JP2909724B2 - プレス成型用金型と、この金型で成型されたガラス原盤 - Google Patents
プレス成型用金型と、この金型で成型されたガラス原盤Info
- Publication number
- JP2909724B2 JP2909724B2 JP8243998A JP24399896A JP2909724B2 JP 2909724 B2 JP2909724 B2 JP 2909724B2 JP 8243998 A JP8243998 A JP 8243998A JP 24399896 A JP24399896 A JP 24399896A JP 2909724 B2 JP2909724 B2 JP 2909724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molding
- molding surface
- mold
- press
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B40/00—Preventing adhesion between glass and glass or between glass and the means used to shape it, hold it or support it
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0254—Physical treatment to alter the texture of the surface, e.g. scratching or polishing
- C23C16/0263—Irradiation with laser or particle beam
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73913—Composites or coated substrates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73921—Glass or ceramic substrates
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/14—Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
- C03B2215/24—Carbon, e.g. diamond, graphite, amorphous carbon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/44—Flat, parallel-faced disc or plate products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/45—Ring or doughnut disc products or their preforms
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として、オーデ
ィオ、ビデオ、コンピュータのデジタルデータ、グラフ
ィックス情報のための光ディスク、及び電卓、テレビ、
コンピュータやワープロのモニター用液晶を製造するた
めのガラス原盤を成型するプレス成型用金型、及びこの
金型でプレス成型したガラス原盤に関する。
ィオ、ビデオ、コンピュータのデジタルデータ、グラフ
ィックス情報のための光ディスク、及び電卓、テレビ、
コンピュータやワープロのモニター用液晶を製造するた
めのガラス原盤を成型するプレス成型用金型、及びこの
金型でプレス成型したガラス原盤に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、この種の光ディスクの原盤に
は、ポリカーボネイト、アクリル、エポキシ、オレフィ
ンなどの樹脂材料が使用されているが、高温多湿などの
環境に影響されて、経時変化を起こす虞があり、また、
記憶容量にも限界があった。そこで、環境温度の影響を
受けないガラスが、光ディスクの原盤の材料として採用
されるようになった。
は、ポリカーボネイト、アクリル、エポキシ、オレフィ
ンなどの樹脂材料が使用されているが、高温多湿などの
環境に影響されて、経時変化を起こす虞があり、また、
記憶容量にも限界があった。そこで、環境温度の影響を
受けないガラスが、光ディスクの原盤の材料として採用
されるようになった。
【0003】このガラス原盤は、フュージョン法やフロ
ート法にて成型された板ガラスから、検品後、所要の円
板形状に切断し、300〜500℃の雰囲気で、アニー
ルした後に、その端面、表面の仕上げとして、外周加
工、研磨加工を行うが、この場合、研磨加工には多大の
時間と労力を費している。また、研磨加工の後には、有
機系の中和剤や純水を用いて洗浄を行うが、中和剤、純
水の供給や、その廃水の後処理のために高価な設備が必
要であった。
ート法にて成型された板ガラスから、検品後、所要の円
板形状に切断し、300〜500℃の雰囲気で、アニー
ルした後に、その端面、表面の仕上げとして、外周加
工、研磨加工を行うが、この場合、研磨加工には多大の
時間と労力を費している。また、研磨加工の後には、有
機系の中和剤や純水を用いて洗浄を行うが、中和剤、純
水の供給や、その廃水の後処理のために高価な設備が必
要であった。
【0004】そこで、最近は、既に、小さい口径のレン
ズなどの光学系に採用されているように、切断、アニー
ルなどの工程を介してプレフォームされたガラス板を、
