JP2810785B2 - 処理装置 - Google Patents

処理装置

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JP2810785B2
JP2810785B2 JP2512757A JP51275790A JP2810785B2 JP 2810785 B2 JP2810785 B2 JP 2810785B2 JP 2512757 A JP2512757 A JP 2512757A JP 51275790 A JP51275790 A JP 51275790A JP 2810785 B2 JP2810785 B2 JP 2810785B2
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マニコ，ジョセフ・アンソニー
バー，ドナルド・エドワード
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イーストマン・コダック・カンパニー
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03D—APPARATUS FOR PROCESSING EXPOSED PHOTOGRAPHIC MATERIALS; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03D5/00—Liquid processing apparatus in which no immersion is effected; Washing apparatus in which no immersion is effected
    • G03D5/04—Liquid processing apparatus in which no immersion is effected; Washing apparatus in which no immersion is effected using liquid sprays

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、感光性の材料を処理するための装置及び方
法に関し、より詳細には、溶液表面塗布装置を用いる装
置及び方法に関する。
背景技術 フィルムあるいは用紙等の感光性の材料を、表面塗布
装置を用いて処理するための装置は周知である。しかし
ながら、そのような装置は概して、信頼性における問題
を有しており、大量のシート材料を商業的なベースで処
理するために用いるには適していない。信頼性の乏しさ
は、搬送装置を汚す行ことなくまた搬送装置を清掃する
困難性を伴うことなく、感光性の材料を搬送して種々の
溶液に接触させることが困難であることに起因してい
る。このことは、混合するとタール状の物質を形成した
りあるいは取り除くのが困難な沈殿物を形成する不安定
な処理溶液を取り扱う場合には特に問題となる。
発明の開示 本発明によれば、無端状のウエブが、複数の処理ステ
ーションに隣接して延在する１つの部分を有する所定の
通路に沿って運動可能であり、感光性のシート材料を材
料の処理を行う処理ステーションを越えて搬送する。ウ
エブ通路の第２の部分は、ウエブ洗浄ステーションを通
って伸長する。ウエブを動かして材料を上記処理ステー
ションを越えて搬送すると共に材料を取り除いた後に洗
浄ステーションでウエブを清掃する手段が設けられる。
開示する実施例においては、洗浄ステーションは洗浄
タンクの形態をとり、また第２の通路部分は該タンクを
通って伸びてウエブを洗浄溶液の中に浸透させる。代替
的に、洗浄ステーションは、ウエブを連続的に洗浄する
１又はそれ以上のスプレノズルあるいは１又はそれ以上
の洗浄器又はスプレノズル及び洗浄器の両方を備えるこ
とができる。
処理ステーションを清掃溶液で周期的に洗浄するため
の手段が設けられ、上記清掃溶液も洗浄タンクの中に排
出される。
図面の簡単な説明 他の目的及び効果は、添付の図面に関連して説明する
以下の記載から明らかとなろうが、図面において、 図１は、本発明による搬送及び処理装置の概略図であ
り、 図２は、図１に処理ステーション装置の一部を詳細に
示す斜視図であり、 図３は、図１に示すクイージローラの平面図であり、 図４は、スクイージローラの他の実施例を示す図３と
同様の図であり、 図５は、処理装置用の制御装置を示す概略的な線図で
ある。
発明を実施する態様 本発明は、例えば感光性のフィルムあるいは紙のシー
