JP2677030B2 - 半導体移相器 - Google Patents

半導体移相器

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JP2677030B2
JP2677030B2 JP5088391A JP5088391A JP2677030B2 JP 2677030 B2 JP2677030 B2 JP 2677030B2 JP 5088391 A JP5088391 A JP 5088391A JP 5088391 A JP5088391 A JP 5088391A JP 2677030 B2 JP2677030 B2 JP 2677030B2
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智徳 重松
義忠 伊山
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体素子を用いて
電波の伝搬経路を切り替えることにより電波の位相を変
える半導体移相器の低コスト化に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電波の伝搬経路を切り替えてこの電波の
位相を変える移相器には種々のものがあるが、ここでは
シリコン、GaAsなどの半導体基板に構成した電界効
果トランジスタ(以下FETと称す)をスイッチとして
用い、同一の半導体基板に構成したマイクロストリップ
線路の経路を切り替えてマイクロ波の位相を変える半導
体移相器を例にとって説明する。図8は、例えば、G.
F.Shade,“Monolithic X−Ban
d Phase Shifter”GaAs IC S
ymposium 1981 PP.37に示された従
来の半導体移相器を示す等価回路図である。図におい
て、1は入力線路、2は出力線路、3は電気長θ1 の第
1の分岐線路、4は電気長θ2 の第2の分岐線路、5は
第1の単極双投スイッチ(以下SPDTスイッチと称
す)、6は第2のSPDTスイッチである。図9は、こ
の半導体移相器の構成を示す斜視図である。図において
7は半導体基板、8、9は第1のSPDTスイッチ5を
構成する第1、第2のFETであり、10、11は第2
のSPDTスイッチ6を構成する第3、第4のFETで
ある。また、12、13、14は第1、第2、第3のF
ET8、9、10、11のドレイン電極、ゲート電極、
ソース電極である。
【0003】次に動作について説明する。図8では、第
1、第2のSPDTスイッチ5、6は第1の分岐線路3
側に切り替えられた状態であるので、入力線路1より入
射した電波はθ1 の位相遅れを受けて第1の分岐線路3
を通過して出力線路2にあらわれる。ここで、第1、第
2のSPDTスイッチ5、6を第2の分岐線路4側に切
り替えると、電波はθ2 の位相遅れを受けて第2の分岐
線路4を通過して出力線路2にあらわれることになる。
したがって、第1、第2のSPDTスイッチ5、6を切
り替えることにより、第1、第2の分岐線路3、4の電
気長の差△θ(=θ2 −θ1 )だけ変化することになり
移相器が構成される。図9では、ゲート電極13にはバ
イアス抵抗15を介して、バイアス端子16よりバイア
ス電圧が印加される。なおFETのスイッチ動作のため
に、通常はドレイン電極12、ソース電極14を直流的
に同電位として用いるが、図ではそのための回路は省略
している。今、ドレイン電極12、ソース電極14を直
流的に同電位たとえば0Vにしたとすると、ゲート電極
13に印加する電圧を0Vとピンチオフ電圧に切り替え
ることにより、FETのドレイン電極12とソース電極
14間は電波が通過・遮断となる単極単投スイッチの動
作をする。したがって、2個のFETをドレイン電極を
共通にして配置し、かつそれぞれのゲートバイアス電圧
を一方は0V、他方はピンチオフ電圧とし、同時に互い
に他方のバイアス電圧にバイアスを切り替えることによ
り2個の単極単投スイッチからなるSPDTスイッチが
構成できる。このSPDTスイッチを用いて2つの異な
る伝搬経路を切り替えることにより移相器として動作さ
せることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体移相器は
以上のように第1、第2の分岐線路3、4の長さの差で
移相量が決まるように構成されているので、これら線路
の寸法を正確に工作することにより精度の良い移相量特
性が得られる。しかし、FETなどのスイッチング素子
を伝送線路に直列装荷する構成のため、伝搬経路の切り
替えに4個のスイッチング素子が必要であることから、
低コスト化が困難であるという課題があった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、低コストな半導体移相器を得る
ことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体移
相器は、入力端子と、出力端子と、一端が上記入力端子
に接続され、他端が上記出力端子に接続された所要周波
数で概略180度の電気長を有する線路から成る第1の
伝送路と、一端が上記入力端子に接続された所要周波数
で概略90度の電気長を有する線路と、上記線路の他端
と上記出力端子との間に接続され、キャパシタおよびイ
ンダクタから成り、90度位相進み回路を形成するT形
