JP2915327B2 - 太陽電池モジュール及びその製造方法 - Google Patents

太陽電池モジュール及びその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は太陽電池モジュール
および太陽電池モジュールの製造方法に係わり、特に、
封止材樹脂を介して透明な表面部材と裏面部材とで光起
電力素子を被覆した太陽電池モジュールおよび太陽電池
モジュールの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まり
が、世界的に広がりを見せている。中でも、ＣＯ2排出
に伴う地球の温暖化現象に対する危惧感は深刻で、クリ
ーンなエネルギーへの希求は益々強まっている。太陽電
池は現在のところ、その安全性と扱い易さから、クリー
ンなエネルギー源として期待のもてるものということが
できる。
【０００３】代表的な太陽電池モジュールの構造を図６
に示す。ここで、６０１は光起電力素子、６０３は透明
な表面部材、６０４は裏面部材、６０２は封止材樹脂で
ある。透明な表面部材はガラスが最も多く用いられてい
る。しかし、最近ではアモルファスシリコン太陽電池を
代表とする薄膜太陽電池のように、耐衝撃性、フレキシ
ブル性に富んだ太陽電池モジュールも、その軽量性、低
コストなどの点から重要性を増しつつある。光起電力素
子を用いて表面部材をフッ素樹脂フィルムのような高耐
候性フィルムで被覆する太陽電池モジュールの裏面部材
は、通常絶縁性に優れた材料が用いられる。ナイロンフ
ィルム、ポリエステルフィルムなどの樹脂フィルムや防
湿性、耐候性が要求される場合は、代表的にはアルミラ
ミネートテドラーフィルムなどが用いられる。
【０００４】封止材樹脂は、光起電力素子表面の凹凸を
埋めてさらに表面部材、裏面部材と素子を接着するため
のものであり、透明な熱可塑性有機樹脂が一般的に用い
られる。例えばポリビニルブチラール樹脂（以下ＰＶ
Ｂ）やエチレン−酢酸ビニル共重合体（以下ＥＶＡ）が
代表的である。中でもＥＶＡは、１）コストが安い、
２）取り扱いが容易、３）架橋による耐熱性の向上が可
能、４）長期屋外暴露に対する耐久性が高いなどの理由
で急速に普及している。
【０００５】ところで、ＥＶＡを用いて表面部材と裏面
部材を貼り合わせて太陽電池モジュールを製造するには
二重真空室方式によるのが一般的である。図７は二重真
空室方式によるラミネーターの一例であり、７０１は下
室、７０２は上室、７０３はシリコンゴムシート、７０
５はヒーターである。この装置を用いた太陽電池モジュ
ールの製造は以下の工程で行われる。ただし、封止材樹
脂として架橋型ＥＶＡを用いた場合である。 太陽電池モジュール積層体７０９を下室に置く。 上室、下室ともに排気する。 封止材樹脂が溶融する温度にヒーターで加熱する。た
だし、ＥＶＡの架橋反応は起こらないような温度にする
必要がある。 下室を排気したまま上室を大気圧に戻して積層体を圧
着する。 ＥＶＡが架橋反応を起こす温度まで加熱し、架橋が終
了するまでその温度を保持する。 冷却後、モジュールを取り出す。これにより、図６に
示すような太陽電池モジュールを得ることができる。
【０００６】また、一重真空室方式によっても太陽電池
モジュールを製造することができる。一重真空室方式と
は、二重真空室方式の上室がないものでありその装置の
一例を図８に示す。ここで８０１は金属プレート、８０
２はシリゴンゴムシート、８０３はヒーターである。こ
の装置を用いた場合の太陽電池モジュールの製造方法は
以下の通りである。 太陽電池モジュール積層体８０６をプレート上に置
く。 シリコンゴムシートを重ねる。 プレート表面に開いた排気口８０４より排気し、シリ
コンゴムシートをプレートに吸い付かせて積層体を圧着
する。 ＥＶＡが架橋反応を起こす温度まで加熱し、架橋が終
了するまでその温度を保持する。 冷却後、モジュールを取り出す。
【０００７】一重真空室方式は、二重真空室方式と異な
り排気と同時に積層体が圧着される。このため、積層体
の隙間から空気が逃げ難くなり、ラミネート後のモジュ
ールに気泡残りが発生して外観不良となり易い。そこ
で、一重真空室方式で貼り合わせる場合には、積層体中
に不織布を挿入することによりこの問題を解決すること
がしばしば行われる。そのような積層体の一例を図９に
示す。この例ではガラス繊維不織布９０２を脱気を助け
る目的で挿入している。すなわち、不織布中の空隙を伝
って積層体中の空気を逃がすことにより、モジュールの
気泡残りの問題を改善できる。さらにガラスは、光屈折
率がＥＶＡとほとんど同じであり、ガラス繊維不織布を
光起電力素子の受光面側に挿入したとしても光散乱によ
る光量損失が無く、またガラス繊維は耐候性にも優れて
いるので好適に用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造方法ではなお脱気不良でモジュールに気泡が残存す
ることがある。この問題は一重真空室方式で特に顕著で
あり、ガラス繊維不織布を挿入したとしてもモジュール
が大きい場合には気泡残りにより外観不良となり易く、
太陽電池モジュール製造工程の歩留を下げる要因とな
る。この原因としては、モジュール積層体が大きくなる
ことにより積層体間隙の空気を排気する為の排気抵抗が
上昇し、短い排気時間では積層体全面の空気を十分に抜
くことができないことが考えられる。
【０００９】一方、表面をフッ素樹脂フィルムで被覆し
た太陽電池モジュールの信頼性を評価する為に温度サイ
クル試験、温湿度サイクル試験、屋外暴露試験を行うと
フッ素樹脂フィルムに剥離が生ずることがある。フッ素
樹脂フィルムには通常封止材樹脂との接着力を向上させ
る為にコロナ放電処理が施されている。しかし、それで
もなお接着力が弱い為に上記試験で剥離が生ずる。この
原因の一つに製造工程中における貼り合わせ時の真空度
がある。すなわち、ＥＶＡとフッ素樹脂フィルムとの接
着機構の一つとして、コロナ放電処理により活性化され