ト及びそのような材料の連続的なウエブ等の、種々のタ
イプの材料を処理することに関連して利用することがで
きる。ここに開示する実施例は、写真フィルム上に捕ら
えられている像のプリントを客に提供するために一般に
用いられるタイプの感光性の紙のシートを処理する際に
特に実用性がある。従って、以下の記載においては、紙
シートを搬送及び処理する装置に関して説明する。ま
た、説明を簡素化するために、簡単な３溶液プロセッサ
だけを開示する。しかしながら、本発明をより複雑な装
置に応用できることは明らかであろう。
図面を参照すると、本発明の処理装置は、可撓性を有
する無端状のベルトすなわちウエブ10を備えており、該
ウエブは、マイラー（MYLAR）あるいは水滴で被覆でき
耐久性のある滑らかな表面を有する他の適宜な材料から
形成することができる。ウエブ10は、略矩形状に配列さ
れた４つのローラ12a、12b、12cおよび12dにより支持さ
れている。１又はそれ以上のローラ12を、概略的に示す
モータ14により駆動することができ、これにより、ロー
ラ12により画成される略矩形の無端通路を通して、ウエ
ブ10を矢印で示す時計方向に搬送する。
ウエブ10は通路を通って運動することができ、該通路
は、下に説明する複数の処理ステーションに隣接して設
けられる第１の部分すなわち上方の通路部分10aと、洗
浄ステーションを通過する第２の部分10bとを有してい
る。ここに開示する実施例においては、洗浄ステーショ
ンは、水通の洗浄溶液を保有するタンク16を備えてお
り、通路部分10bはその洗浄溶液を通って伸びている。
しかしながら代替例として、洗浄ステーションは、ウエ
ブを連続的に洗浄するための１又はそれ以上のスプレ及
び／又は１又はそれ以上の洗浄器を備えることができ
る。
ここに開示する好ましい実施例を参照すると、ウエブ
及びローラ組立体は、水等の洗浄溶液を保有するタンク
16の中に部分的に浸透している。ウエブ通路の上方部分
10aは、処理すべきシート材料を搬送するために、溶液
のレベル（液面）の上方に保持されている。タンク16
は、レベル制御ドレーン17の高さまで洗浄溶液で満たす
のが好ましい。ウエブ通路の部分10aは、２つの上方の
ローラ12aおよび12bの間に位置するプラテン18の上に位
置しており、該部分10aは、下に説明するように複数の
処理ステーションを越してシート材料を搬送するために
用いられる。ここに開示する実施例においては、プラテ
ン18は、中空の容器19の上面を備えており、温度制御さ
れた水がポンプ20によって上記容器を通して循環され
る。ポンプ20は、温度制御される水の供給源21と、容器
19の一端部に隣接する水の入口22とに連結されている。
水は、ドレーン26に連結された出口24から排出される。
この構成を用いると、プラテン18及び搬送されるシート
は、処理を受けるために最適な温度に維持される。代替
例として、処理を受けるシートを、赤外線放射エネルギ
で加熱することができる。これは、ヒータ棒（図示せ
ず）を処理すべきシートに接近して設け、シートが棒の
下方を通過する際にシートを加熱することによって行う
ことができる。他の代替例においては、ウエブの搬送通
路全体を周囲を包囲しかつ熱的に絶縁したハウジングの
中に設け、該ハウジングの中の温度を、加熱／冷却ユニ
ット及びサーモスタットで制御する。
処理を実行するために、装填ステーションにおいて、
処理すべき紙シート28をその乳剤側を上にした状態で、
ウエブ通路の部分10aのウエブ上に定置する。上記装填
ステーションはプレート30を備えており、このプレート
の一端部は、プラテン18の左側の端部でウエブ10に近接
して設けられている。シート供給ローラ32がローラ12a
の上方に設けられている。シート供給ローラは、ソレノ
イド34によって、バネ（図示せず）の偏椅力に抗して下
降され、ウエブ10に係脱するようになされている。図２
に最も明瞭に示すように、歯車35、37がローラ12aおよ
び32の軸の端部に固定されている。ローラ32がウエブ10
に係合すると、歯車35および37がかみ合い、ローラ32は
ローラ12aと同期して駆動されてベルトの表面との間
に、プレート30上のシートの端部を供給することができ
るニップ（挟持部）を画成する。ニップの中に挿入され
ると、シートはウエブ10及びローラ32により把持されて
ウエブ10上で搬送される。
シートがプロセッサに供給されていない時にはローラ