成型面を高精度に加工した成型用金型を用いて、プレス
成型し、所望の平面度を確保するプレス加工法が、ガラ
ス原盤の作成に際して、採用されている。ここで採用さ
れる成型用金型は、超硬材料の型部材における成型面に
グラファイトあるいはアモルファスダイヤモンド系のカ
ーボンコートを施したもので、その平面度も高精度であ
る。このように、成型面にカーボンコートを施すのは、
成型面に気孔が残留し、そのままでは、成型ガラス表面
にキズを生じてしまうからである。
ズなどの光学系に採用されているように、切断、アニー
ルなどの工程を介してプレフォームされたガラス板を、
成型面を高精度に加工した成型用金型を用いて、プレス
成型し、所望の平面度を確保するプレス加工法が、ガラ
ス原盤の作成に際して、採用されている。ここで採用さ
れる成型用金型は、超硬材料の型部材における成型面に
グラファイトあるいはアモルファスダイヤモンド系のカ
ーボンコートを施したもので、その平面度も高精度であ
る。このように、成型面にカーボンコートを施すのは、
成型面に気孔が残留し、そのままでは、成型ガラス表面
にキズを生じてしまうからである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このカーボンコート
は、ガラスに対して濡れ難く、付着しないという優れた
性質があるが、しかし、金型部材に対しては、剥がれ易
い(例えば、連続ガラス成型において、10,000シ
ョット以下で剥離)という問題を抱えていた。そこで、
本発明者は、鋭意、研究した結果、耐摩擦、耐磨耗、耐
疲労性などの機械的性質を向上するイオン注入を、カー
ボンコートを施す前の超硬材料の金型部材の成型面に対
して実行し、これによって、金型部材に対するカーボン
コートの付着性を向上させ、以って金型寿命を大幅に向
上させることを見出した。
は、ガラスに対して濡れ難く、付着しないという優れた
性質があるが、しかし、金型部材に対しては、剥がれ易
い(例えば、連続ガラス成型において、10,000シ
ョット以下で剥離)という問題を抱えていた。そこで、
本発明者は、鋭意、研究した結果、耐摩擦、耐磨耗、耐
疲労性などの機械的性質を向上するイオン注入を、カー
ボンコートを施す前の超硬材料の金型部材の成型面に対
して実行し、これによって、金型部材に対するカーボン
コートの付着性を向上させ、以って金型寿命を大幅に向
上させることを見出した。
【0006】
【課題を解決するための手段】このため、本発明のプレ
ス成型用金型は、超硬材料の型部材における成型面にグ
ラファイトあるいはアモルファスダイヤモンド系のカー
ボンコートを施して、所望の平面度を確保した成型用金
型において、成型面にカーボンコートを施す前に、成型
面に対してイオン注入を行い、成型面の表層を変性させ
ている。このため、金型部材に対するカーボンコートの
付着性を向上でき、金型寿命を大幅に向上させることが
できる。この場合、本発明では、成型面の少なくとも深
さ0.5μmまでの表層に対して、イオン注入を行い、
その後、0.1〜1μmの厚さで、カーボンコートを施
している。また、成型面は、その平面度が2/1000
〜8/1000になるように、平滑化されている。
ス成型用金型は、超硬材料の型部材における成型面にグ
ラファイトあるいはアモルファスダイヤモンド系のカー
ボンコートを施して、所望の平面度を確保した成型用金
型において、成型面にカーボンコートを施す前に、成型
面に対してイオン注入を行い、成型面の表層を変性させ
ている。このため、金型部材に対するカーボンコートの
付着性を向上でき、金型寿命を大幅に向上させることが
できる。この場合、本発明では、成型面の少なくとも深
さ0.5μmまでの表層に対して、イオン注入を行い、
その後、0.1〜1μmの厚さで、カーボンコートを施
している。また、成型面は、その平面度が2/1000
〜8/1000になるように、平滑化されている。
【0007】また、本発明の光ディスク用ガラス原盤
は、超硬材料の型部材における成型面にグラファイトあ
るいはアモルファスダイヤモンド系のカーボンコートを
施して、所望の平面度を確保した成型用金型の成型面に
前記カーボンコートを施す前に、成型面に対してイオン
注入を行い、成型面の表層を変形させた金型を用いて、
予備成型された円板状の板ガラスをプレス成型したこと
を特徴とする。
は、超硬材料の型部材における成型面にグラファイトあ
るいはアモルファスダイヤモンド系のカーボンコートを
施して、所望の平面度を確保した成型用金型の成型面に
前記カーボンコートを施す前に、成型面に対してイオン
注入を行い、成型面の表層を変形させた金型を用いて、
予備成型された円板状の板ガラスをプレス成型したこと
を特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を具体
的に説明する。ここでは、超硬合金からなる超硬材料の
金型部材における成型面にグラファイトあるいはアモル
ファスダイヤモンド系のカーボンコートを施して、8/
1000以上の平面度を確保した成型用金型において、
その平滑な成型面にカーボンコートを施す前に、成型面
に対して、例えば、窒素原子のイオン注入を行い、成型
面の表層をガウス分布形状に変性させている。
的に説明する。ここでは、超硬合金からなる超硬材料の
金型部材における成型面にグラファイトあるいはアモル
ファスダイヤモンド系のカーボンコートを施して、8/
1000以上の平面度を確保した成型用金型において、
その平滑な成型面にカーボンコートを施す前に、成型面
に対して、例えば、窒素原子のイオン注入を行い、成型
面の表層をガウス分布形状に変性させている。
【0009】そして、成型面の、少なくとも、深さ0.