たフッ素樹脂表面とＥＶＡとの間に架橋剤によって供給
されるラジカルにより共有結合が生成することが考えら
れる。貼り合わせ工程中の真空度が低いと残存する酸素
によりラジカルの生成が阻害され、上述したＥＶＡとフ
ッ素樹脂間の結合ができ難くなる。また、ラジカルの生
成が阻害され、ＥＶＡの架橋自体も不十分になり、高温
使用下で軟化し易くなり、剥離は一層起こり易くなる。
【００１０】本発明は、温湿度サイクル、屋外暴露等の
使用状況において、表面部材の剥離の生じ難い太陽電池
モジュールを提供することを目的とする。さらに、封止
樹脂中の気泡残りにより外観不良になることが無く、モ
ジュール製造工程における歩留を向上させる太陽電池モ
ジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明の太陽電池モジュールは、表面部材と裏面部
材との間に光起電力素子と封止材樹脂とを有する積層体
を、加熱を開始する前に５Ｔｏｒｒ以下の真空度で５分
乃至４０分間保持した後、５Ｔｏｒｒ以下の真空度にお
いて加熱圧着し、該加熱圧着後に冷却して貼り合わせる
ことによって製造されたことを特徴としている。
【００１２】また、上記の積層体中に、ガラス繊維不織
布と有機樹脂繊維不織布のいずれか一方あるいは両方
が、少なくとも１枚以上挿入されるとよい。
【００１３】さらに、光起電力素子と表面部材との間に
配する封止材樹脂をエチレン−酢酸ビニル共重合体（Ｅ
ＶＡ）、表面部材を透明なフッ化物重合体フィルム、エ
チレンー酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）を有機過酸化物
によって架橋し、フッ化物重合体フィルムをエチレン−
テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）とすると
よい。なお、このフッ化物重合体フィルムが封止材樹脂
と接する面に、コロナ放電処理を施すとよい。
【００１４】本発明の太陽電池モジュールの製造方法
は、光起電力素子を封止材樹脂を介して表面部材と裏面
部材との間に積層した積層体を脱気しながら加熱圧着し
て貼り合わせる太陽電池モジュールの製造方法におい
て、前記積層体を、加熱を開始する前に５Ｔｏｒｒ以下
の真空度で５分乃至４０分間保持する予備真空引き工程
と、前記真空引き工程の後、前記積層体を５Ｔｏｒｒ以
下の真空度において加熱圧着する工程と、前記加熱圧着
工程の後、前記積層体を冷却して貼り合わせる工程と、
からなることを特徴としている。
【００１５】また、上記の加熱圧着工程では、積層体を
プレートとシリコンゴムシートとの間に挟持し、該プレ
ートとシリコンゴムシートとの間の空間を真空引きし、
真空引き工程と加熱圧着工程と冷却して貼り合わせる工
程では、シリコンゴムシートで積層体を一重真空室方式
により圧着するとよい。また、前記積層体中に、ガラス
繊維不織布と有機樹脂繊維不織布のいずれか一方あるい
は両方が、少なくとも１枚以上挿入するとよい。さら
に、前記光起電力素子と前記表面部材との間に配する前
記封止材樹脂は、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶ
Ａ）であるとよい。また、前記エチレン−酢酸ビニル共
重合体（ＥＶＡ）は、有機過酸化物によって架橋されて
いると好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】（作用） したがって、本発明の太陽電池モジュールおよび太陽電
池モジュールの製造方法は、表面部材と裏面部材との間
に光起電力素子と封止材樹脂とを有する積層体を、加熱
を開始する前に５Ｔｏｒｒ以下の真空度で５分乃至４０
分間保持した後、５Ｔｏｒｒ以下の真空度において加熱
圧着し、加熱圧着後に冷却して貼り合わせることによっ
て製造することを構成とする。この構成によれば以下が
期待される。
【００１７】（１）真空引が十分行なわれるため、積層
体間隙の空気が十分に排気される。 （２）封止材樹脂が有機過酸化物によって架橋される場
合、表面部材と封止材樹脂間での共有結合の生成あるい
は封止材樹脂自体の架橋が酸素によって阻害されること
がない。故に、表面部材と封止材樹脂の接着力に優れ、
また高温使用下でも封止材樹脂が軟化して表面部材が剥
離し難くなる。
【００１８】（実施態様例）図１に本発明の太陽電池モ
ジュールの概略構成図を示す。図１に於いて、１０１は
光起電力素子、１０２は表面の透明な封止材樹脂、１０
３は最表面に位置する透明な表面部材、１０４は裏面の
封止材樹脂、１０５は裏面部材である。外部からの光
は、表面部材１０３から入射し、光起電力素子１０１に
到達し、生じた起電力は出力端子（不図示）より外部に
取り出される。
【００１９】光起電力素子１０１としては、１）結晶シ
リコン太陽電池、２）多結晶シリコン太陽電池、３）ア
モルファスシリコン太陽電池、４）銅インジウムセレナ
イド太陽電池、５）化合物半導体太陽電池など、従来公
知な素子を目的に応じて種々選択して用いて良い。ここ
ではその一例として導電性基体上に光変換部材としての
半導体光活性層と透明導電層が形成されたものについて
説明する。概略構成図を図２に示すが、この図に於いて
２０１は導電性基体、２０２は裏面反射層、２０３は半
導体光活性層、２０４は透明導電層、２０５は集電電
極、２０６は出力端子である。
【００２０】導電性基体２０１は、光起電力素子の基体
になると同時に下部電極の役割も果たす。材料として
は、シリコン、タンタル、モリブデン、タングステン、
ステンレス、アルミニウム、銅、チタン、カーボンシー
ト、鉛メッキ鋼板、導電層が形成してある樹脂フィルム
やセラミックスなどがある。上記導電性基体上には裏面
反射層２０２として、金属層、あるいは金属酸化物層、
あるいは金属層と金属酸化物層を形成しても良い。金属
層には、例えば、Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ａｌ，Ａｇ，