32をベルト10に接触させないのが望ましく、これによ
り、洗浄溶液がローラ32によって吸収されるのを防止す
ると共に、溶液が処理されているシートの乳剤側に移送
されるのを防止する。従って、赤外線センサ36を備えた
シート圧力センサをプレート30の上に設け、これにより
プレート30上のシートの圧力を検出する。センサ36はコ
ントローラ38に接続され、このコントローラは、シート
に圧力が存在することに応答してソレノイド34を付勢
し、ローラ32を下降させてウエブ10に係合させる。
ローラ32は、シート供給装置として機能することに加
えて、圧力ローラとしても機能する。ソレノイド34は、
湿式ラミネーション（積層）によってシート28をウエブ
10に効果的に接着させるに十分な圧力で、ローラ32をウ
エブ10に係合させる。シートは、ニップの入口を通過し
た後に、シートの乳剤側と湿ったウエブ10の間の表面張
力によって、ウエブ10上の適所に確実に保持される。
シート28は、ウエブ10がローラ12bの周囲で反転する
まで、ウエブと共に移動する。この点においてウエブ10
の方向が変化するために、表面張力による積層が崩壊
し、シート28は水平な通路に沿って移動し続ける。シュ
ート40を設け、シート28がウエブ10から離れた時にこの
シートを受け入れるようにすることができる。代替例と
して、コンベアを設けて紙シートを受けることができ
る。
次に、シート28がウエブ通路の部分10aを通って搬送
される際の処理の機能について説明すると、シートはこ
の実施例においては、３つの処理ステーション42、44お
よび46を通って移動し、これら各ステーションにおいて
現像液、定着液及びすすぎ液がそれぞれシート28の乳剤
側に塗布される。ここに開示する実施例においては、ス
テーション42、44および46は総て、当業者には周知のホ
ッパ型のアプリケータ（塗布装置）を備えている。より
詳細には、各々のホッパは、処理すべきシート28の最大
の幅に少なくとも等しい長さを有する室を備えており、
該室は、ウエブ10上のシートに近接しかつウエブを横断
する方向に伸長する高さの低い液体排出スリットを有し
ている。処理溶液貯蔵タンク54、56および58にそれぞれ
接続されたポンプ48、50および52によって、各ホッパの
中に処理溶液が送給され、これによりシート28上に均一
な薄いコーティング（皮膜）を形成する。
処理ステーションはホッパを備えるものとして開示さ
れるが、種々のタイプの表面アプリケータを用いること
ができることは当業者には明らかであろう。例えば、ス
プレ型のアプリケータ、エアブラシ型のアプリケータ、
インクジェット・プリンタで用いられるタイプのアプリ
ケータ、ブラシ型のアプリケータ及びローラ型のアプリ
ケータを用いて溶液を塗布することができる。
紙シートがウエブ10から分離すなわち剥離された後
に、そのシートを搬送したウエブ部分はタンク16の中に
入り、このタンクの中で水等の洗浄溶液に浸漬される。
ポンプ62に接続されたスプレノズル60を用いてウエブ10
上の溶液を噴霧洗浄し、これにより処理溶液及び他のい
かなる異物をもウエブから更に除去する。この噴霧洗浄
は、現像液及び促進液を用いる時には特に望ましい。そ
の理由は、これら現像液及び促進液は、混合した後に短
時間（５分）で不安定となりタール状の物質を形成して
しまうからである。
ウエブが洗浄タンク16を出ると、パターンを付された
スクイージローラ64が、ウエブの下側から水を取り除
く。スクイージローラ64は、溶液の液面の上方にあるウ
エブの外側面に係合し、処理すべきシートを受け入れる
その外側面上の湿分を調節した量に維持する。より詳細
には図３に示すように、パターンを付されたスクイージ
ローラは、一連の凹所を有するローラから成っており、
上記一連の凹所は、ウエブ上に均一なパターンの水滴を
分配する。代替例として、スクイージローラ64は、図４
に示すようなぎざぎざの付いたスクイージローラとする
ことができる。湿潤溶液を洗浄溶液に加えてウエブの湿
潤性を向上させることができる。
他のウエブ洗浄技術を用いることができる。噴霧洗浄
の代わりに、超音波バイブレータ及び／又は電動型の洗
浄ブラシを洗浄タンクの中に埋没させ、これによりウエ
ブからの処理溶液及び異物の除去を促進することができ
る。
ホッパ44、46及び関連する配管を清掃するために、清
掃溶液を循環させて装置を洗浄する手段が設けられてい
る。この手段はポンプ66を備えており、このポンプの入