5μmまでの表層に対して、イオン注入を行って、イオ
ン注入層を形成し、その後、0.1〜1μmの厚さで、
カーボンコートを施している。また、成型面は、その平
面度が2/1000〜8/1000になるように、平滑
化されている。なお、本発明による金型を使用すること
により図示したCD(コンパクトディスク)やLD(レ
ーザーディスク),CD−ROM,MD等の光ディスク
1を成型出来る他、大口径のレンズ、液晶用のガラス板
やコンピュータ用のフォトマスク2、ブラウン管のフロ
ントガラスも成型出来る。
5μmまでの表層に対して、イオン注入を行って、イオ
ン注入層を形成し、その後、0.1〜1μmの厚さで、
カーボンコートを施している。また、成型面は、その平
面度が2/1000〜8/1000になるように、平滑
化されている。なお、本発明による金型を使用すること
により図示したCD(コンパクトディスク)やLD(レ
ーザーディスク),CD−ROM,MD等の光ディスク
1を成型出来る他、大口径のレンズ、液晶用のガラス板
やコンピュータ用のフォトマスク2、ブラウン管のフロ
ントガラスも成型出来る。
【0010】〔実施例〕高周波放電(105〜107H
Z)によるイオン注入法で、イオン電流10mA、イオ
ン照射量100ドーズ、温度300〜500℃、時間t
=10〜40secで、金型部材の成型面の表層に、深
さ0.5〜1.0μmまでのイオン注入を施し、その
後、0.5μmの厚さで、アモルファスダイヤモンド系
のカーボンコートを施して、成型用金型を構成する。
Z)によるイオン注入法で、イオン電流10mA、イオ
ン照射量100ドーズ、温度300〜500℃、時間t
=10〜40secで、金型部材の成型面の表層に、深
さ0.5〜1.0μmまでのイオン注入を施し、その
後、0.5μmの厚さで、アモルファスダイヤモンド系
のカーボンコートを施して、成型用金型を構成する。
【0011】この成型用金型を用いて、例えば、300
mmφのガラス原盤を作成するには、先ず、その硝子材
の軟化点迄の温度に予備成型された円板状の板ガラスを
昇温し、これを、同じ温度まで昇温した金型部材に装填
して、プレス成型する。プレス後、15乃至20分を掛
けて、徐冷を行い、常温まで降下する。このような成型
を連続して、100万回ショットしたが、成型面からの
カーボンコートの剥離が認められなかった。このような
実績から、本発明の有効性が認められる。なお、金型寿
命が大幅にのびた理由は、イオン照射を施したことによ
りカーボンコートが剥離しにくくなったことに加え、板
ガラスと金型の温度を略同じ温度にすることで、金型の
金属被労が少なくなったためによるものである。
mmφのガラス原盤を作成するには、先ず、その硝子材
の軟化点迄の温度に予備成型された円板状の板ガラスを
昇温し、これを、同じ温度まで昇温した金型部材に装填
して、プレス成型する。プレス後、15乃至20分を掛
けて、徐冷を行い、常温まで降下する。このような成型
を連続して、100万回ショットしたが、成型面からの
カーボンコートの剥離が認められなかった。このような
実績から、本発明の有効性が認められる。なお、金型寿
命が大幅にのびた理由は、イオン照射を施したことによ
りカーボンコートが剥離しにくくなったことに加え、板
ガラスと金型の温度を略同じ温度にすることで、金型の
金属被労が少なくなったためによるものである。
【0012】
【発明の効果】本発明は、以上詳述したようになり、超
硬材料の金型部材における成型面にグラファイトあるい
はアモルファスダイヤモンド系のカーボンコートを施し
て、所望の平面度を確保した成型用金型において、成型
面にカーボンコートを施す前に、成型面に対してイオン
注入を行い、成型面の表層を変性させたので、金型部材
に対するカーボンコートの付着性を向上でき、金型寿命
を大幅に向上させることができ、しかも、成型用金型の
成型面の高い平面度の故に、成型後に、ガラス成型品に
対して研磨工程を省略できる。
硬材料の金型部材における成型面にグラファイトあるい
はアモルファスダイヤモンド系のカーボンコートを施し
て、所望の平面度を確保した成型用金型において、成型
面にカーボンコートを施す前に、成型面に対してイオン
注入を行い、成型面の表層を変性させたので、金型部材
に対するカーボンコートの付着性を向上でき、金型寿命
を大幅に向上させることができ、しかも、成型用金型の
成型面の高い平面度の故に、成型後に、ガラス成型品に
対して研磨工程を省略できる。
【図1】本発明の金型を用いて成型した光ディスクを示
す図であり、(a)は平面図、(b)は側面図である。
す図であり、(a)は平面図、(b)は側面図である。
【図2】(a)は、コンピュータ用フォトマスクの斜視
図であり、図2(b)はその断面図である。
図であり、図2(b)はその断面図である。
1 光ディスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G02F 1/1333 500 G02F 1/1333 500
Claims (4)
- 【請求項1】 超硬材料の型部材における成型面にグラ
ファイトあるいはアモルファスダイヤモンド系のカーボ
ンコートを施して、所望の平面度を確保した成型用プレ
ス金型において、成型面にカーボンコートを施す前に成
型面に対して少なくとも窒素原子のイオン注入を行い、
成型面の表層を変性させたことを特徴とするプレス成型
用金型。 - 【請求項2】 成型面の少なくとも、深さ0.5μmま
での表層に対して、少なくとも窒素原子のイオン注入を
行うことを特徴とする請求項1記載のプレス成型用金
型。 - 【請求項3】 カーボンコートの厚さが0.1〜1μm
であることを特徴とする請求項1記載のプレス成型用金
型。 - 【請求項4】 超硬材料の型部材における成型面にカー
ボンコートを施して、所望の平面度を確保した成型用金
型の成型面に前記カーボンコートを施す前に、成型面に
対して少なくとも窒素原子のイオン注入を行い、成型面