Ｎｉなどが用いられ、金属酸化物層には、例えば、Ｚｎ
Ｏ，ＴｉＯ2，ＳｎＯ2などが用いられる。上記金属層及
び金属酸化物層の形成方法としては、抵抗加熱蒸着法、
電子ビーム蒸着法、スパッタリング法などがある。
【００２１】半導体光活性層２０３は光電変換を行う部
分である。具体的な材料としては、ｐｎ接合型多結晶シ
リコン、ｐｉｎ接合型アモルファスシリコン、あるいは
ＣｕＩｎＳｅ2，ＣｕＩｎＳ2，ＧａＡｓ，ＣｄＳ／Ｃｕ
2Ｓ，ＣｄＳ／ＣｄＴｅ，ＣｄＳ／ＩｎＰ，ＣｄＴｅ／
Ｃｕ2Ｔｅをはじめとする化合物半導体などが挙げられ
る。上記半導体光活性層の形成方法としては、多結晶シ
リコンの場合は溶融シリコンのシート化か非晶質シリコ
ンの熱処理、アモルファスシリコンの場合はシランガス
などを原料とするプラズマＣＶＤ、化合物半導体の場合
はイオンプレーティング、イオンビームデポジション、
真空蒸着法、スパッタ法、電析法などがある。
【００２２】透明導電層２０４は、太陽電池の上部電極
の役目を果たしている。用いる材料としては、例えば、
Ｉｎ2Ｏ3，ＳｎＯ2，Ｉｎ2Ｏ3−ＳｎＯ2（ＩＴＯ），Ｚ
ｎＯ，ＴｉＯ2，Ｃｄ2ＳｎＯ，高濃度不純物をドープし
た結晶性半導体層などがある。形成方法としては抵抗加
熱蒸着、スパッタ法、スプレー法、ＣＶＤ法、不純物拡
散法などがある。
【００２３】透明導電層の上には電流を効率よく集電す
るために、格子状の集電電極２０５（グリッド）を設け
てもよい。集電電極の具体的な材料としては、例えば、
Ｔｉ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｗ，Ａｌ，Ａｇ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｓ
ｎ、あるいは銀ペーストをはじめとする導電性ペースト
などが挙げられる。集電電極の形成方法としては、マス
クパターンを用いたスパッタリング、抵抗加熱、ＣＶＤ
法や、全面に金属膜を蒸着した後で不必要な部分をエッ
チングで取り除きパターニングする方法、光ＣＶＤによ
り直接グリッド電極パターンを形成する方法、グリッド
電極パターンのネガパターンのマスクを形成した後にメ
ッキする方法、導電性ペーストを印刷する方法などがあ
る。
【００２４】導電性ペーストは、通常微粉末状の銀、
金、銅、ニッケル、カーボンなどをバインダーポリマー
に分散させたものが用いられる。バインダーポリマーと
しては、例えば、ポリエステル、エポキシ、アクリル、
アルキド、ポリビニルアセテート、ゴム、ウレタン、フ
ェノールなどの樹脂が挙げられる。
【００２５】最後に起電力を取り出すために、出力端子
２０６を導電性基体と集電電極に取り付ける。導電性基
体へは銅タブ等の金属体をスポット溶接や半田で接合す
る方法が取られ、集電電極へは金属体を導電性ペースト
や半田によって電気的に接続する方法が取られる。
【００２６】上記の手法で作成した光起電力素子は、所
望する電圧あるいは電流に応じて直列か並列に接続され
る。また、これとは別に絶縁化した基板上に光起電力素
子を集積化して所望の電圧あるいは電流を得ることもで
きる。
【００２７】次に本発明に用いられる表面部材１０３及
び表面封止材１０２について以下に詳しく説明する。
【００２８】表面封止材１０２は、光起電力素子の凹凸
を樹脂で被覆し、素子を温度変化、湿度、衝撃などの過
酷な外部環境から守り、かつ表面フィルムと素子との接
着を確保するために必要である。したがって、耐候性、
接着性、充填性、耐熱性、耐寒性、耐衝撃性が要求され
る。これらの要求を満たす樹脂としては、エチレン−酢
酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、エチレン−アクリル酸メ
チル共重合体（ＥＭＡ）、エチレン−アクリル酸エチル
共重合体（ＥＥＡ）、ポリビニルブチラール樹脂などの
ポリオレフィン系樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹
脂、フッ素樹脂などが挙げられる。中でもＥＶＡは、太
陽電池用途としてバランスのとれた物性を有しており好
んで用いられる。ただ、そのままでは熱変形温度が低い
ために容易に高温使用下で変形やクリープを呈するの
で、架橋して耐熱性を高めておくことが望ましい。
【００２９】ＥＶＡの場合は有機過酸化物で架橋するの
が一般的である。有機過酸化物による架橋は、有機過酸
化物から発生する遊離ラジカルが樹脂中の水素やハロゲ
ン原子を引き抜いて、Ｃ−Ｃ結合を形成することによっ
て行われる。有機過酸化物の活性化方法には、熱分解、
レドックス分解およびイオン分解が知られている。一般
には熱分解法が好んで行われている。有機過酸化物の化
学構造の具体例としては、ヒドロペルオキシド、ジアル
キル（アリル）ペルオキシド、ジアシルペルオキシド、
ぺルオキシケタール、ペルオキシエステル、ペルオキシ
カルボネートおよびケトンペルオキシドなどが挙げられ
る。なお、有機過酸化物の添加量は封止材樹脂１００重
量部に対して０．５乃至５重量部である。
【００３０】上記有機過酸化物を封止材に併用し、真空
下で加圧加熱しながら架橋および熱圧着を行うことが可
能である。加熱温度ならびに時間は各々の有機過酸化物
の熱分解温度特性で決定することができる。一般には熱
分解が９０％、より好ましくは９５％以上進行する温度
と時間をもって加熱加圧を終了する。封止材樹脂の架橋
を確かめるにはゲル分率を測定すれば良く、高温下での
封止材樹脂の変形を防ぐためにはゲル分率が７０ｗｔ％
以上となるように架橋することが望ましい。
【００３１】上記架橋反応を効率良く行うためには、架
橋助剤と呼ばれるトリアリルイソシアヌレート（ＴＡＩ
Ｃ）を用いることも可能である。一般には封止材樹脂１
００重量部に対して１乃至５重量部の添加量である。
【００３２】本実施例に用いられる封止材の材料は耐候
性において優れたものである。しかし更なる耐候性の改
良あるいは封止材下層の保護のために、紫外線吸収剤を