口は、清掃溶液貯蔵タンク68に接続されており、またそ
の出口は、３つの２方向型のソレノイド弁70、72および
74の各々の入口に接続されている。弁70、72および74の
他方の入口は、ポンプ48、50および52の出口にそれぞれ
接続され、また上記弁の出口は、ホッパ42、44および46
に接続されている。弁70、72および74は、その消勢され
た状態においては、ポンプ48、50および52をホッパ42、
44および46に接続する。しかしながら、上記弁は付勢さ
れると、ポンプ48、50および52を遮断してポンプ66を総
ての３つのホッパに接続する。弁の付勢状態においてポ
ンプ66が作動すると、タンク68からの清掃溶液で装置を
洗浄する。
種々のロジック及び制御装置を用いて装置の要素を制
御することができるが、その一例を図５に示す。この構
成においては、ポンプ48、50、52、62、モータ14、コン
トローラ38、及びソレノイド34が、並列の関係で電源に
接続されており、また、装填ステーション30においてシ
ートに圧力が存在することを検出した時にセンサ36によ
り閉成するようになされた通常開放されるスイッチ76が
直列に介設されている。この構成においては、センサ36
がシートの存在を検出した時に、ソレノイド34、ポンプ
48、50、52、62、及びモータ14が付勢されて処理モード
で装置を作動させる。
清掃モードでの作動を可能とするために、弁70、72、
74、モータ14、ポンプ62及びポンプ66が第２の並列回路
に接続されており、この第２の並列回路は、処理モード
の間には開放するが清掃モードの間には閉成するスイッ
チ78によって、電源に接続されるようになっている。ス
イッチ78は、スイッチ80に機械的に接続されており、ス
イッチ80は、処理モードの間には閉成するが、清掃モー
ドの間には開放し、ソレノイド34、ポンプ48、50、52が
励起されるのを防止する。第３のスイッチ82も、処理モ
ードの間には開放するようになされているが、清掃モー
ドの間には閉成し、これによりポンプ62、モータ14をポ
ンプ66、及び弁70、72、74と共に励起させる。スイッチ
78、80、82も同時に適宜な機械的な接続により作動する
ことができることは当業者には明らかであろう。また、
制御装置全体を、リソッドステート型の要素を用いて構
成することもできる。
本発明の利点は今や明らかであろう。タンク16は処理
モードの間には、ウエブ10を洗浄すると同時に、ウエブ
の外側面を濡らして供給されるシートを表面張力により
ウエブに確実に積層させるための、簡単で信頼性のある
手段を提供する。シートを濡れたウエブに積層すること
により、シートは処理ステーション42、44、46を通って
確実に搬送され、上記処理ステーションにおいては、紙
シートの乳剤側に影響を与えることなく、溶液を塗布し
てシートを処理する。ローラ32及びウエブ10は協働して
ニップを形成し、従ってシートをプロセスに供給するた
めの手段を形成する。センサ36、コントローラ38及びソ
レノイド34は、シートが供給されていない時に、ローラ
32が濡れたウエブ表面に接触するのを防止する手段を提
供する。
ウエブがタンク16の中で連続的に洗浄されるために、
保守に要する作業が極めて少なくなり、また薬品の残留
物が処理されるシートを汚すことを防止する。
ここに開示したプロセッサの他の利点は、プロセッサ
を清掃モードで作動させることができることであり、該
清掃モードにおいては、表面アプリケータ（本実施例に
おいてはホッパ）及びこれに関連する配管が、清掃溶液
をパージ（洗い流し）することにより自動的に洗浄さ
れ、上記清浄溶液は、処理が行われていない時に、アプ
リケータから移動するウエブ上に排出される。洗い流さ
れた溶液は次に、洗浄タンクへ排除される。
上述のように、種々の部分が協働して、処理溶液を塗
布する表面アプリケータを用いる信頼性のあるシート搬
送及び処理装置を提供する。
現時点において好ましい実施例を特に参照して本発明
を詳細に説明したが、本発明の精神及び範囲から逸脱す
ることなく、種々の変形及び変更を行うことができるこ
とは理解されよう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 米国特許3776117（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G03D 3/00 - 17/00 G03F 7/30