の表層を変形させた金型を用いて、予備成型された円板
状の板ガラスをプレス成型したことを特徴とする金型で
成型されたガラス原盤。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US52058595A | 1995-08-29 | 1995-08-29 | |
US08/520,585 | 1995-08-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09194227A JPH09194227A (ja) | 1997-07-29 |
JP2909724B2 true JP2909724B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=24073252
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24399996A Expired - Fee Related JP3275091B2 (ja) | 1995-08-29 | 1996-08-28 | ハードディスクのガラス原盤用プレス成形金型及びこの金型から作られたガラス原盤 |
JP8243998A Expired - Fee Related JP2909724B2 (ja) | 1995-08-29 | 1996-08-28 | プレス成型用金型と、この金型で成型されたガラス原盤 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24399996A Expired - Fee Related JP3275091B2 (ja) | 1995-08-29 | 1996-08-28 | ハードディスクのガラス原盤用プレス成形金型及びこの金型から作られたガラス原盤 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP3275091B2 (ja) |
KR (1) | KR100385257B1 (ja) |
CN (1) | CN1102470C (ja) |
AU (1) | AU718549B2 (ja) |
CA (1) | CA2184206C (ja) |
DE (1) | DE19634974A1 (ja) |
FR (1) | FR2738236B1 (ja) |
GB (1) | GB2304736B (ja) |
IL (1) | IL119144A0 (ja) |
MY (1) | MY115041A (ja) |
NL (1) | NL1003899C2 (ja) |
SG (1) | SG47172A1 (ja) |
ZA (1) | ZA967329B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0953548B1 (en) | 1997-07-30 | 2006-05-03 | Hoya Corporation | Method of producing glass substrate for information recording medium |
NL1008105C2 (nl) * | 1998-01-23 | 1999-07-26 | Axxicon Moulds Eindhoven Bv | Spuitgietmatrijs. |
JP2002079522A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-03-19 | Hitachi Maxell Ltd | ディスク基板成形金型及び樹脂成形金型 |
JP4702201B2 (ja) * | 2006-06-28 | 2011-06-15 | 東洋製罐株式会社 | 樹脂加工用部材 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA968561A (en) * | 1970-11-27 | 1975-06-03 | Gerald E. Blair | Method for molding glass lenses |
DE3533856A1 (de) * | 1985-09-23 | 1987-05-21 | Wilhelm Koenig | Vorrichtung zur herstellung von hartdisketten aus glas |
JPS6483529A (en) * | 1987-09-28 | 1989-03-29 | Hoya Corp | Production of glass forming mold |
DE3800567A1 (de) * | 1988-01-12 | 1989-07-20 | Wilhelm Koenig | Presswerkzeug zum pressen von hartdisketten aus glas |
DE3808380A1 (de) * | 1988-03-12 | 1989-09-21 | Wilhelm Koenig | Verfahren zum praegen von festprogrammen auf glasdisks und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
JPH01301864A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Hoya Corp | ガラス成形型の製造方法 |
US5202156A (en) * | 1988-08-16 | 1993-04-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of making an optical element mold with a hard carbon film |
