JP2841936B2 - 絶縁ゲート型電界効果半導体装置 - Google Patents
絶縁ゲート型電界効果半導体装置Info
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- JP2841936B2 JP2841936B2 JP3172600A JP17260091A JP2841936B2 JP 2841936 B2 JP2841936 B2 JP 2841936B2 JP 3172600 A JP3172600 A JP 3172600A JP 17260091 A JP17260091 A JP 17260091A JP 2841936 B2 JP2841936 B2 JP 2841936B2
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Description
果半導体装置に関する。
ランジスタの要部構成をあらわす。絶縁ゲート型電界効
果トランジスタ51は、半導体基板52のドレイン領域
用のn型半導体領域53の表面部分にチャネル形成用の
p型半導体領域54が形成され、同領域54の表面部分
にソース領域用のn型半導体領域55が形成された構成
となっている。前記両n型半導体領域53、55に挟ま
れたp型半導体領域54の表面部分がチャネル形成域C
Hになっていて、このチャネル形成域CHの上方にはゲ
ート電極57が絶縁膜58を介して設けられている。な
お、71はソース電極であり、72はドレイン電極であ
る。
は入力抵抗が極めて大きいという特徴を有するが、出力
(静電)容量(COSS1)が大きいという欠点がある。出
力容量(COSS1)は、ゲート・ドレイン間容量(CGD)
とドレイン・ソース間容量(CDS)の合計である(C
OSS1=CGD+CDS)が、出力容量が大きいとトランジス
タがオフの状態であっても高周波成分が出力容量を介し
て流れてしまう。そのため、出力容量は小さい方がよ
い。
は、トランジスタ51を小さくするか、ゲート絶縁膜5
8を厚くするかすれば良いのであるが、いずれの場合
も、オン抵抗が大きくなって実用的でなくなるという問
題が別に生じる。この発明は、上記事情に鑑み、オン抵
抗の増大を伴わずに出力容量の低減が図れる実用的な絶
縁ゲート型電界効果半導体装置を提供することを課題と
する。
め、この発明にかかる絶縁ゲート型電界効果半導体装置
では、半導体基板におけるチャネル形成域の上方に絶縁
膜を介してゲート電極が設けられてなる構成において、
逆並列結合された1組のダイオードを、前記ゲート電極
に直列に接続するようにしている。
置は、トランジスタだけでなくサイリスタの場合もあ
る。ダイオードは、普通、2個で1組とされ、互いに逆
並列結合した形態でゲート電極に直列に接続する。ゲー
ト電極への電荷の注入・引き抜きをどちらかのダイオー
ドを介して可能とするためである。なお、逆並列結合と
は、1組のダイオーを互いに逆向きに配置し、それぞれ
の両端を、抵抗等の他の電気的要素を介さず直接に、電
気的に等価な状態で並列に結合することを意味する。
は、ゲート電極にダイオードが直列に介在することによ
り、図2にみるように、ゲート・ソース間容量(CGS)
とダイオード容量(CD )の合計が、ゲート・ドレイン
間容量(CGD)に対して直列に入ることになり、その結
果、出力容量の低減化が図れる。つまり、出力容量低減
用のダイオードをゲート電極に直列に接続するようにす
るわけである。これを、数式を使って説明する。
式は以下の通りになる。 COSS2=CDS+{CGD×(CGS+CD)/(CGD+C GS +CD )} ≒CDS+{CGD×CGS/(CGD+C GS )} ;CD≒0 (とすることが容易にできる) したがって、COSS1−COSS2を算出すれば、 =CDS+CGD−CDS −{CGD×CGS/(CGD+C GS )} =CGD{1−CGS/(CGD+C GS )}>0となる。
した結果が出るのである。
明する。勿論、この発明は以下の実施例に限らないこと
は言うまでもない。図1は実施例にかかる絶縁ゲート型
電界効果トランジスタをあらわす。絶縁ゲート型電界効
果トランジスタ1は、半導体基板2のドレイン領域用の
n型半導体領域3の表面部分にチャネル形成用のp型半
導体領域4が形成され、同領域4の表面部分にソース領
域用のn型半導体領域5が形成された構成となってい
る。前記両半導体領域3、5に挟まれたp型半導体領域
4の表面部分がチャネル形成域CHになっていて、この
チャネル形成域CHの上方にはゲート電極7が絶縁膜8
を介して設けられている。なお、11はソース電極であ
り、12はドレイン電極であって、両電極11、12が
半導体基板2の表と裏に分かれて設けられており、この
トランジスタ1は縦型構成である。
れたダイオード15、15が直列接続されていて、出力
容量の低減が図られていることは前述の通りである。ダ
イオード15は半導体基板2内あるいは表面上に形成さ
れ一体化されていることが望ましい。特に、ダイオード
15は、以下の形成形態をとるものが好ましい。
ゲート電極7には、しばしばポリシリコンが使われる
が、ゲート電極7形成のための半導体基板2の上に堆積
させたポリシリコン膜のゲート電極以外の部分を使って
ダイオードを形成するのである。ポリシリコン膜の一部
領域に逆導電型の不純物をドープし逆導電型に変える。
そうするとp領域とn領域が面方向に隣接したpn接合
ダイオードができる。膜厚み分で接するだけだから接合
面積は小さくダイオード接合容量は極めて僅かなものと
なり、本発明に適したものとなる。
ート型電界効果半導体装置では、ゲート電極にダイオー
ドを直列に介在させ、電界効果半導体装置部分の構成は
変化させずに出力容量の低減を図っており、その結果、
オン抵抗の増大を伴わずに出力容量の低減が実現される
ため、非常に実用性が高い。
スタの要部構成をあらわす断面図である。
等価回路図である。
部構成をあらわす断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 半導体基板におけるチャネル形成域の上
方に絶縁膜を介してゲート電極が設けられてなる絶縁ゲ
ート型電界効果半導体装置において、逆並列結合された
1組のダイオードが、前記ゲート電極に直列に接続され
ていることを特徴とする絶縁ゲート型電界効果半導体装
置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3172600A JP2841936B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 絶縁ゲート型電界効果半導体装置 |
GB9214337A GB2257830B (en) | 1991-07-12 | 1992-07-06 | Low output-capacity, double-diffused field effect transistor |
US07/909,846 US5296723A (en) | 1991-07-12 | 1992-07-07 | Low output capacitance, double-diffused field effect transistor |
KR1019920012367A KR960006107B1 (ko) | 1991-07-12 | 1992-07-11 | 저출력-용량 2중 확산형 전계효과 트랜지스터 |
DE4222998A DE4222998A1 (de) | 1991-07-12 | 1992-07-13 | Zweifach-diffundierter feldeffekttransistor mit niedriger ausgangskapazitaet |
HK98106645A HK1007632A1 (en) | 1991-07-12 | 1998-06-25 | Low output-capacity double-diffused field effect transistor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3172600A JP2841936B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 絶縁ゲート型電界効果半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0521803A JPH0521803A (ja) | 1993-01-29 |
JP2841936B2 true JP2841936B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=15944865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3172600A Expired - Lifetime JP2841936B2 (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 絶縁ゲート型電界効果半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2841936B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4846106B2 (ja) * | 2001-02-16 | 2011-12-28 | 三菱電機株式会社 | 電界効果型半導体装置及びその製造方法 |
JP5271515B2 (ja) * | 2007-07-13 | 2013-08-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6482708A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | Mos-fet driving circuit |
JP2919494B2 (ja) * | 1989-08-10 | 1999-07-12 | 三洋電機株式会社 | 縦型mosfet |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3172600A patent/JP2841936B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0521803A (ja) | 1993-01-29 |
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