あるいはπ形の3段構成の高域通過形フィルタとから成
る第2の伝送路と、上記第1の伝送路と第2の伝送路の
それぞれの上記線路の上記入力端子から所要周波数で概
略90度の電気長の位置にそれぞれ設けられ、一方を遮
断とし他方を導通とするよう切り替え可能で、遮断状態
では設けられている上記第1または第2の伝送路へ影響
せず、導通状態では上記位置で設けられている上記第1
または第2の伝送路を接地させるスイッチとを備え、上
記第2の伝送路に設けたスイッチが導通状態の場合に、
上記出力端子側から見て上記高域通過形フィルタが並列
共振により開放と見えることを特徴とするものである。
【0007】
【作用】この発明においては、電波の経路切り替えに必
要なスイッチング素子数が2個と従来の半分に少なくで
きるため、低コストな半導体移相器が得られる。
【0008】
【実施例】実施例1. 図1はこの発明の一実施例の半導体移相器を示す等価回
路図である。90度位相進み回路としては種々のものが
考えられるが、ここでは例えば高域通過形フィルタ(以
下HPFと称す)を用いた場合を示す。図において、1
7は第1の単極単投スイッチ(以下SPSTスイッチと
称す)、18は第2のSPSTスイッチ、19は所要周
波数で概略180度の電気長を有する線路から成る第1
の伝送線路、20は所要周波数で概略90度の電気長を
有する線路とHPFから成る第2の伝送線路である。上
記第1の伝送線路19と上記第2の伝送線路20の一端
はそれぞれ入力線路1に接続され、他端は出力線路2に
接続されている。さらに、上記第1のSPSTスイッチ
17の第1の端子は上記第1の伝送線路19の中間点に
接続され、第2の端子は接地されている。また、上記第
2のSPSTスイッチ18の第1の端子は上記第2の伝
送線路20の入力端子から所要周波数で概略90度離れ
た位置で上記第2の伝送線路20に接続され、第2の端
子は接地された構成である。図2は図1に示した移相器
の具体例を示す等価回路図である。HPFとしてはT
形、π形の多段構成のフィルタがよく知られているが、
ここでは具体的な構成例として周波数1GHzにおいて
π形3段のHPFで構成した場合を示す。このHPFは
伝送線路20に直列に装荷されたキャパシタ21aとそ
の両側に並列に装荷されたインダクタ22aおよびイン
ダクタ22bから成る。これらの各素子値はそれぞれ、
キャパシタンスC1 =3.18pF、インダクタンスL
1 =7.96nH、インダクタンスL2 =7.96nH
となる。続いて、この移相器の動作説明を行う。図3、
図4はこの発明の動作説明図である。図3(a)に第1
のSPSTスイッチ17を遮断状態とし、第2のSPS
Tスイッチ18を導通状態とした場合を示す。ここで、
第1のSPSTスイッチ17の影響は無視でき、第2の
SPSTスイッチ18は短絡と考えることができる。ま
た、第2のSPSTスイッチ18が短絡と考えるとイン
ダクタ22aの影響は無視でき、HPFを出力端子から
見るとキャパシタ21aとインダクタ22bの並列共振
により開放となるので、図3(b)のように回路を表す
ことができる。この場合には、第2の伝送線路20の各
端から第2のSPSTスイッチ18側をみたインピーダ
ンスは高インピーダンス、すなわち開放状態となるの
で、電波は180度の位相遅れを受けて第1の伝送線路
19を通過する。一方、図4(a)に第1のSPSTス
イッチ17を導通状態とし、第2のSPSTスイッチ1
8を遮断状態とした場合を示す。上述の図3について述
べた場合とは逆に、第2のSPSTスイッチ18の影響
は無視でき、第1のSPSTスイッチ17は短絡と考え
ることができるので、図4(b)のように回路を表すこ
できる。この場合には、第1の伝送線路19の各端
から第1のSPSTスイッチ17側をみたインピーダン
スは高インピーダンス、すなわち開放状態となるので、
第2の伝送線路20を通過する。この際、電波は始めに
90度の位相遅れを受けるが、HPFにより90度の位
相進みが生じるので、合わせて位相の進み遅れなしで通
過する。したがって、第1、第2のSPSTスイッチ1
7、18を通過・遮断とに切りえることにより、電波
の伝搬位相は180度変化し、180度移相器が構成で
きる。図5は、この発明の一実施例を示す斜視図であ
る。なお、この実施例では半導体素子と線路とが同一の
半導体基板を用いて構成されたモノリシックな構造の場
合について示している。図において、FETで構成され
た第1のSPSTスイッチ17のドレイン電極12は第
1の伝送線路19に接続され、ソース電極14はバイア
ホール23を介して接地され、かつ、ゲート電極13は
バイアス抵抗15を介して、バイアス端子16に接続さ
れている。ここで、バイアス抵抗15とバイアス端子1
6との間には、一端をバイアホール23を介して接地し
たバイパスコンデンサ24が接続されており、バイアス
端子16への電波の漏洩を防止している。同様にして、
FETで構成された第2のSPSTスイッチ18のドレ
イン電極12は第2の伝送線路20に接続され、ソース
電極14はバイアホール23を介して接地され、かつ、
ゲート電極13はバイアス抵抗15、バイパスコンデン
サ24を介して、バイアス端子16に接続されている。
また、第2の伝送線路20にはキャパシタ21a、イン
ダクタ22a、インダクタ22bによりHPFが構成さ
れ、インダクタ22a、インダクタ22bはバイアホー