US5026415A (en) * | 1988-08-16 | 1991-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Mold with hydrogenated amorphous carbon film for molding an optical element |
JPH0624991B2 (ja) * | 1988-08-24 | 1994-04-06 | 松下電器産業株式会社 | 光学ガラス素子のプレス成形用型 |
US5380349A (en) * | 1988-12-07 | 1995-01-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Mold having a diamond layer, for molding optical elements |
JP2572438B2 (ja) * | 1989-01-30 | 1997-01-16 | ホーヤ株式会社 | ガラスプレス成形型の製造方法 |
JP2837700B2 (ja) * | 1989-08-23 | 1998-12-16 | ティーディーケイ株式会社 | ダイヤモンド様薄膜を形成する方法 |
US5112025A (en) * | 1990-02-22 | 1992-05-12 | Tdk Corporation | Molds having wear resistant release coatings |
US5246198A (en) * | 1990-06-01 | 1993-09-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Diamond crystal coated mold for forming optical elements |
GB9019219D0 (en) * | 1990-09-01 | 1990-10-17 | Atomic Energy Authority Uk | Diamond-like carbon coatings |
US5125945A (en) * | 1991-04-09 | 1992-06-30 | Corning Incorporated | Method and apparatus for parallel alignment of opposing mold surfaces by controlling the thermal expansion of the apparatus |
JP3009761B2 (ja) * | 1991-07-26 | 2000-02-14 | 日本タングステン株式会社 | 成形用型材料 |
FR2682125A1 (fr) * | 1991-10-07 | 1993-04-09 | Nitruvid | Procede de traitement pour deposer une couche de carbone en phase vapeur sur la surface d'une piece metallique et piece ainsi obtenue. |
JP3049132B2 (ja) * | 1991-10-11 | 2000-06-05 | オリンパス光学工業株式会社 | 光学素子成形用型の製造方法および光学素子成形用型 |
US5347887A (en) * | 1993-03-11 | 1994-09-20 | Microsurgical Techniques, Inc. | Composite cutting edge |
JPH06320636A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-22 | Canon Inc | 光学素子成形用型の製造方法 |
JPH0790553A (ja) * | 1993-09-27 | 1995-04-04 | Shojiro Miyake | 摺動部品およびその製造方法 |
JPH07109128A (ja) * | 1993-10-12 | 1995-04-25 | Hoya Corp | ガラス成形用型およびその製造方法 |
US5458927A (en) * | 1995-03-08 | 1995-10-17 | General Motors Corporation | Process for the formation of wear- and scuff-resistant carbon coatings |
GB2300424A (en) * | 1995-05-01 | 1996-11-06 | Kobe Steel Europ Ltd | Diamond growth on ion implanted surfaces |
-
1996
- 1996-08-27 CA CA002184206A patent/CA2184206C/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-28 IL IL11914496A patent/IL119144A0/xx not_active IP Right Cessation
- 1996-08-28 JP JP24399996A patent/JP3275091B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-28 JP JP8243998A patent/JP2909724B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-28 FR FR9610531A patent/FR2738236B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-28 AU AU64322/96A patent/AU718549B2/en not_active Ceased
- 1996-08-28 NL NL1003899A patent/NL1003899C2/nl not_active IP Right Cessation