Claims (17)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】洗浄ステーションと、複数の処理ステーシ
    ョンとを備える露光された感光性の材料を処理するため
    の装置において、 前記処理ステーションに隣接する第１の通路部分、及び
    前記洗浄ステーションを通って終端となる第２の通路部
    分を有する所定の通路に沿って運動し、前記材料を前記
    処理ステーションを通過させて搬送し該材料の処理を行
    わせる無端状のウエブと、 前記ウエブを動かして前記材料を前記処理ステーション
    を通過させて搬送すると共に、前記洗浄ステーションに
    おいて前記ウエブを洗浄する手段と、 前記移動するウエブに隣接し、前記材料が前記処理ステ
    ーションを通過する際に該材料の温度を制御する温度制
    御手段とを備えて成る装置。
  2. 【請求項２】洗浄タンクと、材料の表面に溶液を塗布す
    るための複数の処理ステーションとを備える露光された
    感光性のシートを処理するための装置において、 前記ウエブを洗浄するために前記タンクの中に浸漬した
    少なくとも１つの通路部分、及び前記シートを前記処理
    ステーションを通して搬送するために前記処理ステーシ
    ョンに隣接する前記タンクの外側の少なくとも１つの部
    分を有する運動可能な無端状のウエブと、 前記ウエブを動かし、前記シートを搬送すると共に前記
    洗浄タンクの中で前記ウエブの洗浄を行わせる手段と、 前記ウエブの前記１つの部分にほぼ隣接して伸長し、前
    記材料が前記処理ステーションを通って搬送される際に
    該材料の均一な温度調節を行う温度制御手段とを備えて
    成る装置。
  3. 【請求項３】請求項２の装置において、 前記タンクの外側の前記通路部分の下方に位置するプラ
    テンと、 該プラテンを加熱するための手段とを更に備えることを
    特徴とする装置。
  4. 【請求項４】請求項２の装置において、 シートを前記ウエブに供給し、前記シート材料を表面張
    力により前記ウエブに圧力下に積層する手段を更に備え
    ることを特徴とする装置。
  5. 【請求項５】請求項４の装置において、 前記ウエブが前記洗浄タンクを出る際に該ウエブの湿分
    の量を制御し、これにより前記圧力下の積層を強化する
    手段を更に備えることを特徴とする装置。
  6. 【請求項６】請求項５の装置において、 前記ウエブの通路が、２つの長い部分及び２つの短い部
    分から成る矩形の形状を有しており、 一方の長い部分が前記タンクの外側にあって前記シート
    材料を搬送するために用いられることを特徴とする装
    置。
  7. 【請求項７】洗浄タンクと、材料の表面に溶液を塗布す
    るための複数の処理ステーションとを備える感光性の材
    料を処理するための装置において、 前記タンクの中に浸漬する通路部分と、前記タンクの外
    側にあって前記処理ステーションに隣接して移動する１
    つの通路部分とを有する運動可能な無端状のウエブと、 処理すべき材料を前記ウエブの前記１つの部分の端部に
    定置し、前記材料を前記処理ステーションを通して搬送
    する手段と、 前記１つの部分の他端において前記材料を取り除き、こ
    れにより、該材料を取り除いた後に前記ウエブが前記洗
    浄タンクに入るようにする手段と、 前記洗浄タンクに隣接して設けられ、前記ウエブを洗浄
    する手段と、 前記ウエブの前記１つの部分にほぼ隣接して伸長し、前
    記材料が前記処理ステーションを通って搬送される際
    に、前記材料の温度を均一にする温度制御手段とを備え
    て成る装置。
  8. 【請求項８】請求項７の装置において、 前記洗浄手段は、 ポンプと、 洗浄溶液源に接続され、前記ウエブの洗浄効果を高める
    スプレノズルとを備えることを特徴とする装置。
  9. 【請求項９】請求項８の装置において、 前記材料を前記ウエブ上に定置する手段が、 前記ウエブの前記１つの部分を支持する支持ローラと、 前記ウエブが前記支持ローラの上方を通過する際に、前
    記ウエブに隣接して位置し、前記ウエブとの間にニップ
    を形成する供給ローラと、 前記材料が挿入されていない時に、前記供給ローラを前
    記ウエブから離脱させる手段と、 前記供給ローラ及び前記支持ローラがそれぞれ装着され
