徴とするワイヤ
ボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227973A JP2969413B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4227973A JP2969413B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0661291A JPH0661291A (ja) | 1994-03-04 |
| JP2969413B2 true JP2969413B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=16869163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4227973A Expired - Fee Related JP2969413B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2969413B2 (ja) |
-
1992
- 1992-08-04 JP JP4227973A patent/JP2969413B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0661291A (ja) | 1994-03-04 |
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