併用することもできる。紫外線吸収剤としては公知の化
合物が用いられる。しかし、太陽電池モジュールの使用
環境を考慮して低揮発性の紫外線吸収剤を用いることが
好ましい。具体的には、サリチル酸系、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系の各
種有機化合物を挙げることができる。
【００３３】紫外線吸収剤の他に光安定化剤も同時に添
加すれば光に対してより安定な封止材となる。代表的な
光安定化剤はヒンダードアミン系光安定化剤である。ヒ
ンダードアミン系光安定化剤は紫外線吸収剤のようには
紫外線を吸収しない。しかし、紫外線吸収剤と併用する
ことによって著しい相乗効果を示す。勿論、ヒンダード
アミン系以外にも光安定化剤として機能するものはあ
る。但し、着色している場合が多く本発明の封止材には
望ましくない。
【００３４】上記紫外線吸収剤および光安定化剤の添加
量は、封止材樹脂に対してそれぞれ０．１〜１．０ｗｔ
％、０．０５〜１．０ｗｔ％が望ましい。
【００３５】さらに、耐熱性・熱加工性改善のために酸
化防止剤を添加することも可能である。酸化防止剤の化
学構造としては、モノフェノール系、ビスフェノール
系、高分子型フェノール系、硫黄系、燐酸系がある。酸
化防止剤の添加量は充填材樹脂に対して０．０５〜１．
０ｗｔ％であることが好ましい。
【００３６】より厳しい環境下で太陽電池モジュールの
使用が想定される場合には、封止材と光起電力素子ある
いは表面部材との接着力を向上することが好ましい。シ
ランカップリング剤や有機チタネート化合物を封止材に
添加することで、前記接着力を改善することが可能であ
る。添加量は、封止材樹脂１００重量部に対して０．１
乃至３重量部が好ましく、０．２５乃至１重量部がより
好ましい。
【００３７】一方、光起電力素子に到達する光量の減少
をなるべく抑えるために、表面封止材は透明でなくては
ならず、具体的には光透過率が４００ｎｍ以上８００ｎ
ｍ以下の可視光波長領域において８０％以上であること
が望ましく、９０％以上であることがより望ましい。ま
た、大気からの光の入射を容易にするために、摂氏２５
度における屈折率が１．１から２．０であることが好ま
しく、１．１から１．６であることがより好ましい。
【００３８】上記添加剤を配合したＥＶＡを、シート状
に成型した太陽電池用のＥＶＡシートが市販されてい
る。例えば、ハイシート工業（株）製のソーラーＥＶＡ
や（株）ブリヂストン製のEVASAFE ＷＧシリーズやス
プリングボーンラボラトリー社製のＰＨＯＴＯＣＡＰな
どである。これらを光起電力素子と表面部材との間に挿
入し、加熱圧着することにより容易に太陽電池モジュー
ルを作製できる。
【００３９】本発明で用いられる表面部材１０３は、太
陽電池モジュールの最表層に位置するため透明性、耐侯
性、耐汚染性、機械強度をはじめとして、太陽電池モジ
ュールの屋外暴露における長期信頼性を確保するための
性能が必要である。本発明に好適に用いられる材料とし
ては、白板強化ガラス、フッ素樹脂フィルム、アクリル
樹脂フィルムなどがある。白板強化ガラスは透明性が高
く衝撃にも強くて割れ難いため、太陽電池モジュールの
表面部材として広く用いられている。
【００４０】しかし、最近ではモジュールに軽量性、フ
レキシブル性が求められる場合も多く、そのような場合
には樹脂フィルムが表面部材として用いられる。中でも
フッ素樹脂フィルムは、耐候性、耐汚染性に優れている
ため好んで用いられる。具体的には、ポリフッ化ビニリ
デン樹脂、ポリフッ化ビニル樹脂あるいは四フッ化エチ
レン−エチレン共重合体などがある。耐候性の観点では
ポリフッ化ビニリデン樹脂が優れているが、耐候性およ
び機械的強度の両立と透明性では四フッ化エチレン−エ
チレン共重合体が優れている。
【００４１】表面樹脂フィルムの厚さは機械的強度の確
保のためにある程度厚くなければならない。またコスト
の観点からはあまり厚すぎるのにも問題がある。具体的
には、２０乃至２００μｍが好ましく、３０乃至１００
μｍがより好適である。
【００４２】なお、前記封止材との接着性の改良のため
に、コロナ処理、プラズマ処理、オゾン処理、ＵＶ照
射、電子線照射、火炎処理等の表面処理を、樹脂フィル
ムの片面に行うことが望ましい。この中でもコロナ放電
処理は、処理速度が速く比較的簡易な装置で接着力の大
きな向上が図れるので好適に用いられる。
【００４３】裏面部材１０５は、光起電力素子１０１の
導電性基板と外部との電気的絶縁を保つために必要であ
る。材料としては、導電性基板と充分な電気絶縁性を確
保でき、しかも長期耐久性に優れ、熱膨張、熱収縮に耐
えられる、柔軟性を兼ね備えた材料が好ましい。好適に
用いられるフィルムとしては、ナイロン、ポリエチレン
テレフタレートが挙げられる。
【００４４】裏面封止材１０４は、光起電力素子１０１
と裏面部材１０５との接着を図るためのものである。材
料としては、導電性基板と充分な接着性を確保でき、し
かも長期耐久性に優れ、熱膨張、熱収縮に耐えられる、
柔軟性を兼ね備えた材料が好ましい。好適に用いられる
材料としては、ＥＶＡ、ポリビニルブチラール等のホッ
トメルト材、両面テープ、柔軟性を有するエポキシ接着
剤が挙げられる。勿論、表面封止材と同じ材料を用いる
ことも可能であり、通常はそのような場合が多い。すな
わち、上述した架橋ＥＶＡを裏面にも用いるのが一般的
である。
【００４５】裏面部材の外側には、太陽電池モジュール
の機械的強度を増すために、あるいは温度変化による
歪、反りを防止するために、補強板を貼り付けても良
い。例えば、鋼板、プラスチック板、ＦＲＰ（ガラス繊
維強化プラスチック）板が好ましい。
【００４６】以上述べた光起電力素子、封止材、表面部
材、裏面部材を用いて太陽電池モジュールとする方法を
次に説明する。
【００４７】表面封止材１０２と表面部材１０３で光起
電力素子受光面を被覆するには、シート状に成型した封
止材を作製し、これを素子に加熱圧着する方法が一般的