    る一対の軸と、 前記軸にそれぞれ装着される一対の歯車とを備えて成
    り、 前記歯車は、前記供給ローラが前記ウエブに係合した時
    にかみ合い、これにより、前記供給ローラを前記支持ロ
    ーラに同期させて駆動するようになされていることを特
    徴とする装置。
  10. 【請求項１０】請求項９の装置において、 前記離脱する手段が、 前記ニップに隣接して材料が存在することを検出するセ
    ンサと、 前記材料が検出された時に、前記供給ローラを前記ウエ
    ブに係合するよう位置させるソレノイドを含む制御手段
    とを備えることを特徴とする装置。
  11. 【請求項１１】複数の処理溶液塗布装置を備える露光さ
    れた感光性の材料を処理するための装置において、 洗浄ステーションと、 前記塗布装置に隣接する第１の通路部分、及び前記洗浄
    ステーションを越えて伸長する第２の通路部分を有する
    所定の通路に沿って運動し、前記材料を前記塗布装置を
    越えて搬送する無端状のウエブと、 前記塗布装置に処理溶液を供給する第１の作動可能な手
    段と、 前記塗布装置に洗浄溶液を供給する第２の作動可能な手
    段と、 前記ウエブを動かすための第３の作動可能な手段と、 材料を前記ウエブ上に装填する第４の作動可能な手段
    と、 前記第１の手段、第３の手段及び第４の手段を作動さ
    せ、前記材料を前記塗布装置を越えて搬送させ、前記材
    料に処理溶液を塗布させ、前記洗浄ステーションにおい
    て前記ウエブを洗浄させる、第５の手段と、 前記第２の手段及び前記第３の手段を作動させ、前記塗
    布装置に洗浄溶液を供給させると共に前記洗浄ステーシ
    ョンにおいて前記ウエブを洗浄させる第６の手段とを備
    えて成る装置。
  12. 【請求項１２】請求項11の装置において、前記洗浄ステ
    ーションが、 洗浄溶液を保有する洗浄タンクを備え、 前記ウエブの通路部分の一部が前記タンクを通過してい
    ることを特徴とする装置。
  13. 【請求項１３】請求項12の装置において、 前記ウエブを支持する複数のローラを更に備え、 前記装填する手段は、前記ウエブが前記支持ローラの１
    つの上を通過する際に、前記ウエブに係合するようにな
    された供給ローラを備えることを特徴とする装置。
  14. 【請求項１４】感光性の材料を処理する方法において、 所定の通路の一部が洗浄タンクを通過し、また該通路の
    一部が該洗浄タンクの外側にあるような、前記通路を通
    して無端状のウエブを動かす段階と、 洗浄タンクの外側にある前記通路の一部の上にある処理
    すべき材料を、少なくとも１つの処理ステーションを越
    えて搬送する段階と、 前記材料が前記処理ステーションを越える際に、該材料
    の温度を均一にする段階とを備えて成る方法。
  15. 【請求項１５】感光性の材料を処理する方法において、 所定の通路の一部が洗浄溶液を通過し、該通路の一部が
    該溶液の外側にあるような、前記通路を通して無端状の
    ウエブを動かす段階と、 処理すべき材料を前記溶液の外側にある前記通路の一部
    の一端部に定置し、材料が処理される少なくとも１つの
    処理ステーションを通過させる段階と、 前記材料が前記処理ステーションを越える際に、該材料
    の温度に均一にする段階と、 前記溶液の外側にある通路部分の他端において、前記材
    料を前記ウエブから取り除く段階とを備えて成る方法。
  16. 【請求項１６】感光性の材料を処理するための方法にお
    いて、 所定の通路を通して無端状のウエブを動かす段階と、 処理すべき材料を前記ウエブの一端部に定置し、材料が
    処理される少なくとも１つの処理溶液塗布装置を通過さ
    せる段階と、 前記材料が前記処理溶液塗布装置を通過する際に、該材
    料の温度を均一にする段階と、 前記ウエブを清掃ステーションで洗浄する段階とを備え
    て成る方法。
  17. 【請求項１７】請求項16の方法において、 洗浄溶液を塗布装置を介してウエブに通過させる段階
    と、 ウエブ清掃ステーションにおいて、前記洗浄溶液を前記
    ウエブから取り除く段階とを更に備えることを特徴とす
    る方法。
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