ル23を介して接地されている。第1、第2のSPST
スイッチ17、18を構成するFETのゲートバイアス
を0Vとピンチオフ電圧とに切りえることにより上記
第1、第2のSPSTスイッチ17、18を通過・遮断
とできるの、移相量180度の移相器を実現できる。
以上に説明したように、この構成による半導体移相器で
は、電波の切りえに必要なSPSTスイッチ数は2個
であり、従来の半分の個数のスイッチング素子で180
度の移相量を得ることができる。
【0009】実施例2.上記の実施例1では、90度位
相進み回路としてπ形3段の構成のHPFを用いた場合
について説明したが、この説明はこれに限らず、図6に
示すように、T形3段の構成のHPFを用いてもよい。
図において、HPFはキャパシタ21b、キャパシタ2
1c、インダクタ22cから成る。
【0010】実施例3.図7に示す実施例は、90度位
相進み回路としてπ形5段の構成のHPFを用いた場合
についての回路構成を示す回路構成図であるが、上記実
施例と同様の効果がある。
【0011】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、入力端
子と、出力端子と、一端が上記入力端子に接続され、他
端が上記出力端子に接続された所要周波数で概略180
度の電気長を有する線路から成る第1の伝送路と、一端
が上記入力端子に接続された所要周波数で概略90度の
電気長を有する線路と、上記線路の他端と上記出力端子
との間に接続され、キャパシタおよびインダクタから成
り、90度位相進み回路を形成するT形あるいはπ形の
3段構成の高域通過形フィルタとから成る第2の伝送路
と、上記第1の伝送路と第2の伝送路のそれぞれの上記
線路の上記入力端子から所要周波数で概略90度の電気
長の位置にそれぞれ設けられ、一方を遮断とし他方を導
通とするよう切り替え可能で、遮断状態では設けられて
いる上記第1または第2の伝送路へ影響せず、導通状態
では上記位置で設けられている上記第1または第2の伝
送路を接地させるスイッチとを備え、上記第2の伝送路
に設けたスイッチが導通状態の場合に、上記出力端子側
から見て上記高域通過形フィルタが並列共振により開放
と見えることを特徴とする構成とすることにより、電波
の経路の切り替えに必要なスイッチの数を削減でき、低
コストな半導体移相器が得られるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による移相器の等価回路図
である。
【図2】図1に示した移相器の具体例の等価回路図であ
る。
【図3】図1に示した移相器の動作説明図である。
【図4】図1に示した移相器の動作説明図である。
【図5】図1に示した移相器の一実施例を示す回路構成
図である。
【図6】この発明による移相器の他の実施例として90
度位相進み回路をT形3段のHPFで構成した場合の回
路構成を示す回路構成図である。
【図7】この発明による移相器の他の実施例として90
度位相進み回路をπ形5段のHPFで構成した場合の回
路構成を示す回路構成図である。
【図8】従来の移相器を示す等価回路図である。
【図9】従来の移相器の回路構成図である。
【符号の説明】
1 入力線路 2 出力線路 3 電気長θ1 の第1の分岐線路 4 電気長θ2 の第2の分岐線路 5 第1のSPDTスイッチ 6 第2のSPDTスイッチ 7 半導体基板 8 第1のSPDTスイッチを構成する第1のFET 9 第1のSPDTスイッチを構成する第2のFET 10 第2のSPDTスイッチを構成する第3のFE
T 11 第2のSPDTスイッチを構成する第4のFE
T 12 ドレイン電極 13 ゲート電極 14 ソース電極 15 バイアス抵抗 16 バイアス端子 17 第1のSPSTスイッチ 18 第2のSPSTスイッチ 19 第1の伝送線路 20 第2の伝送線路 21 キャパシタ 22 インダクタ 23 バイアホール 24 バイパスコンデンサ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力端子と、出力端子と、一端が上記入
    力端子に接続され、他端が上記出力端子に接続された所
    要周波数で概略180度の電気長を有する線路から成る
    第1の伝送路と、一端が上記入力端子に接続された所要
    周波数で概略90度の電気長を有する線路と、上記線路
    の他端と上記出力端子との間に接続され、キャパシタお
    よびインダクタから成り、90度位相進み回路を形成す
    T形あるいはπ形の3段構成の高域通過形フィルタと
    から成る第2の伝送路と、上記第1の伝送路と第2の伝
    送路のそれぞれの上記線路の上記入力端子から所要周波
    数で概略90度の電気長の位置にそれぞれ設けられ、一
    方を遮断とし他方を導通とするよう切り替え可能で、遮
    断状態では設けられている上記第1または第2の伝送路
    へ影響せず、導通状態では上記位置で設けられている上
    記第1または第2の伝送路を接地させるスイッチとを備
    、上記第2の伝送路に設けたスイッチが導通状態の場
    合に、上記出力端子側から見て上記高域通過形フィルタ
    が並列共振により開放と見えることを特徴とする半導体
    移相器。
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