である。すなわち、光起電力素子と表面部材の間に封止
材シートを挿入して加熱圧着し太陽電池モジュールとす
ることができる。なお、圧着時の加熱温度及び加熱時間
は、架橋反応が十分に進行する温度・時間をもって決定
する。また、裏面についても同様な方法で裏面部材と裏
面封止材を用いて被覆を行えばよい。通常は表面封止材
と裏面封止材は同じ材料であり同時に行うことができ
る。
【００４８】加熱圧着の方法としては従来公知である真
空加熱圧着法が用いられる。真空加熱圧着法には二重真
空室方式と一重真空室方式とがある。ここでは一重真空
室方式の一例について図３を用いて詳しく説明する。
【００４９】まず図９のように光起電力素子９０１、表
面部材９０４、裏面部材９０５、封止材シート９０３を
重ねて太陽電池モジュール積層体９００とする。この
際、ガラス繊維不織布ないしは有機樹脂繊維不織布（９
０２）を少なくとも一枚以上挿入する。より好ましく
は、表面と裏面それぞれに一枚以上挿入する。図９では
不織布９０２を封止材シート９０３と素子９０１との間
に表裏一枚ずつ挿入している。不織布９０２は、真空引
き工程における積層体間隙の空気の排気を助けるととも
に、加熱工程でＥＶＡに含浸されることによりＥＶＡが
溶融してモジュール端に流れて出してしまうのを防ぐ働
きがある。さらに、ＥＶＡ中に含浸されることによりＥ
ＶＡの補強材として機能するので、表面部材がフィルム
であるような場合には、表面の傷が素子にまで及び難く
するという付随的効果も合わせ持つ。
【００５０】次に、前記積層体を図３（ａ）のようにプ
レート上に置きシリコンラバーシートを重ねる。この
後、以下の工程によって積層体を貼り合わせる。 （第一工程）プレートの排気口から排気してシリコンラ
バーシートで積層体を圧着する。（図３（ｂ）） （第二工程）プレートをＥＶＡが架橋反応を起こす温度
まで加熱し、架橋が終了するまでその温度を保持する。 （第三工程）冷却後、モジュールを取り出す。
【００５１】上記第一工程及び第二工程中の積層体が存
在する空間の真空度は５Ｔｏｒｒ以下である。より好ま
しくは１Ｔｏｒｒ以下である。真空度が５Ｔｏｒｒを越
えると、第一工程の時間を長くしても貼り合わせ後に封
止材中に気泡が残留し易くなる。また、第一工程の時間
は好ましくは５分乃至４０分である。より好ましくは１
０分乃至３０分である。第一工程の時間が５分未満であ
ると積層体間隙の排気が不十分となり真空度が５Ｔｏｒ
ｒ以下でも気泡が残留し易くなる。一方、第一工程が４
０分を越えると貼り合わせ工程全体に要する時間が長く
なり生産性が低くなる。
【００５２】
【実施例】以下、実施例に基づき本発明を詳細に説明す
る。 （実施例１） 〔光起電力素子〕まず、アモルファスシリコン（ａ−Ｓ
ｉ）太陽電池（光起電力素子）を製作する。作製手順を
図２を用いて説明する。
【００５３】洗浄したステンレス基板２０１上に、スパ
ッタ法で裏面反射層２０２としてＡｌ層（膜厚５００ｎ
ｍ）とＺｎＯ層（膜厚５００ｎｍ）を順次形成する。つ
いで、プラズマＣＶＤ法により、ＳｉＨ4とＰＨ3とＨ2
の混合ガスからｎ型ａ−Ｓｉ層を、ＳｉＨ4とＨ2の混合
ガスからｉ型ａ−Ｓｉ層を、ＳｉＨ4とＢＦ3とＨ2の混
合ガスからｐ型微結晶μｃ−Ｓｉ層を形成し、ｎ層膜厚
１５ｎｍ／ｉ層膜厚４００ｎｍ／ｐ層膜厚１０ｎｍ／ｎ
層膜厚１０ｎｍ／ｉ層膜厚８０ｎｍ／ｐ層膜厚１０ｎｍ
の層構成のタンデム型ａ−Ｓｉ光電変換半導体層２０３
を形成した。次に、透明導電層２０４として、Ｉｎ2Ｏ3
薄膜（膜厚７０ｎｍ）を、Ｏ2雰囲気下でＩｎを抵抗加
熱法で蒸着する事によって形成した。さらに、集電用の
グリッド電極２０５を銀ペーストのスクリーン印刷によ
り形成し、最後にマイナス側端子２０６ｂとして銅タブ
をステンレス基板にステンレス半田２０８を用いて取り
付け、プラス側端子２０６ｂとしては錫箔のテープを導
電性接着剤２０７にて集電電極に取り付け出力端子と
し、光起電力素子を得た。そしてこの素子を直列に接続
して外形寸法３００ｍｍ×１２００ｍｍのセルブロック
とした。
【００５４】〔モジュール化〕上記素子を被覆して太陽
電池モジュールを作製する方法を図４を用いて説明す
る。
【００５５】セルブロック４０１、ＥＶＡシート４０２
（スプリングボーンラボラトリーズ社製、商標；フォト
キャップＡ９９１８、厚さ４６０μｍ）、片面をコロナ
放電処理したＥＴＦＥフィルム４０３（デュポン社製、
商標；テフゼルフィルム、厚さ５０μｍ）、ガラス繊維
不織布４０４（クレーン社製、商標；クレーンガラス２
３０）、ナイロンフィルム４０５（デュポン社製、商
標；ダーテック、厚さ６３．５μｍ）、ガルバリウム鋼
板４０６（大同鋼板社製、商標；タイマカラーＧＬ、厚
さ０．２７ｍｍ）をＥＴＦＥフィルム／ＥＶＡシート／
ガラス繊維不織布／セルブロック／ガラス繊維不織布／
ＥＶＡシート／ナイロンフィルム／ＥＶＡシート／ガル
バリウム鋼板の順に重ねて積層体４００とした。
【００５６】この積層体を一重真空室方式のラミネート
装置のプレート上にＥＴＦＥフイルム側を上にして置
き、シリコンラバーシートを重ねた。次いで、プレート
の排気口から真空ポンプを用いて排気しラバーをプレー
トに吸着させた。真空度５Ｔｏｒｒで５分間排気した
後、プレートに埋め込んだヒータで加熱を開始し、１５
０度に昇温してから３０分間その温度を保持することに
よりＥＶＡの溶融と架橋反応を行った。その後、ヒータ
ーを切りファンで風を送りプレートを４０度程度にまで
冷却してから排気を止め太陽電池モジュールを取り出し
た。出力端子は予め光起電力素子裏面にまわしておき、
ラミネート後、ガルバリウム鋼板に予め開けておいた端
子取り出し口から出力が取り出せるようにした。
【００５７】なお、ここで用いたＥＶＡシートは太陽電
池の封止材として広く用いられているものであり、ＥＶ
Ａ樹脂（酢酸ビニル含有率３３％）１００重量部に対し
て架橋剤０．３重量部、紫外線吸収剤０．３重量部、光
安定化剤０．１重量部、酸化防止剤０．２重量部、シラ
ンカップリング剤０．２５重量部を配合したものであ