- 1996-08-29 MY MYPI96003599A patent/MY115041A/en unknown
- 1996-08-29 KR KR1019960036268A patent/KR100385257B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-08-29 CN CN96113357A patent/CN1102470C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-29 DE DE19634974A patent/DE19634974A1/de not_active Withdrawn
- 1996-08-29 SG SG1996010532A patent/SG47172A1/en unknown
- 1996-08-29 GB GB9618034A patent/GB2304736B/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-08-29 ZA ZA967329A patent/ZA967329B/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU718549B2 (en) | 2000-04-13 |
IL119144A0 (en) | 1996-11-14 |
GB9618034D0 (en) | 1996-10-09 |
JPH09194227A (ja) | 1997-07-29 |
CN1102470C (zh) | 2003-03-05 |
GB2304736B (en) | 1999-09-22 |
NL1003899C2 (nl) | 1998-02-12 |
CA2184206C (en) | 2002-10-08 |
JP3275091B2 (ja) | 2002-04-15 |
KR970010687A (ko) | 1997-03-27 |
ZA967329B (en) | 1997-03-04 |
AU6432296A (en) | 1997-03-06 |
SG47172A1 (en) | 1998-03-20 |
KR100385257B1 (ko) | 2003-08-09 |
CN1147983A (zh) | 1997-04-23 |
DE19634974A1 (de) | 1997-03-27 |
GB2304736A (en) | 1997-03-26 |
JPH09183622A (ja) | 1997-07-15 |
NL1003899A1 (nl) | 1997-03-03 |
FR2738236A1 (fr) | 1997-03-07 |
CA2184206A1 (en) | 1997-03-01 |
FR2738236B1 (fr) | 1999-03-12 |
MY115041A (en) | 2003-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2909724B2 (ja) | プレス成型用金型と、この金型で成型されたガラス原盤 | |
US6314764B1 (en) | Method of manufacturing a 1-inch diameter glass substrate for a magnetic disk | |
US6314763B1 (en) | Method of manufacturing a 2-5 inch diameter glass substrate for a magnetic disk | |
JPH0556578B2 (ja) | ||
US5770294A (en) | Molded glass plates produced by mold with modified surface | |
JPS6391843A (ja) | 光デイスク基板 | |
US6479122B2 (en) | Glass substrate for an optical disk and a manufacturing method thereof | |
JPH01112543A (ja) | 光ディスク用スタンパー | |
JPH05339774A (ja) | スタンパ製造方法 | |
JPH09227150A (ja) | ガラス成形用型の保護膜及びその製造方法 | |
JP2007160603A (ja) | 光学部材成形用金型の製造方法 | |
JPH03127342A (ja) | 情報記録ディスク用原盤 | |
JP2967958B2 (ja) | 光ディスク用スタンパー及びその製法 | |
JPH07157318A (ja) | 光学素子成形用の成形型の製造方法 | |
JPS6066342A (ja) | スタンパとその製造方法 | |
JPH05337899A (ja) | スタンパ等の打抜き装置 | |
JPH02292029A (ja) | 光ディスク製造用スタンパ | |
JP2001006161A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP2021197230A (ja) | 燃料電池用セパレータの製造方法 | |
JPS60219637A (ja) | 磁気デイスクの表面平滑化方法 | |
JPH11102515A (ja) | 記録媒体用ガラス基板 | |
JPH0440642A (ja) | 光ディスクのスタンパ作製方法 | |
JPH03120638A (ja) | 情報記録ディスクの製造方法 | |
JPS61214247A (ja) | 記録媒体用スタンパの製造方法 | |
JPH0489122A (ja) | 圧延用ダルロールの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |