JP2709045B2 - 圧電駆動装置 - Google Patents
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ソレノイド、車
輪、工業ロボット、ベルトレスコンベア、および磁気記
憶媒体の搬送等の動力源として適用されるもので、直線
駆動または回転駆動する圧電駆動装置に関するものであ
る。
輪、工業ロボット、ベルトレスコンベア、および磁気記
憶媒体の搬送等の動力源として適用されるもので、直線
駆動または回転駆動する圧電駆動装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、蹴り部材を被駆動体の進行方向と
逆に押し出して、被駆動体を蹴ることにより被駆動体を
駆動する駆動装置があった。
逆に押し出して、被駆動体を蹴ることにより被駆動体を
駆動する駆動装置があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、被駆動体を蹴
り下げるだけの単一運動であり、トルクや速度が蹴り部
材の長さや位置を変える機械的な設定により行われてい
るので、コントロールが難しく、また被駆動体の材質も
狭い範囲でしか適用できないという欠点があった。
り下げるだけの単一運動であり、トルクや速度が蹴り部
材の長さや位置を変える機械的な設定により行われてい
るので、コントロールが難しく、また被駆動体の材質も
狭い範囲でしか適用できないという欠点があった。
【0004】したがって、この発明の目的は、被駆動体
の材質の種類を拡大でき、速度および前後進の制御が容
易な圧電駆動装置を提供することである。
の材質の種類を拡大でき、速度および前後進の制御が容
易な圧電駆動装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の圧電駆動装置
は、複数の圧電振動体と、これらの複数の圧電振動体を
その振動方向が同じになるように並設して支持した支持
体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動
方向と直交する方向に連結する連結子と、この連結子の
中間部より前記振動方向に突設された蹴り部材とを備
え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、前記圧電振動
体の振動位相を異ならせたものである。
は、複数の圧電振動体と、これらの複数の圧電振動体を
その振動方向が同じになるように並設して支持した支持
体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動
方向と直交する方向に連結する連結子と、この連結子の
中間部より前記振動方向に突設された蹴り部材とを備
え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、前記圧電振動
体の振動位相を異ならせたものである。
【0006】請求項2の圧電駆動装置は、請求項1にお
いて、前記圧電振動体を一対としたものである。請求項
3の圧電駆動装置は、請求項1において、前記圧電振動
体が一対以上有して一直線上に並列に配置され、前記連
結子は前記各圧電振動体の相互間を連結し、前記蹴り部
材は前記連結子の各々の中間部に突設されているもので
ある。
いて、前記圧電振動体を一対としたものである。請求項
3の圧電駆動装置は、請求項1において、前記圧電振動
体が一対以上有して一直線上に並列に配置され、前記連
結子は前記各圧電振動体の相互間を連結し、前記蹴り部
材は前記連結子の各々の中間部に突設されているもので
ある。
【0007】請求項4の圧電駆動装置は、複数の圧電振
動体と、これらの複数の圧電振動体をその振動方向が同
じになるようにリング状に配設して支持した支持体と、
前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動方向と
直交する方向に連結する放射状の連結子と、この放射状
の連結子の中心より前記振動方向に突設された蹴り部材
とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、前記圧
電振動体の振動位相を異ならせたものである。
動体と、これらの複数の圧電振動体をその振動方向が同
じになるようにリング状に配設して支持した支持体と、
前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動方向と
直交する方向に連結する放射状の連結子と、この放射状
の連結子の中心より前記振動方向に突設された蹴り部材
とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、前記圧
電振動体の振動位相を異ならせたものである。
【0008】請求項5の圧電駆動装置は、一方向に振動
する圧電振動体と、この圧電振動体を支持した支持体
と、前記圧電振動体の振動方向と直交する方向に対向し
た固定部材と、前記圧電振動体および前記固定部材間に
連結する連結子と、この連結子の中間部の前記振動方向
に突設された蹴り部材とを備えたものである。
する圧電振動体と、この圧電振動体を支持した支持体
と、前記圧電振動体の振動方向と直交する方向に対向し
た固定部材と、前記圧電振動体および前記固定部材間に
連結する連結子と、この連結子の中間部の前記振動方向
に突設された蹴り部材とを備えたものである。
【0009】請求項1の圧電駆動装置によれば、複数の
圧電振動体に給電すると各圧電振動体が振動し、圧電振
動体の位相が異なることにより、蹴り部材の先端部が圧
電振動体の振動方向を含む平面内で被駆動体に対して蹴
り動作をすることができ、被駆動体を蹴り部材の蹴り方
向に移送することができる。この場合、圧電振動体に供
給する電気信号の位相差、および振幅を変化することに
より、蹴り部材の動く軌跡が変化し被駆動体の速度およ
び前後進の制御が容易に行える。また被駆動体の材質を
幅広く選ぶことができる。
圧電振動体に給電すると各圧電振動体が振動し、圧電振
動体の位相が異なることにより、蹴り部材の先端部が圧
電振動体の振動方向を含む平面内で被駆動体に対して蹴
り動作をすることができ、被駆動体を蹴り部材の蹴り方
向に移送することができる。この場合、圧電振動体に供
給する電気信号の位相差、および振幅を変化することに
より、蹴り部材の動く軌跡が変化し被駆動体の速度およ
び前後進の制御が容易に行える。また被駆動体の材質を
幅広く選ぶことができる。
【0010】請求項2の圧電駆動装置によれば、請求項
1において、前記圧電振動体を一対としたため、請求項
1と同効果がある。請求項3の圧電駆動装置によれば、
請求項1において、前記圧電振動体が一対以上有して一
直線上に並列に配置され、前記連結子は前記各圧電振動
体の相互間を連結し、前記蹴り部材は前記連結子の各々
の中間部に突設されているため、請求項1の効果のほ
か、大型の圧電振動体を使用しないでトルクを増大する
ことができる。
1において、前記圧電振動体を一対としたため、請求項
1と同効果がある。請求項3の圧電駆動装置によれば、
請求項1において、前記圧電振動体が一対以上有して一
直線上に並列に配置され、前記連結子は前記各圧電振動
体の相互間を連結し、前記蹴り部材は前記連結子の各々
の中間部に突設されているため、請求項1の効果のほ
か、大型の圧電振動体を使用しないでトルクを増大する
ことができる。
【0011】請求項4の圧電駆動装置によれば、複数の
圧電振動体と、これらの複数の圧電振動体をその振動方
向が同じになるようにリング状に配設して支持した支持
体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動
方向と直交する方向に連結する放射状の連結子と、この
放射状の連結子の中心より前記振動方向に突設された蹴
り部材とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、
前記圧電振動体の振動位相を異ならせたため、請求項1
の効果のほか、往復駆動方向を変更することが可能とな
る。
圧電振動体と、これらの複数の圧電振動体をその振動方
向が同じになるようにリング状に配設して支持した支持
体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動
方向と直交する方向に連結する放射状の連結子と、この
放射状の連結子の中心より前記振動方向に突設された蹴
り部材とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、
前記圧電振動体の振動位相を異ならせたため、請求項1
の効果のほか、往復駆動方向を変更することが可能とな
る。
【0012】請求項5の圧電駆動装置によれば、一方向
に振動する圧電振動体と、この圧電振動体を支持した支
持体と、前記圧電振動体の振動方向と直交する方向に対
向した固定部材と、前記圧電振動体および前記固定部材
間に連結する連結子と、この連結子の中間部の前記振動
方向に突設された蹴り部材とを備えたため、請求項1と
同効果がある。
に振動する圧電振動体と、この圧電振動体を支持した支
持体と、前記圧電振動体の振動方向と直交する方向に対
向した固定部材と、前記圧電振動体および前記固定部材
間に連結する連結子と、この連結子の中間部の前記振動
方向に突設された蹴り部材とを備えたため、請求項1と
同効果がある。
【0013】
【発明の実施の形態】この発明の第1の実施の形態を図
1から図22により説明する。すなわち、この圧電駆動
装置は、図1ないし図3において、支持体1と、連結子
2と、蹴り部材3とを有する。支持体1は、複数の圧電
振動体5をその振動方向が同じになるように並設して支
持している。圧電振動体5は一対(5a,5b)を有し
て、振動方向が同じとなるように並設されている。これ
らの圧電振動体5a,5bは電気信号を入力して長手方
向に直角な方向に振動するものであり、たとえばエリン
バ等の恒弾性体などの弾性を有する金属製であって断面
が正方形または長方形の棒状体や板状体の振動体の表面
に圧電素子を貼付したり、圧電セラミックなどの圧電材
料または圧電材料にプラスチックを複合した複合圧電材
料等により形成し、その表面に電圧を印加するための電
極端子を設けている。圧電素子や圧電セラミックは電気
信号を受けて収縮または伸長などのひずみ変形をする電
歪特性を有するものである。したがって、圧電素子に一
方向に電圧を印加して圧電素子がたとえば収縮すると振
動体は圧電素子側が凹となるわん曲状にたわみ変形を受
け、電気信号が停止すると弾性変形により元にもどる。
反対方向に電圧を印加すると、逆に伸長して弾性体は圧
電素子側が凸となるわん曲状にたわみ変形することとな
る。この圧電振動体5は長手方向の両端の側部に軸6を
設けて圧電振動体5の中心が軸6を支点に支持体1に対
して単振動することができるようにしている。また振動
体の周波数は電気信号のいわゆる低周波から超音波の周
波数の程度で正弦振動(単振動)するものでよい。
1から図22により説明する。すなわち、この圧電駆動
装置は、図1ないし図3において、支持体1と、連結子
2と、蹴り部材3とを有する。支持体1は、複数の圧電
振動体5をその振動方向が同じになるように並設して支
持している。圧電振動体5は一対(5a,5b)を有し
て、振動方向が同じとなるように並設されている。これ
らの圧電振動体5a,5bは電気信号を入力して長手方
向に直角な方向に振動するものであり、たとえばエリン
バ等の恒弾性体などの弾性を有する金属製であって断面
が正方形または長方形の棒状体や板状体の振動体の表面
に圧電素子を貼付したり、圧電セラミックなどの圧電材
料または圧電材料にプラスチックを複合した複合圧電材
料等により形成し、その表面に電圧を印加するための電
極端子を設けている。圧電素子や圧電セラミックは電気
信号を受けて収縮または伸長などのひずみ変形をする電
歪特性を有するものである。したがって、圧電素子に一
方向に電圧を印加して圧電素子がたとえば収縮すると振
動体は圧電素子側が凹となるわん曲状にたわみ変形を受
け、電気信号が停止すると弾性変形により元にもどる。
反対方向に電圧を印加すると、逆に伸長して弾性体は圧
電素子側が凸となるわん曲状にたわみ変形することとな
る。この圧電振動体5は長手方向の両端の側部に軸6を
設けて圧電振動体5の中心が軸6を支点に支持体1に対
して単振動することができるようにしている。また振動
体の周波数は電気信号のいわゆる低周波から超音波の周
波数の程度で正弦振動(単振動)するものでよい。
【0014】実施の形態の支持体1は、枠体7と蓋体8
からなる。枠体7は両端が開口し、その内側に一対の圧
電振動体5が収納されるもので、圧電振動体5の間に圧
電振動体5を支持する支持部10を突設してその上面に
圧電振動体5の軸6の一方を支持し、枠体7の内側面に
凹部11を切欠状に形成して、その上面9に圧電振動体
5の軸6の他方を支持している。
からなる。枠体7は両端が開口し、その内側に一対の圧
電振動体5が収納されるもので、圧電振動体5の間に圧
電振動体5を支持する支持部10を突設してその上面に
圧電振動体5の軸6の一方を支持し、枠体7の内側面に
凹部11を切欠状に形成して、その上面9に圧電振動体
5の軸6の他方を支持している。
【0015】蓋体8は、枠体7の上端に被さる大きさの
平板であり、下面に凹部11に嵌合する突片12を垂下
して圧電振動体5の外側の軸6を挾み込み、また支持部
10に対向する仕切り板13を下面に垂下して圧電振動
体5の一対の内側の軸6を支持部10と仕切り板13と
で挾み込んでいる。連結子2は、複数の圧電振動体5の
振動部の相互を振動方向と直交する方向に連結する。実
施の形態では弾性を有する棒状または板状の金属板を用
い、圧電振動体5の振動部となる中央の側面に形成した
孔に両端を圧入し一体に固着している。この連結子2は
圧電振動体5の位相差により傾き、蹴り部材3が近円運
動をしているところの上下動幅および左右動幅を変化さ
せ、また振幅幅により蹴り部材3の近円運動を変化させ
ている。
平板であり、下面に凹部11に嵌合する突片12を垂下
して圧電振動体5の外側の軸6を挾み込み、また支持部
10に対向する仕切り板13を下面に垂下して圧電振動
体5の一対の内側の軸6を支持部10と仕切り板13と
で挾み込んでいる。連結子2は、複数の圧電振動体5の
振動部の相互を振動方向と直交する方向に連結する。実
施の形態では弾性を有する棒状または板状の金属板を用
い、圧電振動体5の振動部となる中央の側面に形成した
孔に両端を圧入し一体に固着している。この連結子2は
圧電振動体5の位相差により傾き、蹴り部材3が近円運
動をしているところの上下動幅および左右動幅を変化さ
せ、また振幅幅により蹴り部材3の近円運動を変化させ
ている。
【0016】蹴り部材3は、連結子2の中間部より振動
方向に突出している。実施の形態では連結子2である金
属板の中央部をU字形に折曲して蹴り部材3を一体に形
成している。また蹴り部材3の先端部に頭部3aをかし
め等により形成している。なお、この蹴り部材3は被駆
動体の形状や材質に適合したものを使用すればよいもの
である。連結子2に設けることで頭部3aは前記したよ
うに近円形で回動することが可能となり、この回動の一
部を蹴り動作に利用することができる。
方向に突出している。実施の形態では連結子2である金
属板の中央部をU字形に折曲して蹴り部材3を一体に形
成している。また蹴り部材3の先端部に頭部3aをかし
め等により形成している。なお、この蹴り部材3は被駆
動体の形状や材質に適合したものを使用すればよいもの
である。連結子2に設けることで頭部3aは前記したよ
うに近円形で回動することが可能となり、この回動の一
部を蹴り動作に利用することができる。
【0017】そして、蹴り部材3が被駆動体15に対し
て蹴り動作するように、圧電振動体5a,5bの振動位
相を相互に約45度異ならせている。すなわち、図4な
いし図9は圧電振動体5の動作状態を示す。15は被駆
動体である。まず図4は圧電振動体5a,5bに電気信
号が入力されていない状態である。蹴り部材3の先端は
被駆動体15から離れている。図5は圧電振動体5a,
5bに電圧を印加し、位相が進んでいる圧電振動体5a
が振動周期の90度を通り過ぎた場合であり、圧電振動
体5aが被駆動体15側に撓み、そのため蹴り部材3が
傾斜した状態で被駆動体15に当たった状態である。図
6は圧電振動体5aは矢印のように被駆動体15から離
れる方向に復帰しようとするが、圧電振動体5bが45
度遅れて被駆動体15側に撓むため蹴り部材3が被駆動
体15に当たったまま傾斜姿勢から垂直姿勢に回動し、
このとき被駆動体15に蹴り作用が加えられ、被駆動体
15は矢印の方向に移送力を受ける。図7は圧電振動体
5bは丁度もとの初期位置にもどるが、圧電振動体5a
は逆向きに電圧が印加された状態であり、このため蹴り
部材3は前記と反対向きに傾斜する。図8は圧電振動体
5aの位相が270度を越えて、初期位置に復帰する方
向に移動を始め、圧電振動体5bは初期位置から前記と
反対向きに電圧が印加されて振動周期の270度の位置
に移動した状態であり、蹴り部材3は被駆動体15から
離れたまま垂直姿勢になっている。図9は圧電振動体5
a,5bともに初期位置に向かい始めた状態であり、蹴
り部材3は最初と同じ姿勢に傾斜している。このように
して蹴り部材3は繰り返し近円運動を行う。したがっ
て、圧電振動体5aの位相が進んでいる場合は左から右
に被駆動体15が移動することとなり、遅れた場合は反
対向きに移動する。
て蹴り動作するように、圧電振動体5a,5bの振動位
相を相互に約45度異ならせている。すなわち、図4な
いし図9は圧電振動体5の動作状態を示す。15は被駆
動体である。まず図4は圧電振動体5a,5bに電気信
号が入力されていない状態である。蹴り部材3の先端は
被駆動体15から離れている。図5は圧電振動体5a,
5bに電圧を印加し、位相が進んでいる圧電振動体5a
が振動周期の90度を通り過ぎた場合であり、圧電振動
体5aが被駆動体15側に撓み、そのため蹴り部材3が
傾斜した状態で被駆動体15に当たった状態である。図
6は圧電振動体5aは矢印のように被駆動体15から離
れる方向に復帰しようとするが、圧電振動体5bが45
度遅れて被駆動体15側に撓むため蹴り部材3が被駆動
体15に当たったまま傾斜姿勢から垂直姿勢に回動し、
このとき被駆動体15に蹴り作用が加えられ、被駆動体
15は矢印の方向に移送力を受ける。図7は圧電振動体
5bは丁度もとの初期位置にもどるが、圧電振動体5a
は逆向きに電圧が印加された状態であり、このため蹴り
部材3は前記と反対向きに傾斜する。図8は圧電振動体
5aの位相が270度を越えて、初期位置に復帰する方
向に移動を始め、圧電振動体5bは初期位置から前記と
反対向きに電圧が印加されて振動周期の270度の位置
に移動した状態であり、蹴り部材3は被駆動体15から
離れたまま垂直姿勢になっている。図9は圧電振動体5
a,5bともに初期位置に向かい始めた状態であり、蹴
り部材3は最初と同じ姿勢に傾斜している。このように
して蹴り部材3は繰り返し近円運動を行う。したがっ
て、圧電振動体5aの位相が進んでいる場合は左から右
に被駆動体15が移動することとなり、遅れた場合は反
対向きに移動する。
【0018】図10は蹴り部材3の動作原理を説明する
ものであり、蹴り部材3は次の式によって求められる近
円運動から蹴下げるまで様々なモードで動作することが
わかる。図10において、Wは連結子2の幅、LMは圧
電振動体5aの振幅、RMは圧電振動体5bの振幅、θ
は連結子2の傾きである。また、LLを蹴り部材3の長
さ、θ1 を圧電振動体5aの位相、θ2 を圧電振動体5
bの位相とする。
ものであり、蹴り部材3は次の式によって求められる近
円運動から蹴下げるまで様々なモードで動作することが
わかる。図10において、Wは連結子2の幅、LMは圧
電振動体5aの振幅、RMは圧電振動体5bの振幅、θ
は連結子2の傾きである。また、LLを蹴り部材3の長
さ、θ1 を圧電振動体5aの位相、θ2 を圧電振動体5
bの位相とする。
【0019】したがって、圧電振動体5a,5bの位相
差はθ1 −θ2 となり、圧電振動体5aの連結子2の高
さLCはsin θ1 ×( LM/2)、圧電振動体5bの連
結子2の高さRCはsin θ2 ×( RM/2)、連結子2
の傾きθはtan -1{(RC−LC)/W}、蹴り部材3
の起点CTは、RC+{(LC−RC)/2}、蹴り部
材3の先端部3aは起点CTよりY軸方向へLLcos
θ、上記で求めたY軸先端よりX方向へLLsin θとな
る。
差はθ1 −θ2 となり、圧電振動体5aの連結子2の高
さLCはsin θ1 ×( LM/2)、圧電振動体5bの連
結子2の高さRCはsin θ2 ×( RM/2)、連結子2
の傾きθはtan -1{(RC−LC)/W}、蹴り部材3
の起点CTは、RC+{(LC−RC)/2}、蹴り部
材3の先端部3aは起点CTよりY軸方向へLLcos
θ、上記で求めたY軸先端よりX方向へLLsin θとな
る。
【0020】図11ないし図22は、圧電振動体5a,
5bの位相差および振幅を変えた場合の蹴り部材3の運
動軌跡を示している。また図11から図22の運動軌跡
は間隔が狭い方が移動速度が遅く、間隔の広い方が移動
速度が速いことを示している。図11は圧電振動体5b
が45度進み、振幅が同じ場合である。図(a)の蹴り
部材3に付された符号は運動の順番を示し、図(b)は
蹴り部材3の運動軌跡をより細かく現したものである。
図12は圧電振動体5bが90度進んだ場合、図13は
圧電振動体5bが135度進んだ場合である。これらの
運動軌跡から明らかなように、圧電振動体5a,5bの
位相差が大きいほど蹴り部材3の傾きが大きく上下動が
小さい傾向となる。すなわち位相差が大きいほど被駆動
体15を速く移動させ、位相差が小さいほど被駆動体1
5を大きく蹴り下げる。また蹴り部材3は右回転し、図
4等の被駆動体15は右から左へ移動する。
5bの位相差および振幅を変えた場合の蹴り部材3の運
動軌跡を示している。また図11から図22の運動軌跡
は間隔が狭い方が移動速度が遅く、間隔の広い方が移動
速度が速いことを示している。図11は圧電振動体5b
が45度進み、振幅が同じ場合である。図(a)の蹴り
部材3に付された符号は運動の順番を示し、図(b)は
蹴り部材3の運動軌跡をより細かく現したものである。
図12は圧電振動体5bが90度進んだ場合、図13は
圧電振動体5bが135度進んだ場合である。これらの
運動軌跡から明らかなように、圧電振動体5a,5bの
位相差が大きいほど蹴り部材3の傾きが大きく上下動が
小さい傾向となる。すなわち位相差が大きいほど被駆動
体15を速く移動させ、位相差が小さいほど被駆動体1
5を大きく蹴り下げる。また蹴り部材3は右回転し、図
4等の被駆動体15は右から左へ移動する。
【0021】図14は圧電振動体5bが90度遅れた場
合であり、被駆動体15は前記と反対に左から右へ移動
する。図15は圧電振動体5bが90度進み、かつ圧電
振動体5bの振幅を0.2、圧電振動体5aの振幅を
1.0とした場合であり、蹴り部材3の頭部3aが被駆
動体15に接触する付近での蹴り部材3の移動速度が速
く、接触後ゆっくり移動している。すなわち蹴り下げが
速く被駆動体15の接触後の移動速度が遅いので被駆動
体15の材質は反発の小さい柔らかいものが適してい
る。
合であり、被駆動体15は前記と反対に左から右へ移動
する。図15は圧電振動体5bが90度進み、かつ圧電
振動体5bの振幅を0.2、圧電振動体5aの振幅を
1.0とした場合であり、蹴り部材3の頭部3aが被駆
動体15に接触する付近での蹴り部材3の移動速度が速
く、接触後ゆっくり移動している。すなわち蹴り下げが
速く被駆動体15の接触後の移動速度が遅いので被駆動
体15の材質は反発の小さい柔らかいものが適してい
る。
【0022】図16は圧電振動体5bが90度進み、か
つ圧電振動体5bの振幅を1.0、圧電振動体5aの振
幅を0.2とした場合、圧電駆動体5aの振幅を0.2
とした場合で蹴り部材3の頭部3aが被駆動体15に接
触する付近での蹴り部材3の移動速度が遅く、接触後速
く移動している。すなわち蹴り下げが遅く被駆動体15
の接触後の移動速度が速いので被駆動体15の材質は反
発の大きい堅いものが適している。
つ圧電振動体5bの振幅を1.0、圧電振動体5aの振
幅を0.2とした場合、圧電駆動体5aの振幅を0.2
とした場合で蹴り部材3の頭部3aが被駆動体15に接
触する付近での蹴り部材3の移動速度が遅く、接触後速
く移動している。すなわち蹴り下げが遅く被駆動体15
の接触後の移動速度が速いので被駆動体15の材質は反
発の大きい堅いものが適している。
【0023】図17は圧電振動体5bが90度進み、か
つ圧電振動体5bの振幅を0.5、圧電振動体5aの振
幅を1.0とした場合、図18は圧電振動体5bが90
度進み、かつ圧電振動体5bの振幅を1.0、圧電振動
体5aの振幅を0.5とした場合、図19は圧電振動体
5bが90度遅れ、かつ圧電振動体5bの振幅を0.
5、圧電振動体5aの振幅を1.0とした場合、図20
は圧電振動体5bが90度遅れ、かつ圧電振動体5bの
振幅を1.0、圧電振動体5aの振幅を0.5とした場
合である。
つ圧電振動体5bの振幅を0.5、圧電振動体5aの振
幅を1.0とした場合、図18は圧電振動体5bが90
度進み、かつ圧電振動体5bの振幅を1.0、圧電振動
体5aの振幅を0.5とした場合、図19は圧電振動体
5bが90度遅れ、かつ圧電振動体5bの振幅を0.
5、圧電振動体5aの振幅を1.0とした場合、図20
は圧電振動体5bが90度遅れ、かつ圧電振動体5bの
振幅を1.0、圧電振動体5aの振幅を0.5とした場
合である。
【0024】さらに、図21は圧電振動体5bの振幅を
0、圧電振動体5aの振幅を1.0とした場合、すなわ
ち圧電振動体5aのみを振動させた場合であり、斜めに
蹴り下げて、被駆動体15を右から左へ駆動している。
図22は圧電振動体5bの振幅を1.0、圧電振動体5
aの振幅を0として、圧電振動体5bのみを振動させた
場合で、斜めに蹴り下げて被駆動体15を左から右へ移
動させている。
0、圧電振動体5aの振幅を1.0とした場合、すなわ
ち圧電振動体5aのみを振動させた場合であり、斜めに
蹴り下げて、被駆動体15を右から左へ駆動している。
図22は圧電振動体5bの振幅を1.0、圧電振動体5
aの振幅を0として、圧電振動体5bのみを振動させた
場合で、斜めに蹴り下げて被駆動体15を左から右へ移
動させている。
【0025】この実施の形態によれば、複数の圧電振動
体5に給電すると各圧電振動体5が振動し、圧電振動体
5の位相が異なることにより、蹴り部材3の先端部が圧
電振動体5の振動方向を含む平面内で被駆動体15に対
して蹴り動作をすることができ、被駆動体15を蹴り部
材3の蹴り方向に移送することができる。この場合、圧
電振動体5に供給する電気信号の位相差、周期および振
幅を変化することにより、蹴り部材3の動く軌跡が変化
し被駆動体15の速度および前後進の制御が容易に行え
る。
体5に給電すると各圧電振動体5が振動し、圧電振動体
5の位相が異なることにより、蹴り部材3の先端部が圧
電振動体5の振動方向を含む平面内で被駆動体15に対
して蹴り動作をすることができ、被駆動体15を蹴り部
材3の蹴り方向に移送することができる。この場合、圧
電振動体5に供給する電気信号の位相差、周期および振
幅を変化することにより、蹴り部材3の動く軌跡が変化
し被駆動体15の速度および前後進の制御が容易に行え
る。
【0026】すなわち、圧電振動体5の電気信号を制御
することにより、蹴り部材3の蹴り動作のタイミングを
とり、蹴り部材3の先端を近円運動から蹴下運動までの
幅広い動作に設定でき、速度および蹴下幅の可変と前後
進の制御が行える。また連結子2の形状は自由度が高
く、圧電振動体5の取付け角度や位置関係の自由度が高
い。
することにより、蹴り部材3の蹴り動作のタイミングを
とり、蹴り部材3の先端を近円運動から蹴下運動までの
幅広い動作に設定でき、速度および蹴下幅の可変と前後
進の制御が行える。また連結子2の形状は自由度が高
く、圧電振動体5の取付け角度や位置関係の自由度が高
い。
【0027】さらに、蹴り部材3の動作軌跡を変化する
ことにより、被駆動体15の材質を幅広く選ぶことがで
きる。また蹴り部材3の長さや位置により機械的設定で
トルクや速度を変えることもできる。この発明の第2の
実施の形態を図23に示す。すなわち、この圧電駆動体
は、圧電振動体5を3個有してリング状に配列されて支
持体1に支持され、放射状すなわちこの実施の形態では
Y字状の連結子2により圧電振動体5が相互に連結さ
れ、放射状の連結子2の中心に蹴り部材3を有する。そ
の他の構成は第1の実施の形態と同様である。
ことにより、被駆動体15の材質を幅広く選ぶことがで
きる。また蹴り部材3の長さや位置により機械的設定で
トルクや速度を変えることもできる。この発明の第2の
実施の形態を図23に示す。すなわち、この圧電駆動体
は、圧電振動体5を3個有してリング状に配列されて支
持体1に支持され、放射状すなわちこの実施の形態では
Y字状の連結子2により圧電振動体5が相互に連結さ
れ、放射状の連結子2の中心に蹴り部材3を有する。そ
の他の構成は第1の実施の形態と同様である。
【0028】この実施の形態では、圧電振動体5に電圧
を印加すると圧電振動体5がそれぞれ振動し、その振動
を受ける連結子2の姿勢によって蹴り部材3の傾斜姿勢
が決まるが、圧電振動体5の各々に印加する電圧を制御
することにより、蹴り部材2が前記した図11ないし図
21に示す動作をさせることができる。たとえば、圧電
振動体5のうちの一対のものに同じ位相と振幅を与え、
残りの他の圧電振動体5との位相差によって、蹴り部材
3から前者の一対の圧電振動体5の中間または後者の圧
電振動体5の方向へ被駆動体15を移動することができ
る。したがって、一対の圧電振動体5の組み合わせを変
えることにより、被駆動体15を前進、後退、斜進が可
能となる。
を印加すると圧電振動体5がそれぞれ振動し、その振動
を受ける連結子2の姿勢によって蹴り部材3の傾斜姿勢
が決まるが、圧電振動体5の各々に印加する電圧を制御
することにより、蹴り部材2が前記した図11ないし図
21に示す動作をさせることができる。たとえば、圧電
振動体5のうちの一対のものに同じ位相と振幅を与え、
残りの他の圧電振動体5との位相差によって、蹴り部材
3から前者の一対の圧電振動体5の中間または後者の圧
電振動体5の方向へ被駆動体15を移動することができ
る。したがって、一対の圧電振動体5の組み合わせを変
えることにより、被駆動体15を前進、後退、斜進が可
能となる。
【0029】この実施の形態によれば、第1の実施の形
態の効果のほか、往復駆動方向を変更することが可能と
なる。この発明の第3の実施の形態を図24ないし図2
6に示す。すなわち、この圧電駆動装置は、圧電振動体
5は4個有してリング状に配列されて支持体1に支持さ
れ、圧電振動体5が相互に放射状すなわち十字状の連結
子2により連結され、放射状の連結子2の中心に蹴り部
材3を有するものであり、第2の実施の形態と同様に各
圧電振動体5の振動により決まる連結子2および蹴り部
材3の動作を図11ないし図21に示すように行わせ
る。
態の効果のほか、往復駆動方向を変更することが可能と
なる。この発明の第3の実施の形態を図24ないし図2
6に示す。すなわち、この圧電駆動装置は、圧電振動体
5は4個有してリング状に配列されて支持体1に支持さ
れ、圧電振動体5が相互に放射状すなわち十字状の連結
子2により連結され、放射状の連結子2の中心に蹴り部
材3を有するものであり、第2の実施の形態と同様に各
圧電振動体5の振動により決まる連結子2および蹴り部
材3の動作を図11ないし図21に示すように行わせ
る。
【0030】たとえば、相対向する一対の圧電振動体5
に位相差と振幅を与え、残りの他の一対の圧電振動体5
を自由振動させると、被駆動体15は前者の一対の圧電
振動体5の対向方向に移動する。同様にして、後者の残
りの他の一対の圧電振動体5に位相差と振幅を与え、前
者の一対の圧電振動体5を自由振動させると前記した後
者の一対の圧電振動体5の対向方向に被駆動体15を駆
動することができる。さらに隣合う一対の圧電振動体5
に同じ位相と振幅を与え、残りの他の一対の圧電振動体
5に同じ位相と振幅を与え、前者の圧電振動体5の組と
後者の圧電振動体5の組の位相差によって前者の圧電振
動体5の間の方向か、後者の圧電振動体5の間の方向へ
被駆動体15を駆動することができる。この結果、前後
進、左右進や斜進が可能となる。その他は第1の実施の
形態および第2の実施の形態と同様である。
に位相差と振幅を与え、残りの他の一対の圧電振動体5
を自由振動させると、被駆動体15は前者の一対の圧電
振動体5の対向方向に移動する。同様にして、後者の残
りの他の一対の圧電振動体5に位相差と振幅を与え、前
者の一対の圧電振動体5を自由振動させると前記した後
者の一対の圧電振動体5の対向方向に被駆動体15を駆
動することができる。さらに隣合う一対の圧電振動体5
に同じ位相と振幅を与え、残りの他の一対の圧電振動体
5に同じ位相と振幅を与え、前者の圧電振動体5の組と
後者の圧電振動体5の組の位相差によって前者の圧電振
動体5の間の方向か、後者の圧電振動体5の間の方向へ
被駆動体15を駆動することができる。この結果、前後
進、左右進や斜進が可能となる。その他は第1の実施の
形態および第2の実施の形態と同様である。
【0031】この発明の第4の実施の形態を図27に示
す。すなわち、この圧電駆動装置は、圧電振動体5は一
対以上すなわち実施の形態では3個有して並列に配置さ
れ、各圧電振動体5の相互間がそれぞれ連結子2により
連結され、各連結子2の中間部に蹴り部材3を有するも
のである。その他の構成は第1の実施の形態と同様であ
る。
す。すなわち、この圧電駆動装置は、圧電振動体5は一
対以上すなわち実施の形態では3個有して並列に配置さ
れ、各圧電振動体5の相互間がそれぞれ連結子2により
連結され、各連結子2の中間部に蹴り部材3を有するも
のである。その他の構成は第1の実施の形態と同様であ
る。
【0032】この実施の形態によれば、大型の圧電振動
体5を使用しないでトルクを増大することができる。
体5を使用しないでトルクを増大することができる。
【0033】
【0034】
【0035】この発明の第5の実施の形態を図28およ
び図29に示す。すなわち、この圧電駆動装置は、圧電
振動体5の振動方向と直交する方向に対向した固定部材
20と、圧電振動体5および固定部材20間に連結され
た連結子2と、この連結子2の中間部の振動方向に突設
された蹴り部材3とを備えている。この実施の形態は、
圧電振動体5が振動することにより振動方向に連結子2
が揺動し、この蹴り部材3が図21および図22に示す
ように被駆動体15を斜めに蹴下げるだけとなり一方向
にだけ進行する。その他、第1の実施の形態と同様と共
通する。
び図29に示す。すなわち、この圧電駆動装置は、圧電
振動体5の振動方向と直交する方向に対向した固定部材
20と、圧電振動体5および固定部材20間に連結され
た連結子2と、この連結子2の中間部の振動方向に突設
された蹴り部材3とを備えている。この実施の形態は、
圧電振動体5が振動することにより振動方向に連結子2
が揺動し、この蹴り部材3が図21および図22に示す
ように被駆動体15を斜めに蹴下げるだけとなり一方向
にだけ進行する。その他、第1の実施の形態と同様と共
通する。
【0036】なお、この発明の圧電駆動装置をソレノイ
ドの動力源に適用する場合、慣性が小さく、瞬時の停
止、急反転、急発振、動作が可能となる。車輪の動力源
に適用する場合、停止時にブレーキとなる利点がある。
また工業ロボットに適用する場合、前後進、左右進、斜
進が可能となる。さらにベルトコンベヤも前後、左右が
可能となり、磁気記憶媒体の搬送では圧電素子による振
動体にすれば磁気を発生せず記憶を破壊しない。
ドの動力源に適用する場合、慣性が小さく、瞬時の停
止、急反転、急発振、動作が可能となる。車輪の動力源
に適用する場合、停止時にブレーキとなる利点がある。
また工業ロボットに適用する場合、前後進、左右進、斜
進が可能となる。さらにベルトコンベヤも前後、左右が
可能となり、磁気記憶媒体の搬送では圧電素子による振
動体にすれば磁気を発生せず記憶を破壊しない。
【0037】
【発明の効果】請求項1の圧電駆動装置によれば、圧電
振動体に供給する電気信号の位相差、および振幅を変化
することにより、蹴り部材の動く軌跡が変化し被駆動体
の速度および前後進の制御が容易に行える。また被駆動
体の材質を幅広く選ぶことができる。
振動体に供給する電気信号の位相差、および振幅を変化
することにより、蹴り部材の動く軌跡が変化し被駆動体
の速度および前後進の制御が容易に行える。また被駆動
体の材質を幅広く選ぶことができる。
【0038】請求項2の圧電駆動装置によれば、請求項
1において、前記圧電振動体を一対としたため、請求項
1と同効果がある。請求項3の圧電駆動装置によれば、
請求項1において、前記圧電振動体が一対以上有して一
直線上に並列に配置され、前記連結子は前記各圧電振動
体の相互間を連結し、前記蹴り部材は前記連結子の各々
の中間部に突設されているため、請求項1の効果のほ
か、大型の圧電振動体を使用しないでトルクを増大する
ことができる。
1において、前記圧電振動体を一対としたため、請求項
1と同効果がある。請求項3の圧電駆動装置によれば、
請求項1において、前記圧電振動体が一対以上有して一
直線上に並列に配置され、前記連結子は前記各圧電振動
体の相互間を連結し、前記蹴り部材は前記連結子の各々
の中間部に突設されているため、請求項1の効果のほ
か、大型の圧電振動体を使用しないでトルクを増大する
ことができる。
【0039】請求項4の圧電駆動装置によれば、複数の
圧電振動体と、これらの複数の圧電振動体をその振動方
向が同じになるようにリング状に配設して支持した支持
体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動
方向と直交する方向に連結する放射状の連結子と、この
放射状の連結子の中心より前記振動方向に突設された蹴
り部材とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、
前記圧電振動体の振動位相を異ならせたため、請求項1
の効果のほか、往復駆動方向を変更することが可能とな
る。
圧電振動体と、これらの複数の圧電振動体をその振動方
向が同じになるようにリング状に配設して支持した支持
体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互を前記振動
方向と直交する方向に連結する放射状の連結子と、この
放射状の連結子の中心より前記振動方向に突設された蹴
り部材とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、
前記圧電振動体の振動位相を異ならせたため、請求項1
の効果のほか、往復駆動方向を変更することが可能とな
る。
【0040】請求項5の圧電駆動装置によれば、一方向
に振動する圧電振動体と、この圧電振動体を支持した支
持体と、前記圧電振動体の振動方向と直交する方向に対
向した固定部材と、前記圧電振動体および前記固定部材
間に連結する連結子と、この連結子の中間部の前記振動
方向に突設された蹴り部材とを備えたため、請求項1と
同効果がある。
に振動する圧電振動体と、この圧電振動体を支持した支
持体と、前記圧電振動体の振動方向と直交する方向に対
向した固定部材と、前記圧電振動体および前記固定部材
間に連結する連結子と、この連結子の中間部の前記振動
方向に突設された蹴り部材とを備えたため、請求項1と
同効果がある。
【図1】この発明の第1の実施の形態の要部を示し、
(a)は正面図、(b)は平面図、(c)は側面図であ
る。
(a)は正面図、(b)は平面図、(c)は側面図であ
る。
【図2】全体の分解斜視図である。
【図3】全体の外観斜視図である。
【図4】圧電振動体および蹴り部材の動作を説明するも
ので、圧電振動体が振動停止している初期状態の説明図
である。
ので、圧電振動体が振動停止している初期状態の説明図
である。
【図5】圧電振動体の一方が90度進行した状態の説明
図である。
図である。
【図6】圧電振動体の一方がさらに90度を越えて進行
し、圧電振動体の他方が45度遅れて進行している状態
の説明図である。
し、圧電振動体の他方が45度遅れて進行している状態
の説明図である。
【図7】圧電振動体の一方が180度を越えて進行し、
圧電振動体の他方が180度進行した状態の説明図であ
る。
圧電振動体の他方が180度進行した状態の説明図であ
る。
【図8】圧電振動体の一方が270度を越えて進行し、
圧電振動体の他方が270度近くに進行した状態の説明
図である。
圧電振動体の他方が270度近くに進行した状態の説明
図である。
【図9】圧電振動体の一方が0度に近づき、圧電振動体
の他方が270度を越えて進行した状態の説明図であ
る。
の他方が270度を越えて進行した状態の説明図であ
る。
【図10】圧電振動体、連結子および蹴り部材の位置関
係を説明する説明図である。
係を説明する説明図である。
【図11】一方の圧電振動体が45度進んだ場合の蹴り
部材の動作説明図である。
部材の動作説明図である。
【図12】一方の圧電振動体が90度進んだ場合の蹴り
部材の動作説明図である。
部材の動作説明図である。
【図13】一方の圧電振動体が135度進んだ場合の蹴
り部材の動作説明図である。
り部材の動作説明図である。
【図14】一方の圧電振動体が90度遅れた場合の蹴り
部材の動作説明図である。
部材の動作説明図である。
【図15】一方の圧電振動体が90度進み、その振幅が
0.2と小さい場合の蹴り部材の動作説明図である。
0.2と小さい場合の蹴り部材の動作説明図である。
【図16】一方の圧電振動体が90度進み、他方の圧電
振動体の振幅が0.2と小さい場合の蹴り部材の動作説
明図である。
振動体の振幅が0.2と小さい場合の蹴り部材の動作説
明図である。
【図17】一方の圧電振動体が90度進み、その振幅が
0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説明図である。
0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説明図である。
【図18】一方の圧電振動体が90度進み、他方の圧電
振動体の振幅が0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説
明図である。
振動体の振幅が0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説
明図である。
【図19】一方の圧電振動体が90度遅れ、その振幅が
0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説明図である。
0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説明図である。
【図20】一方の圧電振動体が90度遅れ、他方の圧電
振動体の振幅が0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説
明図である。
振動体の振幅が0.5と小さい場合の蹴り部材の動作説
明図である。
【図21】一方の圧電振動体が停止した状態の蹴り部材
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図22】他方の圧電振動体が停止した状態の蹴り部材
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図23】第2の実施の形態の要部を示すもので、
(a)は平面図、(b)は正面図である。
(a)は平面図、(b)は正面図である。
【図24】第3の実施の形態の要部斜視図である。
【図25】その下からみた斜視図である。
【図26】(a)はその平面図、(b)はその正面図で
ある。
ある。
【図27】第4の実施の形態の要部を示し、(a)は正
面図、(b)は平面図である。
面図、(b)は平面図である。
【図28】第5の実施の形態の要部斜視図である。
【図29】(a)はその正面図、(b)は側面図であ
る。
る。
1 支持体 2 連結子 3 蹴り部材 5 圧電振動体
Claims (5)
- 【請求項1】 複数の圧電振動体と、これらの複数の圧
電振動体をその振動方向が同じになるように並設して支
持した支持体と、前記複数の圧電振動体の振動部の相互
を前記振動方向と直交する方向に連結する連結子と、こ
の連結子の中間部より前記振動方向に突設された蹴り部
材とを備え、前記蹴り部材が蹴り動作するように、前記
圧電振動体の振動位相を異ならせた圧電駆動装置。 - 【請求項2】 前記圧電振動体は一対である請求項1記
載の圧電駆動装置。 - 【請求項3】 前記圧電振動体は一対以上有して一直線
上に並列に配置され、前記連結子は前記各圧電振動体の
相互間を連結し、前記蹴り部材は前記連結子の各々の中
間部に突設されている請求項1記載の圧電駆動装置。 - 【請求項4】 複数の圧電振動体と、これらの複数の圧
電振動体をその振動方向が同じになるようにリング状に
配設して支持した支持体と、前記複数の圧電振動体の振
動部の相互を前記振動方向と直交する方向に連結する放
射状の連結子と、この放射状の連結子の中心より前記振
動方向に突設された蹴り部材とを備え、前記蹴り部材が
蹴り動作するように、前記圧電振動体の振動位相を異な
らせた圧電駆動装置。 - 【請求項5】 一方向に振動する圧電振動体と、この圧
電振動体を支持した支持体と、前記圧電振動体の振動方
向と直交する方向に対向した固定部材と、前記圧電振動
体および前記固定部材間に連結する連結子と、この連結
子の中間部の前記振動方向に突設された蹴り部材とを備
えた圧電駆動装置。
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