る。
【００５８】上記方法にて作製した太陽電池モジュール
について後述する項目について評価を行った。
【００５９】（実施例２）実施例１において直列に接続
した素子をさらに並列に接続して６００ｍｍ×１２００
ｍｍの外形寸法のセルブロックを作製し、これを用いて
太陽電池モジュールを作製した。また、積層体サイズが
大きくなることによる積層体間隙の排気抵抗の増大を考
慮して貼り合わせ、工程時における加熱開始前の排気時
間を１０分間とした。それ以外は実施例１と同様であ
る。
【００６０】（実施例３）セルブロックまでは実施例１
と同様に作製した。それ以降を図５を用いて説明する。 〔モジュール化〕セルブロック５０１、ＥＶＡシート５
０２（スプリングボーン・ラボラトリーズ社製、商標；
フォトキャップＡ９９１８、厚さ８００ミクロン）、白
板強化ガラス５０３（ＡＦＧ社製、商標；Solatex、厚
さ３．２ｍｍ）、ガラス繊維不織布５０４（クレーン社
製、商標；クレーンガラス２３０）、アルミラミネート
テドラーフィルム５０５（東海アルミ箔社製）をガラス
／ガラス繊維不織布／ＥＶＡ／ガラス繊維不織布／ＥＶ
Ａ／ガラス繊維不織布／セルブロック／ガラス繊維不織
布／ＥＶＡ／アルミラミネートテドラーフィルムという
順に重ねて積層体５００とし、一重真空室方式のラミネ
ート装置のプレート上にガラスが下になるように置い
た。
【００６１】その後、実施例１と同様な操作で貼り合わ
せを行い太陽電池モジュールを得た。出力端子は予め光
起電力素子裏面にまわしておき、ラミネート後、アルミ
ラミネートテドラーフィルムに予め開けておいた端子取
り出し口から出力が取り出せるようにした。
【００６２】（実施例４）実施例１において二重真空室
方式のラミネート装置を用いて貼り合わせを行った。す
なわち、積層体を下室のプレート上にＥＴＦＥフィルム
側を上にして置き、上室で蓋をした。次いで、上室と下
室を真空ポンプを用いて真空度５Ｔｏｒｒで５分間排気
した後、プレートに埋め込んだヒータで加熱を開始し１
００℃まで昇温した。次に下室を排気したまま上室を大
気圧にもどし積層体を圧着した後、さらに１５０℃に昇
温して３０分間その温度を保持することによりＥＶＡの
溶融と架橋反応を行った。なおこの時の下室の真空度は
２Ｔｏｒｒであった。その後、ヒーターを切り冷却水で
プレートを４０度程度にまで冷却してから排気を止め太
陽電池モジュールを取り出した。その後は実施例１と同
様にして太陽電池モジュールを作製した。
【００６３】（実施例５）実施例１において積層体中に
ガラス繊維不織布を挿入しなかった。また不織布の積層
体間隙の脱気補助効果がなくなることを考慮して貼り合
わせ工程時における加熱開始前の排気時間を４０分間と
した。それ以外は同様にして太陽電池モジュールを作製
した。
【００６４】（比較例１）実施例１において貼り合わせ
工程時における加熱開始前の排気時間を３分間とした。
【００６５】（比較例２）実施例１において貼り合わせ
工程時における加熱開始前及び加熱中の真空度を１０Ｔ
ｏｒｒとした。
【００６６】（比較例３）実施例１において貼り合わせ
工程時における加熱開始前の排気時間を５０分間とし
た。
【００６７】（比較例４）実施例２において貼り合わせ
工程時における加熱開始前の排気時間を３分間とした。
【００６８】（比較例５）実施例３において貼り合わせ
工程時における加熱開始前の排気時間を３分間とした。
【００６９】（比較例６）実施例３において貼り合わせ
工程時における加熱開始前及び加熱中の真空度を１０Ｔ
ｏｒｒとした。
【００７０】（比較例７）実施例４において上室を大気
圧に戻す前までの上室と下室の真空度を１５Ｔｏｒｒ、
上室を大気圧に戻した後の下室の真空度を１０Ｔｏｒｒ
とした。
【００７１】（比較例８）実施例５において貼り合わせ
工程時における加熱開始前の排気時間を３分間とした。
【００７２】（評価結果）以上述べた実施例及び比較例
で作製した太陽電池モジュールについて、下記項目の評
価を行った。結果を表１に示す。また、貼り合わせ第一
行程と第二行程のそれぞれにおける積層体が存在する空
間の真空度、第一行程の時間、セルブロックの外形寸法
についても表１に示してある。
【００７３】
【表１】
【００７４】（１）モジュールの気泡残り 貼り合わせ後のモジュールの封止材中に残留している気
泡の数を数えた。気泡は肉眼で確認できるもの全てとし
た。
【００７５】（２）温度サイクル −４０℃／１時間、９０℃／１時間の温度サイクル試験
を５０サイクル行い、試験後の太陽電池モジュールの外
観上の変化を観察した。変化のないものを○とし、変化
のあったものはその状況を簡単にコメントした。
【００７６】（３）温湿度サイクル −４０℃／１時間、８５℃／８５％ＲＨ／４時間の温湿
度サイクル試験を５０サイクル行い、試験後の太陽電池
モジュールの外観上の変化を観察した。変化のないもの
を○とし、変化のあったものはその状況を簡単にコメン
トした。
【００７７】表１から明らかなように実施例の太陽電池
モジュールはいずれも気泡残りの全くない外観上優れた
モジュールとすることができた。また、実施例のモジュ
ールはいずれも温度サイクル試験、温湿度サイクル試験
において問題は認められなかった。
【００７８】これに対し第一工程と第二工程の真空度が
５Ｔｏｒｒを越えたり、第一工程の時間が５分末満であ
る比較例のモジュールではいずれも気泡残りが発生し
た。また表面部材にＥＴＦＥフィルムを用いたモジュー
ルにおいて、貼り合わせ工程中の真空度が５Ｔｏｒｒを
越えると、温度サイクル試験及び温湿度サイクル試験で
フィルムと封止材との界面で直径数ｍｍの微小な剥離
（マイクロデラミ）が発生することが明らかとなった。
一方、第一工程の時間を５０分とした比較例３では気泡
残りや信頼性試験での問題はないものの、生産性が著し
く低下し、実用的な貼り合わせ工程とは言い難かった。
【００７９】上記の実施例によれば以下の効果が期待で
きる。 （１）モジュール貼り合わせ工程終了後に封止材中に気
泡が残留し難くなる。すなわち、十分な真空引きによっ
て積層体間隙の空気が十分に排気され気泡の発生を抑制
できる。
【００８０】（２）太陽電池モジュールに温度サイクル
試験、温湿度サイクル試験等の信頼性試験における表面
部材と封止材樹脂間での剥離の発生を少なくできた。す
なわち、積層体が存在する空間の真空度を５Ｔｏｒｒ以
下とするので封止材樹脂が有機過酸化物によって架橋さ
れる場合、表面部材と封止材樹脂間での共有結合の生成
あるいは封止材樹脂自体の架橋が酸素によって阻害され
難くなる。これにより、表面部材と封止材樹脂の接着力
が増し、信頼性を向上させることができる。
【００８１】さらに、太陽電池モジュール積層体中にガ
ラス繊維不織布と有機樹脂繊維不織布のいずれかあるい
は両方を少なくとも１枚以上挿入することによって、 （３）真空引きの効果をなお一層享受することができ
る。すなわち、積層体中に挿入された不織布が積層体間
隙の排気を助けるので、貼り合わせ後のモジュールに残
留する気泡の数をほぼ完全にゼロにすることができる。
【００８２】封止材樹脂のうち少なくとも光起電力素子
と表面部材との間に配する封止材樹脂をエチレン−酢酸
ビニル共重合体（ＥＶＡ）とすることによって、 （４）従来から太陽電池モジュールの封止材として最も
用いられている樹脂であり、現状の封止材構成を大きく
変更することなしに上述した効果を得ることができる。
【００８３】さらに、エチレン−酢酸ビニル共重合体
（ＥＶＡ）を有機過酸化物によって架橋することによっ
て、 （５）耐熱性に優れた封止材樹脂となる。すなわち、高
温使用下で封止材樹脂が軟化して表面部材が剥離した
り、封止材樹脂が流れ出すようなことがない。さらに、
酸素による架橋阻害を抑制できるので、（２）で述べた
理由で太陽電池モジュールの信頼性の向上がより顕著に
現れる。
【００８４】太陽電池モジュール積層体をプレートとシ
リコンゴムシートとの間に挟持し、プレートとシリコン
ゴムシートとの間の空間を真空引きしてシリコンゴムシ
ートで積層体を圧着する。いわゆる、一重真空室方式で
あることによって、 （６）貼り合わせに用いるラミネーターの構造が簡単に
なり装置コストが安くなる。したがって、モジュールを
量産する場合に多額の設備投資を必要とせず、多くのラ
ミネーターを導入することができる。さらに、一重真空
室方式に本発明を適用すれば、真空引きの効果がより一
層明確なものとなる。すなわち、一重真空室方式では真
空引きと同時に積層体を圧着するため積層体の間隙が二
重真空室方式に比べて著しく狭くなり、排気抵抗が大き
くなる。したがって貼り合わせ後の残留気泡が極めて発
生し易いという問題を有しているが、本実施例によりそ
の問題を劇的に改善することができる。
【００８５】一方、透明な表面部材がフッ化物重合体フ
ィルムであることによって、 （７）耐候性に優れた被覆となる。すなわち、封止材樹
脂と相まって、フッ化物重合体の有する耐候性が期待で
きる。
【００８６】フッ化物重合体フィルムをエチレン−テト
ラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）とすることに
よって、 （８）四フッ化エチレン−エチレン共重合体が有する耐
候性・透明性・機械的強度を生かした被覆となる。
【００８７】フッ化物重合体フィルムの封止材樹脂と接
する面にコロナ放電処理を施すことによって、 （９）封止材樹脂とフッ化物重合体フィルムとの接着力
を高めることができる。なお、上記実施例に係わる太陽
電池モジュールおよび太陽電池モジュールの製造方法は
以上の実施例に何等限定されるものではなく、その要旨
の範囲内で種々変更することができる。
【００８８】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の太陽電池モジュールおよび太陽電池モジュールの製造
方法は、表面部材と裏面部材との間に光起電力素子と封
止材樹脂とを有する積層体を、加熱を開始する前に５Ｔ
ｏｒｒ以下の真空度で５分乃至４０分間保持した後、５
Ｔｏｒｒ以下の真空度において加熱圧着し、加熱圧着後
に冷却して貼り合わせることによって製造することを構
成とする。よって、真空引きが十分行なわれ積層体間隙
の空気が十分に排気されるため、気泡の発生が抑制され
る。封止材樹脂が有機過酸化物によって架橋される場
合、表面部材と封止材樹脂間での共有結合の生成あるい
は封止材樹脂自体の架橋が酸素によって阻害されること
がない。故に、表面部材と封止材樹脂の接着力に優れ、
また高温使用下でも封止材樹脂が軟化して表面部材が剥
離し難く、信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の太陽電池モジュールおよび太陽電池モ
ジュールの製造方法に基づき製造される太陽電池モジュ
ールの概略断面図の一例である。
【図２】光起電力素子の基本構成を示す図であり、
（ａ）が概略断面図、（ｂ）が受光側上面図である。
【図３】一重真空室方式による太陽電池モジュールの製
造工程の一例を示す模式図である。
【図４】実施例１の太陽電池モジュール積層体の概略断
面図である。
【図５】実施例３の太陽電池モジュール積層体の概略断
面図である。
【図６】従来一般的な太陽電池モジュールの概略断面構
成を示す図である。
【図７】二重真空室方式のモジュール貼り合わせ装置の
概略断面図の一例である。
【図８】一重真空室方式のモジュール貼り合わせ装置の
概略断面図の一例である。
【図９】太陽電池モジュール積層体の一例である。
【符号の説明】
１０１、６０１、９０１ 光起電力素子、 １０２ 表面封止材、 １０３、６０３、９０４ 表面部材、 １０４ 裏面封止材、 １０５、６０４、９０５ 裏面部材、 ２０１ 導電性基板、 ２０２ 裏面反射層、 ２０３ 半導体光活性層、 ２０４ 透明導電層、 ２０５ 集電電極、 ２０６ 端子、 ２０７ 導電性ペースト、 ２０８ 半田、 ３０１、７０４、８０１ 金属プレート、 ３０２、７０３、８０２ シリコンラバーシート、 ３０４、４００、５００、７０９、８０６、９００ 太
陽電池モジュール積層体、 ３０３、７０８、８０５ Ｏ−リング、 ３０５、７０６、７０７、８０４ 排気口、 ３０６ 真空ポンプ、 ４０１、５０１ セルブロック、 ４０２、５０２ ＥＶＡシート、 ４０３ ＥＴＦＥフィルム、 ４０４、５０４ ガラス繊維不織布、 ４０５ ナイロンフィルム、 ４０６ 鋼板、 ５０３ ガラス、 ５０５ アルミラミネートテドラーフィルム、 ６０２ 封止材、 ７０１ 下室、 ７０２ 上室、 ７０５、８０３ ヒーター、 ９０２ 不織布、 ９０３ 封止材シート。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 聡 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小森 綾子 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−22572（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−56369（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−122770（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−16388（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−85307（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−17685（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 31/04 H01L 31/042

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 表面部材と裏面部材との間に光起電力素
    子と封止材樹脂とを有する積層体を、加熱を開始する前
    に５Ｔｏｒｒ以下の真空度で５分乃至４０分間保持した
    後、５Ｔｏｒｒ以下の真空度において加熱圧着し、該加
    熱圧着後に冷却して貼り合わせることによって製造され
    たことを特徴とする太陽電池モジュール。
  2. 【請求項２】 前記積層体中に、ガラス繊維不織布と有
    機樹脂繊維不織布のいずれか一方あるいは両方が、少な
    くとも１枚以上挿入されていることを特徴とする請求項
    １に記載の太陽電池モジュール。
  3. 【請求項３】 前記光起電力素子と前記表面部材との間
    に配する前記封止材樹脂は、エチレン−酢酸ビニル共重
    合体（ＥＶＡ）であることを特徴とする請求項１に記載
    の太陽電池モジュール。
  4. 【請求項４】 前記表面部材は、透明なフッ化物重合体
    フィルムであることを特徴とする請求項１に記載の太陽
    電池モジュール。
  5. 【請求項５】 前記エチレン−酢酸ビニル共重合体（Ｅ
    ＶＡ）は、有機過酸化物によって架橋されていることを
    特徴とする請求項３に記載の太陽電池モジュール。
  6. 【請求項６】 前記フッ化物重合体フィルムは、エチレ
    ン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）であ
    ることを特徴とする請求項４に記載の太陽電池モジュー
    ル。
  7. 【請求項７】 前記フッ化物重合体フィルムが前記封止
    材樹脂と接する面に、コロナ放電処理が施されているこ
    とを特徴とする請求項４または６に記載の太陽電池モジ
    ュール。
  8. 【請求項８】 光起電力素子を封止材樹脂を介して表面
    部材と裏面部材との間に積層した積層体を脱気しながら
    加熱圧着して貼り合わせる太陽電池モジュールの製造方
    法において、前記積層体を、加熱を開始する前に５Ｔｏｒｒ以下の真
    空度で ５分乃至４０分間保持する予備真空引き工程と、前記 真空引き工程の後、前記積層体を５Ｔｏｒｒ以下の
    真空度において加熱圧着する工程と、前記加熱圧着工程の後、前記積層体を冷却して貼り合わ
    せる工程と、 からなる ことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方
    法。
  9. 【請求項９】 前記加熱圧着工程では、前記積層体をプ
    レートとシリコンゴムシートとの間に挟持し、該プレー
    トとシリコンゴムシートとの間の空間を真空引きし、前
    記真空引き工程と加熱圧着工程と冷却して貼り合わせる
    工程では、前記シリコンゴムシートで前記積層体を一重
    真空室方式により圧着することを特徴とする請求項８に
    記載の太陽電池モジュールの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記積層体中に、ガラス繊維不織布と
    有機樹脂繊維不織布のいずれか一方あるいは両方が、少
    なくとも１枚以上挿入されていることを特徴とする請求
    項８に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記光起電力素子と前記表面部材との
    間に配する前記封止材樹脂は、エチレン−酢酸ビニル共
    重合体（ＥＶＡ）であることを特徴とする請求項８に記
    載の太陽電池モジュールの製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記エチレン−酢酸ビニル共重合体
    （ＥＶＡ）は、有機過酸化物によって架橋されているこ
    とを特徴とする請求項１１に記載の太陽電池モジュール
    の製造方法。
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